Gegenstand der Arbeit ist die Entwicklung statistischer Verfahren zur Schätzung der Anzahl der Versetzungen in multikristallinem Silizium. Die erste Methode benutzt Ideen aus der Theorie der Keim-Korn-Modelle, speziell die sphärische Kontaktverteilungsfunktion. Die zweite Methode geht von einer summarischen Modellierung der Intensitätsfunktion aus. Beide Verfahren liefern, wie erwartet, größere Werte als die bisherigen, von Physikern entwickelten, Schätzer. Der Wachstumsprozess der Versetzungen im Siliziumblock während der Kristallisation wird durch deterministische Wachstumsprozesse mit zufälligen Stoppzeiten modelliert. Sie führen zu Pareto- und Weibullverteilungen für die Anzahl der Versetzungen in Gebieten fester Größe. Diese Modelle wurden auch erfolgreich in der statistischen Analyse der Größe von Waldbränden, der Anzahlen von Galaxien in kubischen Zellen des Universums und der Teilchengrößenverteilungen in einem verfahrenstechnischen Prozess benutzt.

Gegenstand der Arbeit ist die Entwicklung statistischer Verfahren zur Schätzung der Anzahl der Versetzungen in multikristallinem Silizium. Die erste Methode benutzt Ideen aus der Theorie der Keim-Korn-Modelle, speziell die sphärische Kontaktverteilungsfunktion. Die zweite Methode geht von einer summarischen Modellierung der Intensitätsfunktion aus. Beide Verfahren liefern, wie erwartet, größere Werte als die bisherigen, von Physikern entwickelten, Schätzer. Der Wachstumsprozess der Versetzungen im Siliziumblock während der Kristallisation wird durch deterministische Wachstumsprozesse mit zufälligen Stoppzeiten modelliert. Sie führen zu Pareto- und Weibullverteilungen für die Anzahl der Versetzungen in Gebieten fester Größe. Diese Modelle wurden auch erfolgreich in der statistischen Analyse der Größe von Waldbränden, der Anzahlen von Galaxien in kubischen Zellen des Universums und der Teilchengrößenverteilungen in einem verfahrenstechnischen Prozess benutzt.