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STUDIES ON THE FABRICATION OF VERTICAL INTEGRATED MEMS DEVICES / 縦方向に集積化されたMEMSデバイス作製の研究

Kyoto University (京都大学) / 0048 / 新制・論文博士 / 博士(工学) / 乙第12493号 / 論工博第4047号 / 新制||工||1503(附属図書館) / 28243 / (主査)教授 平尾 一之, 教授 横尾 俊信, 教授 田中 勝久 / 学位規則第4条第2項該当

Identiferoai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/126817
Date24 September 2010
CreatorsOba, Masatoshi
Contributors平尾, 一之, 横尾, 俊信, 田中, 勝久, 大場, 正利, オオバ, マサトシ
Publisher京都大学 (Kyoto University), 京都大学
Source SetsKyoto University
LanguageEnglish
Detected LanguageUnknown
TypeDFAM, Thesis or Dissertation
Formatapplication/pdf

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