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STUDIES ON THE FABRICATION OF VERTICAL INTEGRATED MEMS DEVICES / 縦方向に集積化されたMEMSデバイス作製の研究Oba, Masatoshi 24 September 2010 (has links)
Kyoto University (京都大学) / 0048 / 新制・論文博士 / 博士(工学) / 乙第12493号 / 論工博第4047号 / 新制||工||1503(附属図書館) / 28243 / (主査)教授 平尾 一之, 教授 横尾 俊信, 教授 田中 勝久 / 学位規則第4条第2項該当
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