Magíster en Ciencias de la Ingeniería, Mención Química / Ingeniero Civil Químico / En la actualidad la matriz energética se encuentra dominada por combustibles fósiles, generando problemas en diversos ámbitos. Uno de estos es el efecto negativo que conlleva el uso de energías en base a carbono sobre el medioambiente, principalmente por la emisión de gases de efecto invernadero (GEI) que alteran fuerte y prolongadamente las propiedades de la atmósfera. Siendo el CO_2 uno de los GEI más importantes se hace necesario buscar alternativas para mitigar sus emisiones, y es en este contexto que la reacción de metanación es atractiva. CO_2 + 4H_2 --> CH_4 + H_2O El presente trabajo se enfoca en la preparación y estudio de catalizadores de níquel y cobalto, soportados en circonia con distintas estructuras cristalinas para evaluar su actividad en la producción de metano a partir de dióxido de carbono. Esta reacción provee una vía termodinámicamente favorable para la transformación del CO_2 en un carrier energético de amplio uso, haciendo posible dar un segundo ciclo de vida a un gas abundante en la atmósfera, de bajo costo en sus fuentes y que mayormente se trata como desecho. Se sintetizaron catalizadores de Ni, Co y Rh con variadas cargas de metal y en 3 soportes diferentes (SiO_2, m-ZrO_2 y t-ZrO_2), utilizando como parámetro la densidad superficial de metal d_S (átomos de metal por nm^2 de soporte). Se realizaron diferentes ensayos en los catalizadores para evaluar sus propiedades y actividad catalítica en la reacción, los que incluyen difracción de rayos X, reducción a temperatura programada y pruebas de actividad para obtener las curvas de conversión de CO_2 y selectividad hacia CH_4 en función de la temperatura. Adicionalmente se realizaron pruebas en condiciones de reactor diferencial para obtener las velocidades específicas de consumo de CO_2 a variadas temperaturas, calculando finalmente las frecuencias de recambio de CO_2 (TOF, Turnover Frequencies). En las condiciones estudiadas, los resultados muestran que la actividad catalítica en función de la fase activa sigue el siguiente orden: Rh>>Ni>Co, consistente con la información reportada en literatura. Los catalizadores de Ni, a pesar de tener una actividad menor que aquellos de Rh, pueden resultar comparables a aquellos de metales nobles en condiciones experimentales ligeramente distintas. El uso de circonia como soporte, en cualquiera de sus fases, mejoró sustantivamente la actividad de los catalizadores, aunque se observaron diferencias en pruebas realizadas con bajo tiempo de contacto, donde la fase monoclínica parece ser más activa en la reacción. Se concluye que los catalizadores de Ni y Co soportados en circonia son activos en la reacción de metanación de CO_2, permitiendo la transformación del gas a temperaturas moderadas. Si bien los catalizadores de Rh resultaron ser los más activos en las condiciones utilizadas, los catalizadores Ni/m-ZrO_2 son una alternativa interesante debido a su buena actividad y menor costo.

Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico / In this work we have performed the study of the single vacancy and the induced vacancy in carbon nanotubes by first-principles calculations using the SIESTA code, which solves the Kohn-Sham equations via the local density approach. The induced vacancy formation process was simulated by force application which is enough to break the chemical bonds between a carbon atom and its neighbourhood atoms creating a tube with a vacancy and one carbon atom. This study was done for the (8,O) and (13,O) carbon nanotubes. Concerning the eletronic properties, we have studied the gap modification and the band structures. The tube with a single vacancy presents an unoccupied leve1 inside the gap, associated with the vacancy, an the tube with a induced vacancy present two unoccupied levels inside at the gap, associated with the atom and the vacancy. The formation energies for the single vacancy and the induced vacancy, are 5.96 eV and 5.99 eV, respectively, for the (8,O) tube. For the (13,O) tube the corresponding formation energies are 6.26 eV and 6.48 eV. In order to elucidate the intensity and the order o£ the bonds breaking we have studied the applied forces versus displacement of the atom and an analisys o£ the charge densities at the region where the force is applied is presented. This study allow us to conclude that the chemical bond along the tube axis is broken before the others and a 15nN force is necessary. / Neste trabalho, apresentamos o estudo de vacância simples e vacância induzida em nanotubos de carbono utilizando cálculos de primeiros princípios com o código computacional SIESTA, o qual resolve de forma auto-consistente as equações de Kohn-Sham via a aproximação da densidade local para o termo de exchangecorrelação. O processo de formaqio de vacância induzida foi simulado.via a aplicação de forças capazes de gerar o rompimento das ligações químicas entre um átomo de carbono e seus vizinhos mais próximos, gerando ao final o tubo com vacância e um átomo de carbono separado. Este estudo foi realizado usando os nanotubos de carbono (8,O) e (13,O). Do ponto de vista das propriedades eletrônicas, determinamos neste trabalho como modifica-se o gap dos semicondutores e as respectivas estruturas de bandas. O tubo com vacância simples apresenta um nível desocupado dentro do gap, associado com a vacância, e o tubo com a vacância induzida, apresenta dois níveis desocupados no gap, associados ao átomo e à vacância. As energias de formaçáo obtidas para a vacância simples e para a vacância induzida utilizando o tubo (8,O) foi de 5.96 eV e 5.99 eV, respectivamente. Para o tubo (13,O) as energias de formação obtidas foram de 6.26 eV e 6.48 eV. Para elucidar a intensidade e a ordem de rompimento das ligações fizemos o estudo da força aplicada versus deslocamento do átomo e analisamos a densidade de carga na região de aplicação da força. Este estudo permite concluirmos que a ligação ao longo do eixo do tubo rompe antes que as demais, isto para forças da ordem de 15 nN.

Propone la implementación de una fábrica de producción de anhidrido carbónico en la ciudad de Tacna considerando que se cuenta con un mercado creciente y sin competencia en el lugar. Asimismo, el estudio contempla el consumo cautivo y las facilidades de infraestructura, implementadas por parte del Embotellador Inca Kola. Como objetivo inmediato está el cubrir los mercados de Moquegua y de Puno en la medida de lo posible. Así como, cubrir mediante exportaciones, el mercado de Arica (Chile) y la Paz (Bolivia). Tiene como objetivo final montar la infraestructura metalmecánica de apoyo necesario para la implementación a mediano plazo del Parque Industrial en Tacna, adicionándosele a la proyectada, la de producción de oxígeno acetileno y afines para los mismos mercados a mediano plazo. Es conveniente resaltar que este tipo de industria es de apoyo sectorial y está considerada como de segunda prioridad. / Tesis

Orientador: Ester Maria Danielli Nicola / Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Ciencias Medicas / Made available in DSpace on 2018-08-04T01:07:57Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Passos_CandidaAparecidadaConceicao_D.pdf: 2387494 bytes, checksum: a14f278862f8f92d4e32705dd05f049d (MD5) Previous issue date: 2004 / Resumo: O tratamento de indivíduos portadores de tonsilite crônica caseosa ainda causa discussões. Geralmente os sintomas são retenção de cáseo, tonsilite ou irritação da garganta, halitose, e sensação de corpo estranho que causa grande desconforto a seu portador. Até o momento quando os tratamentos clínicos falham a tonsilectomia é a alternativa convencional. O presente estudo compreende uma adequada revisão de aspectos físicos do laser de CO2, bem como aspectos anatômicos e funcionais das tonsilas palatinas, assegurando a compreensão da técnica desenvolvida para esta tese, utilizando-se laser de CO2. Esta pesquisa será apresentada sob a forma de dois capítulos. No capítulo 1, intitulado ¿Criptólise por coagulação com laser de CO2 em tonsilite crônica caseosa: método conservador e resultados¿, é apresentada um tratamento mais conservador para tonsilite crônica caseosa (CCL), através de aplicação superficial do laser de CO2. Os indivíduos foram submetidos à criptólise com laser de CO2 (CCL), consistindo na utilização de 6W de potência, desfocado, com tamanho de spot 0,22 cm de diâmetro, sobre as bordas das criptas e em varredura sobre toda a superfície tonsilar, variando a velocidade de aplicação do laser de CO2 conforme cada local. Para as bordas das criptas foi utilizado uma velocidade média de 5mm/s, resultando em uma intensidade igual a 54,5 J/cm2, a velocidade utilizada para toda a superfície da tonsila foi 15mm/s, resultando em uma intensidade de 18 J/cm2. Esta técnica produz somente coagulação e desnaturação protéica, principalmente nas bordas das criptas, causando o desaparecimento da retenção do cáseo e dos outros sintomas secund, assim como a preservação do parênquima tonsilar. Neste estudo foram avaliados aspectos clínicos em 31 indivíduos, acompanhados por um período médio de três anos após o final do tratamento. No capítulo 2, intitulado ¿Avaliação histopatológica em biópsias de tonsilas palatinas submetidas a criptólise por coagulação com laser de CO2, para tratamento da tonsilite crônica caseosa¿, um grupo de vinte indivíduos foi submetido à biópsias antes do início e após o término do tratamento. Foram realizadas análises comparativas entre as biópsias iniciais e finais levando-se em consideração possíveis alterações nos centros germinativos, tecido linfóide, fibrose subepitelial e fibrose no parênquima. A análise histopatológica dessas biópsias demonstrou que o laser, quando utilizado em uma adequada densidade de energia, pode resolver os sintomas da afecção, sem causar aumento da fibrose ou diminuição das estruturas linfóides. Conclui-se pelos resultados obtidos nesta tese, que criptólise por coagulação com laser de CO2 (CCL), é uma técnica efetiva para o tratamento da tonsilite crônica caseosa, é de fácil execução em ambiente ambulatorial, sob anestesia tópica, não causa alterações estruturais significativas às tonsilas palatinas / Abstract: The treatment of patients suffering from chronic caseous tonsillitis continues being a debatable issue. The symptoms are usually caseous retention, throat irritation, halitosis, and the sensation of a foreign body and cause great discomfort to the patient. When clinical treatments are unsuccessful, tonsillectomy is the conventional alternative. This study comprehends a review of the physical aspects of CO2 laser, as well as of the anatomical and functional aspects of the palatine tonsils, in order to assure that the CO2 laser techniques developed for this study could be understood. This thesis is composed of two main chapters. The first one, entitled ¿Cryptolysis via coagulation with CO2 laser for chronic caseous tonsillitis: conservatory technique and results¿, it presents a more conservative treatment for chronic caseous tonsillitis (CCT), where a superficial application of the CO2 laser is performed. The patients were submitted to cryptolysis with CO2 laser, with 6W continuous, unfocused, spot size of 0,22 cm diameter on the borders of the crypts and then over the whole tonsil's surface, but varying the velocity of CO2 laser application, according each site. For the borders of the crypts it was used a mean velocity of 5 mm/s, which resulted in an intensity equal to 54,5 J/cm2, for the whole surface the while velocity was 15 mm/s, resulting in an intensity of 18 J/cm2. This technique produces only coagulation and protein denaturation, mainly on the crypts' borders, causing the disappearance of caseous retention and other symptoms, as well as preserving the tonsil parenchyma. In this study thirty-one individuals were followed up as to the clinical aspects for an average of three years after the end of the treatment. In the second chapter, entitled ¿ Histophatological evaluation in biopsies of the palatine tonsils submitted to cryptolysis by coagulation with CO2 laser for treatment of chronic caseous tonsillitis¿, a group of twenty patients was submitted to biopsies before the beginning and at the end of the treatment. A comparative analysis was performed between the initial and the final biopsies taking into consideration possible alterations in germinal centers, lymphoid tissue, sub-epithelial fibrosis and parenchyma fibrosis. The histopathological analysis of these biopsies showed that the laser, used at an adequate energy density, can relieve the symptoms of the disease causing neither increase of the fibrotic content nor decrease of the lymphoid structure. So, from the data obtained in this the thesis, it can be concluded that cryptolysis with CO2 laser is an efficient technique to treat chronic caseous tonsillitis, able to be performed in an ambulatory basis, under local anesthetic, causing no significant morphological alterations to the tonsils / Doutorado / Otorrinolaringologia / Doutor em Ciências Médicas

Orientador : Edmundo da Silva Braga / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação / Made available in DSpace on 2018-08-03T15:09:18Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Pires_RodrigoPorto_M.pdf: 1258247 bytes, checksum: c001115dcb0ffde5c17b3f06417395c5 (MD5) Previous issue date: 2003 / Mestrado

Orientadores : Edison Bittencourt, Antonio Pascoal Del'Arco Junior / Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Quimica / Made available in DSpace on 2018-07-31T19:51:25Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Ferreira_GiltonEsperidiao_D.pdf: 8430937 bytes, checksum: a61db50afe68ec6a300c08fecbd3a1ff (MD5) Previous issue date: 2002 / Resumo: A alta performance térmica e mecânica dos compósitos de carbono reforçados com fibras de carbono (CRFC) tem contribuído para a utilização destes materiais em sistemas aeroespaciais. Entretanto, devido à susceptibilidade à oxidação a temperaturas superiores a 773 K, estudos de processos e avaliações de materiais como aditivos antioxidantes adicionados nos compósitos têm sido, ao longo dos anos, objetos de estudos. O Instituto de Aeronáutica e Espaço (IAE) do Centro Técnico Aeroespacial (CTA) tem desenvolvido estudos visando à utilização de compósitos carbono-carbono como materiais isolantes com o objetivo de tornar reutilizável partes do sistema propulsor utilizado em lançamentos de satélites em órbita terrestre. Como parte destes estudos, o presente trabalho visa obter e caracterizar compósitos carbono-carbono com baixa massa específica aparente e resistência à oxidação até temperaturas de 1273 K. Para atingir o objetivo principal deste trabalho foram utilizadas técnicas de processo e materiais disponíveis de tal forma que o compósito CRFC obtido apresente uma estrutura interna com porosidade uniforme, características isolantes e resistência à oxidação. Este trabalho descreve o processo de obtenção, em escala laboratorial, de compósitos carbono-carbono utilizando boro, silício e a mistura destes dois materiais como aditivos antioxidantes, desenvolvido no Centro Técnico Aeroespacial. Os compósitos obtidos são caracterizados quanto à resistência ao impacto, resistência à oxidação e isolamento térmico dos compósitos obtidos, utilizando-se adaptações de normas específicas de ensaios térmicos e de ensaios ablação. São, ainda, determinadas as correlações entre as características de resistência ao impacto e resistência à oxidação com a massa específica aparente do compósito visando a utilização como ferramenta de projeto / Abstract: Thermal and mechanical performance of carbon fiber reinforced composites (CRFC) have been contributed to the use of these materials in aerospace systems. However, due to the susceptibility to the oxidation in temperatures higher than 773 K, the materials processes and evaluations as antioxidant addictives added in the composites have been, object of studies along the years. The Institute of Aeronautics and Space (IAE) of the Aerospace Technical Center (CTA) has been developed studies seeking the use of carbon-carbon composites as insulating materials with the aim of being used again as parts of the propeller system used in satellites launching in orbit. As part of these studies, the present work seeks to obtain and to characterize carbon-carbon composites with low apparent specific mass and resistance to oxidation in temperatures up to 1273 K. To reach the main objective of this work process techniques and available materials were used in such a way that the CRFC composite obtained shows an internal structure with uniform porosity and insulating characteristic and oxidation resistence. This work describes the obtaining process, in laboratorial scale, of carbon-carbon composites using boron, silicon and a mixture of both materials as antioxidant addictives developed in the Aerospace Technical Center. The composites obtained are characterized as to impact resistance, and to oxidation and thermal isolation resistance of the composites, to which specific standards such as thermal testing and ablation testing were adapted. In addition, corre1ations between impact resistence and oxidation resistence with the apparent specific mass of the composite are determined with the purpose to be used as project tool / Doutorado / Ciencia e Tecnologia de Materiais / Doutor em Engenharia Química

Orientador: Daltro Garcia Pinatti / Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin / Made available in DSpace on 2018-07-31T23:38:53Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Soares_AlvaroGuedes_D.pdf: 2501413 bytes, checksum: c21fb2b6fe74ecb75cc2dfba33be3d14 (MD5) Previous issue date: 2002 / Resumo: O Programa BEM Biomassa - Energia - Materiais é fundamentado na aplicação da ciência e tecnologia de metais refratários para fabricação de reatores químicos para processamento de biomassa. A finalidade do programa é explorar o potencial produtor de biomassa do Brasil, o maior país tropical do planeta, para resolver, de maneira auto-sustentada, dois grandes problemas brasileiros que são a escassez de energia e de matéria-prima para a indústria química. O Programa BEM produz duas "commodities", a Celulignina, um combustível catalítico aplicado para a geração de energia térmica e elétrica, e o Pré-hidrolisado, posteriormente convertido em Furfural, que é precursor de inúmeros produtos químicos. O programa BEM tem como premissa o respeito ao meio ambiente, desenvolvendo processos auto-sustentados, tanto do ponto de vista financeiro, quanto do ponto de vista de recursos naturais e ambientais. A aplicação de carvões ativados tem, então, importância fundamental: carvões ativados são amplamente empregados industrialmente para tratamento da água, efluentes e de emanações gasosas. Carvões ativados especiais, com extremo controle da porosidade a nível molecular, conhecidos como Peneiras Moleculares de Carbono, são empregados na separação de misturas gasosas e possibilitam aumentar o teor de oxigênio do ar atmosférico (tratamento de esgoto, geração de energia por magnetohidrodinâmica - MHD) e a separação do C02 de gás de combustão para posterior compressão, liquefação e comercialização. O CO2 dos gases de combustão de celulignina é quimicamente puro. Esta tese nasceu no contexto do domínio da ciência fundamental destes materiais carbonosos e do aprendizado da tecnologia de fabricação de reatores herméticos de média temperatura e da engenharia de aplicação de plantas de separação de misturas gasosas. É apresentado um novo tratamento baseado no formalismo da química quântica computacional para o estudo de difusão do gases N2, O2 CO2, CO e H2 em peneiras moleculares de carbono. Considera-se um modelo de poro formado por duas superfícies planas paralelas, cada qual constituída por quatro anéis de benzeno condensados, e é calculada a entalpia de formação do sistema poro + gás variando a distância de separação dos planos. Os resultados estão em concordância com resultados experimentais. No processo de pré-hidrólise, o açúcar produzido é expelido da parede celulósica de forma extremamente abrupta: é um processo eruptivo que origina uma macroporosidade nesta parede. A ativação da celulignina com vapor d'água gera carvões ativados com área superficial específica semelhante aos carvões comerciais. Posterior bloqueamento dos poros através da deposição química de vapores provenientes do craqueamento de hidrocarbonetos e nova reativação controlada, resultam em microporosidade seletiva para O2, N2, e C02 em níveis equiparáveis às peneiras moleculares obtidas a partir de carvões minerais. Considerando a simplicidade e baixo custo deste processo, espera-se uma significativa contribuição à tecnologia de separação e purificação de gases / Abstract: The BEM Programme Biomass -Energy -MateriaIs is based on the application of refractory metals science and technology for the manufacturing of chemicals reactors for biomass processing. The subject of the programme is to explore, in a self-sustained way, the potential for biomass production of Brazil, the biggest tropical country of planet, in order to solve two big Brazilian problems that are the scarcity of energy supply and raw materials for the chemical industry. The BEM Programme produces two commodities, the Cellulignin, a catalytic fuel used for thermal and electrical energy generation and the Prehydrolysated, further converted into Furfural, a precursor of several chemical products. The Programme has as a premise the respect to the environment with economic rentability .The application of activated carbons is of fundamental importance: activated carbons are industrially used for treatment of water, liquid effluents and gaseous emissions. Special activated carbons with extreme control of porosity at molecular level, the so called Carbon Molecular Sieves, are used in gas mixture separation, allowing an increasing in the oxygen level of atmospheric air (sludge treatment and magnetohydrodynamics -MHD energy generation). They promote the separation of CO2 of combustion gas for compression, liquefaction and commercia1ization. The CO2 coming from the combustion of cellulignin is chemically pure. sis was born in the context of dominating the fundamental science of carbonaceous materials and learning of manufacturing technology of high temperature hermetic reactors and application engineering of gases plants separation. Its is show a new treatment based on the computational quantum chemistry formalism to study the gas diffusion of N2, O2 CO2, CO at carbon molecular sieves. It is taken a porous model formed by two parallel planar surfaces each one consisting of four condesend benzen rings and it is calculated the enthalpy of formation of the system pore + gas varying the distance between the plans. The results are in agreement with the experimental results. In the prehydrolysis, the sugar product is expelled out of the cellulosic wall by an abrupt way like an eruptive process that origines a macroporosity in this wall. The activation with steam generates an activated carbon with a specific superficial area like the commercials carbons. A subsequent bloking of the porous by chemical vapor deposition derivated from the hydrocarbon craking and a new controlled reactivation result in a selective microporosity for O2, N2 and C02, equivalent to the commercial carbon molecular sieves. Considering the simplicity and low cost of the process it is expected a significant contribution to the technology of gas separation and purification / Doutorado / Física / Doutor em Ciências

Orientador: Eduardo René Pérez González / Banca: Luiz Carlos da Silva Filho / Banca: Gil Valdo José da Silva / O Programa de Pós Graduação em Ciência e Tecnologia de Materiais, PosMat tem carater institucional e integra as atividades de pesquisa em materiais de diversos campi / Resumo: A modificação química do biodiesel tem sido uma proposta interessante para obtenção de diversos compostos oleoquímicos com propriedades e aplicações semelhantes aos derivados do petróleo, com o diferencial de serem obtidos através de rotas limpas e ambientalmente benigmas, utilizando insumos naturais como óleo vegetal e dióxido de carbono, atendendo diversos princípios da Química Verde. Este trabalho têm como proposta realizar uma série de modificações químicas do biodiesel de linhaça, partindo de sua síntese, epoxidação e cicloadição de CO2 para obtenção de epóxidos e carbonatos cíclicos biodegradáveis. O biodiesel de linhaça foi produzido através de catálise com ácido de Lewis (NbCl5) e teve seu teor de insaturação concentrado via purificação com uréia. A epoxidação do biodiesel concentrado teve sua cinética acompanhada pelo progresso do valor de oxigênio oxirano além de ser estudada via GC-FID e GC-MS. Os carbonatos cíclicos foram obtidos pela cicloadiação de CO2 supercrítico nos epóxidos catalisada por TEAB sem solvente e mostraram-se bons reagentes frente a diversas aminas para formação de carbamatos (uretanos). Espectros de FT-IR e RMN (1H e 13C) identificaram as transformações de todos os principais grupos funcionais comprovando êxito nas modificacões químicas propostas / Abstract: The chemical modification of biodiesel has been an interesting proposal for obtaining various oleochemical compounds with similar porperties and aplications to petroleum derivates, with the difference of being obtained through clean and environmentally benign routes, using natural feedstock as vegetables oil and carbon dioxide, according to several principles of Green Chemistry. This work proposes to conduct a series of chemical modifications of flaxseed biodiesel, from its synthesis, epoxidation and cycloaddtion of CO2 to obtain biodegradable epoxides and cyclic carbonates. The flaxseed biodiesel was produced through Lewis acid catalysis (NbCl5) and had its unsaturation content concentrated by urea purification. The epoxidation of the concentrated biodiesel had its kinetics monitored by the evolution of oxygen oxirane value and studied by GC-FID and GC-MS. The cyclic carbonates were obtained from the solventless cycloaddition of supercritical CO2 in the opoxides catalyzed by TEAB, and have shown good reactants for a wide range of amines to from its respective carbamates (urethanes). FT-IR and NMR (1H and 13C) spectra identified the transformatios of all maior functional groups proving successful in the proposed chemical modifications / Mestre

Orientador: Edmundo da Silva Braga / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação / Made available in DSpace on 2018-07-23T20:25:40Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Balachova_OlgaViatcheslavovna_M.pdf: 2958862 bytes, checksum: 8693c34cf426bfd4cb65244b0ad8cce0 (MD5) Previous issue date: 1998 / Resumo: Os filmes finos de carbono amorfo hidrogenado (a-C:H) foram fabricados através da técnica de deposição química a partir da fase de vapor assistida por plasma de rádio freqüência ( RF ), em um reator de placas paralelas, utilizando como fonte gasosa o metano ( CH4). Os filmes de carbono (a-C:H) foram depositados sobre substratos de silício ( Si ), óxido de silício ( Si02 ) e quartzo de espessuras diferentes. Foram obtidas as curvas características da taxa de deposição dos filmes de carbono em função da potência de RF e da espessura do substrato. Foi estudado o comportamento dos filmes de carbono (a-C:H) no plasma de oxigênio ( 02 ) e tetrafluoreto de carbono (CF 4 ) e foram obtidas as curvas de taxas de corrosão correspondentes. Também como resultado das experiências foram obtidas as curvas de taxa de corrosão de Si e Si02 no plasma de CF 4. Foram determinados também os valores da taxa de corrosão do fotorresiste Az 5214 no plasma de O2 e CF 4 / Mestrado / Eletrônica, Microeletrônica e Optoeletrônica / Mestre em Engenharia Elétrica

Orientador : Chhiu-Tsu Lin / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Quimica / Made available in DSpace on 2018-07-17T01:42:26Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Zaniquelli_MariaElisabeteDarbello_M.pdf: 6333413 bytes, checksum: 02b12003e95b709a9708ceeaf55c5fcb (MD5) Previous issue date: 1982 / Mestrado