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Construção de um monocromador tipo seya-ninioka: aplicação ao estudo do espectro rotacional do ion molecular do nitrogenio

Silva, Mauro Rogerio da January 1988 (has links)
Dissertação (mestrado) - Universidade Federal de Santa Catarina. Centro de Ciencias Fisicas e Matematicas / Made available in DSpace on 2012-10-16T01:26:00Z (GMT). No. of bitstreams: 0Bitstream added on 2016-01-08T16:08:13Z : No. of bitstreams: 1 79148.pdf: 1499736 bytes, checksum: e36a5b06dc90f016d9be61e27e2c3c90 (MD5) / A temperatura rotacional do íon molecular do nitrogênio N2+(B2Sm+) é obtida por espectroscopia de emissão, medindo as intensidades relativas das linhas do primeiro sistema negativo N2+(B2Sm+X2Sg+). Para se obter o espectro rotacional construímos um monocromador de varredura linear em comprimento de onda, usando uma rede côncava de difração (1200 linhas/mm), de resolução superior a 12000, suficiente para resolver o espectro rotacional do primeiro sistema negativo do íon molecular do nitrôgenio. A descarga de nitretação de ferro, em regime anormal é feita com nitrogênio puro, a pressão de 1 torr, tensão e corrente da ordem de 590 V e 4mA, e a amostra sendo o catálogo da descarga. A temperatura obtida nestas condições é de 600K. É mostrado que a temperatura rotacional é igual a temperatura do gás e os resultados experimentais permitem afirmar que a temperatura rotacional é também igual a temperatura da amostra tendo assim um método de medida da temperatura da amostra, em uma descarga de nitretação de ferro, sem necessitar do uso do termopar.
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Pré-ionização e diagnóstico espectroscópico de plasmas gerados e confinados por campos magnéticos : theta-pinch

Honda, Roberto Yzumi 22 July 1980 (has links)
Orientador: Helmut Karl Bockelmann / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin / Made available in DSpace on 2018-09-26T18:15:00Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Honda_RobertoYzumi_M.pdf: 2897598 bytes, checksum: 767831d18946944a21ba24f4b4fe631f (MD5) Previous issue date: 1980 / Resumo: Foi construído um sistema q-pinch de 2kJ de energia provido de sistemas auxiliares de pré-ionização. Efetuou-se um estudo experimental e teórico do plasma produzido (plasma de Hélio) e do sistema q-pinch em si, utilizando-se para tal um modelo teórico já desenvolvido (referência l91) e de três técnicas experimentais distintas. a) Sondas Magnéticas b) Espectroscopia no Visível (OMA) c) Fotografia ultra rápida (IMACON) Com as sondas magnéticas foram determinados os parâmetros elétricos do sistema. O diagnóstico do plasma gerado foi efetuado através do estudo do perfil da linha l0 = 4686 Å (HeII), utilizando-se os Alargamentos Doppler e Stark para a determinação da temperatura iônica e da densidade eletrônica respectivamente. Obteve-se a evolução temporal destes parâmetros com a utilização do OMA (Optical Multichannel Analyzer) operando no modo pulsado. Utilizou-se a câmera especial lMACON para o estado da dinâmica do sistema q -pinch e observou-se instabilidades na coluna do plasma gerado. Obteve-se uma boa concordância entre os valores teóricos e experimentais / Abstract: A q-pinch system has been constructed with preheating devices with a total energy of 2 kJ. During this experiment a He Plasma was studied using the following three different diagnostics. a) Magnetic Probes b) Visible Spectroscopy using the Optical Multichannel Analyzer -OMA c) Image Converter Camera. The experimental results have been checked with existing theoretical models. The electrical characteristics of the system were determined with the magnetic probe. The Doppler and Stark broadening effects of the l 0 = 4686 Å (HeII) have been used to determine the ionic temperature and electronic density respectively. The time evolution of these parameters was obtained using the OMA. The dynamics of the plasma were observed by high speed photography. Instabilities in the plasma columm have been observed. Good agreement between the experimental and theoretical values was obtained / Mestrado / Física / Mestre em Física
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Reconexão de linhas magneticas e formação da configuração reversa de campo

Kayama, Milton Eiji 26 September 2018 (has links)
Orientador: Helmut Karl Bockelmann / Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica / Made available in DSpace on 2018-09-26T18:20:22Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Kayama_MiltonEiji_D.pdf: 5536651 bytes, checksum: 2a4fabce98ccec64ad3f1c3a6fcdba86 (MD5) Previous issue date: 1987 / Resumo: A reconexão de tinhas magnéticas e a formação da configuração reversa de campo (FRC) foi estudada num theta-pincn sem espelhos magnéticos. O plasma foi diagnosticado por sondas magnética múltiplas, sonda diamagnética compensada (sonda de fluxo excluído), espectroscopia na região do visível e fotografia ultra-rápida. Foi observado um valor da resistividade efetiva no plasma maior que o predito classicamente. O tempo de reconexão das linhas magnéticas foi menor que 0,2 microseg; esta reconexão rápida mostrou boa concordância com modelos teóricos que associam este fenômeno às instabilidades de ruptura (tearing) e de Krusk al- Schwartzschild / Abstract: The reconnection of magnetic field Iines and the formation of field reversed configuration (FRC) were studied on a mirrorless theta-pinch. The applied diagnostics were multiple magnetic probe, compensated diamagnetic probe (excluded flux probe). visible spectroscopy and fast photograph. We observe an high, value on the effective plasma resistivity, greater than the classic Spitzer resistivity value. A fast reconnection was also observed, in a time less than 0.2 microsec; this phenomena is in good agreement with theoretical models which associate it to the resistive tearing mode instability and the Kruskal- Schwartzschild instability / Doutorado / Mestre em Engenharia Elétrica
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Construção e diagnóstico de um maçarico de plasma para corte

Vicente, Luiz Carlos 16 April 1985 (has links)
Orientador: Aruy Marotta / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin / Made available in DSpace on 2018-07-17T12:44:53Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Vicente_LuizCarlos_M.pdf: 2101644 bytes, checksum: 68c1a22beb4780709f600ff034f54bf3 (MD5) Previous issue date: 1985 / Resumo: Foi construído um maçarico de plasma para corte e uma fonte de potência, onde realizamos corte de chapas inox de até 16,0 mm de espessura, com velocidade de corte de 0,5 m/min e potência relativamente baixa (~ 8 KW), usando somente argônio como gás de trabalho. Foram feitos estudos qualitativos sobre a entrada do gás em vórtice, pressão dinâmica e também dos diversos problemas encontrados no maçarico de plasma construído, como por exemplo, arco duplo, instabilidade da coluna, etc. Foi estimada a temperatura central da coluna de plasma (T0 ~ 11,4x103 K), usando parâmetros de corte. Fizemos um estudo do comportamento da coluna de plasma, quando esta é confinada por um canal refrigerado, usando a equação de Elenbaas-Heller. A distribuição radial da temperatura na coluna de plasma foi determinada usando espectroscopia. Para isso, construímos um sistema óptico espectral de alta resolução espacial (da ordem de 37,5 mm) e um anodo rotatório. Sendo a coluna não homogênea, foi necessário utilizar a Transformada de Abel para inverter a intensidade lateral medida experimentalmente, para a intensidade radial das linhas espectrais observadas. A temperatura foi determinada pela razão de intensidades relativas das linhas 4300 Þ e 4259 Þ do átomo de argônio, supondo que o plasma se encontra em equilíbrio termodinâmico local. A temperatura central obtida foi de 6x103 K. Essa temperatura, que é quase a metade da estimada acima se deve a que a potência elétrica empregada aqui foi aproximadamente a metade da empregada no corte / Abstract: A plasma-torch for cutting metals and a power supply have been built and are working reliably. The plasma-torch is cutting 16 mm thickness stainless steel with a velocity of 0.5 m/min, using electrical power of 8 KW and argon as working gas. During this work we identified and solved problems like double arc, low dynamic pressure and instabilities which prevented the plasma-torch of working well. We performed calculations using a simple model described by the Elenbaas-Heller equations which showed some of the important qualitative features of the plasma-torch. In order to make spectroscopic measurements a rotatory anode was projected and build. Using this anode, the plasma torch and an optical set-up with a spatial resolution of 37.5 mm we measured the temperature profile of the argon plasma jet. For this purpose we assumed L.T.E. and optically thin plasma conditions and the temperature was found through the relative intensities of argon lines. The center temperature was 6,000 K / Mestrado / Física / Mestre em Física
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Desenvolvimento de espectroscopia de plasma induzido por laser para aplicações em análise de patrimônio cultural: estudo de moedas de Um Cruzeiro de 1945 e Mil Réis de 1939 / DEVELOPMENT OF LASER INDUCED BREAKDOWN SPECTROSCOPY OF ONE \"CRUZEIRO\" FROM 1945 AND THOUSAND \"RE¶IS\" FROM 1939 FOR APPLICATIONS ON CULTURAL HERITAGE ANALYSIS: STUDY OF COINS

Amaral, Marcello Magri 12 September 2008 (has links)
Neste trabalho foi desenvolvida a t¶ecnica de Espectroscopia de Plasma Induzido por Laser aplicada µa an¶alise de patrim^onio hist¶orico atrav¶es do estudo das moedas de Um Cruzeiro de 1945 e Mil R¶eis de 1939, utilizando um laser de Nd:YAG operando em modo de chaveamento Q. Foram determinadas as melhores condi»c~oes de energia do pulso laser e tempos de atraso entre o pulso e a aquisi»c~ao dos espectros e de integra»c~ao do sinal espectrosc¶opico para aplica»c~ao da t¶ecnica em patrim^onio hist¶orico. Para garantir a reprodutibilidade da t¶ecnica, a temperatura de excita»c~ao eletr^onica, a temperatura de ioniza»c~ao e a densidade eletr^onica do plasma foram determinadas. O dano causado µas moedas foi avaliado utilizando a t¶ecnica de Tomogra¯a por Coer^encia ¶ Optica. Utilizando o m¶etodo livre de calibra»c~ao, as concentra»c~oes elementares foram determinadas, por¶em a concentra»c~ao determinada para o Alum¶³nio, presente no material de forja, estava abaixo de seu valor nominal e do valor determinado atrav¶es da t¶ecnica de An¶alise por Ativa»c~ao Neutr^onica. Uma investiga»c~ao da fra»c~ao de ioniza»c~ao revelou que a fra»c~ao de ioniza»c~ao presente no plasma estava acima do valor esperado por ioniza»c~ao t¶ermica para as temperaturas atingidas, indicando a presen»ca de processos de ioniza»c~ao n~ao t¶ermicos, que in°uenciavam nas medidas do Alum¶³nio. Foi realizada uma corre»c~ao na concentra»c~ao do elemento, utilizando a fra»c~ao de ioniza»c~ao devido aos processos de ioniza»c~ao n~ao t¶ermicos, e os novos valores de concentra»c~ao determinados obtiveram uma grande concord^ancia com os valores nominal e determinados por An¶alise por Ativa»c~ao Neutr^onica. ii / In this work, the technique of laser induced breakdown spectroscopy was developed for application in cultural heritage analysis in order to study coins of one \\Cruzeiro\" from 1945 and a thousand \\R¶eis\" from 1939, using a Nd:YAG laser operating in Q-switched mode. It had been determined the best conditions of laser and detection features such as pulse energy, delay time between the pulse and the acquisition of spectra and integration time of the spectroscopic signal for the technique applied to cultural heritage. The electronic excitation temperature, the ionization temperature and the electronic density of the plasma had been determined in order to assure the technique reproductivity. The actual damage to the coins was evaluated using the technique of Optical Coherence Tomography. Using the calibration free method, elemental composition had been determined, however the concentration for Aluminum, forge material element , was below of its nominal value and the Neutron Activation Analysis value. An investigation of the ionization fraction disclosed that the ionization fraction of present ionization in the plasma was above of the expected value for thermal ionization at measured temperatures, indicating the presence of non thermal ionization processes, in°uencing the values for Aluminum concentration. A correction in the ionic concentration of the element was performed using the ionization fraction for non thermal processes and the new concentration values had an agreement with the nominal values and the ones determined by Neutron Activation Analysis. i
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Desenvolvimento de espectroscopia de plasma induzido por laser para aplicações em análise de patrimônio cultural: estudo de moedas de Um Cruzeiro de 1945 e Mil Réis de 1939 / DEVELOPMENT OF LASER INDUCED BREAKDOWN SPECTROSCOPY OF ONE \"CRUZEIRO\" FROM 1945 AND THOUSAND \"RE¶IS\" FROM 1939 FOR APPLICATIONS ON CULTURAL HERITAGE ANALYSIS: STUDY OF COINS

Marcello Magri Amaral 12 September 2008 (has links)
Neste trabalho foi desenvolvida a t¶ecnica de Espectroscopia de Plasma Induzido por Laser aplicada µa an¶alise de patrim^onio hist¶orico atrav¶es do estudo das moedas de Um Cruzeiro de 1945 e Mil R¶eis de 1939, utilizando um laser de Nd:YAG operando em modo de chaveamento Q. Foram determinadas as melhores condi»c~oes de energia do pulso laser e tempos de atraso entre o pulso e a aquisi»c~ao dos espectros e de integra»c~ao do sinal espectrosc¶opico para aplica»c~ao da t¶ecnica em patrim^onio hist¶orico. Para garantir a reprodutibilidade da t¶ecnica, a temperatura de excita»c~ao eletr^onica, a temperatura de ioniza»c~ao e a densidade eletr^onica do plasma foram determinadas. O dano causado µas moedas foi avaliado utilizando a t¶ecnica de Tomogra¯a por Coer^encia ¶ Optica. Utilizando o m¶etodo livre de calibra»c~ao, as concentra»c~oes elementares foram determinadas, por¶em a concentra»c~ao determinada para o Alum¶³nio, presente no material de forja, estava abaixo de seu valor nominal e do valor determinado atrav¶es da t¶ecnica de An¶alise por Ativa»c~ao Neutr^onica. Uma investiga»c~ao da fra»c~ao de ioniza»c~ao revelou que a fra»c~ao de ioniza»c~ao presente no plasma estava acima do valor esperado por ioniza»c~ao t¶ermica para as temperaturas atingidas, indicando a presen»ca de processos de ioniza»c~ao n~ao t¶ermicos, que in°uenciavam nas medidas do Alum¶³nio. Foi realizada uma corre»c~ao na concentra»c~ao do elemento, utilizando a fra»c~ao de ioniza»c~ao devido aos processos de ioniza»c~ao n~ao t¶ermicos, e os novos valores de concentra»c~ao determinados obtiveram uma grande concord^ancia com os valores nominal e determinados por An¶alise por Ativa»c~ao Neutr^onica. ii / In this work, the technique of laser induced breakdown spectroscopy was developed for application in cultural heritage analysis in order to study coins of one \\Cruzeiro\" from 1945 and a thousand \\R¶eis\" from 1939, using a Nd:YAG laser operating in Q-switched mode. It had been determined the best conditions of laser and detection features such as pulse energy, delay time between the pulse and the acquisition of spectra and integration time of the spectroscopic signal for the technique applied to cultural heritage. The electronic excitation temperature, the ionization temperature and the electronic density of the plasma had been determined in order to assure the technique reproductivity. The actual damage to the coins was evaluated using the technique of Optical Coherence Tomography. Using the calibration free method, elemental composition had been determined, however the concentration for Aluminum, forge material element , was below of its nominal value and the Neutron Activation Analysis value. An investigation of the ionization fraction disclosed that the ionization fraction of present ionization in the plasma was above of the expected value for thermal ionization at measured temperatures, indicating the presence of non thermal ionization processes, in°uencing the values for Aluminum concentration. A correction in the ionic concentration of the element was performed using the ionization fraction for non thermal processes and the new concentration values had an agreement with the nominal values and the ones determined by Neutron Activation Analysis. i
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Uso da valorização eletrotérmica para a introdução de amostras no ICP-MS /

Pozebon, Dirce January 1998 (has links)
Tese (Doutorado) - Universidade Federal de Santa Catarina, Centro de Ciências Físicas e Matemáticas. / Made available in DSpace on 2012-10-17T04:43:11Z (GMT). No. of bitstreams: 0Bitstream added on 2016-01-08T23:34:32Z : No. of bitstreams: 1 144934.pdf: 32563715 bytes, checksum: 3564897cb195e86f17a01dcda83cc6f3 (MD5)
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Utilização de plasmas em pressão atmosférica para modificação de polímeros biocompatíveis /

Lopes, Bruno Bellotti. January 2013 (has links)
Orientador: Nilson Cristino da Cruz / Banca: Munemasa Machida / Banca: Walter Ruggeri Waldman / O Programa de Pós-Graduação em Ciência e Tecnologia de Materiais, PosMat, tem caráter institucional e integra as atividades de pesquisa em materiais de diversos campi da Unesp / Resumo: Neste trabalho foi desenvolvido um equipamento para produção de plasmas em pressão atmosférica. Empregando esse sistema, o polímero PLDLA (poli(L-Co,L ácido lático)) e sua blenda com o tri(carbonato de metileno) (poli(L-Co-D,L-Co TMC)) foram hidrofilizados em diferentes condições de tempo e potência de plasma. Seus ângulos de contato foram investigados anteriormente e após cada exposição ao plasma para se avaliar o efeito do tratamento. Espectroscopia de emissão óptica foi empregada para se caracterizar o plasma. A exposição por 10 segundos a um plasma excitado com 100 W, reduziu os ângulos de contato do PLDLA em 32,5% e da blenda PLDLA/TMC em 87%. No final do trabalho, apenas para ilustrar a capacidade de modificação de superfícies, diversas materiais como cobre, policloreto de vinila (PVC) acrílico, entre outros, foram tratados e seus ângulos de contato analisados / Abstract: In this work, an equipment to produce atmospheric pressure plasma was developed. With this system, polymer PLDLA (poli(L-Co-D, L latic acid)) and its blend with trimethylene carbonate (poli(L-Co_D,L-Co TMC) were hydrophilizated in different time conditions and plasma power. The contact angle were investigated before and after the plasma exposure to evaluate the treatment effect. Optical emission spectroscopy was used to characterize the plasma. Exposure for 10 seconds to a plasma excited with 100 W, reduced contact angles of PLDLA in 32,5% and the blend PLDLA/TMC at 87%. At the end of this work, just to illustrate the capacity of surface modification different kinds of materials as capper, Polyvinyl chloride (PVC), acrylic, and others, were treated and its contact angle were analyzed / Mestre
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Utilização de plasmas em pressão atmosférica para modificação de polímeros biocompatíveis

Lopes, Bruno Bellotti [UNESP] 22 January 2013 (has links) (PDF)
Made available in DSpace on 2014-06-11T19:30:19Z (GMT). No. of bitstreams: 0 Previous issue date: 2013-01-22Bitstream added on 2014-06-13T20:40:14Z : No. of bitstreams: 1 lopes_bb_me_bauru.pdf: 1573590 bytes, checksum: 90b878237fc0d7d1c3c8916c81516aa3 (MD5) / Neste trabalho foi desenvolvido um equipamento para produção de plasmas em pressão atmosférica. Empregando esse sistema, o polímero PLDLA (poli(L-Co,L ácido lático)) e sua blenda com o tri(carbonato de metileno) (poli(L-Co-D,L-Co TMC)) foram hidrofilizados em diferentes condições de tempo e potência de plasma. Seus ângulos de contato foram investigados anteriormente e após cada exposição ao plasma para se avaliar o efeito do tratamento. Espectroscopia de emissão óptica foi empregada para se caracterizar o plasma. A exposição por 10 segundos a um plasma excitado com 100 W, reduziu os ângulos de contato do PLDLA em 32,5% e da blenda PLDLA/TMC em 87%. No final do trabalho, apenas para ilustrar a capacidade de modificação de superfícies, diversas materiais como cobre, policloreto de vinila (PVC) acrílico, entre outros, foram tratados e seus ângulos de contato analisados / In this work, an equipment to produce atmospheric pressure plasma was developed. With this system, polymer PLDLA (poli(L-Co-D, L latic acid)) and its blend with trimethylene carbonate (poli(L-Co_D,L-Co TMC) were hydrophilizated in different time conditions and plasma power. The contact angle were investigated before and after the plasma exposure to evaluate the treatment effect. Optical emission spectroscopy was used to characterize the plasma. Exposure for 10 seconds to a plasma excited with 100 W, reduced contact angles of PLDLA in 32,5% and the blend PLDLA/TMC at 87%. At the end of this work, just to illustrate the capacity of surface modification different kinds of materials as capper, Polyvinyl chloride (PVC), acrylic, and others, were treated and its contact angle were analyzed
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Investigações sobre o processo de deposição de filmes em plasmas de organometálico

Cruz, Nilson Cristino da 21 July 1995 (has links)
Orientador: Mario Antonio Bica de Moraes / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica "Gleb Wataghin" / Made available in DSpace on 2018-07-21T04:10:24Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Cruz_NilsonCristinoda_M.pdf: 3027472 bytes, checksum: f72eb8359e6b11c8f45656d0edb1a514 (MD5) Previous issue date: 1995 / Resumo: Filmes finos foram depositados por Polimerização a Plasma a partir de descargas de misturas de tetrametilsilano (TMS), He, Ar e O2 e TMS, He, Ar e N2. Foram estudados tanto os filmes quanto as descargas nas quais eles foram depositados. Três sistemas de deposição foram utilizados. No primeiro deles, o plasma era gerado pela aplicação de um campo elétrico contínuo entre dois eletrodos circulares e paralelos montados em uma câmara de vácuo de vidro Pyrex. O segundo reator, empregado apenas nas descargas com oxigênio, era do tipo magnetron. Nele, os plasmas também eram mantidos por corrente contínua, entretanto, um campo magnético, resultante de imãs montados dentro do catodo, era sobreposto ao campo elétrico aplicado. No terceiro reator, o sistema rf, os plasmas eram excitados por campos de radiofreqüência (40 MHz) aplicados a dois eletrodos circulares internos a uma câmara de aço inox. Os plasmas foram estudados por espectroscopia de emissão óptica empregando-se o método actinométrico, com argônio como actinômetro. Foram investigadas as concentrações relativas de várias espécies químicas no plasma em função da proporção de O2 ou N2 nas descargas. As principais espécies reativas observadas nas descargas com oxigênio foram CO, CH, OH, H, 0 e H2 enquanto que nas descargas com nitrogênio observou-se CN, CH, H e N2. Empregando-se um perfilômetro, determinou-se as taxas de deposição dos filmes para os três sistemas em função da proporção de O2 e N2. A estrutura molecular dos filmes depositados em descargas com diferentes proporções de O2 ou N2 foi investigada por espectrofotometria infravermelha de transmissão. Isto revelou que a introdução de oxigênio e nitrogênio na descarga resulta na incorporação destes elementos no material depositado formando ligações como, por exemplo, C=O, O-H e Si-O-Si e N-H e Si-NH-Si. Além disto, observou-se que a densidade destas ligações nos filmes é dependente da proporção de oxigênio ou nitrogênio na alimentação. Através de espectros de transmissão UV-VISíVEL foram determinados o índice de refração e o coeficiente de extinção dos filmes. Com isto observou-se, por exemplo, que, no sistema rf, quanto maior a proporção de oxigênio na alimentação, menor é o coeficiente de extinção dos filmes depositados. Além disto, constatou-se que os índices de refração destes filmes decrescem de 1,63 até 1,54 quando a proporção de oxigênio na alimentação aumenta de 0 a 25% / Abstract: Thin films were deposited by plasma polymerization from plasmas of mixtures of tetramethylsilane (TMS), He and Ar with oxygen and with nitrogen. Both the discharges and the films were studied. Three deposition systems were used. In the first, a direct current plasma was maintained between circular parallel-plate electrodes mounted in a Pyrex reactor. In the second, used only for the discharges containing oxygen, permanent magnets mounted within the cathode were also used to intensify the discharge in a so-called magnetron system. In the third, a radiofrequency (RF) system, the plasmas were excited by RF fields (40 MHz) applied to two intemal circular electrodes within a stainless-steel chamber. The plasmas were studied by optical emission spectroscopy using the actinometric method, with argon employed as the actinometer. The relative concentrations of various chemical species in the plasma were studied as a function of the proportion of oxygen or nitrogen in the feed. The principal reactive species observed in the plasmas fed with oxygen were CO, CH, OH, H, O and H2, while in the plasmas fed nitrogen, CN, CH, H and N2 were observed. Using a profilometer, the deposition rates of the films produced in the three systems were determined as a function of the proportion of oxygen or nitrogen in the feed. Transmission infrared spectrophotometry was used to investigate the molecular structure of films deposited in plasmas fed different proportions of oxygen or nitrogen. This revealed that the introduction of oxygen or nitrogen into the plasma results in the incorporation of these elements into the deposited material, forming groups such as C=O, O-H and Si-O-Si, and N-H and Si-NH-Si. In addition, it was observed that the density of these groups in the films depends on the proportion of oxygen or nitrogen in the feed. From transmission ultraviolet-visible spectra the refractive index and extinction coefficient of the films were determined. Thus it was observed that, for example, for the RF system, as the proportion of oxygen in the feed was increased the extinction coefficient was reduced. In addition, the refractive index of these films fell from 1.63 to 1.54 as the proportion of oxygen in the feed was increased from 0 to 25% / Mestrado / Física / Mestre em Física

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