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Spelling suggestions: "subject:"breitbandigen optische monitoriersystem"" "subject:"breitbandigen optische monitoringsystem""

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Begründung und Optimierung eines Dünnschichtmodells zur Prognose optischer Eigenschaften oxidischer Beschichtungen durch in-situ Überwachung des Aufdampfprozesses.

Friedrich, Karen 25 October 2009 (has links) (PDF)
Ein Dünnschichtmodell zur Prognose optischer Eigenschaften oxidischer Beschichtungen wurde entwickelt. Dies dient zur Simulation von Beschichtungsprozessen unter Berücksichtigung prozesstypischer Abscheidefehler. In Betracht gezogen werden dabei Schwankungen in der Schichtdicke und den optischen Konstanten für jede virtuell abzuscheidende Schicht, wobei eine Stategie entwickelt wurde, die Eingangsdaten für die Simulation experimentell zu ermitteln. Der Vergleich mit durchgeführten Beschichtungsprozessen dient zur Verifikation der Simulation.
Beschichtungserfolg
Dünnschichtoptik
Oszillatormodell
Schwingquarz
breitband optisches Monitoriersystem
ddc:530
Beschichtung
Computersimulation
Oberflächenveredelung
2

Begründung und Optimierung eines Dünnschichtmodells zur Prognose optischer Eigenschaften oxidischer Beschichtungen durch in-situ Überwachung des Aufdampfprozesses.

Friedrich, Karen 28 September 2009 (has links)
Ein Dünnschichtmodell zur Prognose optischer Eigenschaften oxidischer Beschichtungen wurde entwickelt. Dies dient zur Simulation von Beschichtungsprozessen unter Berücksichtigung prozesstypischer Abscheidefehler. In Betracht gezogen werden dabei Schwankungen in der Schichtdicke und den optischen Konstanten für jede virtuell abzuscheidende Schicht, wobei eine Stategie entwickelt wurde, die Eingangsdaten für die Simulation experimentell zu ermitteln. Der Vergleich mit durchgeführten Beschichtungsprozessen dient zur Verifikation der Simulation.
info:eu-repo/classification/ddc/530
ddc:530
Beschichtung
Computersimulation
Oberflächenveredelung
Beschichtungserfolg
Dünnschichtoptik
Oszillatormodell
Schwingquarz
breitband optisches Monitoriersystem

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