Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 2008 / Hergestellt on demand

Chemnitz, Techn. Univ., Habil.-Schr., [2005].

This work is a contribution to sensor science and engineering. A mathematical method is introduced to examine sensor structures and examples of application of this method are given. One of them is the analysis of the retinal receptive field structure. The main focus is chapter 4 that presents 4 novel or significantly improved sensor principles, which are based on improved structures. They are - Gas sensors based on the electric field induced migration of chemisorbed gas ions on a sensitive thin film (patent DE 10041263). - Gas sensors based on the effect that the Seebeck voltage between thermocouples with at least one chemical sensitive material depends on the gas environment of that material. - Gas detectors based on photo induced ionisation (PID) where the motion of space charges is controlled by an electric field (patent DE18928903, DE 19838759). - Multidimensional motion sensors that are based on self-mixing of scattered Laser light with the light wave in the cavity of the generating laser diode (patents WO0237124, EP1261877, CN1408064T, US2003016365, EP1261877, WO0237410, US2003160155, WO03032138, WO0237411A1, CN1416554T, EP1334464, US2003006367, WO03102717, US6707027, US2002104957, WO2004021158) In chapter 5 a categorization scheme for sensor structures is presented. The scheme is used to discuss different structural improvements of sensors, in particular those presented in chapter 4. / Vorwort und Zusammenfassung Im Hauptteil der vorliegenden Arbeit (Kapitel 4) werden vier verschiedene neu entwickelte oder wesentlich verbesserte Sensorprinzipien vorgestellt. Die Stärke dieser Sensorprinzipien ist deren Struktur, die zu einer verbesserten Nachweisgrenze oder Stabilität führt. Die Struktur eines Sensors (Kapitel 2) Um die Wirkung der Sensorstruktur algemeingültig zu diskutieren wird im zweiten Kapitel ein Modell entwickelt, das Eigenschaften von Sensoren auf deren Struktur zurückführt. Dabei werden alle Sensoreigenschaften allgemein von einer einfachen Gleichung generiert und daraus Schlussfolgerungen für die Eigenschaften der Sensorstruktur gezogen. Es zeigt sich, wie sich der Effekt struktureller Maßnahmen in der Nachweisgrenze niederschlägt, und sich mit der verbesserten Nachweisgrenze die Messunsicherheit (als Funktion aller Eingangsgrößen) parallel verschiebt. Strukturanalyse eines Sensors am Beispiel der Retina (Kapitel 3) Im dritten Kapitel wird das Modell beispielhaft auf das Auge höherer Säugetiere angewandt. In der Einleitung werden die bekannten biologischen Fakten für Ingenieure und Physiker verständlich eingeführt. Darauf folgt eine mathematischen Strukturanalyse der Retina (und Leiterstrukturen allgemein), die als Sensorsystem betrachtet wird. Es zeigt sich, wie die Schwächen der Komponenten (Nervenzellen) der Retina durch deren Struktur kompensiert werden. Sensoren mit verbesserter Struktur (Kapitel 4) 1. Gasmessung mit Hilfe gasempfindlicher Thermopaare Bekannt ist der Gebrauch von Thermopaaren zur Messung von Temperaturunterschieden. In dieser Arbeit wird eine bisher unbekannt gewesene Methode vorgestellt, mit der bei einem konstanten Temperaturunterschied eine Gaskonzentration gemessen wird. Dabei spielt die Abhängigkeit der differentiellen Thermospannung von der Ladungsträgerdichte in sensitiven Materialien eine Rolle. 2. Elektromigration von chemisorbierten Ionen auf einem halbleitenden Film Sensoren basierend auf Widerstandsänderungen von gasempfindlichen Filmen sind seit längerem im Gebrauch. Neu ist, deren aufgrund von Migration veränderliches Widerstandsprofil in Ort und Zeit zu messen und damit Sensoren zu bauen, die unempfindlicher gegen Alterung sind. 3. Modulation von Ionenbewegungen mit Hilfe eines zusätzlichen Gitters im Photoionisationdetektor Zwar sind sowohl Photoionisationsdetektoren (PID's) als auch das Modulationsprinzip an sich bekannt, jedoch ist bis dahin noch kein modulierter PID vorgestellt worden. Entscheidend an der hier eingeführten Innovation ist die Methode, den Photoionisationsstrom zu modulieren, jedoch dem Leckstrom und den äußeren Photostrom an der Kathode unmoduliert zu lassen. Das führt zu einer 20-fachen Verbesserung der Nachweisgrenze. 4. Laserdiodeneigenmischung zur mehrdimensionalen Bewegungsmessung Die Rückwirkung von in die Quelle zurückgestreutem Laserlicht war bisher als Störeffekt bekannt. Um diesen Effekt in einem Bewegungssensor nutzen zu können, mussten Probleme wie Richtungserkennung und Miniaturisierung gelöst werden. Kapitel 5 befasst sich mit Strukturverbesserungen der im vorherigen Kapitel genannten und weiteren Sensoren. Dazu wird eine Strukturschreibweise vorgestellt. Kapitel 6 enthält eine Zusammenfassung und einen Ausblick.

This work is a contribution to sensor science and engineering. A mathematical method is introduced to examine sensor structures and examples of application of this method are given. One of them is the analysis of the retinal receptive field structure. The main focus is chapter 4 that presents 4 novel or significantly improved sensor principles, which are based on improved structures. They are - Gas sensors based on the electric field induced migration of chemisorbed gas ions on a sensitive thin film (patent DE 10041263). - Gas sensors based on the effect that the Seebeck voltage between thermocouples with at least one chemical sensitive material depends on the gas environment of that material. - Gas detectors based on photo induced ionisation (PID) where the motion of space charges is controlled by an electric field (patent DE18928903, DE 19838759). - Multidimensional motion sensors that are based on self-mixing of scattered Laser light with the light wave in the cavity of the generating laser diode (patents WO0237124, EP1261877, CN1408064T, US2003016365, EP1261877, WO0237410, US2003160155, WO03032138, WO0237411A1, CN1416554T, EP1334464, US2003006367, WO03102717, US6707027, US2002104957, WO2004021158) In chapter 5 a categorization scheme for sensor structures is presented. The scheme is used to discuss different structural improvements of sensors, in particular those presented in chapter 4. / Vorwort und Zusammenfassung Im Hauptteil der vorliegenden Arbeit (Kapitel 4) werden vier verschiedene neu entwickelte oder wesentlich verbesserte Sensorprinzipien vorgestellt. Die Stärke dieser Sensorprinzipien ist deren Struktur, die zu einer verbesserten Nachweisgrenze oder Stabilität führt. Die Struktur eines Sensors (Kapitel 2) Um die Wirkung der Sensorstruktur algemeingültig zu diskutieren wird im zweiten Kapitel ein Modell entwickelt, das Eigenschaften von Sensoren auf deren Struktur zurückführt. Dabei werden alle Sensoreigenschaften allgemein von einer einfachen Gleichung generiert und daraus Schlussfolgerungen für die Eigenschaften der Sensorstruktur gezogen. Es zeigt sich, wie sich der Effekt struktureller Maßnahmen in der Nachweisgrenze niederschlägt, und sich mit der verbesserten Nachweisgrenze die Messunsicherheit (als Funktion aller Eingangsgrößen) parallel verschiebt. Strukturanalyse eines Sensors am Beispiel der Retina (Kapitel 3) Im dritten Kapitel wird das Modell beispielhaft auf das Auge höherer Säugetiere angewandt. In der Einleitung werden die bekannten biologischen Fakten für Ingenieure und Physiker verständlich eingeführt. Darauf folgt eine mathematischen Strukturanalyse der Retina (und Leiterstrukturen allgemein), die als Sensorsystem betrachtet wird. Es zeigt sich, wie die Schwächen der Komponenten (Nervenzellen) der Retina durch deren Struktur kompensiert werden. Sensoren mit verbesserter Struktur (Kapitel 4) 1. Gasmessung mit Hilfe gasempfindlicher Thermopaare Bekannt ist der Gebrauch von Thermopaaren zur Messung von Temperaturunterschieden. In dieser Arbeit wird eine bisher unbekannt gewesene Methode vorgestellt, mit der bei einem konstanten Temperaturunterschied eine Gaskonzentration gemessen wird. Dabei spielt die Abhängigkeit der differentiellen Thermospannung von der Ladungsträgerdichte in sensitiven Materialien eine Rolle. 2. Elektromigration von chemisorbierten Ionen auf einem halbleitenden Film Sensoren basierend auf Widerstandsänderungen von gasempfindlichen Filmen sind seit längerem im Gebrauch. Neu ist, deren aufgrund von Migration veränderliches Widerstandsprofil in Ort und Zeit zu messen und damit Sensoren zu bauen, die unempfindlicher gegen Alterung sind. 3. Modulation von Ionenbewegungen mit Hilfe eines zusätzlichen Gitters im Photoionisationdetektor Zwar sind sowohl Photoionisationsdetektoren (PID's) als auch das Modulationsprinzip an sich bekannt, jedoch ist bis dahin noch kein modulierter PID vorgestellt worden. Entscheidend an der hier eingeführten Innovation ist die Methode, den Photoionisationsstrom zu modulieren, jedoch dem Leckstrom und den äußeren Photostrom an der Kathode unmoduliert zu lassen. Das führt zu einer 20-fachen Verbesserung der Nachweisgrenze. 4. Laserdiodeneigenmischung zur mehrdimensionalen Bewegungsmessung Die Rückwirkung von in die Quelle zurückgestreutem Laserlicht war bisher als Störeffekt bekannt. Um diesen Effekt in einem Bewegungssensor nutzen zu können, mussten Probleme wie Richtungserkennung und Miniaturisierung gelöst werden. Kapitel 5 befasst sich mit Strukturverbesserungen der im vorherigen Kapitel genannten und weiteren Sensoren. Dazu wird eine Strukturschreibweise vorgestellt. Kapitel 6 enthält eine Zusammenfassung und einen Ausblick.

Miniaturization is a key technological approach in current times. The most prominent examples of miniaturization are personal computers and mobile phones, but we observe miniaturization in other aspects of life, with the most recent example being small portable corona test kits. In science a big part of miniaturization focuses on detectors: to make them portable, to make them integrable into bigger, multi-function systems or to enable detection of smaller and smaller samples. For many experimental techniques highly sensitive and compact devices are already available, one of the extreme examples being single photon detectors. Compared to that, miniaturization of nuclear magnetic resonance (NMR) has still a long way to go in terms of both size and sensitivity. Recently, the successful miniaturization of an NMR coil was presented: on top of a flat polymeric bilayer a metallic layout is patterned. In an aqueous solution, one polymer layer absorbs water and swells, which induces strain between the two polymeric layers. This strain is released by a self-rolling-up of the bilayer, and the metal layer transforms into a microcoil. Such microcoils were successfully used for impedimetric measurements, as antennas, and as mentioned for NMR, but their performance in the latter was far from optimal. This thesis focuses on the optimization of rolled-up microcoils (RUMs) for NMR spectroscopy, with the goal to produce high-resolution and, most importantly, high-sensitivity microcoils. The performance of the microcoil can be expressed in three parameters, namely the spectral linewidth, the (normalized) limit of detection and the damping of a nutation curve, which was not a key parameter for this thesis. Both the microcoil design and the roll-up process have an influence on the quality of a RUM. For an optimal roll-up process, the polymeric bilayer layout needed some adjustment. The rolling process itself was improved through an addition of supporting structures on top of the bilayer, which resulted in tightly rolled tubes with a well-defined diameter. The coil layout was selected from several simple layouts. This layout was then optimized with the help of experiments and simulations. For example, an improvement in resolution was achieved through a reduction of the susceptibility of the metal. Finally, the coil was embedded into a microfluidic chip. This chip allows an easy sample supply into the coil interior and protects the coil from damage. As a side effect, the chip has a positive influence on the resolution of the detector. The best RUMs have a volume of only 1.5 nl, show a linewidth of only 8 ppb and a normalized limit of detection of 0.6 nmol√Hz at 600 MHz. The achieved resolution and sensitivity allow to resolve a 1H ethanol spectrum fully in a single measurement of 6 s duration. Compared to a standard shimmed NMR detector, where the linewidth is 0.65 ppb and the nLOD 10 nmol√Hz, the RUMs linewidth still needs some improvement, but the limit of detection is already an order of magnitude smaller. Combined with the fact that the limit of detection improves with linewidth, this shows the far superior sensitivity of RUMs compared to standard setups. A comparison with literature is also very promising, where optimized RUMs compete with the best published microcoils. Additionally, RUMs can be produced en masse, with, at the moment, four coils fitting on a single 50 x 50 mm2 glass substrate, while the best other microcoils were all made for single, specific experiments one at a time. And finally, the here presented recipe for self-assembled, RUMs is easily adaptable to even smaller sample volumes and to other coil layouts. It can be used to produce matching gradient coil systems and is a guideline on how to combine NMR and other techniques while maintaining a high NMR performance.:Introduction Nuclear magnetic resonance 1 NMR principle 1.1 A single nucleus in a magnetic field 1.2 Multiple spins in external field 1.3 Spins in natura 1.4 Typical liquid state spectrum 1.5 Typical NMR setup 2 Properties of an NMR detector 2.1 Quality of rf-field 2.2 Resolution 2.3 Signal-to-noise ratio 2.4 How to optimize a microcoil 3 Existing microdetectors 3.1 Solenoids 3.2 Saddle coils 3.3 Flat coils 3.4 Striplines/Microslots 4 Comparing microdetectors 4.1 The limit of detection 4.2 Performance of published microcoils Self-assembly 5 What is self-assembly? 6 Self-assembly in microfabrication 6.1 Macroscopic self-assembly 6.2 Self-rolled tubes 7 Self-assembly of rolled-up microcoils 7.1 Working principle 7.2 Experimental methods for self-assembly 8 Encapsulating rolled-up tubes 8.1 Microfluidics 8.2 Microfluidic chip 8.3 Experimental methods for encapsulation Rolled-up microcoils 9 Fabrication 9.1 Bilayer 9.2 Coil geometry 9.3 Metal stack 9.4 Supporting elements 9.5 Rolling process 9.6 Final layout 9.7 Microfluidic integration 10 Reducing susceptibility-induced field distortions 10.1 Simulating field distortions 10.2 Influence of the coil shape 10.3 Susceptibility matching 11 NMR performance 11.1 Measurement setup 11.2 Quality of rf-field 11.3 Resolution and sensitivity 11.4 Comparison to published microcoils 12 Outlook 12.1 Further improvements to rf-field, FWHM and nLOD 12.2 New coil shapes 12.3 New applications Summary Appendix A Simulation and maths A.1 Filling factor and rf-homogeneity A.2 Nutation and rf-homogeneity A.3 FT of one-sided exponential A.4 DFT A.5 Programs B Protocols B.1 Polymeric platform B.2 Metal layers C Test protocols C.1 Wet etching D Calculations for nLODs