Das dreistufige Flüssigsilicierverfahren (LSI) stellt eine Methode dar, siliciumcarbidbasierte faserverstärkte Keramiken herzustellen. Ausgangspunkt ist ein faserverstärkter Kunststoff, der über Pyrolyse (Konvertierung des Matrixpolymers in Kohlenstoff) und Silicierung (Siliciuminfiltration und Reaktion zu Siliciumcarbid) keramisiert wird. In der vorliegenden Arbeit werden die Matrix mittels der verwendeten Matrixpolymere (Matrixdesign) und das Faser/Matrix-Interface durch das Aufbringen von Faserbeschichtungen (Interfacedesign) definiert gestaltet. Die in der Arbeit eingesetzten Matrixpolymere beeinflussen durch eine unterschiedliche Poren- und Rissbildung in der Kohlenstoffmatrix die Siliciuminfiltration und die damit verbundene Siliciumcarbidbildung. Die Matrixpolymere erzeugen einerseits eine C-SiC-Dualphasenmatrix, wie diese bei den C/C-SiC-Verbunden angestrebt wird. Andererseits kann eine weitestgehend einphasige SiC-Matrix eingestellt werden, welche für die Herstellung von SiC/SiC-Verbunden interessant ist. Bei diesen Verbundwerkstoffen ist eine zusätzliche Faserbeschichtung entscheidend, um die Faser/Matrix-Bindung zu reduzieren und die Fasern vor dem Siliciumangriff während der Herstellung zu schützen. Als Faserbeschichtung werden eine BNx-Schicht und eine SiNx-Schicht entwickelt, die in einer BNx/SiNx-Doppelschicht kombiniert werden. Die Schichtherstellung erfolgt mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD) auf einem kommerziellen SiC-Fasergarn (Tyranno SA3). Die amorphe BNx-Schicht ist innerhalb des Fasergarnes sehr homogen. Dahingegen besitzt die amorphe SiNx-Schicht einen Gradient in der Schichtdicke sowie in der chemischen Zusammensetzung. Bei der thermischen Auslagerung bleibt die BNx-Schicht stabil. Die SiNx-Schicht kristallisiert und es bilden sich Poren und Siliciumausscheidungen innerhalb der Schicht. Zudem entstehen teilweise Risse und Schichtabplatzungen. Weitere alternative Schichtkonzepte werden vorgeschlagen. / The liquid silicon infiltration (LSI) process is used to produce silicon carbide (SiC) based fiber reinforced ceramics and consists of three stages. Starting point is a fiber reinforced plastic, which is ceramized by means of pyrolysis (conversion of the matrix polymer to carbon) and siliconization (silicon infiltration and reaction to form silicon carbide). In the present work, the matrix and the fiber/matrix interface are designed by utilizing special matrix polymers and fiber coatings, respectively. The used matrix polymers lead to different pore and crack formation in the carbon matrix affecting the liquid silicon infiltration and the silicon carbide formation. The polymers not only create a dual phase C-SiC matrix, which is aspired for the production of C/C-SiC composites, but also form a single phase SiC matrix favorable for the SiC/SiC composite production. An additional coating of the fibers for these composite materials is crucial to reduce the fiber/matrix bonding and to protect the fibers from corrosive silicon attack. Separate BNx and SiNx single coatings are developed, which are combined to a double coating. The coating process is realized by chemical vapor deposition (CVD) on a commercial SiC fiber yarn (Tyranno SA3). The amorphous BNx coating is very uniform within the yarn, whereas the amorphous SiNx coating is characterized by a gradient regarding the layer thickness as well as the chemical composition. During the high temperature heat treatment the BNx coating remains stable. The SiNx coating crystallizes and pores as well as silicon precipitations are formed. Moreover, the coating partially ruptures. In this work, some additional alternative coating concepts are also proposed.

Ces travaux concernent la mise au point d'un procédé de synthèse de couches minces à basse température d'un matériau diélectrique à forte conductivité thermique pour la passivation de composants HEMT GaN hyperfréquence de puissance. A l'heure actuelle, les performances des composants HEMT (High Electron Mobility Transistor) GaN, bien que très supérieures aux performances des HEMT GaAs, sont directement limitées par la résistance thermique du dispositif. L'intégration d'un matériau de passivation à forte conductivité thermique devrait permettre de diminuer la résistance thermique des composants et d'accroître leurs performances. Le procédé magnétron a été choisi pour sa compatibilité avec les contraintes de température imposées par les technologies de la microélectronique. Notre étude s'est orientée sur l'optimisation de la croissance de films minces de nitrure (AlN et BN) et leur caractérisation structurale par DRX, FTIR, SAED et HRTEM. Le procédé de dépôt a été caractérisé par sonde de Langmuir et analyses OES. Dans le cas de l'AlN, nous avons mis en évidence l'effet prépondérant de la configuration du champ magnétique sur la qualité structurale des films. Un tel contrôle du procédé a permis d'obtenir une croissance épitaxiale de l'AlN sur AlGaN. Les propriétés thermiques des films ont été déterminées grâce au développement d'une méthode de mesure originale bien adaptée à la caractérisation des couches minces. Celle-ci nous a permis de mettre en évidence la corrélation entre les valeurs de conductivité thermique et les caractéristiques des films. In fine, une conductivité thermique de 170 W.K-1.m-1 a été obtenue pour les films d'AlN.

Pour maintenir leur compétitivité, les industries du semi-conducteur doivent être en mesure de produire des circuits intégrés en technologies avancées, avec des temps de cycle de plus en plus courts et à des coûts raisonnables. Un des axes d’amélioration réside dans le traitement des défaillances des équipements de production tenus responsables de plus de 50%des rejets produits. Cette thèse se fixe comme objectif de contribuer au développement d’une boucle réactive partant d’une dérive produit à la mise en place d’une solution appropriée tout en assurant un meilleur compromis entre disponibilité des équipements, coûts d’exploitation, qualité et compétitivité du produit. Joignant l’expertise humaine et les événements réels, nous nous sommes proposé ici de développer une méthodologie générique permettant de construire un modèle d’estimation du comportement des équipements de production (Equipment Health Factor EHF) à partir d’un raisonnement mathématique centré sur un formalisme probabiliste. L’approche a été amenée à sa validation expérimentale sur des outils, à base de réseaux Bayésiens, que nous avons développés. Les résultats obtenus amènent des éléments de décision permettant à l’industriel d’intervenir au plus tôt pour envisager par exemple de maintenir l’équipement avant qu’il n’ait dérivé. Cette thèse a été préparée dans le cadre du projet européen IMPROVE en collaboration avec STMicroelectronics, Lfoundry et Probayes / Today, the semiconductor industry must be able to produce Integrated Circuit (IC) withreduced cycle time, improved yield and enhanced equipment effectiveness. Besides thesechallenges IC manufacturers are required to address the products scrap and equipment driftsin a complex and uncertain environment which otherwise shall severely hamper the maximumproduction capacity planned. The objective of this thesis is to propose a generic methodologyto develop a model to predict the Equipment Health Factor (EHF) which will define decisionsupport strategies on maintenance tasks to increase the semiconductor industry performance.So, we are interested here to the problem of equipment failures and drift. We propose apredictive approach based on Bayesian technique allowing intervene early to maintain, forexample, the equipment before its drift. The study presented in this thesis is supported by theIMPROVE European project

High Entropy Alloy (HEA) is a class of construction steels based on the mixing of five or more elements in approximately equimolar ratios. Despite the ambiguity of their future use, HEAs represent a significantly new group of construction materials that are currently receiving a great deal of attention. Single-phase HEAs fail when used at elevated tempera-tures. The improvement of their high-temperature resistance was achieved by introducing a dispersion of oxides Al2O3 and Y2O3. To generalize the positive effect of dispersions on the mechanical properties at elevated temperatures, particles of a similar nature were cho-sen. These were dispersed particles of nitrides: hardness-incompatible AlN and hardness-compatible BN. The particles were evenly distributed inside the alloys by mechanical al-loying and compacted by SPS (Spark Plasma Sintering). The new structural alloy reached a density higher than 96.5 % and brought an increase in yield strength at room tempera-ture of up to 67 % and 40 % at elevated temperatures, while maintaining a homogeneous distribution of input powders.

Background Abnormal renal hemodynamic responses to salt-loading are thought to contribute to salt-sensitive (SS) hypertension. However, this is based largely on studies in anesthetized animals, and little data are available in conscious SS and salt-resistant rats. Methods and Results We assessed arterial blood pressure, renal function, and renal blood flow during administration of a 0.4% NaCl and a high-salt (4.0% NaCl) diet in conscious, chronically instrumented 10- to 14-week-old Dahl SS and consomic SS rats in which chromosome 1 from the salt-resistant Brown-Norway strain was introgressed into the genome of the SS strain (SS.BN1). Three weeks of high salt intake significantly increased blood pressure (20%) and exacerbated renal injury in SS rats. In contrast, the increase in blood pressure (5%) was similarly attenuated in Brown-Norway and SS.BN1 rats, and both strains were completely protected against renal injury. In SS.BN1 rats, 1 week of high salt intake was associated with a significant decrease in renal vascular resistance (-8%) and increase in renal blood flow (15%). In contrast, renal vascular resistance failed to decrease, and renal blood flow remained unchanged in SS rats during high salt intake. Finally, urinary sodium excretion and glomerular filtration rate were similar between SS and SS.BN1 rats during 0.4% NaCl and high salt intake. Conclusions Our data support the concept that renal vasodysfunction contributes to blood pressure salt sensitivity in Dahl SS rats, and that genes on rat chromosome 1 play a major role in modulating renal hemodynamic responses to salt loading and salt-induced hypertension.

F1FO-ATPsynthase is a key enzyme in energy metabolism of the cell. Its deficit is caused usually by mutations in two structural genes MT-ATP6 and MT-ATP8 encoded by the mitochondrial DNA or in nuclear genes ATPAF2 and TMEM70 encoding the biogenesis factors and structural gene ATP5E. Deficiency of the F1FO-ATPsynthase leads to progressive and serious phenotype affecting organs with high energy demands. The first symptoms usually occurs in neonatal age and prognosis of the disease is fatal. Mutations in these genes result in both qualitative and quantitative defects of the F1FO-ATPsynthase. The study of molecular bases of mitochondrial disorders including F1FO-ATPsynthase deficiency uses large number of biochemical and molecular-genetic methods to determine a proper diagnosis which is essential for the symptomatic therapy and genetic counselling in affected families. The aim of the diploma thesis was to characterise the F1FO-ATPsynthase deficiency in isolated mitochondria from the lines of cultured cells by the determination oligomycin- sensitive ATP-hydrolytic activity of the F1FO-ATPsynthase, enzymatic activities of the respiratory chain complexes and to analyse changes in the steady-state levels of the representative subunits and whole complex of the F1FO-ATPsynthase in comparison with controls. 3...