Šiame darbe buvo tirtas srovės pernešimo mechanizmas plonose oksido plėvelėse,t.y. SiO-Al, Al-SiO2-Al, Al-Al2O3-Al ir p/Si-Ta2O5-Al. Tuo tiklu buvo eksperimentiškai išmatuotos srovės stiprio temperatūrinės priklausomybės, esant įvairių įtampų vertėms, taip pat voltamperinės charakteristikos plačiame temperatūrų intervale ir nustatytas barjero aukščio (aktyvacijos energijos) kitimas nuo įtampos ir temperatūros. Eksperimentiniai rezultatai lyginami su teorinėmis elektronų tunelinių šuolių tikimybės priklausomybėmis nuo elektrinio lauko stiprio ir temperatūros. / The conduction mechanisms in SiO-Al, Al-SiO2-Al, Al-Al2O3-Al and p/Si-Ta2O5-Al structures has been investigated. In this way there were observed the current dependences of voltages by various temperature values, also the current dependence of temperatures by various valtage values and an activation energy dependence from voltage and temperature. The experimental data have been compared with the teorical tunneling probabilities depending on the strength of the electric field and temperature. The obtained experimental lnI(T) at various aplied voltage is in a good agreement with the theoretical ln W(T) dependences. After the analysis of the measurment data it was shown that the tunneling mechanism is prevailing in the region of strong fields and low temperature. Also it has been observed that the energy activation decreased when of the values of applied voltage is increased and increased when of the values of applied temperature is increased. The observed dependence of barrier height on the voltage established for the I(T, U) characteristics are also explained by the phonon stimulated tunneling mechanism.

Per paskutinį dešimtmetį anglies nanostuktūros – amorfinės anglies plėvelės, fulerenai, o ypač nanovamzdeliai patraukė daugelio tyrėjų dėmesį. Šios struktūros yra daug žadančios puslaidininkių pramonėje, dėl galimybių prietaisų miniatiūrizavimui. Šiuo metu nanotechnologija patraukia vis didesnį dėmesį. Neabejojama anglies ir kitų nanostruktūrų išskirtinėmis savybėmis ir bandoma jas pritaikyti įvairiose srityse, tačiau šių struktūrų įdiegimą riboja tai, kad sunku pagaminti norimų struktūrų ir išmatavimų anglies nanodarinius, nes būtent anglies nanodarinių struktūra nulemia šių darinių fizikines savybes, taipogi ir laidumą. / Carbon nanodivices have attracted the attention of many researchers since their discovery last decade. These carbon molecules are tiny tubes with diameters down to 0.4 nm, while their lengths can grow up to a million times their diameter. Using their remarkable electrical properties, simple electronic logic circuits have been built. These structures are promising for the semiconductor industry which is leading the search of miniaturization. They are not only very good conductors, but they also appear to be the yet found material with the biggest specific stiffness, having half the density of aluminium. They also have great active surface. The aim of this work is to analyse the variable range hopping ( VRH ) conduction, which can describe conduction mechanism in carbon films. Also, to find conduction parameters, whish describe the conduction mechanism in carbon films and carbon nanotubes networks. In that work was analysed impacts of photon – assisted tunneling on electrical conductivity in carbon nanotubes networks mechanism.

Chromium thin film on glass substrate is the backbone of lithographic mask production as well as in the manufacturing of precision scale gratings and reticles. The lithographic masks, precision scale gratings and reticles, which are widely used in metrology instruments, motion systems and high precision machining tools ranging from digital calipers to coordinate measuring machines, typically consist of the patterned chromium film on the top of the glass substrate. In proportion to the development of such systems and devices, as a rule, high quality is requested altering the requirements for chromium thin films. This work aims to develop thin films with low surface roughness and improved scratch/wear resistance as compared to conventional chromium thin films. It covers – the systematic study of substrate surface preparation methods for improved chromium thin film adhesion to substrate; properties of chromium thin films deposited on glass using different physical vapor deposition techniques; investigation of diamond-like carbon (DLC) films and DLC-polymer composites on chromium thin films; and development of novel chromium composite films. The systematic study showed that soda–lime–silica float glass substrate surface activation and contamination removal by O2 plasma treatment process and wet chemical processing with NH4OH and H2O2 in H2O solution can effectively improve chromium thin film adhesive bonding to the substrate. It was determined that two-step thermal deposition... [to full text] / Plona chromo plėvelė ant stiklo pagrindo yra pagrindinis litografinių kaukių, precizinių optinių liniuočių ir limbų gamybos komponentas, nes plėvelėje formuojami didelės skiriamosios gebos topografiniai piešiniai. Šie piešiniai yra plačiai naudojami moderniausiuose mikro- ir nanotechnologijų procesuose, įvairiuose metrologiniuose instrumentuose, judesio sistemose, precizinio tikslumo medžiagų apdirbimo staklėse, fotoelektriniuose linijinių ir kampinių poslinkių matavimo keitikliuose. Tokių sistemų ir įrenginių technologinis progresas kelia naujus aukštos kokybės reikalavimus plonoms chromo plėvelėms. Šiame darbe buvo siekiama sumažinti chromo plėvelių paviršiaus šiurkštumą bei pagerinti jų mechanines savybes (atsparumą įbrėžimams/dilimui). Disertacija apima stiklo (naudojamo litografinių kaukių, precizinių optinių liniuočių ir limbų gamyboje) paviršiaus paruošimo metodų efektyvumo sisteminę studiją, skirtingais fizikiniais metodais nusodintų plonų chromo plėvelių bei apsauginių deimanto tipo anglies (DLC) ir DLC-polimero kompozicinių plėvelių savybių tyrimą, o taip pat naujų chromo kompozicinių plėvelių sukūrimą. Sisteminiai tyrimai parodė, kad plonos chromo plėvelės adheziją su silikatiniu plukdytuoju stiklu labiausiai pagerina apdorojimas deguonies jonų plazmoje ir cheminis paviršiaus paruošimas amonio hidroksido ir vandenilio peroksido vandeniniame tirpale. Nustatyta, kad dviem žingsniais termiškai garintos plonos chromo plėvelės, po pirmo garinimo jas apdorojant... [toliau žr. visą tekstą]

Modification of the properties of solid state structures, used for gas sensing is important task in making detection and measurement systems of volatile chemical compounds. These properties depend on material, inner structure and interaction with gas atmosphere. In hybrid materials (solid-biomolecular) biochemical recognition plays important role in gas sensing mechanism. In this work the methodologies of the SPM was applied for characterization of the local point and local area properties in the gas sensitive MO films with the nanoscaled thickness that can be used for nanosystems and hybrid materials in novel types of chemical detectors. In this dissertation morphology and physical properties of metal oxide films with thickness from a few to about 50 nm was investigated and described a relationship between the gas response and film thickness. It was experimentally shown that effects of external influence on the properties of the surface nanostructures can be described by the specific characteristics of the scanning probe spectroscopy displaying the dependences of the probe contact electric current on both the probe potential and the probe pressing force. An original method based on the SPM probe controlled electrical current was proposed for the formation of nanosystems with various electrical properties on the surfaces of thin MO films. / Kryptingas kietojo kūno darinių, naudojamų išorinio dujų poveikio detekcijai, savybių keitimas yra vienas iš aktualiausių uždavinių, sprendžiamų kuriant lakiųjų cheminių junginių poveikio atpažinimo ir matavimo sistemas. Šias savybes lemia darinių medžiaga, jų struktūra bei sąveikos su dujine aplinka ypatumai, kurie hibridiniuose dariniuose iš kietojo kūno ir biomolekulių gali būti lemiami dar ir biocheminiu atpažinimu. Šiame darbe tiriami dujoms jautrūs hibridiniai dariniai ir nanosistemos, integruotos metalo oksido plėvelėse, Skenuojančio zondo mikroskopijos (SZM) metodais. Disertacijoje susieti itin plonų (<30-50 nm) SnOx sluoksnių varžos atsako į dujas bei elektrinių savybių ypatumai su sluoksnių morfologija, priklausančia nuo auginimo sąlygų ir trukmės. Eksperimentiškai įrodyta, jog SZM lokalinių srovių tyrimai, priklausomai nuo matavimo parametrų, leidžia atskirai aprašyti technologiškai keičiamas dujoms jautrių darinių charakteristikas ir tik nanosistemose vykstančius procesus, kurie, kai kuriais atvejais, gali būti stebimi ir tipiškuose dujoms jautrių darinių taikymuose. Sukurtas originalus metodas, tinkantis nanostruktūroms metalo oksidų paviršiuje formuoti bei tų struktūrų elektrinėms savybėms keisti. Skirtingai nuo literatūroje žinomo paviršiaus nanooksidinimo, pritaikyto formuoti cheminiam poveikiui atsparias dangas, mūsų metodas leidžia formuoti įvairaus elektrinio laidumo nanostruktūras metalo oksidų paviršiuje.

Kryptingas kietojo kūno darinių, naudojamų išorinio dujų poveikio detekcijai, savybių keitimas yra vienas iš aktualiausių uždavinių, sprendžiamų kuriant lakiųjų cheminių junginių poveikio atpažinimo ir matavimo sistemas. Šias savybes lemia darinių medžiaga, jų struktūra bei sąveikos su dujine aplinka ypatumai, kurie hibridiniuose dariniuose iš kietojo kūno ir biomolekulių gali būti lemiami dar ir biocheminiu atpažinimu. Šiame darbe tiriami dujoms jautrūs hibridiniai dariniai ir nanosistemos, integruotos metalo oksido plėvelėse, Skenuojančio zondo mikroskopijos (SZM) metodais. Disertacijoje susieti itin plonų (< 30-50 nm) SnOx sluoksnių varžos atsako į dujas bei elektrinių savybių ypatumai su sluoksnių morfologija, priklausančia nuo auginimo sąlygų ir trukmės. Eksperimentiškai įrodyta, jog SZM lokalinių srovių tyrimai, priklausomai nuo matavimo parametrų, leidžia atskirai aprašyti technologiškai keičiamas dujoms jautrių darinių charakteristikas ir tik nanosistemose vykstančius procesus, kurie, kai kuriais atvejais, gali būti stebimi ir tipiškuose dujoms jautrių darinių taikymuose. Sukurtas originalus metodas, tinkantis nanostruktūroms metalo oksidų paviršiuje formuoti bei tų struktūrų elektrinėms savybėms keisti. Skirtingai nuo literatūroje žinomo paviršiaus nanooksidinimo, pritaikyto formuoti cheminiam poveikiui atsparias dangas, mūsų metodas leidžia formuoti įvairaus elektrinio laidumo nanostruktūras metalo oksidų paviršiuje. / Modification of the properties of solid state structures, used for gas sensing is important task in making detection and measurement systems of volatile chemical compounds. These properties depend on material, inner structure and interaction with gas atmosphere. In hybrid materials (solid-biomolecular) biochemical recognition plays important role in gas sensing mechanism. In this work the methodologies of the SPM was applied for characterization of the local point and local area properties in the gas sensitive MO films with the nanoscaled thickness that can be used for nanosystems and hybrid materials in novel types of chemical detectors. In this dissertation morphology and physical properties of metal oxide films with thickness from a few to about 50 nm was investigated and described a relationship between the gas response and film thickness. It was experimentally shown that effects of external influence on the properties of the surface nanostructures can be described by the specific characteristics of the scanning probe spectroscopy displaying the dependences of the probe contact electric current on both the probe potential and the probe pressing force. An original method based on the SPM probe controlled electrical current was proposed for the formation of nanosystems with various electrical properties on the surfaces of thin MO films.