Este trabalho explora a caracterização e aplicação de plasmas gerados em reatores do tipo Reactive Ion Etching (RIE) e Hollow Cathode Reactive Ion Etching (HCRIE), no processo de corrosão de silício. Para melhor controle do processo, o sistema de injeção de gases nos reator foi automatizado, gerando plasmas com fluxo de gases em modo continuo ou intermitente (método Bosh). Os experimentos realizados neste trabalho foram divididos em três partes: 1) caracterização de plasmas de SF6, Ar, O2 e CH4 e sua mistura no reator RIE em modo continuo de gás, 2) caracterização de plasmas (SF6 + CH4) e corrosão de silício no reator RIE em modo intermitente de gás e 3) caracterização de plasmas de SF6, O2 e CF4 no reator HCRIE em modo continuo de gás. Os experimentos foram realizados modificando a química dos gases, fluxo de gás, potência de Radio Frequência (RF), diferentes valores de comprimento de onda e duty cycle para o modo intermitente. As análises dos plasmas foram realizadas por espectrometria de massa e espectroscopia óptica de emissão. As amostras de silício foram analisadas através de microscopia eletrônica de varredura (MEV). Através dos estudos em modo continuo no reator RIE foi observada alta produção de flúor atômico, chegando à densidade de 4,8x1020 cm-3 para plasmas de SF6 + CH4. No caso do reator HCRIE a densidade de F chegou a 4,8x1020 cm-3 para plasmas de SF6 + O2. No modo intermitente de gases, foi observada uma mudança significativa no comportamento das pressões parciais de SF5+ e CH4+ com o regime de plasma estabelecido. O comportamento da pressão parcial de SiF3+ mostra que ambos os processos (corrosão e deposição) estão ocorrendo em alternância, nesta etapa foram obtidos processos de corrosão anisotrópicos, nas seguintes condições de duty cycle: 60%, 40% e 20% para SF6, sendo a condição de 60% de SF6 e 40 % de CH4 que possibilitou a maior taxa de corrosão, com valor de 0,6 m/min.

Submitted by Maike Costa (maiksebas@gmail.com) on 2017-06-21T12:11:13Z No. of bitstreams: 1 arquivototal.pdf: 5280829 bytes, checksum: 081debefa3f10398a1c9461855ba5b9d (MD5) / Made available in DSpace on 2017-06-21T12:11:14Z (GMT). No. of bitstreams: 1 arquivototal.pdf: 5280829 bytes, checksum: 081debefa3f10398a1c9461855ba5b9d (MD5) Previous issue date: 2015-07-29 / Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior - CAPES / Two series based on the structure of 2,5-diaryl-1,3,4-oxadiazole were synthesized, 2-aryl-5-methyl-1,3,4-oxadiazole (1a,h) and 2-aryl-5- trifluoromethyl-1,3,4-oxadiazole (2a,e), and their biological activity were investigated. These compounds had their chemical structures characterized with spectrometric methods such as IR, 1H and 13C NMR. To characterize the compound 2-(2-acetoxyphenyl)-5-methyl-1,3,4- oxadiazole, it was necessary the use of two-dimensional NMR techniques (COSY, HMQC and HMBC) and his structural arrangement was analyzed by the crystallographic X-ray technique. Mass spectrometric investigation, unprecedented for this class of compound, was also performed. All compounds were tested against eight strains of Staphylococcus aureus, Escherichia coli and also against strains of Aspegilles fumigatus, Aspegilles flavus, Candida albicans, Candida albicans and Candida tropicalis. The results showed that compounds 1b, 1c, 1e, 1g, 2a and 2c, produced inhibition on the growth of species of bacteria and fungi, where the MIC was set between 512 to 1224 mg mL-1. While the compounds 1d, 1e, 1f, 1h, 2a and 2b were inactive, the compounds 1d, 1e, 1f, 1h, 2a and 2b reported a broad spectrum. / Duas séries do heterocíclico 1,3,4-oxadiazol foram sintetizadas, a 2-aril-5-metil-1,3,4-oxadiazol (1a, h) e a 2-aril-5-trifluormetil-1,3,4- oxadiazol (2a, e), obtendo cinco moléculas inéditas (1a, 1e, 2a, 2c e 2e). Todas as moléculas obtidas foram caracterizados pelas técnicas espectroscópicas de 1D de RMN 1H e 13C, IV e realizado o estudo inédito de espectroscopia de Massas. Para a caracterização do composto 2-(2- acetoxifenil)-5-metil-1,3,4-oxadiazol se fez necessário a utilização das técnicas bidimensionais de RMN COSY, HMQC e HMBC, bem como seu arranjo estrutural foi analisado pela técnica cristalográfica de Raios-X. Os oxadiazóis obtidos foram avaliadas frente a oito cepas de Staphylococcus aureus e Escherichia coli e oito cepas, incluindo, Aspegilles fumigatus ATCC 16913, Aspegilles flavus, Candida albicans, Candida albicans e Candida tropicalis. Os ensaios para avaliações da atividade biológica dos produtos foram realizados pela técnica de microdiluição em meio líquido, onde foi determinada a concentração Inibitória Mínima (CIM). Os resultados mostraram que os compostos (1b), (1c), (1e), (1g), (2a) e (2c), produziram inibição sobre o crescimento de espécies de bactérias e de fungos, onde a CIM ficou estabelecida entre 512 a 1224 mg/ml. Enquanto que os compostos 1d, 1e, 1f, 1h, 2a e 2b se apresentaram inativos. Já os compostos 1d, 1e, 1f, 1h, 2a e 2b relataram um amplo espectro.

[pt] Este estudo trata de processos da fragmentação molecular de água no estado gasoso pelo impacto de feixes energéticos de fótons, H+ e Li3+. As seções de choque absolutas de ionização foram obtidas para os feixes de Li3+, H+ e de fótons. As seções de choque do canal de captura eletrônica, obtidas para o feixe de Li3+, foram investigadas visando determinar as diferenças na fragmentação molecular induzidas pelo processo de transfêrencia de carga ao projétil. O intervalo de energia utilizado nas medidas com o feixe de Li3+ foi de 750 a 5800 keV, enquanto para o feixe de prótons foi selecionada a regiao de energia entre 300 até 2000 keV, mantendo uma faixa de velocidades similar. No caso dos fótons, as fragmentações foram medidas no intervalo de energia de 38 a 170 eV. Para a obtenção dos valores de seção de choque de ionização e de captura, foi aplicado um método para a correção do número de eventos simples (íon + neutro) e pares iônicos. A partir desse método foi possível avaliar a influência desta correção nos valores de seção de choque de ionização. A partir dos valores de frações de fragmentação por impacto de prótons foram desenvolvidas curvas teóricas de seção de choque para produção dos pares iônicos H++OH+ e H++O+. Os resultados obtidos de seção de choque de ionização de pares iônicos foram determinados a partir de resultados teóricos de seções de choque de produção dos fragmentos OH+, O+ e H+ disponíveis na literatura. Os resultados foram comparados e concordam com os valores experimentais para impacto de prótons, obtidos neste trabalho, e com dados para impacto de elétrons disponíveis na literatura. / [en] This study aims to contribute for the understanding of the water molecule multiple ionization by impact of photons, protons and Li3+ ions. The technique selected for such research is Time-of-Flight Spectroscopy of the ions produced as a consequence of the molecular dissociation. Absolute and partial ionization cross sections are obtained for impact with each of these three projectiles. For Li3+ beam, absolute and partial capture cross sections are also obtained. The energy range employed was 38-170 eV for photons beams, 300-2000 keV for H+ beams and 750 up to 5800 keV for Li3+ beams. Corrections for ionization cross section determination are usually necessary. Methods for this were developed and applied to the current data. Values for these corrections are presented and discussed. The obtained results are compared with literature data, exhibiting unexpected features. As an example, the production rates of OH+ and H+ fragments by two beams (photons and electrons) having a very different nature are very similar behavior. The data from the water molecule fragmentation by H+ beam enabled the determination of fragmentation factors. The knowledge of these factors made possible to calculate, using a method developed in this work and also theoretical data from literature based on production data of OH+, O+ and H+, new theoretical curves concerning pair production (H+ + OH+ and H+O+).