Techn. University, Diss., 2005--Berlin.

Techn. Universiẗat, Diss., 2005--Darmstadt.

Techn. Universiẗat, Diss., 2006--Darmstadt.

System zur berührungslosen Drahtvorschubgeschwindigkeitsmessung mittels CCD-Kameramodul. Die Auswertung der Daten wird mittels Wavelet-Algorithmen durchgeführt.

Gegenstand dieser Arbeit sind zwei Problemstellungen der Mikroelektronik. Dies ist einerseits die Notwendigkeit zur Erzeugung kleiner Strukturgrößen um Untersuchungen an diesen durchzuführen. Innerhalb dieser Arbeit wurden ultraschmale Leitbahnen mit herkömmlichen Prozessen hergestellt, was den Einsatz neuer Lithographieanlagen oder auflösungsverbessernden Maßnahmen nicht notwendig macht. Hierzu wurde für zwei Verfahren, die Backfill- und die TiN-Spacer-Technologie, die Prozessschritte entwickelt und untersucht und beide Technologien hinsichtlich der erreichbaren Strukturgrößen bewertet. Das zweite Thema dieser Arbeit war das pore sealing von porösen low-k-Dielektrika. Für diese Untersuchungen wurden verschiedene pore sealing Methoden wie Plasmabehandlungen oder dünne Schichten (Liner) angewandt. Die Effektivität dieser Methoden, auch in Abhängigkeit von low-k-Materialien mit verschiedenen Porengrößen, wurde durch Rasterelektronenmikroskopie, Untersuchung der Barrierestabilität und Untersuchung von Diffusion der Barriere in das Dielektrikum mittels TEM und EDX line scan bestimmt. / This work is concerned with two problems of microelectronic research. This is first the need for small features sizes to carry out investigations on them. Within this work very narrow conductor lines were fabricated with conventional processes. So the use of new lithography tools or resolution enhancement techniques was not necessary. For two technologies, the Backfill and the TiN spacer technology, the process steps were developed and investigated and both technologies were evaluated regarding the reachable feature sizes. The second topic was pore sealing of porous low k dielectrics. For these investigations various pore sealing methods like plasma treatments or thin films (liner) were applied. The effectiveness of these methods, also depending of low k materials with different pore sizes, were investigated by scanning electron microscopy, by barrier integrity investigations and by investigations of barrier diffusion into the dielectric material using TEM and EDX line scan.

Untersucht wurden MCF7-neuT-Zellen bezüglich ihrer optischen Verformbarkeit im Optical Stretcher, zeitabhängig nach Beginn einer ErbB2-Überexpression. Es konnte gezeigt werden, dass sich Brustkrebszellen 24 Stunden nach Beginn einer induzierten ErbB2-Überexpression deutlich von Kontrollzellen unterscheiden, indem sie sich aktiv gegen äußeren Zug zusammenziehen. Dieses als Mechanoaktivierbarkeit bekannte Phänomen ist ein Zeichen von Malignität. Nach zwei Tagen ErbB2-Überexpression zeigt sich diese Mechanoaktivierbarkeit allenfalls noch residuell, nach vier Tagen gibt es keinen Unterschied mehr zu den Kontrollzellen ohne ErbB2-Überexpression. Eine mögliche Deutung dieser Ergebnisse wäre ein Zweiphasen-Modell der Entstehung der ErbB2-überexprimierenden Brusttumore und ihrer frühen Mikrometastasen: In der ersten Phase werden die Zellen aktiv und kontraktil und sind so in der Lage, sich aus dem Zellverband zu lösen und ihren Ursprungsort zu verlassen. Bereits nach zwei bis vier Tagen sind sie aber nicht mehr von unveränderten, benignen Zellen zu unterscheiden und können unerkannt und unerreichbar für Chemotherapeutika als „dormant cells“ viele Jahre überdauern.:1 Abkürzungsverzeichnis 5 2 Einleitung 6 3 Biologische Grundlagen 10 3.1 Der ErbB2-Rezeptor 10 3.1.1 Rezeptoren der epithelialen Wachstumsfaktoren 10 3.1.2 ErbB2-Überexpression im Rahmen der Kanzerogenese 13 3.1.3 Zeitliche Veränderungen nach induzierter ErbB2-Rezeptor-Überexpression 18 3.2 Das Zytoskelett 19 4 Physikalischer Hintergrund 23 4.1 Viskoelastizität semiflexibler Polymere als zelluläre Strukturbasis 23 4.2 Überblick der bisherigen Zellelastizitätsmessungen 24 4.3 Der Optical Stretcher 25 4.3.1 Vergleich mit herkömmlichen Verfahren 25 4.3.2 Berechnung des Spannungsprofils 27 5 Aufgabenstellung 33 6 Material und Methoden 34 6.1 Verwendete Zellen 34 6.1.1 Zelllinien 34 6.1.2 Zellkultur 35 6.1.3 Zellvorbereitung 36 6.2 Elastizitätsmessungen am Optical Stretcher 37 6.3 Methodik Auswertung 41 6.3.1 Zellstatistik 41 6.3.2 Fluoreszenzmessungen 43 6.3.3 Bildauswertung 44 6.3.4 Verformungskurven und initiale Integrale 46 7 Ergebnisse 49 7.1 Motivation und Vorgehen 49 7.2 Reproduzierbarkeit der Daten 50 7.3 Entwicklung der optischen Verformbarkeit der Vektorkontrollzellen in Abhängigkeit von der Doxicyclinzugabe 53 7.3.1 Vektorkontrollzellen nach einem Tag Kulturdauer 53 7.3.2 Vektorkontrollzellen nach zwei Tagen Kulturdauer 55 7.3.3 Vektorkontrollzellen nach vier Tagen Kulturdauer 57 7.4 Entwicklung der optischen Verformbarkeit der MCF-7/neuT-Zellen in Abhängigkeit von der Doxicyclinzugabe 59 7.4.1 NeuT-Zellen nach einem Tag Kulturdauer 59 7.4.2 NeuT-Zellen nach zwei Tagen Kulturdauer 61 7.4.3 NeuT-Zellen nach vier Tagen Kulturdauer 63 7.5 Vergleich MCF-7/neuT und Vektorkontrollzellen 65 7.5.1 Veränderung durch Expression des neuT-Genes 65 7.5.2 Veränderungen durch die Kulturdauer 68 7.6 Zusammenfassung 70 8 Diskussion und Ausblick 71 8.1 Statistische Relevanz 72 8.2 Biphasischer Verlauf der ErbB2-induzierten Zellveränderungen im Vergleich zu anderen Untersuchungen 72 8.3 Interpretation des biphasischen Musters 74 8.4 Ausblick 76 9 Zusammenfassung der Arbeit 78 10 Referenzen 81 10.1 Weblinks 91 11 Anlagen 92 11.1 Selbstständigkeitserklärung 92 11.2 Lebenslauf 93 11.2.1 Allgemeine Angaben 93 11.2.2 Schulische Ausbildung 93 11.2.3 Studium 93 11.2.4 beruflicher Werdegang 94 11.3 Publikation 95 11.4 Danksagung 96

The characteristics of optical modes in whispering-gallery cavities crucially depend on the underlying classical ray dynamics as they are subject to dynamical tunneling. In particular, classical nonlinear resonances lead to the hybridization of whispering-gallery modes spoiling their quality factors and decreasing their lifetimes via resonance-assisted tunneling. In this thesis we present an intuitive semiclassical description of resonance-assisted tunneling in deformed optical microdisks whose classical ray dynamics exhibits a mixed phase space. We find good agreement between semiclassically obtained decay rates of whispering-gallery modes and numerical solutions of the mode equation computed with the boundary element method. Moreover, we extend a perturbative description for weakly deformed microdisks with near-integrable ray dynamics to larger deformations and mixed phase spaces. This yields an accurate description of decay rates and of the near-field intensity distributions. Our approach is based on the approximation of the actual ray dynamics by an integrable Hamiltonian constructed in adiabatic action-angle coordinates. This allows for semiclassical quantization in order to determine the wave numbers of whispering-gallery modes as well as for a ray based description of their decay. The resonance-assisted coupling between individual modes is determined either perturbatively or semiclassically in terms of complex paths. / Flüstergaleriemoden in optischen Resonatoren zeigen dynamische Tunnelprozesse, welche maßgeblich von der zugrundeliegenden klassischen Strahlendynamik abhängen. Die Lebenszeit und die daraus resultierenden Gütefaktoren dieser Moden werden durch klassische nichtlineare Resonanzen und den Effekt des resonanzunterstützten Tunnelns verringert. Hierfür entwickeln wir eine intuitive semiklassische Beschreibung für den Fall deformierter optischer Kreiskavitäten, deren klassische Strahlendynamik einen gemischten Phasenraum aufweist. Die semiklassisch berechneten Zerfallsraten stimmen gut mit den numerischen Lösungen der Maxwell-Gleichungen, welche unter Nutzung der Randelementmethode ermittelt werden, überein. Darüber hinaus erweitern wir den Anwendungsbereich einer störungstheoretische Beschreibung von schwach deformierten Kavitäten hin zu größeren Deformationen. Dies ermöglicht nicht nur eine akkurate Vorhersage von Zerfallsraten, sondern auch die Beschreibung der Intensitätsverteilung von optischen Moden im Nahfeld. Unsere Methode basiert auf der Konstruktion von adiabatischen Winkel-Wirkungskoordinaten und der Approximation der Strahlendynamik durch ein integrables Hamiltonsches System. Mittels semiklassischer Quantisierung bestimmen wir damit die Wellenzahlen von Flüstergaleriemoden, deren Lebenszeit ferner durch ein strahlenbasiertes Modell beschrieben wird. Wir bestimmen die resonanzunterstützte Kopplung zwischen einzelnen solcher Moden sowohl mittels Störungstheorie als auch mittels klassischer komplexer Trajektorien.

Frühdrucke des Aldus Manutius und seiner Zeitgenossen in Hinsicht auf die Druckpraxis und zur Software gestützten Erfassung und Verarbeitung (optische Layout Erfassung).:1 Einleitung S. 1 2 Die Druckerei Aldus Manutius, das Drucken früh und spät S. 5 2.1 Das Drucken des Griechischen in Venedig S.5 2.2 Das Druckwesen nimmt seinen Ausgang im 15 Jh. / Medientheorie S. 22 2.2.1 Definition Autor S. 22 2.2.2 Definition Proportion und Formulierung der Hypothese S. 29 2.3 Lagen, Kustoden, Zeilen zählen S. 45 2.4 Die Aldinen Druckerei, ihre Arbeitsweise, ihre Ziele S. 78 2.5 Zur Bedeutung des Aldus Manutius und seiner Kreise für das Griechische S. 85 3 Technischer Teil: Document layout analysis S. 96 3.1 Die Software S. 96 3.1.1 Softwareaufbau S. 96 3.1.2 Pipeline der Software S. 98 3.2 Mathematische Grundlage der Beschreibung der Implementierung S. 99 3.3 Implementierung S. 108 3.3.1 Kanten gibt es doch gar nicht S. 108 3.3.2 Blattrand / Buchrand S. 125 3.3.3 Hintergrund und Vordergrund vs. Trägermaterial und Getragenes S. 136 3.3.4 Zusammenlegung angrenzender Punkte / Raum der verbundenen Komponenten S. 152 3.3.5 Definition Zeile S. 160 3.3.6 Potentielle Zeilen und die typographische Grundeinheit S. 171 3.3.7 Die Klasse der Abbildungen und des Buchschmucks S. 185 3.3.8 Boxen und Textblöcke S. 188 4 Zusammenfassung S. 203 A Druckerverzeichnis S. 205 B Literatur S. 208

This paper demonstrates an approach for passive alignment and assembly of link components for board-level very-short range optical interconnects. This interchip optical link is based on planar polymeric multimode waveguides and glassbased electro-optical transceivers. The main aim of the work is the investigation of assembly processes of link components in order to fulfill the tolerance requirements using passive alignment. The optical characterization in regard to the optical coupling between link components will define the tolerances for the alignment process. This optical analysis is based on measurements of spatial coupling characteristics. The influence of assembly tolerances on the coupling efficiency is investigated. Flip-chip assembly of electro-optical devices on the glass interposer and of the glass interposer on optical overlay is presented to prove the implementation of the concept.

This paper discusses the technology development for integration of parallel optical interconnects on board-level, including the active and passive optical components as well as the electrical integrated circuitry. The inter-chip link is based on planar polymeric optical multimode waveguides with integrated out-of-plane coupling optics and optical transceiver subassemblies based on glass interposer. Integration of polymeric waveguides on flexible substrates will be shown since the realization of an overlay optical substrate enhances the yield and testability of the final hybrid electrooptical printed circuit board (EOPCB). Realized on-board waveguides feature low insertion loss (minimum attenuation coefficient of below 0.1 dB/cm). For short planar waveguides (Lwaveguide = 9 cm) error free transmission (BER < 10-12) up to 30 Gbit/s was achieved. The development of glass interposer passive optical coupling structures for VCSEL-based short-distance links will be described.