91 |
Att "bygga begrepp" inom naturvetenskap : lärarnas spontana tankarKarlsson, Isabel, Nilsson Brunnerud, Christina January 2006 (has links)
<p>Bakgrund: I kursplanen för år 5 finns både strävans- och uppnåendemål inom naturvetenskapens tre områden \2013 kemi, fysik och biologi. Det finns studier som visar att den naturvetenskapliga undervisningen är obefintlig inom vissa områden för de lägre åldrarna. Detta beror på att pedagogerna för de lägre åldrarna inte är förtrogna med kemi och fysik själva och därför undviker ämnet samt dess begrepp. Syfte: Syftet är att undersöka hur lärarna för klass 1-3 spontant tänker kring begreppen fast och flytande form samt gasform, ljudets utbredning och magnetism samt vilka arbetsformer de kan tänka sig att arbeta med inom respektive område samt vilken inställning de har till att etablera begrepp hos barnen. Metod: Vi har valt att göra en kvalitativ studie genom att intervjua åtta lärare, för att få fram lärarnas spontana tankar. Vi har en fenomenologisk analys, som innebär att man beskriver människors upplevelser av fenomen. I analysen har vi använt oss av meningskategorisering och meningskoncentrering. Vi har sökt efter likheter och olikheter i materialet för att kunna sammanställa materialet. Resultat: Alla lärarna hade tankar och idéer om arbetsformer inom fast och flytande form samt gasform, där vatten kunde användas i alla dessa former. Att ge tankar åt begreppet \201Dljudets utbredning\201D var inte alls lika enkelt för alla. Däremot var det lättare att ge förslag på arbetsformer kring ljud. Alla lärare beskrev någon form av magnetism. Däremot gav inte alla lärarna förslag på arbetsformer, mer än att generellt arbeta praktiskt med det. Lärarna hade en gemensam syn på arbetssätt, oavsett område i naturvetenskap. Det var att eleverna skall få arbeta mycket praktiskt, genom att laborera, experimentera - där eleverna får fundera, ställa hypoteser, skriva och/eller rita.Lärarna hade olika uppfattningar om att bilda begrepp i övriga skolämnen. Gemensamt för alla lärarna var att vid användning av be</p>
|
92 |
Utomhuspedagogik : Pedagogers tankar och uppfattningar om utomhuspedagogikPersson, Margareta January 2008 (has links)
<p>Through a quantitative examination, 26 pedagogies in the pre-school activity answered a few questions in an enquiry about outdoor education. The purpose with this examination was to find out what pedagogies think and apprehend about outdoor education, and also if the "education plan" is in their minds during outdoor activities and if they see them self´s as competent in nature studies. They have also answered questions whether they think that they have good outdoor environment that stimulates children´s development and learning and if there´s any forest that they visit on regular basis.</p><p>The pedagogies think that during time spent outdoor, it´s the motor skills that are best developed. All of the pedagogies mentioned above think that they need to get more educated in nature studies and also that pedagogies attitude towards time spent outdoors affect the children. They do not think about the goals and intentions of the "educations plan" all the time. They think that it is important to teach the children to take care of the nature and it´s circulation. The yard is described as stimulating, big and open and there´s also a forest nearby that they visit regularly. About half of them that participated in this examination could see themselves working in an outdoor pre-school.</p><p>Keywords: Outdoor education, pedagogies, nature study, education plan.</p>
|
93 |
Stress hos barnHammarström, Lillemor January 2008 (has links)
No description available.
|
94 |
Del av vägutredning längs E18 i Karlskoga : Presentation med hjälp av GISOjanperä, Carita January 2006 (has links)
<p>Jag fick i uppdrag av WSP Samhällsbyggnad i Karlstad, att presentera data med hjälp av programmet ArcGIS. Data som skulle uppvisas var: trafikmängden, polisrapporterade olyckor, gång- och cykelvägar, trafiksignaler, trafikplatser, skyltad hastighet, skolor och fritidsaktiviteter längs E18 i Karlskoga. Vidare skulle föreslagna åtgärder i utredningen presenteras med GIS. Arbetet inkluderar fältstudier i Karlskoga för att ta foto och videoklipp på de berörda korsningarna, som sedan skulle länkas till kartan. Uppgifterna skulle sedan framföras i en karta, i en skärmpresentation av avdelningschefen Bo Lindelöf.</p><p>Arbetet tar upp problem och möjligheter med användning av GIS i presentationsskedet.</p><p>Karlskoga kommun och Vägverket föreslår åtgärder i Karlskoga tätort, en ombyggnad av E18:s korsningar med Viaduktgatan, Boåsvägen och Hyttåsvägen. Kommunen kommer att investera i ett nytt campusområde söder om Hyttåsvägen vilket kommer att kräva en ombyggnad av Industrivägen och Hyttåsvägen. Från hösten 2003 har Örebro Universitet placerat en viss utbildning i Campus Karlskoga, som kommer att utökas successivt. I närheten av Bofors industriområde och sjön Möckeln kommer det nya campuset att byggas upp.</p> / <p>WSP´s department of physical planning, Karlstad, gave med the task to present data using ArcGIS. The data presented were: Traffic flow, accidents, noise, walk- and bikeways, schools and recreation areas alongsides E18 in Karlskoga. I was also supposed to present the proposed actions.</p><p>I also had to visit Karlskoga for some on-site investigations of my own, such as taking pictures and video-sequences of concerned traffic intersections. Those images I would intergrate in my maps. All this information is being presented for the head of department.</p><p>Karlskoga municipality and Vägverket suggest reconstruction of three major intersections on E18, Viaduktgatan, Boåsvägen and Hyttåsvägen. Reconstruction of Hyttåsvägen and Industrivägen is also needed, due to the new Campus built south of Hyttåsvägen.</p><p>From the fall of 2003, Örebro University has placed an education on Campus Karlskoga that expects to be expanded. This expansion will be between lake Möckeln and Bofors industries.</p>
|
95 |
Tribological characterization of selected hard coatingsKarlsson, Patrik January 2009 (has links)
<p>Hard coatings are often used for protection of tool surfaces due to coating properties like low friction and high wear resistance. Even though many of the hard coatings have been tested for wear, it is important to try new wear test setups to fully understand tribological mechanisms and the potential of hard coatings. Few experiments have been performed with dual-coated systems where the sliding contact surfaces are coated with the same, or different, hard coating. The dual-coated system could be the solution to many new technical devices and perhaps a further improvement of conventional coated systems.</p><p>In this thesis, the wear tests of dual-coated systems were performed in dry reciprocating sliding mode at room temperature. This, quite off the ordinary, wear test setup was performed to study selected hard coatings and set focus on wear mechanisms in forthcoming future surface coating application areas like MEMS and orthopedic implants.</p><p>Wear tests of four different PVD hard coatings, CrN, TiAlN, WC/C and diamond-like coating (DLC) were performed in a slider-on-flat-surface (SOFS) tribo-tester with reciprocation sliding mode at room temperature and dry sliding with TiAlN coated counter body. Wear mechanisms and the amount of wear were estimated, by investigation of the wear scars produced in SOFS, by means of scanning electron microscopy (SEM), atomic force microscopy (AFM) and optical profilometer (OP).</p><p>Typical wear mechanisms found for coated surfaces in reciprocation sliding contact were crack formation, surface flattening for shorter sliding distance, elongation of surface defects, debris and thin film formation. Two types of film formation were found: tribo-oxidation film and formation of a self-lubrication film. The tribo-oxidation was the most evident for CrN and the formation of a self-lubrication film was revealed for DLC, where smearing of asperities were the initiation of the process. The DLC coatings showed lowest friction coefficient and worn volume of all the selected hard coatings.</p><p>Adhesion measurements were performed for all coatings by AFM. Both the unworn and worn surface of each coating were investigated and two coatings, DLC and TiAlN, showed low adhesion forces, which indicated promising properties for small scale devices like MEMS and NEMS with coated, non-sticking, surfaces.</p> / Grundutbildningsprogram: Civilingenjör Bred IngångInriktning: Civilingenjör Maskinteknik och Materialteknik
|
96 |
Översyn av produktionslayout / Analys of layout for productionSpelmans, Daniel January 2009 (has links)
<p>Det här examensarbetet har utförts på Metso Paper Karlstad AB, Karlstad. Arbetet ingår som avslutande del i maskiningenjörsprogrammet vid Karlstads universitet. Metso Paper Karlstad AB tillverkar mjukpappersmaskiner vilket man har gjort i drygt hundra år. Idag är man en världsledande leverantör med kunder över hela världen, hälften av världens mjukpapper (tissue) tillverkas idag på en maskin levererad från Metso. </p><p> </p><p>Produktionen vid Metso Paper Karlstad AB har under åren genomgått ett antal omorganisationer, vilka har påverkat tillverkningen. Någon större anpassning av verkstadslayouten har inte gjorts under de gångna åren vilket i sin tur har påverkat produktiviteten. Den sammanlagda verkstadsytan med tillhörande maskinpark är idag större än den för tissue aktuella produktionen är. Det finns därför ett behov av att finna nya externa kunder via utökad legotillverkning.</p><p> </p><p>Uppgiften för examensarbetet var att ta fram ett förslag för en flödesorienterad produktion, med hänsyn till nuvarande volym av produktion, för en anpassning mot eventuell tillverkning av delar till vindkraft.</p><p> </p><p>Resultatet visar att en ny layout för att få ett bättre flöde i dagens produktion inte kan motiveras mot vilka kostnader detta skulle medföra. Då operationstiderna är långa för produkterna i varje maskin, så är den tid och sträcka produkterna färdas mellan operationerna liten i sammanhanget.</p><p> </p><p>Förslaget för tillverkning av den nya produkten som studerats i rapporten är en layout som är snabb och billig att sätta upp, och tillåter en till att börja med mindre serietillverkning. Med ytterligare lite investeringar så kan en bra produktivitet uppnås utan att nuvarande produktion blir lidande.</p><p> </p><p>Ett koncept för tillverkning av den nya produkten på längre sikt togs fram, detta ska ses som ett förslag till underlag för vidareutveckling av produktionen.</p> / <p>This thesis has been carried out at Metso Paper Karlstad AB, Karlstad. The work is concluding part of a mechanical engineer program at Karlstad University. Metso Paper Karlstad AB manufactures tissue paper machines which they have done over a hundred years. Today they are a world leading supplier with customers all over the world, half of the world's tissue paper is currently produced on a machine supplied by Metso. The production at Metso Paper Karlstad AB has over the years undergone a number of reorganizations, which has affected the production. No major adjustment of the engineering layout has been made over the past few years which in turn has affected productivity. The total surface engineering and related machinery is now larger than that of tissue current production. There is therefore needed to find new external customers through expanded subcontracting. The task of the thesis was to develop a proposal for a flow-oriented production, with regard to the current volume of production, for an adaptation against possible manufacture of parts for wind power. The result shows that a new layout to get a better flow in the current production can not be justified against the costs that would entail. When the operation times are long for the products in each machine, so is the time and distance the products travel between operations small in the context. The proposal for the manufacture of the new product examined in this report is a layout that is quick and inexpensive to set up, and allows to start with smaller series. With a little additional investment a good productivity can be achieved without the current production is suffering. A concept for the production of the new product in the longer term was developed, this should be seen as a proposal for further development of production.</p>
|
97 |
Utveckling av korrugeringspress för kopparstrippningsmaskiner / Developing of corrugatingpress for copperstrippingmachinesFlödén, Stefan January 2009 (has links)
<p>Uppdragsgivaren Outotec Kil AB marknadsför, konstruerar och levererar strippmaskiner för koppar och nickel. En del av denna strippmaskin för koppar är en korrugeringspress som pressar tre stycken veck över plåten. Var tredje plåt pressas och sedan staplas ett antal plåtar ihop till en bunt som senare smälts ner. Anledning till att var tredje plåt korrugeras är för att ge ett mellanrum mellan plåtarna som ger en snabbare och effektivare nedsmältning.</p><p>Nuvarande korrugeringspress pressar tre stycken veck över hela plåtytan med ett djup på 30mm, vilket kräver en stor presskraft. Den stora presskraften kräver en kraftig konstruktion och det har gett vissa problem:</p><ul><p> </p><li>Dyr att tillverka på grund av dyra och tunga komponenter.</li><p> </p><p> </p><li>Stora hydraulcylindrar som kräver ett högt flöde. </li><p> </p><p> </p><li>Tidigare hydraulcylindrar har monterats underifrån vilket gjort montering och service komplicerat.</li><p> </p><p> </p><li>Fast inspänning av hydraulcylindrarna medför att dessa slits ut på kort tid.</li><p> </p></ul><p> </p><p>Målet med arbetet var att ta fram ett konstruktionsförslag för en korrugeringspress med ett nytt effektivare pressverktyg. Stativ och hydraulsystem skall vara dimensionerat för det nya pressverktyget. Konstruktionsförslaget skall innehålla ritningar på pressverktyg, stativ och kopplingsschema på hydraulsystem.</p><p> </p><p>Arbetet resulterade i ett pressverktyg som pressar fyra fördjupningar (härefter kallade vårtor) i plåtarna. Innerdiameter på vårtor blir 35mm och pressdjupet kommer att fortsätta vara 30mm. Presskraften som krävs för fyra vårtor blir totalt 1500kN.</p><p>Fyra hydraulcylindrar med en kolvdiameter på 200mm kommer att användas och dessa kommer att drivas av två stycken hydraulpumpar. Hydraulcylindrarna är något överdimensionerade för att slita mindre på hydraulsystemet, dessutom finns marginal för att kunna höja oljetrycket om en högre presskraft skulle behövas.</p><p>Stativet kommer att bestå av grovplåtar och kommer att vara kraftigt för att undvika utmattning. Hydraulcylindrarna kommer att sitta fast i plattor i överkant för att enkelt kunna lyftas ut rakt upp.</p> / <p>The commissioner for this assignment is Outotec Kil AB which are marketing, designing and delivering strippingmachines for copper and nickel. One part of this strippingmachine for copper is a corrugatingpress which presses three folds over the plate. Every third sheet is pressed and then a number of plates get stacked together, later to be melted. The reason why every third plate gets corrugated is to provide a space between the plates that allows a faster and more efficient meltingprocess. Current corrugatingspress make three folds over the entire plate surface, which requires a high pressure force. This force requires a strong design and it has some problems:</p><ul><p> </p><li>Expensive to manufacture because of the expensive and heavy components. </li><p> </p><p> </p><li>Large hydraulic cylinders that require a high oilflow. </li><p> </p><p> </p><li>Earlier hydraulic cylinders were mounted from beneath which made the installation and service complicated. </li><p> </p><p> </p><li>Because of a rigid attachment of the hydraulic cylinders these are subjected to excessive wear.</li><p> </p></ul><p>The aim of this work was to develop a design proposal for a corrugatingspress with a new more efficient presstool. Stand and hydraulic system must be dimensioned for the new press tool. The design shall include drawings of the press, stand and a diagram of the hydraulic system. The work resulted in a presstool which presses four deepenings in the plate. Inner diameter of the deepenings are 35mm and depth will be 30mm. The pressforce needed for the four deepenings are totally 1500kN. Four hydraulic cylinders with a piston diameter of 200mm will be used and these will be driven by two hydraulic pumps. Hydraulic cylinders are slightly oversized to wear less on the hydraulic system. There´re also a margin to increase the oilpressure if a higher pressforce would be needed. The stand will be composed of thick steelplates and will be slightly oversized to avoid fatigue. The hydraulic cylinders will be bolted in steelplates in the top, then the steelplates will be bolted into the stand for an easy removal straight up.</p>
|
98 |
Naturvetenskapslärares uppfattningar om faktorer som påverkar elevers prestationer i NO / Science Teachers' perceptions of factors affecting students' performance in scienceStensson, Julia January 2010 (has links)
<p>Over the past 20 years, primary students' knowledge in biology, physics and chemistry has deteriorated. The reasons for this are many, including students' attitudes to NO, curriculum, quick social change but also pedagogues work. The purpose of my study is to see what obstacles and opportunities practicing teachers have in their teaching and how it has affected their students. I want to investigate what apprehension teachers have about what the causes of the deterioration of knowledge is. The study was conducted at a secondary school in central Sweden where 5 teachers, 3 men and 2 women, were interviewed about their perceptions. My results show that students' performance is influenced by factors at three levels: 1. in the classroom they are directly affected by the teacher, society, resources and students' own presumptions, 2. at the local level by school management and the municipality and 3. at the national level, by the society and parliament with school policy decisions. Teachers felt that the effects from all these three levels were reasons why students' skills have deteriorated. For the students to assimilate NO teaching the teachers must gain a common pedagogical foundation in education and all students must be given equal opportunity to achieve their goals. This is something I will take with me in my future role as teacher, students just need different levels of support and resource.</p> / <p>Under de senaste 20 åren så har grundskoleelevernas kunskaper försämrats i biologi, fysik och kemi. Orsaken till detta är många, bland annat elevers attityder till NO, kursplanen, snabba samhällsförändringarna men också pedagogens arbete. Syftet med min undersökning är att se vad praktiserande pedagoger har för hinder och möjligheter i sin undervisning och hur det har påverkat eleverna. Jag vill också undersöka vad lärare har för uppfattningar om orsaken till den försämrade kunskapen. Undersökningen genomfördes på en högstadieskola i Mellansverige där 5 lärare, 3 män och 2 kvinnor, intervjuades om deras uppfattningar. Mina resultat visar att elevers prestationer påverkas av faktorer på tre olika nivåer: 1. i klassrummet påverkas de direkt av läraren, samhället, resurser och elevernas egna förutsättningar, 2. på lokal nivå genom skolledning och kommun och 3. på nationell nivå genom samhället och riksdagen med skolpolitiska beslut. Lärarna ansåg att påverkan från alla dessa tre nivåer var orsaker till varför elevers kunskap har försämrats. För att eleverna skall kunna tillgodogöra sig NO-undervisningen måste lärarna skaffa sig en gemensam pedagogiks grund att stå på i undervisningen och alla elever måste ges samma möjligheter att uppnå sina mål. Detta är något som jag kommer ta med mig i min framtida roll som lärare, elever behöver bara olika mycket stöd och hjälpmedel.</p>
|
99 |
Klimatneutralitet : En undersökning av två universitetskursers klimatpåverkanWerthim, Maja January 2010 (has links)
No description available.
|
100 |
Epitaxial Growth and Characterization of SiC for High Power Devicesul Hassan, Jawad January 2009 (has links)
Silicon Carbide (SiC) is a semiconductor with a set of superior properties, including wide bandgap, high thermal conductivity, high critical electric field and high electron mobility. This makes it an excellent material for unipolar and bipolar electronic device applications that can operate under high temperature and high power conditions. Despite major advancements in SiC bulk growth technology, during last decade, the crystalline quality of bulk grown material is still not good enough to be used as the active device structure. Also, doping of the material through high temperature diffusion is not possible while ion implantation leads to severe damage to the crystalline quality of the material. Therefore, to exploit the superior quality of the material, epitaxial growth is a preferred technology for the active layers in SiC-based devices. Horizontal Hot-wall chemical vapor deposition is probably the best way to produce high quality epitaxial layers where complete device structure with different doping type or concentrations can be grown during a single growth run. SiC exists in many different polytypes and to maintain the polytype stability during epitaxial growth, off-cut substrates are required to utilize step-flow growth. The major disadvantage of growth on off-cut substrates is the replication of basal plane dislocations from the substrate into the epilayer. These are known to be the main source of degradation of bipolar devices during forward current injection. The bipolar degradation is caused by expanding stacking faults which increases the resistance and leads to fatal damage to the device. Structural defects replicated from the substrate are also important for the formation of defects in the epitaxial layer. In this thesis we have developed an epitaxial growth process to reduce the basal plane dislocations and the bipolar degradation. We have further studied the properties of the epitaxial layer with a focus on morphological defects and structural defects in the epitaxial layer. The approach to avoid basal plane dislocation penetration from the substrate is to grow on nominally on-axis substrate. The main obstacle with on-axis growth is to avoid the formation of parasitic 3C polytype inclusions. The first results (Paper 1) on epitaxial growth on nominally on-axis Si-face substrates showed that the 3C inclusions nucleated at the beginning of the growth and expand laterally without following any particular crystallographic direction. Also, the extended defects in the substrate like micropipes, clusters of threading screw and edge dislocations do not give rise to 3C inclusion. The substrate surface damage was instead found to be the main source. To improve the starting surface different in-situ etching conditions were studied (Paper 2) and Si-rich conditions were found to effectively remove the substrate surface damages with lowest roughness and more importantly uniform distribution of steps on the surface. Therefore, in-situ etching under Si-rich conditions was performed before epitaxial growth. Using this 100 % 4H polytype was obtained in the epilayer on full 2” wafer (Paper 3) using an improved set of growth parameters with Si-rich conditions at the beginning of the growth. Simple PiN diodes were processed on the on-axis material, and tested for bipolar degradation. More than 70 % of these (Paper 4) showed a stable forward voltage drop during constant high current injection. High voltage power devices require thick epitaxial layers with low doping. In addition, the high current needs large area devices with a reduced number of defects. Growth and properties of thick epilayers have been studied in details (Paper 5) and the process parameters in Horizontal Hotwall chemical vapor deposition reactor are found to be stable during the growth of over 100 µm thick epilayers. An extensive study of epitaxial defect known as the carrot defect has been conducted to investigate the structure of the defect and its probable relation to the extended defects in the substrate (Paper 6). Other epitaxial defects observed and studied were different in-grown stacking faults which frequently occur in as-grown epilayers (Paper 7) and also play an important role in the device performance. Minority carrier lifetime is an important property especially for high power bipolar devices. The influence of structural defects on minority carrier lifetime has been studied (Paper 8) in several epilayers, using a unique high resolution photoluminescence decay mapping. The technique has shown the influence on carrier lifetime from different structural defects, and also revealed the presence of non-visible structural defects such as dislocations and stacking faults, normally not observed with standard techniques. / Kiselkarbid (SiC) är en halvledare med överlägsna materialegenskaper, stort bandgap, hög termisk konduktivitet, hög kritisk fältstyrka och hög elektron mobilitet. Dessa gör den till ett utmärkt material för unipolära och bipolära komponenter som kan användas vid höga temperaturer, höga spänningar och höga strömmar. Trots stora framsteg under de senaste åren inom SiC bulk tillväxt, är material kvalitén hos bulk material fortfarande inte tillräckligt bra för att användas för aktiva skikt i komponenterna. Dessutom är dopning av materialet genom diffusion vid höga temperaturer inte möjligt, medan dopning via jonimplantation ger upphov till stora skador i kristallstrukturen. Därför behövs epitaxiell tillväxt av de aktive skikten i SiC baserade komponenter, för att fullt kunna utnyttja materialets egenskaper. Horisontell CVD (Hot-Wall Chemical Vapor Deposition) är en av de bästa tekniker att producera epitaxiella skikt med hög kvalité, där kompletta komponent strukturer med olika dopnings typ och koncentrationer kan växas i samma körning. SiC existerar i många polytyper och för att bibehålla polytype stabiliteten under tillväxt, används substrat med lutande kristallplan för använda s.k. step-flow tillväxt. En stor nackdel med substrat med lutande kristallplan är dock att dislokationer i basalplanet kommer att propagera från substratet in i det epitaxiella skiktet under tillväxten. Dessa dislokationer är den huvudsakliga orsaken till den degradering av bipolära komponenter som uppstår då höga strömmar går igenom komponenten. Den bipolära degraderingen orsakas av expanderade staplingsfel, som successivt ökar resistansen och slutligen förstörs komponenten. Strukturella defekter som replikeras från substratet är ofta även orsaken till kritiska defekter som skapas i det epitaxiella skiktet under tillväxt. I den här avhandlingen har vi utvecklat en epitaxiell som minskar problemet med basalplans dislokationer och bipolär degradering. Vi har även studerat egenskaper hos de epitaxiella skikten med fokus på morfologiska och strukturella defekter. Tekniken att hindra dislokationerna att replikeras in i de epitaxiella skikten bygger på att använda substrat utan lutning hos kristallplanen, s.k. on-axis substrat. Det hittills stora problemet med att växa på on-axis substrat har varit svårigheterna att bibehålla polytyp stabiliteten och undvika framförallt 3C polytyp inklusioner. Första försöken (Papper 1) försöken att växa epitaxi på on-axis substrat på Si sidan visade att 3C inklusionerna alltid startade i början av tillväxten för att sedan sprida sig lateralt under den fortsatta tillväxten. Vi kunde också visa att strukturella defekter som mikropipor, eller kluster av skruv- eller kant- dislokationer inte orsakade 3C inklusionerna. Den dominerande orsaken till 3C inklusionerna var istället skador eller repor på substratets yta. För att förbättra ytan innan den epitaxiella tillväxten studerade vi olika in-situ etsningar av ytan (Papper 2), och vi fann att etsning under Si dominerande förhållanden effektivast tog bort de flesta skador på substratets yta och gav en yta med minst ojämnheter. Dessutom skapades en homogen fördelning av atomära steg på ytan, och denna förbehandling användes sedan inför den epitaxiella tillväxten. Genom att dessutom optimera tillväxt förhållandena i inledningen av tillväxten kunde vi till 100% bibehålla samma polytyp från substratet in i det epitaxiella skiktet för hela 2” substrat (Papper 3). Enkla bipolära PiN dioder tillverkades och testades med avseende på bipolär degradering och mer än 70% av dioderna (Papper 4) visade ett stabilt framspänningsfall vid höga strömtätheter. Kraftkomponenter för höga spänningar kräver tjocka epitaxiella skikt med låg dopning. Dessutom, för höga strömmar krävs komponenter med stor aktiv area där kravet på lägre defekt täthet blir allt viktigare. Vi har i detalj studerat tillväxt och egenskaper av tjocka skikt (Papper 5), och funnit att de flesta material egenskaperna är stabila vid tillväxt av över 100 mm tjocka skikt i vår horisontella CVD reaktor. Vi har även i detalj studerat uppkomst och egenskaper av en av de mest kritiska epitaxiella defekterna, dem s.k. moroten (Papper 6). Speciellt har vi studerat dess uppkomst i relation till strukturella defekter i substratet. Vi har även studerat ända epitaxiella defekter i form av olika typer av staplingsfel (Papper 7), som även dessa har stor inverkan på komponenter. Livstiden för minoritetsladdningsbärarna är en viktig egenskap hos speciellt bipolära komponenter. I (Papper 8) har vi studerat hur denna påverkas av strukturella defekter i de epitaxiella skikten. Vi har använt en unik mätmetod för att optiskt kunna mäta över hela skivor, med hög upplösning. Mätningarna har lyckats påvisa hur olika strukturella defekter påverkar livstiden, och även kunnat visa på förekomsten av defekter som inte har upptäckts med andra mätmetoder.
|
Page generated in 0.0587 seconds