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Investigação de propriedades de filmes finos de Al2O3 para aplicação em dispositivos eletrônicos

Boratto, Miguel Henrique [UNESP] 10 February 2014 (has links) (PDF)
Made available in DSpace on 2014-06-11T19:23:26Z (GMT). No. of bitstreams: 0 Previous issue date: 2014-02-10Bitstream added on 2014-06-13T19:29:25Z : No. of bitstreams: 1 boratto_mh_me_bauru.pdf: 1198664 bytes, checksum: 4485a5159d7fb76191066a7ac2e905ce (MD5) / O escopo deste trabalho é a obtenção de filmes finos de óxido de alumínio (alumina) através da evaporação resitiva de alumínio, seguido da oxidação térmica em atmosfera adequada (ar ou rica em O2), com varaiação do tempo e da temperatura do tratamento térmico. A investigação deste material tem por finalidade sua utilização como camada isolante em transistores de efeito de campo, mais especificamente do tipo metal-óxido-semicondutor (MOSTFET), visando a diminuição da corrente de fuga no gate e aumento do controle de corrente no canal de condução. Além de se tratar de dipositivo transparente, que permite a interação com luz. A análise das propriedades ópticas e estruturais dos filmes investigados mostra que na temperatura de 550ºC ocorre uma completa oxidação do material, a qual é acelerada em atmosfera de oxigênio. Valores de resistividade elétrica concordam com a tendência de oxidação revelada pelos dados de Difração de Raios X (DRX). Além disso, resultados de espectroscopia no infravermelho (FTIR) e Raman, em bom acordo com resultados de DRX, apresentam-se estrutura y-Al2O3. Amostras de alumina depositadas sobre substrato de vidro sodalime apresentam silício cristalino na interface com o Al2O3 advindo do substrato, enquanto amostras de Al2O3 sobre SnO2 não apresentaram esse material. A heterojunção entre SnO2:4at%Sb e Al2O3 foi caracterizada por DRX, Microscopia eletrônica de varredura (MEV) e Microscopia Confocal, que mostraram alta rugosidade do filme isolante sobre o semicondutor, e um provável processo de difusão entre as camadas isolante e semicondutora, em concordância com resultados de corrente x voltage (IxV), obtidos a partir da construção de um dispositivo simples, com contatos de Sn, ao qual foram submetidos dispositivos com diferentes números de camadas isolantes... / The goal of this work is is to obtain aluminum oxide (alumina) thin films deposited by resistive evaporation of Al, followed by thermal oxidation in proper atmosphere (air or O2-rich), with varying time and temperature of thermal annealing. The investigation of this material of this material aims using this material for application as insulating layer in field effect transistors, specifically metal-oxide-semiconductor (MOSFET), seeking for low leakage current and efficient current control in the conduction channel. Besides, it is a transparent device, which allows interaction with light. Analysis of optical and structural properties of investigated films reveals that temperature of 550ºC is responsable for fair oxidation, which is accelerated in oxygen-rich atmosphere. Results of electrical resistivity agree with the oxidation, which is accelerated in oxygen-rich atmosphere. Results of electrical resistivity agree with the oxidation tendency found in the X-ray diffraction data (XRD). Moreover, results of infrared spectroscopy (FTIR) and Raman show the presence of y-Al2O3, also found in XRD data. Alumina samples deposited on soda-line glass substrates leads to the presence of crystalline Si, coming from the substrate leads to the presence of crystalline Si, coming from the substrate, whereas... (Complete abstract click electronic access below)
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Influencia do tratamento de superficie em uma liga de paladio-prata na resistencia de união de agentes cimentantes

Prates, Luiz Henrique Maykot 27 November 2000 (has links)
Orientador: Simonides Consani / Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Odontologia de Piracicaba / Made available in DSpace on 2018-07-27T20:39:56Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Prates_LuizHenriqueMaykot_D.pdf: 5542298 bytes, checksum: 2937ad4a5face46e3b58742cc05f9700 (MD5) Previous issue date: 2000 / Resumo: O propósito do estudo foi avaliar a influência de quatro tratamentos de superfície, efetuados em uma liga de paládio-prata, na resistência da união ao cisalhamento de três agentes cimentantes. Inicialmente, foram confeccionadas fundições em forma de disco (5 mm de diâmetro), com liga de paládio-prata, sendo os espécimes agrupados em pares, após limpeza manual e em ultra-som com água. Em seguida, os pares foram separados em quatro grupos de 30 cada, para realização de um dos seguintes tratamentos nas faces circulares opostas às correspondentes aos condutos de alimentação: 1 - bruto de fundição (controle); 2 aplicação de jato de óxido de alumínio malha 320; 3 - aplicação de jato de óxido de alumínio malha 60; e 4 - aplicação de jato de micro esferas de vidro malha 270. Após nova limpeza em ultra-som com água destilada, durante 5 minutos, os exemplares de cada grupo foram separados em três sub-grupos de 10 cada, sendo feita a fixação, através das faces tratadas, com um dos seguintes agentes cimentantes: A - cimento de fosfato de zinco; B - cimento de ionômero de vidro modificado por resina; e C - cimento resinoso. Dez espécimes de cada tratamento de superfície foram submetidos à análise da rugosidade média, sendo também feito Lo preparo de dois exemplares para observação com microscopia eletrônica de varredura. Após 24 horas de armazenagem em água destilada a 37°C, os pares fixados foram avaliados com ensaios de cisalhamento em máquina Instron (1 mm/min), até a ruptura das amostras. Os resultados foram submetidos à análise de variância e ao teste de Tukey (p < 0,05) e as médias obtidas (MPa) foram: Grupo 1 A: 1,77 (0,51); Grupo 1 B: 3,18 (1,42); Grupo 1 C: 1,63 (0,55); Grupo 2 A: 5,22 (0,88); Grupo 2 B: 11,90 (1,94); Grupo 2 C: 16,29 (3,94); Grupo 3 A: 4,03 (0,78); Grupo 3 B: 11,41 (2,69); Grupo 3 C: 14,15 (2,71); Grupo 4 A: 1,59 (0,44); Grupo 4 B: 2,24 (0,71); Grupo 4 C: 1,74 (0,51). As superfícies metálicas submetidas ao jato de óxido de alumínio (malhas 320 ou 60) proporcionaram maior resistência de união que a condição de bruto de fundição e que as superfícies submetidas ao jato de micro esferas de vidro malha 270. Nas superfícies tratadas com jato de óxido de alumínio, o cimento resinoso e o cimento de ionômero de vidro modificado por resina proporcionaram resistências de união estatisticamente superiores à do cimento de fosfato de zinco. Não houve relação entre a resistência de união dos agentes cimentantes e a rugosidade média das ligas metálicas / Abstract: The purpose of this study was to evaluate the influence of four metal surface treatments on the shear bond strength of three luting agents. Cast samples in a disk shape (5 mm in diameter) were made with palladium-silver alloy and grouped in pairs afier ultrasonic cleaning. The pairs were assigned into four groups of 30 each and submitted to the following treatments on the circular surfaces opposite to that of the sprue former: 1 - as cast (control); 2 - aluminum oxide blasting (320 mash); 3 - aluminum oxide blasting (60 mash); and 4 - glass beads blasting (270 mash). Afier new ultrasonic cleaning in distilled water, during 5 minutes, the samples of each group were assigned into three subgroups of 10 each, being made the cementing, by the treated surfaces, with the following luting agents: A - zinc phosphate cement; B - resin-modified glass ionomer cement; and C ¿ resin cement. Before luting, 10 specimens of each treatment had the surfaces measured for roughness and two samples were prepared to observation in scanning electronic microscope. Afier storing in distilled water at 37°C, during 24 hours, the cemented pairs were submitted to shear bond strength tests in an Instron machine (1 mm/min), until the failure. The results were analyzed by ANOVA and Tukey's test (p < 0,05) and the means (MPa) were: Group 1 A: 1.77 (0.51); Group 1 B: 3.18 (1.42); Group 1 C: 1.63 (0.55); Group 2 A: 5.22 (0.88); Group 2 B: 11.90 (1.94); Group 2 C: 16.29 (3.94); Group 3 A: 4.03 (0.78); Group 3 B: 11.41 (2.69); Group 3 C: 14.15 (2.71); _Group 4 A: 1.59 (0.44); Group 4 B: 2.24 (0.71); Group 4 C: 1.74 (0.51). The metallic surfaces submitted to the aluminum oxide blast treatment (320 or 60 mash) showed bond strengths significantly higher than those of surfaces as cast or submitted to glass beads blast (270 mash). On surfaces treated with aluminum oxide blast, the resin cement and the resin-modified glass ionomer cement showed bond strengths statistical/y superior to those of the zinc phosphate cement. There was not a relationship between the bond strengths of cementing agents and the roughness of metal/ic surfaces / Doutorado / Doutor em Materiais Dentários
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Deposição e caracterização de filmes finos de GaAs e 'Al IND. 2''O IND. 3' para potencial utilizado em transistores

Santos, Júlio César dos [UNESP] 24 August 2009 (has links) (PDF)
Made available in DSpace on 2014-06-11T19:23:28Z (GMT). No. of bitstreams: 0 Previous issue date: 2009-08-24Bitstream added on 2014-06-13T20:50:23Z : No. of bitstreams: 1 santos_jc_me_bauru.pdf: 1909289 bytes, checksum: 46f1166eec4b53fcdc6e5fe6a3b31b70 (MD5) / Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico (CNPq) / Neste trabalho foi realizada a deposição através da técnica de evaporação resistiva, de filmes finos de GaAs (arseneto de gálio) e de Al (alumínio) com posterior oxidação deste último, formando 'Al IND. 2''O IND. 3' (óxido de alumínio ou alumina) e a caracterização dos filmes de GaAs e da heteroestrutura formada por 'Al IND. 2''O IND. 3' e GaAs. A confecção do dispositivo combinando estes compostos serviu para a investigação das características relevantes do sistema para potencial aplicação em transistores. O trabalho compreendeu investigação sobre as condições de deposição, e foram avaliadas principalmente as características elétricas dos filmes produzidos individualmente. Os resultados apresentados incluem: resistividade em função da temperatura, corrente-voltagem em função da temperatura, difração de raios-X e transmitância na região do infravermelho. Para caracterização do desempenho do sistema 'Al IND. 2''O IND. 3'/GaAs, um transistor simples foi construído sob um substrato de vidro borossilicato com uma camada de GaAs e outra de 'Al IND. 2''O IND. 3'. Os contatos de fonte, dreno e gate foram feitos de In. Essa estrutura permite a medida da corrente de fuga e a avaliação de outras características do sistema. Neste dispositivo foram avaliadas as características corrente-voltagem em função da temperatura, e também a interação com luz, já que GaAs, por apresentar gap direto, torna-se atraente para aplicações opto-eletrônicas. Assim medidas de elétricas foto-induzidas foram realizadas com excitação com fontes de luz branca. Com o intuito de se avaliar a qualidade dos filmes de GaAs obtidos pela evaporação resistiva, tanto a caracterização estrutural quando elétrica também foram feitas em filmes finos de GaAs depositados por sputtering, de modo a se ter um padrão de comparação. / In this work, the deposition of GaAs (gallium arsenide) and Al (aluminum) thin films is carried out by the resistive evaporation technique. In the latter case, an oxidation of the film is accomplished, leading to 'Al IND. 2''O IND. 3' (alumina) formation. The characterization of GaAs thin films and the heterostructure formed by 'Al IND. 2''O IND. 3' and GaAs is also carried out. The elaboration of the device combining these compounds allows investigating the relevant characteristics of this system to potential application in transistors. The work evolved investigation on the deposition conditions, and the electrical characteristics of the films were also evaluated separately. Results includes: resistivity as function of temperature, X-ray diffraction and near infrared transmittance. For characterization of the performance of the 'Al IND. 2''O IND. 3'/GaAs system, a simple transistor was built on a borosilicate glass substrate, with a 'Al IND. 2''O IND. 3' layer on top of a GaAs layer. The contacts of source, drain and gate were done using In. This structure allows evaluating the leak current and other characteristics of this system. In this device, it was evaluated the current - voltage characteristics and the interaction with light, because GaAs, due to its direct bandgap, become very attractive for opto-electronic applications. The, the photo-induced electrical measurements were done under excitation with white light. Aiming the evaluation of the quality of films deposited by the resistive evaporation technique, electrical as well as structural characterization were also carried out for GaAs thin films deposited by sputtering, in order to have a comparing parameter.
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[en] DEVELOPMENT OF A METAL MATRIX COMPOSITE BY SPONTANEOUS INFILTRATION: IMAGE ANALYSIS TO ESTIMATE THE PERMEABILITY OF THE CERAMIC PREFORM AND MATHEMATICAL MODELING OF THE METALLIC PHASE INFILTRATION / [pt] OBTENÇÃO DE UM COMPÓSITO DE MATRIZ FERROSA POR INFILTRAÇÃO ESPONTÂNEA: ESTIMATIVA DA PERMEABILIDADE DA PRÉ-FORMA CERÂMICA PORPROCESSAMENTO DE IMAGENS E MODELAGEM MATEMÁTICA DA INFILTRAÇÃO DA FASE METÁLICA

FERNANDO ANTONIO RIBEIRO SERRA 30 March 2004 (has links)
[pt] A utilização de compósitos de matriz ferrosa com pré-forma cerâmica oferece a possibilidade de redução do desgaste abrasivo em aplicações onde as ligas usuais não são efetivas. Nesta tese, foi desenvolvido um estudo voltado para a obtenção de um compósito de matriz metálica com ênfase na caracterização e previsão da infiltração espontânea de um ferro fundido nodular através de uma préforma granulada porosa de óxido de alumínio. O processo de infiltração de pré-forma porosa constituída de óxido de alumínio, em três granulometrias distintas (12#, 16# e 42#), por um ferro fundido nodular de composição eutética (3,9 graus Celsius) foi realizado em três temperaturas de vazamento diferentes (1403 graus Celsius, 1299 graus Celsius e 1250 graus Celsius), desde a elaboração das pré-formas passando pela infiltração do metal, até a caracterização microestrutural. Os resultados dos ensaios de compressão com as pré-formas foram processados por análise fatorial e mostraram que, dentro dos níveis estudados, o percentual utilizado de ligante (silicato de sódio) e o tempo de cura influenciam positivamente e de forma mais significativa do que a granulometria do óxido de alumínio. A microestrutura da matriz foi afetada pelos grãos cerâmicos da préforma, fato este caracterizado pela presença de veios de grafita no lugar de nódulos em uma extensão variável entre 10 micrômetros e 60 micrômetros a partir da superfície do grão. Após a permeabilidade da pré-forma cerâmica ter sido estimada por processamento digital de imagens em 3D, foi desenvolvido um modelo matemático voltado para a identificação da penetração máxima da fase metálica levando em consideração as temperaturas de vazamento e de solidificação do ferro fundido. As curvas do modelo mostraram boa correlação quando comparados com os resultados experimentais. / [en] Iron metal matrix composites in aluminium oxide offers an outstanding possibility to reduce abrasive wear where usual alloys are not working well. For the present study the composite was obtained by carrying out an spontaneous infiltration of an eutectic (3,9 degrees Celsius) nodular iron in a preform made with three aluminiun oxide granulometries (#12, #16 and #42), in three different pouring temperatures (1403 degrees Celsius, 1299 degrees Celsius e 1250 degrees Celsius). The preforms compression tests results were processed by factorial analysis and showed a greater influence of the sodium silicate amount and the curing time over the aluminium oxide granulometry. After the estimation of the ceramic phase permeability by 3D image digital processing it was developed a mathematical model to predict the maximum infiltration of the ferrous melt through the ceramic phase. It was based on the pouring and alloy solidification temperatures and produced a good agreement with the experimental results. The matrix microstructure was affected by the ceramic grains. This was characterized by the presence of lamellar graphite instead of the expected nodules in an extension between 10 micrometers and 60 micrometers from the border of the composite.
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Desenvolvimento de modelos analiticos para propriedades termicas e condução de calor transiente em varetas combustiveis nucleares / Development of analytical models for thermal properties and transient heat conduction in nuclear fuel rods

Dias, Marcio Soares 23 February 2007 (has links)
Orientadores: Elizabete Jordão, Vanderley de Vasconcelos / Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Quimica / Made available in DSpace on 2018-08-08T15:54:28Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Dias_MarcioSoares_D.pdf: 4467183 bytes, checksum: 0454257feb5bb8587142baa338c5666a (MD5) Previous issue date: 2007 / Resumo: A dependência com a temperatura das propriedades térmicas dos materiais faz com que a análise do transiente térmico em varetas combustíveis de reatores nucleares seja não-linear. Tradicionalmente, métodos de diferenças finitas ou de elementos finitos são utilizados para resolver este problema. A remoção efetiva do calor gerado nas varetas combustíveis constitui uma das considerações primárias no projeto de reatores nucleares. Os fabricantes de combustíveis nucleares e as geradoras de energia elétrica de fonte nuclear devem demonstrar a segurança do reator através da análise dos resultados de situações transientes diversas. Estes transientes podem ocorrer tanto em operação normal, quanto em situações de acidentes e devem ser analisados para assegurar que a vareta combustível manterá sua integridade para todas estas condições. A equação de transferência de calor para o combustível é não-linear. Esta equação não-linear de diferenciais parciais pode ser convertida em uma forma linear por meio da transformação baseada nas propriedades térmicas. Este trabalho apresenta a análise teórica aplicada no desenvolvimento de um modelo analítico, aqui chamado de variacionais relativos e direcionado para a modelagem de propriedades térmicas de materiais cerâmicos de aplicação nuclear, em particular o dióxido de urânio, UO2, e o óxido de alumínio, Al2O3. As propriedades térmicas modeladas são aquelas envolvidas no processo de condução de calor em materiais cristalinos: expansão térmica, calor específico, condutividade térmica e as suas formas integrais. No processo de avaliação de dados foram utilizados cerca de 5500 medidas de propriedades físicas e térmicas disponíveis na literatura aberta. Com base neste desenvolvimento é estabelecida a relação linear entre a variação de entalpia e a integral de condutividade térmica do UO2. Esta relação permite resolver, analiticamente, as distribuições espacial e temporal de temperaturas no combustível nuclear para as condições de estado estacionário e de transiente. A solução encontrada aplica-se igualmente outros sistemas onde o balanço de energia seja determinado pelo equilíbrio entre calor armazenado e calor transportado. A modelagem analítica desenvolvida amplia as possibilidades de avaliação crítica da consistência de propriedades térmicas e físicas dos materiais / Abstract: The temperature dependence of the material thermal properties makes the transient thermal analysis of reactor fuel pins to be non-linear. Traditionally, finite difference or finite element methods have been used to solve this problem. Effective heat removal from the fuel pins of a nuclear reactor poses one of the primary considerations in reactor design. Nuclear fuel vendors and nuclear electricity utilities must demonstrate the safety of the reactor by thorough examination of the outcome of various transient situations. These transient effects may occur in normal operation as well as in accident situations and must be analysed to insure the fuel pin maintains its integrity. The governing heat transfer equation for the fuel is non-linear. This non-linear, partial differential equation can be recast into a linear form by introducing a transformation based on material property. This work presents the theoretical analyses to develop a analytical model, here named model of relative variationals, for modelling of thermal properties of nuclear ceramic materials, in matter uranium dioxide, UO2, and aluminium oxide, Al2O3. The modeled thermal properties are those involved in the process of heat transport in crystalline materials: thermal expansion, specific heat, thermal conductivity and their integral forms. In the data evaluation process were used about 5500 measures of physical and thermal properties available in the open literature. Based on this development, the linear relationship has been established between the UO2 enthalpy and thermal conductivity integral. This relationship enables the heat conduction equation to be solved analytically for steady state and transient conditions. The solution is also applied in other systems where the balance of energy is determined by the equilibrium between stored heat and transported heat. The developed analytical modelling enlarges the possibilities for critical evaluation of the thermal and physical properties of the materials / Doutorado / Sistemas de Processos Quimicos e Informatica / Doutor em Engenharia Química

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