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Si-ULSIデバイス用Cu配線の低抵抗化と信頼性向上

Kyoto University (京都大学) / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第16798号 / 工博第3519号 / 新制||工||1532(附属図書館) / 29473 / 京都大学大学院工学研究科材料工学専攻 / (主査)教授 白井 泰治, 教授 酒井 明, 教授 杉村 博之 / 学位規則第4条第1項該当

Identiferoai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/157529
Date26 March 2012
Creators小濱, 和之
Contributors白井, 泰治, 酒井, 明, 杉村, 博之, Kohama, Kazuyuki, コハマ, カズユキ
Publisher京都大学 (Kyoto University), Kyoto University
Source SetsKyoto University
LanguageJapanese
Detected LanguageUnknown
TypeDFAM, Thesis or Dissertation
Formatapplication/pdf

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