Dans la fabrication de lentilles asphériques pour la photolithographie, l'étape delissage est critique. C'est aujourd'hui le seul procédé qui peut corriger les défauts de hautesfréquences spatiales responsables de diffusions parasites, de diminutions de transmittance etde contraste. Cette opération doit préserver la forme asphérique basse fréquence tout enlissant les défauts de hautes fréquences. Un tel comportement peut être obtenu pour des outilscombinant une couche continue flexible pour le suivi basse fréquence et une couche de poixfractionnée pour le lissage de défauts hautes fréquences. Les buts principaux de cette étudesont de prédire l'efficacité de lissage et le suivi de forme de différents outils et ensuite dedéterminer l'outil permettant le meilleur compromis. A cette fin, un modèle multi-échelles estdéveloppé. A l'échelle de l'outil entier, une étude paramétrique par éléments finis permet dedéterminer les caractéristiques de la couche flexible ainsi que la force appliquée optimale afind'obtenir l'homogénéité de la pression à l'échelle de la forme asphérique globale. A l'échelle dela couche de poix, la Méthode par Eléments Discrets est utilisée pour investiguer l'interfaceoutil-pièce. Un modèle basé sur le concept de la poutre cohésive viscoélastique est développé,prenant en compte la réponse fréquentielle de la couche de poix. La comparaison avecl'Analyse Mécanique Dynamique montre la capacité de la DEM à modéliser le comportementviscoélastique. L'opération de lissage est ensuite modélisée par DEM et analytiquement. Lesdonnées expérimentales obtenues par la méthode de la Densité Spectrale de Puissancemettent en évidence l'impact des propriétés de la poix sur l'efficacité de lissage. Lacomparaison entre les résultats numériques et expérimentaux montre que le modèle DEMdonne des résultats prometteurs pour la modélisation du lissage de défauts.

Dans la fabrication de lentilles asphériques pour la photolithographie, l’étape delissage est critique. C’est aujourd’hui le seul procédé qui peut corriger les défauts de hautesfréquences spatiales responsables de diffusions parasites, de diminutions de transmittance etde contraste. Cette opération doit préserver la forme asphérique basse fréquence tout enlissant les défauts de hautes fréquences. Un tel comportement peut être obtenu pour des outilscombinant une couche continue flexible pour le suivi basse fréquence et une couche de poixfractionnée pour le lissage de défauts hautes fréquences. Les buts principaux de cette étudesont de prédire l’efficacité de lissage et le suivi de forme de différents outils et ensuite dedéterminer l’outil permettant le meilleur compromis. A cette fin, un modèle multi-échelles estdéveloppé. A l’échelle de l’outil entier, une étude paramétrique par éléments finis permet dedéterminer les caractéristiques de la couche flexible ainsi que la force appliquée optimale afind’obtenir l’homogénéité de la pression à l’échelle de la forme asphérique globale. A l’échelle dela couche de poix, la Méthode par Eléments Discrets est utilisée pour investiguer l’interfaceoutil-pièce. Un modèle basé sur le concept de la poutre cohésive viscoélastique est développé,prenant en compte la réponse fréquentielle de la couche de poix. La comparaison avecl’Analyse Mécanique Dynamique montre la capacité de la DEM à modéliser le comportementviscoélastique. L’opération de lissage est ensuite modélisée par DEM et analytiquement. Lesdonnées expérimentales obtenues par la méthode de la Densité Spectrale de Puissancemettent en évidence l’impact des propriétés de la poix sur l’efficacité de lissage. Lacomparaison entre les résultats numériques et expérimentaux montre que le modèle DEMdonne des résultats prometteurs pour la modélisation du lissage de défauts. / In aspherical photolithography optics manufacturing, the smoothing step iscritical. So far, it is the only process that can correct high spatial frequency defects, responsiblefor flare and transmission, contrast decrease. This operation must preserve the low frequencyaspherical shape while smoothing high frequency defects. That behavior can be obtained withtools that combine a continuous flexible layer for low frequency compliance and a fractionatepitch layer for high frequency defect polishing. The main goals of this study are predicting thesmoothing efficiency and form control of different tools, and then determining the best tool toachieve a good balance between them. To do this, a multi-scale model is developed. First, atthe whole tool scale, a finite-element parametric study yields the best characteristics for theflexible layer as well as the optimal applied force to achieve pressure homogeneity at the globalaspherical shape level. Second, at the pitch layer level, the Discrete Element Method is used toinvestigate the tool-workpiece interface. A model based on the viscoelastic cohesive beamconcept is developed, taking into account the pitch layer’s frequency response. Comparisonwith Dynamic Mechanical Analysis shows the ability of DEM to model viscoelastic behavior. Thesmoothing operation is then modeled both by DEM and analytically. Experimental data obtainedby the Power Spectral Density Method highlight the impact of pitch properties on the smoothingefficiency. Comparison between numerical and experimental data shows that the DEM modelyields promising results in defect smoothing modeling

Ce travail porte sur la caractérisation des matériaux présents à l’intérieur d’amphores romaines. Il avait pour but de déterminer à la fois la nature de la matière étanchéisante des parois internes, mais aussi d’identifier leur contenu.Pour mener à bien cette étude, divers outils analytiques ont été employés tel l’infrarouge à Transformée de Fourier(IR-TF) ou bien encore la chromatographie gazeuse couplée à un spectromètre de masse (CPG-SM). Divers protocoles d’extraction ont été testés et optimisés en fonction des différentes classes chimiques de composés recherchés, comme par exemple pour la caractérisation de la présence de vin (ex : les acides tartrique et syringique)ou bien d’huile d’olive (acides oléique, palmitique, stéarique, …). Ce travail préliminaire a été réalisé sur un ensemble d’amphores romaines dites de référence, c’est-à-dire dont le contenu était avéré.Dans un second temps, les résultats obtenus ont été appliqués à des cas d’étude d’amphores du type Dressel 1 datant de la fin du IIème siècle ou du début du Ier siècle av. J.-C, estampillées du timbre Sestius. Elles provenaient de Cosa en Étrurie, l'actuelle Toscane.Les premiers échantillons étudiés correspondent à des amphores Dressel 1A de l’épave du Grand Congloué 2. L’étude en IR-TF a indiqué différentes bandes de matière organique, comme la liaison chimique de O-H à partir de l'acide carboxylique, C-H du groupe méthylène et C-O de l'ester méthylique. L'étude réalisée par CPG-SM a révélé des diterpènes, tels que l'acide déhydroabiétique et le rétène qui sont des marqueurs diterpéniques de la famille des Pinacées. Des dérivés esters méthyliques ont été également caractérisés. Cela indique une poix obtenue par pyrogénation de bois résineux (Pinus sp.). L’extraction du contenu a été optimisée et la technique par CPG-SM a été appliquée avec succès. On a observé la présence d’acide tartrique et d’acide syringique (principaux marqueurs du vin) dans la poix située en surface intérieure, mais aussi dans la matière des tessons. D’autres échantillons proviennent d’amphores Dressel 1C, retrouvées dans le complexe archéologique des fossés du« Verbe-Incarné » de Lyon. Pour vérifier leur contenu en vin, la technique de CPG-SM a été utilisée. Les résultats obtenus semblent confirmer la présence de vin. Enfin le dernier lot concerne des tessons amphores provenant de l’Oppidum de Châteaumeillant. Parmi les échantillons étudiés, l’un d’entre eux a particulièrement attiré notre attention de par la présence de vin et de résine sandaraque (Tetraclinis articulata). / This work relates the characterization of materials inside Roman amphorae. It aimed to determine at once thewaterproofing material on the internal walls, but also to identify their content.In this way, different analytical tools were used as infrared spectroscopy (FT-IR) and gas chromatography (GC/MS).Several types of extraction were tested to optimize the results concerning for example the presence of wine (tartric andsyringic acids) or olive oil (oleic, palmitic, stearic acids,…).This preliminary work has been developed with reference Roman amphorae, i.e. whose content was known.In a second time, the obtained results were applied to case studies: amphorae « Dressel 1 type » dating from the endof the IInd century or the beginning of Ist century BC, with the stamp « Sestius ». They come from Cosa in Étrurie, thecurrent Tuscany.The first studied samples correspond to amphorae Dressel 1A of the wreck of Grand Congloué 2. The study with FT-IRindicated different bands concerning organic matter, as the chemical link O-H from carboxylic acid, C-H of themethylene group and C-O of the methyl ester. The study carried out by GC-MS showed diterpenoids, such asdehydroabietic acid and reten, which are diterpenic markers of Pinaceae family. Methyl ester by products were alsocharacterized. It reveals a pitch pyrogenically prepared from resinous wood (Pinus sp.). The extraction of the contentswas optimized and GS-MS technique was successfully applied. We observed the presence of tartric and syringic acids(main markers of wine) in the pitched internal walls surface, but also in the potsherd matter.Other samples come from amphorae Dressel 1C found in the archaeological site of the gaps of the « Verbe Incarné »in Lyon. To verify their contents with wine, the GS-MS technique was used. The obtained results seem to confirm thepresence of wine. Finally the last group concerns amphora shards coming from the Oppidum of Châteaumeillant.Among the studied samples, one of them was particularly interesting, revealing the presence of wine and sandaracresin (Tetraclinis articulata).