選択横方向成長を用いた低転位厚膜アルファ酸化ガリウムの成長に関する研究

Description

京都大学 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第23209号 / 工博第4853号 / 新制||工||1758(附属図書館) / 京都大学大学院工学研究科電子工学専攻 / (主査)教授 藤田 静雄, 教授 川上 養一, 教授 木本 恒暢 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DGAM

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1. http://hdl.handle.net/2433/263670
2. 14301甲第23209号
3. 10.14989/doctor.k23209
4. 14301

Tags

α-Ga2O3

選択横方向成長

二重選択横方向成長

貫通転位

エッチング

500

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/263670
Date	23 March 2021
Creators	河原, 克明
Contributors	Kawara, Katsuaki, カワラ, カツアキ
Publisher	Kyoto University, 京都大学
Source Sets	Kyoto University
Language	Japanese
Detected Language	Japanese
Type	doctoral thesis, Thesis or Dissertation
Rights	学位規則第9条第2項により要約公開, 許諾条件により要約は2022-03-22に公開