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Charakterisierung reaktiver Prozesse bei der katodischen VakuumbogenverdampfungKuehn, Michael 17 December 1997 (has links) (PDF)
In der vorliegenden Arbeit werden die waehrend der reaktiven
Vakuumbogenverdampfung ablaufenden Prozesse untersucht und eine modellmaessige
Beschreibung des Gesamtprozesses entwickelt. Das Verfahren wird zur
Herstellung von duennen Schichten zahlreicher chemischer Verbindungen,
insbesondere von Hartstoffschichten auf der Basis der Karbide und Nitride der
Uebergangsmetalle, genutzt. Entsprechend wurden in dieser Arbeit als
Katodenmaterial Titan, Chrom und Zirkonium eingesetzt, als Reaktivgase
Stickstoff und Methan.
Zunaechst werden einige Grundlagen der Vakuumbogenverdampfung dargestellt,
die fuer die Bearbeitung des Themas wesentlich sind. Anschliessend wird der
Aufbau der fuer die Experimente genutzten Beschichtungsapparatur beschrieben.
Im Hauptteil der Arbeit wird zuerst auf experimentellem Wege die
Materialbilanz der Entladung bei Variation des Reaktivgasdruckes analysiert.
Die Generation an Metalldampfplasma wird ueber die Katodenerosionsrate
bestimmt, wobei sich beim Betrieb mit Stickstoff als Reaktivgas signifikante
Unterschiede in der Druckabhaengigkeit der Katodenerosionsrate µ zwischen
Titan bzw. Zirkonium einerseits und Chrom andererseits zeigen. Die Hypothese,
dass hier die Ausbildung einer Verbindungsschicht an der Katodenoberflaeche
den Erosionsprozess beeinflusst, wurde sowohl durch RBS-Messungen als auch
durch Vergleichsexperimente mit einer massiven TiN-Katode bestaetigt. Weitere
Auswirkungen derartiger Oberflaechenbedeckungen auf die Dynamik des
Katodenbrennfleckes wurden durch Videountersuchungen am Beispiel Ti+N_2
nachgewiesen. Die Konsumtion des Reaktivgases waehrend der Entladung wird
anhand der Gasfluss-Druck-Charakteristiken untersucht und das je nach
Katodenmaterial unterschiedliche Gettervermoegen diskutiert. Direkte
Informationen ueber den Stickstoffeinbau in die Schichten in Abhaengigkeit
vom Reaktivgasdruck werden aus RBS-Untersuchungen an entsprechenden
Probenserien gewonnen. Analoge Untersuchungen mit Methan als Reaktivgas
fuehrten zu prinzipiell aehnlichen Resultaten.
Mit den gewonnenen experimentellen Daten als Grundlage wurde ein Modell
entwickelt, das die Materialbilanz der Vakuumbogenverdampfung mathematisch
beschreibt. Hier wurden, ausgehend von einem fuer das reaktive
Magnetronsputtern aufgestellten Modell, die Besonderheiten der stark
lokalisierten Metalldampfgeneration bei der Vakuumbogenverdampfung
beruecksichtigt. Die erreichte Uebereinstimmung der Modellkurven mit den
experimentellen Daten zeigt, dass mit der Modellierung wesentliche
Mechanismen bei der reaktiven Vakuumbogenverdampfung richtig erfasst wurden.
Aus den Ergebnissen folgt, dass die Erzeugung von reaktionsfaehigen
Stickstoffspezies an die Katodenerosion gekoppelt ist: erstens ueber die
Erosion nitridbedeckter Oberflaechenbereiche und zweitens ueber die
Wechselwirkung des Metalldampfplasmas mit dem Reaktivgas.
Diese Wechselwirkungsprozesse werden durch Untersuchungen mit elektrischen
Sondenmessungen sowie mittels optischer Emissionsspektroskopie (OES) naeher
charakterisiert. Als wesentliches Ergebnis zeigt sich dabei, dass trotz der
Unterschiede hinsichtlich des Verhaltens an der Katode bei Ti- bzw.
Cr-Entladungen in Stickstoff Anregungs- und Ionisationsgrad des Reaktivgases
praktisch gleich sind. Im Zusammenhang damit wird die Rolle von
Ladungstransfer- und Anregungsprozessen infolge von Stoessen schneller
Ionen mit Molekuelen und Neutralatomen diskutiert.
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Betraege zur Laserfestigkeit optischer Komponenten im UV-BereichPfeifer, Gerd 04 June 1997 (has links)
Die laserinduzierte Zerstoerschwelle ist ein Mass fuer die Laserfestigkeit
optischer Schichten und Mehrschichtsysteme. In der Arbeit werden
Zerstoerschwellenmessungen hauptsaechlich bei der Wellenlaenge 248 nm an
Substraten, Oxid- und Fluorid-Einfachschichten sowie l/4-Mehrschichtsystemen
vorgestellt. Schichtmaterialien mit hoher Laserfestigkeit sind SiO2, MgF2,
Al2O3 und LaF3. Bei einem Vergleich von verschiedenen Schichtabscheideverfahren
erweisen sich die Laserstrahlverdampfung oder die lasergestuetzte i
Elektronenstrahlverdampfung als vorteilhaft fuer eine hohe laserinduzierte
Zerstoerschwelle. Als Hauptgrund wird der geringe Fremdstoffeinbau durch
wegfallende geheizte Elemente im Abscheideraum angesehen. Deck- und
Barriereschichten der Dicke l/2 fuehren zu einer Steigerung der
Zerstoerschwelle um maximal 200 %. Dies wird durch eine mechanische und
thermische Stabilisierung der Funktionsschichten erreicht. Die Berechnungen
zum Temperaturfeld in dielektrischen Schichten dienen der Modellierung des
thermischen Zerstoerungsmechanismus. Sie zeigen, dass bei Bestrahlung mit
Laserpulsen von 20 ns Pulsdauer nach ca. 100 ns die Temperatur an der
Probenoberflaeche auf die Haelfte des Maximums abgesunken ist. Weitere
Ergebnisse belegen den starken Einfluss des Absorptionskoeffizienten auf
die Maximaltemperatur. Untersuchungen zur Pulsdauerabhaengigkeit der
Zerstoerschwelle weisen fuer Substrate eine gute Uebereinstimmung mit dem
t0,5-Gesetz aus. Daraus wird ein thermischer Zerstoerungsmechanismus bei
defektarmen Materialien abgeleitet. Bei Morphologieuntersuchungen an
Bestrahlungsflecken von Schichten wurden typische Zerstoerungserscheinungen
gefunden, die auf die zusaetzliche oder dominierende Wirkung von
Elektronenlawinen bei der laserinduzierten Zerstoerung defektreicher
Materialien hinweisen.
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Charakterisierung reaktiver Prozesse bei der katodischen VakuumbogenverdampfungKuehn, Michael 25 November 1997 (has links)
In der vorliegenden Arbeit werden die waehrend der reaktiven
Vakuumbogenverdampfung ablaufenden Prozesse untersucht und eine modellmaessige
Beschreibung des Gesamtprozesses entwickelt. Das Verfahren wird zur
Herstellung von duennen Schichten zahlreicher chemischer Verbindungen,
insbesondere von Hartstoffschichten auf der Basis der Karbide und Nitride der
Uebergangsmetalle, genutzt. Entsprechend wurden in dieser Arbeit als
Katodenmaterial Titan, Chrom und Zirkonium eingesetzt, als Reaktivgase
Stickstoff und Methan.
Zunaechst werden einige Grundlagen der Vakuumbogenverdampfung dargestellt,
die fuer die Bearbeitung des Themas wesentlich sind. Anschliessend wird der
Aufbau der fuer die Experimente genutzten Beschichtungsapparatur beschrieben.
Im Hauptteil der Arbeit wird zuerst auf experimentellem Wege die
Materialbilanz der Entladung bei Variation des Reaktivgasdruckes analysiert.
Die Generation an Metalldampfplasma wird ueber die Katodenerosionsrate
bestimmt, wobei sich beim Betrieb mit Stickstoff als Reaktivgas signifikante
Unterschiede in der Druckabhaengigkeit der Katodenerosionsrate µ zwischen
Titan bzw. Zirkonium einerseits und Chrom andererseits zeigen. Die Hypothese,
dass hier die Ausbildung einer Verbindungsschicht an der Katodenoberflaeche
den Erosionsprozess beeinflusst, wurde sowohl durch RBS-Messungen als auch
durch Vergleichsexperimente mit einer massiven TiN-Katode bestaetigt. Weitere
Auswirkungen derartiger Oberflaechenbedeckungen auf die Dynamik des
Katodenbrennfleckes wurden durch Videountersuchungen am Beispiel Ti+N_2
nachgewiesen. Die Konsumtion des Reaktivgases waehrend der Entladung wird
anhand der Gasfluss-Druck-Charakteristiken untersucht und das je nach
Katodenmaterial unterschiedliche Gettervermoegen diskutiert. Direkte
Informationen ueber den Stickstoffeinbau in die Schichten in Abhaengigkeit
vom Reaktivgasdruck werden aus RBS-Untersuchungen an entsprechenden
Probenserien gewonnen. Analoge Untersuchungen mit Methan als Reaktivgas
fuehrten zu prinzipiell aehnlichen Resultaten.
Mit den gewonnenen experimentellen Daten als Grundlage wurde ein Modell
entwickelt, das die Materialbilanz der Vakuumbogenverdampfung mathematisch
beschreibt. Hier wurden, ausgehend von einem fuer das reaktive
Magnetronsputtern aufgestellten Modell, die Besonderheiten der stark
lokalisierten Metalldampfgeneration bei der Vakuumbogenverdampfung
beruecksichtigt. Die erreichte Uebereinstimmung der Modellkurven mit den
experimentellen Daten zeigt, dass mit der Modellierung wesentliche
Mechanismen bei der reaktiven Vakuumbogenverdampfung richtig erfasst wurden.
Aus den Ergebnissen folgt, dass die Erzeugung von reaktionsfaehigen
Stickstoffspezies an die Katodenerosion gekoppelt ist: erstens ueber die
Erosion nitridbedeckter Oberflaechenbereiche und zweitens ueber die
Wechselwirkung des Metalldampfplasmas mit dem Reaktivgas.
Diese Wechselwirkungsprozesse werden durch Untersuchungen mit elektrischen
Sondenmessungen sowie mittels optischer Emissionsspektroskopie (OES) naeher
charakterisiert. Als wesentliches Ergebnis zeigt sich dabei, dass trotz der
Unterschiede hinsichtlich des Verhaltens an der Katode bei Ti- bzw.
Cr-Entladungen in Stickstoff Anregungs- und Ionisationsgrad des Reaktivgases
praktisch gleich sind. Im Zusammenhang damit wird die Rolle von
Ladungstransfer- und Anregungsprozessen infolge von Stoessen schneller
Ionen mit Molekuelen und Neutralatomen diskutiert.
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Betraege zur Laserfestigkeit optischer Komponenten im UV-BereichPfeifer, Gerd 13 June 1996 (has links)
Die laserinduzierte Zerstoerschwelle ist ein Mass fuer die Laserfestigkeit
optischer Schichten und Mehrschichtsysteme. In der Arbeit werden
Zerstoerschwellenmessungen hauptsaechlich bei der Wellenlaenge 248 nm an
Substraten, Oxid- und Fluorid-Einfachschichten sowie l/4-Mehrschichtsystemen
vorgestellt. Schichtmaterialien mit hoher Laserfestigkeit sind SiO2, MgF2,
Al2O3 und LaF3. Bei einem Vergleich von verschiedenen Schichtabscheideverfahren
erweisen sich die Laserstrahlverdampfung oder die lasergestuetzte i
Elektronenstrahlverdampfung als vorteilhaft fuer eine hohe laserinduzierte
Zerstoerschwelle. Als Hauptgrund wird der geringe Fremdstoffeinbau durch
wegfallende geheizte Elemente im Abscheideraum angesehen. Deck- und
Barriereschichten der Dicke l/2 fuehren zu einer Steigerung der
Zerstoerschwelle um maximal 200 %. Dies wird durch eine mechanische und
thermische Stabilisierung der Funktionsschichten erreicht. Die Berechnungen
zum Temperaturfeld in dielektrischen Schichten dienen der Modellierung des
thermischen Zerstoerungsmechanismus. Sie zeigen, dass bei Bestrahlung mit
Laserpulsen von 20 ns Pulsdauer nach ca. 100 ns die Temperatur an der
Probenoberflaeche auf die Haelfte des Maximums abgesunken ist. Weitere
Ergebnisse belegen den starken Einfluss des Absorptionskoeffizienten auf
die Maximaltemperatur. Untersuchungen zur Pulsdauerabhaengigkeit der
Zerstoerschwelle weisen fuer Substrate eine gute Uebereinstimmung mit dem
t0,5-Gesetz aus. Daraus wird ein thermischer Zerstoerungsmechanismus bei
defektarmen Materialien abgeleitet. Bei Morphologieuntersuchungen an
Bestrahlungsflecken von Schichten wurden typische Zerstoerungserscheinungen
gefunden, die auf die zusaetzliche oder dominierende Wirkung von
Elektronenlawinen bei der laserinduzierten Zerstoerung defektreicher
Materialien hinweisen.
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