Techn. Univ., Diss.--Ilmenau, 1993.

Zugl.: Hamburg, Helmut-Schmidt-Universiẗat, Diss.

Zugl.: Paderborn, Univ., Diss., 2008

Techn. Universiẗat, Diss., 2001--Berlin.

Universiẗat, Diss., 2001--Bremen.

Techn. Hochsch., Diss., 2002--Aachen.

University, Diss., 2005--Heidelberg.

Universiẗat, Diss., 2003--Bremen.

Die vorliegende Arbeit befasst sich mit dem Entwurf eines monolithisch integrierten 60-GHz-Empfängerschaltkreises in einer modernen Silizium-Germanium-Halbleitertechnologie mit 190 GHz maximaler Transitfrequenz. Drei für die Entwicklung von MMIC-Empfängerschaltkreisen äußerst wichtige Prinzipien liegen dem Entwurf zugrunde: die Optimierung von Rauschverhalten und Bandbreite sowie die Betrachtung der maximal erreichbaren Ausgangsleistung. Diese Prinzipien werden detailliert untersucht und typische Schaltungen dahingehend analysiert. Insbesondere wird eine Methode vorgestellt, die es erlaubt, die maximale Ausgangsleistung für die häufig verwendete Kaskodestufe vorherzusagen. Dabei handelt es sich um eine Erweiterung der Methode der Lastkurve nach Cripps. Weiterhin werden Ansätze zur Modellierung von Leitungen vorgestellt und ihre Verwendbarkeit für die unterschiedlichen Simulationsarten diskutiert. Der Hauptteil der Arbeit behandelt den Entwurf des Empfängerschaltkreises, welcher aus einem breitbandigen Eingangsverstärker mit niedrigem Rauschen und einstellbarer Verstärkung, einem Leistungsteiler, einem direkten Quadratur-Abwärtsmischer, einem Basisbandverstärker, einem Treiberverstärker für das Lokaloszillatorsignal sowie einem 90°-Phasenschieber besteht. Zusätzlich sind verschiedene Referenzstrom- und -spannungsquellen im Schaltkreis integriert. Die gefertigte Schaltung wurde messtechnisch vollständig charakterisiert, und alle Ergebnisse sind wiedergegeben. Der gemessene Mischgewinn beträgt bis zu 40 dB bei einer Bandbreite von mehr als 15 GHz. Die Zweiseitenbandrauschzahl liegt bei moderaten 7,5 dB. Die gemessene Phasen- und Amplitudenabweichung sind geringer als 5° und geringer als 0,15 dB. Die Gesamtschaltung nimmt 360 mW Leistung aus einer 2,2-V-Spannungsquelle auf. Insbesondere die Bandbreite des Empfängerschaltkreises stellt eine Verbesserung des aktuellen Standes der Technik dar. / The present work studies the development of a monolithic 60 GHz receiver IC in a modern 190 GHz-fT silicon-germanium semiconductor technology. The design is based on three fundamental principles, which are of great importance for MMIC receiver design: noise optimisation, bandwidth enhancement and output power considerations. Those principles are discussed in detail, and typical circuit examples are comprehensively analysed. Specifically, a method is presented that allows the prediction of output power for the frequently-used cascode stage. This method is an extension of Cripps’ load line theory. Furthermore, modelling approaches for transmission lines and their suitability for various types of simulations are discussed. The main part focuses on the design process of the receiver IC, which consists of a broadband low noise amplifier with variable gain, a power divider, a zero-IF quadrature mixer, a baseband amplifier, an LO driver amplifier and a 90°-phase shifter. Additionally, several reference current and voltage sources are implemented in the IC. The manufactured circuit is characterised in detail, and all measurement results are presented. Over a bandwidth of more than 15 GHz, the measured conversion gain is up to 40 dB with a moderate double sideband noise figure of 7.5 dB. An I/Q imbalance measurement reveals a phase accuracy of better than 5° and an amplitude error of less than 0.15 dB. The total power consumption is 360 mW from a 2.2 V-source. Particularly in terms of bandwidth, the circuit performance exceeds the current state of the art.

Die Studienarbeit beschäftigt sich mit dem Entwurf eines PC-gestützten Prozesssteuermoduls für eine Atomlagenabscheideanlage. Der erste Teil der Arbeit beschäftigt sich mit der Übergangslösung, einem 4-stelligen Abwärtszähler an der alten Prozesssteuereinheit. Im zweiten Teil wird die Neuentwicklung dargestellt, von der Spezifikation über den Schaltungsentwurf bis zur Programmierung der Software. / This student research project is about a PC-based process controller designed for an atomic layer deposition equipment. The first part of the document describes the temporary solution, a 4-digit down counter connected to the old process controller. The second part presents the newly developed controller: the specification, circuit design and software programming.