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Optimierung des XRD 3000PTS für Diffraktometrie und Reflektometrie an dünnen Schichten / Optimizing of the XRD 3000PTS for diffractometry and reflectometry on thin films

Kehr, Mirko 13 May 2004 (has links) (PDF)
Thin films become more and more important in science and industry. The main objective of this work was the expanding of the measurement capabilities of the XRD 3000PTS to the field of thin films. The success of the changes was documented by maesurements on TiC thin films. / Dünne Schichten gewinnen in Forschung und Industrie zunehmend an Bedeutung. Ziel der Arbeit war es deshalb, den Einsatzbereich des vorhandenen Diffraktometers XRD 3000PTS auf Untersuchungen an dünnen Schichten zu erweitern. Der Erfolg der Veränderungen konnte mit Messungen an einer TiC Probenserie bestätigt werden.
XRD 3000PTS
ddc:530
Dünne Schicht
Reflektometrie
Röntgendiffraktometer
Röntgendiffraktometrie
Streifender Einfall
Titancarbid
2

Optimierung des XRD 3000PTS für Diffraktometrie und Reflektometrie an dünnen Schichten

Kehr, Mirko 30 September 2003 (has links)
Thin films become more and more important in science and industry. The main objective of this work was the expanding of the measurement capabilities of the XRD 3000PTS to the field of thin films. The success of the changes was documented by maesurements on TiC thin films. / Dünne Schichten gewinnen in Forschung und Industrie zunehmend an Bedeutung. Ziel der Arbeit war es deshalb, den Einsatzbereich des vorhandenen Diffraktometers XRD 3000PTS auf Untersuchungen an dünnen Schichten zu erweitern. Der Erfolg der Veränderungen konnte mit Messungen an einer TiC Probenserie bestätigt werden.
info:eu-repo/classification/ddc/530
ddc:530
Dünne Schicht
Reflektometrie
Röntgendiffraktometer
Röntgendiffraktometrie
Streifender Einfall
Titancarbid
XRD 3000PTS

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