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Charakterisierung und Optimierung von Diffusionsbarrieren auf der Basis metallischer Oxidschichten / Characterization and optimization of diffusion barriers based on metallic oxide films

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1. http://hdl.handle.net/11858/00-1735-0000-0006-B435-0
2. urn:nbn:de:gbv:7-webdoc-1212-6
3. webdoc-1212

Identifer	oai:union.ndltd.org:uni-goettingen.de/oai:ediss.uni-goettingen.de:11858/00-1735-0000-0006-B435-0
Date	11 December 2001
Creators	Pinnow, Cay-Uwe
Contributors	Samwer, Konrad Prof. Dr.
Source Sets	Georg-August-Universität Göttingen
Language	German
Detected Language	German
Type	doctoralThesis
Format	application/pdf
Rights	http://webdoc.sub.gwdg.de/diss/copyrdiss.htm