A nanotecnologia não é mais um sonho, já faz parte da nossa realidade, do nosso dia a dia. É considerada, por muitos, a quinta Revolução Industrial, uma revolução tecnológica de grande abrangência, que poderá causar impactos talvez sem precedentes na história. A soma anual dos investimentos nesta nova tecnologia é de bilhões de dólares. Devido às inovações oriundas da nanotecnologia, os processos da manufatura e a medição de ultra-precisão vêm se desenvolvendo a cada dia. A nanotecnologia fez da usinagem de ultraprecisão com ferramenta de diamante uma grande aplicação na produção de itens de alto volume, tais como: disco de memória de computadores, lentes de contato, moldes de dentes, cilindros para impressão, espelhos metálicos. A alta integridade da superfície é requerida em todos os itens obtidos por este processo. Em conseqüência, é necessário um método de medição que seja o mais exato possível, isto é, que chegue a resultados o mais próximo possível do valor verdadeiro. Mas o que significa exatidão para uma análise ideal da superfície, uma vez que não existe referência para isso? Superfícies têm sido avaliadas por meio da medição da rugosidade, a qual consiste na determinação de um valor médio, de vários setores, dentro de valores limites preestabelecidos. A metrologia, através de seus métodos e princípios, é um importante instrumento para validar modelos e teorias. O conceito que \"uma vez testado, passa a ser aceito em qualquer lugar\". Daí a crescente necessidade de resultados de medições confiáveis que possam ser validados em qualquer lugar e a qualquer tempo. Assim, um caminho a ser seguido é o de se entenderem profundamente todos os métodos e princípios envolvidos nas operações de medição de rugosidade. E para que um método seja metrologicamente válido (ou aceitável), faz-se necessário realizarem-se comparações de diversas medições, de um mesmo mensurando, utilizando métodos diversos. Havendo discrepância nos resultados, é uma evidência de que as premissas e hipóteses levaram a acreditar que a teoria ou modelo adotado deve ser reavaliado. Este trabalho selecionou os três métodos mais utilizados na caracterização da integridade de superfícies técnicas obtida em torneamento de ultraprecisão com diamante, e descreveu uma metodologia para a avaliação da capabilidade do processo de controle de superfícies técnicas usinadas em torno de ultraprecisão. / Nanotechnology is no longer a dream. It is part of the real world. It is considered by many people as the fifth Industrial Revolution, a technological revolution of great impact in history. The world annual investment in this technology reaches billions of dollars. Due to innovations related to nanotechnology, ultraprecision manufacturing processes and metrology is developing steeply. Nanotechnology made single point diamond turning an important mass production process of, for instance, computer hard discs, contact lenses, moulds, printer cylinders, metallic mirrors, etc. High grade surface integrity is required of items produced by this process. As a consequence, it is necessary to use a measurement method which is most accurate as possible, i.e., resulting in a value as close as possible to the true. But what does true mean if there is no reference for that? Surfaces have been assessed by roughness measurements which determines a mean value of several sectors within pre-determined limits. Metrology, with its methods and principles, is an important instrument to validate models and theories. The concept, once tested, becomes accepted everywhere. Therefore the increasing necessity of reliable measurement results which may be validated anywhere and any time. Thus, it is essential a deep understanding of all methods and principles involved in roughness metrology operations. For a method to be metrologically accepted, it is necessary that it is compared with different methods. In the event of existing discrepancies, the premisses and hypotheses which fundamented the theory or model should be reassessed. Three of the most used methods have been selected to characterize the surface integrity of technical surfaces generated by diamond turning. A methodology to assess the capability of the process of control of those surfaces is proposed.

Este trabalho aborda o estudo e aplicação das ferramentas da metodologia TRIZ (Teoria da Resolução de Problemas Inventivos) aplicada na fase do projeto conceitual, no qual é desenvolvido um estudo de caso para escolha dos mancais, para cabeçotes de máquinas de corte do tipo \"Dicing Saw\". A metodologia TRIZ é direcionada para busca de idéias, através de uma abordagem sistemática da criatividade para a solução de problemas inventivos, consiste no reconhecimento da similaridade de um problema de projeto específico com um problema análogo, o qual tem uma solução conhecida no universo das patentes. É demonstrada a importância da capacidade de inovação como vantagem competitiva dentro do cenário atual, e como a TRIZ se apresenta como ferramenta sistêmica de suporte à criatividade inserida na fase de projeto conceitual, dentro do processo de desenvolvimento de produto. É desenvolvido um estudo de caso, no qual a TRIZ conduz à escolha sistemática de tipos de mancais apropriados, para eixos-árvore de alta velocidade para uma máquina denominada \"Dicing Saw\". O resultado da aplicação da TRIZ, dada as restrições operacionais foi a escolha de mancais aerostáticos porosos não-metálicos, os quais em conjunto com trabalhos na área de dinâmica de rotores foram manufaturados. A decisão pelo cabeçote com mancais aerostáticos porosos cerâmicos pode minimizar a influência de elevadas amplitudes de vibração durante usinagens sob alta rotação. Dessa forma, é possível concluir que, a metodologia TRIZ é uma ferramenta que permite a identificação de forma rápida e sistêmica os conceitos utilizados para solucionar problemas semelhantes direcionam a busca de soluções criativas para os problemas inventivos, intensifica a capacidade produtiva do engenheiro projetista, ampliando as alternativas, para encontrar melhores soluções, que podem resultar em um menor tempo, para lançamento de novos produtos, bem como melhorar desempenhos funcionais. / This work treats of study and application of the tools of methodology TRIZ (Theory of Inventive Problem Solving) applied to conceptual design where it is developed a case study to choice of pair of bearings more adequate for Dicing Saw machines. The TRIZ methodology leads the idea searches through systematic approach of creativity to solution of inventive problems where is recognized the common behavior of a specific problem with similar problem using patents database. It is demonstrated the importance of the innovation capacity as competitive advantage considering the current scenario and as the TRIZ technique acts as systematic tool to support for creativity and decision making during the conceptual design into product development process. So, it is developed a case study where the TRIZ lead the systematic selection of bearings for spindles of Dicing Saw machines or ultraprecision machines. The results of this study considering the operational constraints it was choice of aerostatic no-metallic porous bearings which were manufacturing to posterior study of dynamic behavior. The decision on spindle using ceramic aerostatic porous bearings can minimize the influence of high amplitudes of vibrations during the manufacturing on different operational ranges. Therefore it is possible to conclude that TRIZ is a technique or procedure that allows the fast and efficient identification of the physical and technical concepts to solution of the similar problems that directed creative alternatives when it is necessary new conceptual approaches, moreover to stimulate the productive capacity of the design engineer lead the search of the better solutions relating better functional solutions, less costs and small time to market.

Para se obter alto desempenho em máquinas-ferramenta de ultraprecisão, são necessários o desenvolvimento de sistemas de posicionamento e o controle de movimento, os quais não raramente devem operar com resolução e repetibilidade na faixa submicrométrica. A utilização das modernas técnicas de metodologia de projeto auxiliam no desenvolvimento deste tipo de sistema. Neste trabalho são discutidas e analisadas as diversas alternativas disponíveis para os elementos constituintes do sistema de posicionamento. Aspectos críticos como cinemática, acionamento, guias e apoios são estudados e confrontados usando o método de análise de valor. E baseados no resultado do estudo prévio, obtém-se um sistema híbrido para microposicionamento angular de alta rigidez e ampla largura de banda, capaz de posicionar uma superfície com resolução angular inferior a 4.\'10 POT.-5\' graus. Através das técnicas de modelagem, pode-se verificar a funcionalidade desse sistema projetado, quanto ao seu comportamento estático e dinâmico. Uma modelagem cinemática é apresentada com o objetivo de auxiliar na veracidade do projeto do posicionador angular, através da qual pretende-se observar a influência de cada ponto de apoio no posicionamento final. São apresentados os resultados obtidos em simulações numéricas, as quais constatam não só o próprio desempenho do posicionador, como também, a validade da técnica utilizada. / In order to achieve high performance in ultra-precision machine tools, appropriate capability is required of motion control and positioning systems which have to operate at resolutions and repeatability in the sub-micrometre range. Machining may reach high levels of precision through the use of suitable sensors, actuators and controllers so that the development of micro-positioner with low backlash, high bandwidth and accuracy is a crucial aspect of high precision machining technology. Modern design techniques can greatly assist in the development and design of such systems. In this work, several design options for the elements of a positioning system are discussed and analysed. Critical aspects such as kinematics, driving and bearings are studied and compared using the value analysis method. A hybrid system based upon the results of this study is proposed which combines the best characteristics of each design option. The system possesses the capability of positioning a workpiece and/or tool angularly and/or linearly (micro-tilt stage) with a resolution better than 4 \'10 POT.-5\' arc degree and high stiffness and bandwidth. Through modelling techniques, it is possible to verify the static and dynamic behaviour of the system. A kinematics model of the micro-tilt stage is presented in order to establish a relationship between the displacement of the actuators and the final position of the stage. It is anticipated that such an approach will be required in respect of interferometric feedback control. Simulations of the model are performed showing that the technique applied is valid and the system fulfils the requirements for ultra-precision design.

Made available in DSpace on 2014-06-11T19:28:20Z (GMT). No. of bitstreams: 0 Previous issue date: 2010-06-18Bitstream added on 2014-06-13T19:36:47Z : No. of bitstreams: 1 fiocchi_aa_me_bauru.pdf: 5371044 bytes, checksum: 94725749d4cc04cded0dd3dfa808963b (MD5) / Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior (CAPES) / Atualmente, avanços nas áreas de eletrônicos e computadores têm demandado máquinas e processos de fabricação capazes de manufaturar peças com tolerância geométrica, dimensional e acabamento superficial em níveis nanométricos, características, até então, não alcançados pelos processos tradicionais de retificação e lapidação. Agregando algumas das vantagens desses processos, as três últimas décadas têm vivenciado a criação de novas tecnologias, que convergem para a utilização da cinemática da lapidação, a usinagem com grãos fixos e a preparação da ferramenta de usinagem por mieo de alguma operação específica. O brunimento plano, o nanogrinding e, no Brasil, a lapidoretificação são exemplos desses processos abrasivos ultraprecisos. No presente trabalho, são analisados as influências dos valores do grau de recobrimento na dressagem (Ud=1,3 e 5) e granulometria de rebolo de carboneto de silício (SiC = 800, 600 e 300 mesh) no acabamento superficial de peças planas de aço inoxidável ABNT 420 (45 HRc) submetidas à lapidoretificação. Para isso, fez-se neessária a fabricação de uma máquina dotada de 5 graus de liberdade em uma estrutura de aço ABNT 1020 com excelente mecânica, agregando guias lineares, fusos de esferas recirculantes, controle numérico computadorizado (CNC) dos eixos e monitoramento embarcado da potência de usinagem. A lapidoreretofocadora possui um dispositivo para dressagem do rebolo e outro para proporcionar o controle da força e cinemática planetária de usinagem. Os resultados mostraram que quanto menor o tamanho médio do grão abrasivo, menor a rugosidade superficial do corpo-de-prova. O incremento do valor do grau de recobrimento aplicado na dressagem do rebolo melhorou o acabamento supercial do corpo-de-prova. os melhores resultados, obtidos após 10 minutos de usinagem, foram rugosidade média aritimética... / Nowadays, advances in the field of eletronics e computers have demanded machine-tools and facrication processes aiming to manufacture parts with geometrical tolerance, dimensional and surface finishing in nanometer levels, features not achieved until now using the convencional processes such as grinding and lapping. Associating some of the advantages of these conventional machining processes, the last three decades have been facing the creation of new technologies that converge to applying lapping kinematics, machining with fixed abrasives, and set of the machining tool employing some specific operation. The flat honing, nanogrinding and, in Brazil, the lapgrinding are some examples of these ultra precision abrasive processes. In the present work, the influences of different values of overlap factor on dressing (Ud=1,3 e 5), and grain size of the grinding wheel made of silicon carbide (Sic=800, 600 e 300 mesh) are analyzed on surface finishing of stainless stell AISI 420 (45 HRc) flat workpieces submitted to the lapgrinding process. Hence, it was made made necessary to build a brand new machine tool endowed with 5 degrees of freedom in a steel AISI 1045 structure with excellent mechanicalstiffness, associationg linear guideways, ballscrews, computerized numerical control (CNC) of the axels, and on-board monitoring of machining power. The lapgrinding machine has an apparatus for dressing the grinding wheel and another one to provide control of machining force and planetary Kinematics. The results showed that the smaller the average grain size, the lower the workpiece surface roughness. Increasing the value of overlap factor applied on dressing of the grinding wheel produced better surface quality of the workpieces. The best results, obtained after 10 minutes of machining, were average surface roughess (Ra) 1.19 um flatness deviation of 25.4 mm diameter workpieces; mirrored surface finishing... (Complete abstract click electronic access below)

A nanotecnologia não é mais um sonho, já faz parte da nossa realidade, do nosso dia a dia. É considerada, por muitos, a quinta Revolução Industrial, uma revolução tecnológica de grande abrangência, que poderá causar impactos talvez sem precedentes na história. A soma anual dos investimentos nesta nova tecnologia é de bilhões de dólares. Devido às inovações oriundas da nanotecnologia, os processos da manufatura e a medição de ultra-precisão vêm se desenvolvendo a cada dia. A nanotecnologia fez da usinagem de ultraprecisão com ferramenta de diamante uma grande aplicação na produção de itens de alto volume, tais como: disco de memória de computadores, lentes de contato, moldes de dentes, cilindros para impressão, espelhos metálicos. A alta integridade da superfície é requerida em todos os itens obtidos por este processo. Em conseqüência, é necessário um método de medição que seja o mais exato possível, isto é, que chegue a resultados o mais próximo possível do valor verdadeiro. Mas o que significa exatidão para uma análise ideal da superfície, uma vez que não existe referência para isso? Superfícies têm sido avaliadas por meio da medição da rugosidade, a qual consiste na determinação de um valor médio, de vários setores, dentro de valores limites preestabelecidos. A metrologia, através de seus métodos e princípios, é um importante instrumento para validar modelos e teorias. O conceito que \"uma vez testado, passa a ser aceito em qualquer lugar\". Daí a crescente necessidade de resultados de medições confiáveis que possam ser validados em qualquer lugar e a qualquer tempo. Assim, um caminho a ser seguido é o de se entenderem profundamente todos os métodos e princípios envolvidos nas operações de medição de rugosidade. E para que um método seja metrologicamente válido (ou aceitável), faz-se necessário realizarem-se comparações de diversas medições, de um mesmo mensurando, utilizando métodos diversos. Havendo discrepância nos resultados, é uma evidência de que as premissas e hipóteses levaram a acreditar que a teoria ou modelo adotado deve ser reavaliado. Este trabalho selecionou os três métodos mais utilizados na caracterização da integridade de superfícies técnicas obtida em torneamento de ultraprecisão com diamante, e descreveu uma metodologia para a avaliação da capabilidade do processo de controle de superfícies técnicas usinadas em torno de ultraprecisão. / Nanotechnology is no longer a dream. It is part of the real world. It is considered by many people as the fifth Industrial Revolution, a technological revolution of great impact in history. The world annual investment in this technology reaches billions of dollars. Due to innovations related to nanotechnology, ultraprecision manufacturing processes and metrology is developing steeply. Nanotechnology made single point diamond turning an important mass production process of, for instance, computer hard discs, contact lenses, moulds, printer cylinders, metallic mirrors, etc. High grade surface integrity is required of items produced by this process. As a consequence, it is necessary to use a measurement method which is most accurate as possible, i.e., resulting in a value as close as possible to the true. But what does true mean if there is no reference for that? Surfaces have been assessed by roughness measurements which determines a mean value of several sectors within pre-determined limits. Metrology, with its methods and principles, is an important instrument to validate models and theories. The concept, once tested, becomes accepted everywhere. Therefore the increasing necessity of reliable measurement results which may be validated anywhere and any time. Thus, it is essential a deep understanding of all methods and principles involved in roughness metrology operations. For a method to be metrologically accepted, it is necessary that it is compared with different methods. In the event of existing discrepancies, the premisses and hypotheses which fundamented the theory or model should be reassessed. Three of the most used methods have been selected to characterize the surface integrity of technical surfaces generated by diamond turning. A methodology to assess the capability of the process of control of those surfaces is proposed.

Trata do desenvolvimento de um porta-ferramenta translativo (PFT). Objetiva o microposicionamento relativo ferramenta/peça durante a usinagem de ultraprecisão, para atender à tolerâncias nanométricas. Define esse microposicionamento com o emprego de atuador piezelétrico. Mostra alguns aspectos de projeto aplicados à engenharia de precisão que foram usados no desenvolvimento do PFT. Relata as técnicas de controle aplicadas como PID e compensador por atraso de fase. Realiza uma análise para verificação dos modos de vibrar do PFT, identificando assim as freqüências naturais do sistema. Apresenta um modelo ideal, ou seja, todos os componentes foram fabricados e montados para a realização dos testes. Propõe que a estratégia de controle seja baseada em processar sinais adquiridos ao longo do microposicionamento da ferramenta para identificar a condição de posicionamento relativo ferramenta/peça e obter informações que foram posteriormente usadas em um controlador PID, para realimentação de posição. Conclui com a avaliação e testes experimentais de deslocamento da ferramenta de corte, até 25 &#956m; com freqüência, até 10 Hz, realizados com o PFT projetado. / This work deals with the development of a tool post (PFT) for the micropositioning of a tool during ultraprecision machining in the nanometric range. Micropositioning employing piezoelectric actuators is defined. Precision engineering designs aspects applied to the development of the PFT are discussed. Control techniques such as PID and phase-lag compensator are addressed. A computer simulation for the verification of the vibrating modes of the PFT, with the simultaneous identification of the natural frequencies is carried out. An ideal model - all components will be manufactured and assembled - is presented. A control strategy based on the processing of signals acquired during the micropositioning of the tool to identify the positioning condition and to obtain information to be used by a PID controller is proposed. Experimental tests are performed with displacement of the tool, up to 25 &#956m, with frequency, up to 10 Hz.

A fabricação de ultraprecisão - com suas dimensões atingindo níveis submicrométricos - tem-se mostrado um campo de trabalho que exige combinação do que há de mais avançado nas áreas de materiais, metrologia e controle. Para alcançar tais níveis de precisão, é necessário que se garanta excelente desempenho de cada um dos componentes e/ou subsistemas das máquinas. Sendo o par tribológico mancal - eixo-árvore elemento vital para o desempenho de uma máquina ferramenta, e baseado em estudos recentes que mostram que mancais convencionais de rolamento estão rapidamente atingindo seu limite, o estudo dos mancais pressurizados externamente se impõe. Com a crescente demanda por rigidez e precisão de giro, tais mancais tem-se tornado solução convencional ao contrário de condição especial. Os mancais aerostáticos, em particular, apresentam alta precisão de giro, baixa geração de calor, ausência de desgaste, alto amortecimento e limpeza. Essas características os tornam bastante atrativos em ambientes de fabricação de ultraprecisão, especialmente na indústria óptica e eletrônica, como por exemplo, na fabricação de semicondutores. O presente trabalho objetiva a comparação entre os comportamentos de dois mancais aerostáticos, com restritor do tipo orifício e com material cerâmico poroso, em relação as capacidades de carga e rigidez. Os resultados indicam a superioridade do mancal com restritor poroso quanto a capacidade de carga e também em relação à rigidez. / Ultra-precision machining - whose dimensions can reach sub-micrometric levels - has been shown to be an area of work requiring a combination of the best of materials, metrology and control. To achieve such accuracy levels, it is necessary to guarantee excellent performance of every component and/or machine subsystems. Being the tribological associated pair bearing/spindle a vital element for the performance of a machine tool, and based on recent researches that show that rolling bearings are reaching their limit very quickly, there has been an increasing demand for aerostatic bearings. These present good characteristics of stiffness, radial and axial accuracy, low heating generation, wear resistance and cleanliness. These features make them quite attractive in ultra-precision manufacturing environments, specially in the optics and electronics industries, such as in the manufacturing of semiconductors. The present work compares the stiffness and load carrying capacity of orifice restrictor and porous ceramic aerostatic bearings. The results show the superiority of porous aerostatic bearings as to loading capacity as well stiffness.

De maneira geral, a necessidade de aumentar o desempenho e diminuir o tamanho dos sistemas mecatrônicos tem levado a indústria moderna a idealizar e desenvolver sistemas de posicionamento com boas características de aceleração e precisão de posicionamento. Por outro lado, a crescente demanda de componentes com melhores características metrológicas e de acabamento, tais corno lentes para raio X e infra vermelho, tem exigido o desenvolvimento de variados tipos de sistemas de microposicionamento capazes de movimentar elementos de máquinas em distâncias muito pequenas com alto grau de exatidão, dentre os quais podem-se destacar os acionados por meio de atuadores piezoelétricos. Este trabalho propõe a utilização de um novo tipo de atuador baseado na propriedade de estricção eletromagnética de certas ligas metálicas (atuadores magnetoestritivos) associado a um sistema de controle digital que utiliza um algoritmo de controle baseado em lógica difusa e redes neurais artificiais para o controle de microposicionamento. Metodologias e princípios de projeto para engenharia de precisão são abordados de forma a auxiliar no desenvolvimento de dois protótipos de posicionadores para uso em usinagem de ultraprecisão. Resultados obtidos em testes experimentais apontam para urna melhoria no comportamento dinâmico dos microposicionadores acionados por atuadores magnetoestritivos. Isto permite sua utilização como alternativa válida no posicionamento submicrométrico. / In general, actual requirements such as high performance and small sizes of mechatronic systems, has led modern industry to design positioning systems with good characteristics of acceleration and positioning accuracy. The increasing demand of components with better metrological and finish characteristics, as X-ray and infra-red lens, has allowed the development of a number of types of micropositioning systems that are able to move machine elements to very small distances with high levels of accuracy. In this work it is proposed the use of a new type of actuator that applies the properties of electromagnetic strain of certain metallic alloys (magnetostrictive actuators). lt is also proposed the application of a digital control system that uses a control algorithm which is based on fuzzy logic and artificial neural networks for the micropositioning control. Design principles and methodologies related to precision engineering are discussed with the purpose of aiding the development of two prototypes of positioners for ultraprecision rnachining, experimental results show that micropositioner driven by magnetostrictive actuators have better dynamics behaviours. This allows the use of such actuators as an valid alternative for positioning in submicrometer range.

Este trabalho aborda o estudo e aplicação das ferramentas da metodologia TRIZ (Teoria da Resolução de Problemas Inventivos) aplicada na fase do projeto conceitual, no qual é desenvolvido um estudo de caso para escolha dos mancais, para cabeçotes de máquinas de corte do tipo \"Dicing Saw\". A metodologia TRIZ é direcionada para busca de idéias, através de uma abordagem sistemática da criatividade para a solução de problemas inventivos, consiste no reconhecimento da similaridade de um problema de projeto específico com um problema análogo, o qual tem uma solução conhecida no universo das patentes. É demonstrada a importância da capacidade de inovação como vantagem competitiva dentro do cenário atual, e como a TRIZ se apresenta como ferramenta sistêmica de suporte à criatividade inserida na fase de projeto conceitual, dentro do processo de desenvolvimento de produto. É desenvolvido um estudo de caso, no qual a TRIZ conduz à escolha sistemática de tipos de mancais apropriados, para eixos-árvore de alta velocidade para uma máquina denominada \"Dicing Saw\". O resultado da aplicação da TRIZ, dada as restrições operacionais foi a escolha de mancais aerostáticos porosos não-metálicos, os quais em conjunto com trabalhos na área de dinâmica de rotores foram manufaturados. A decisão pelo cabeçote com mancais aerostáticos porosos cerâmicos pode minimizar a influência de elevadas amplitudes de vibração durante usinagens sob alta rotação. Dessa forma, é possível concluir que, a metodologia TRIZ é uma ferramenta que permite a identificação de forma rápida e sistêmica os conceitos utilizados para solucionar problemas semelhantes direcionam a busca de soluções criativas para os problemas inventivos, intensifica a capacidade produtiva do engenheiro projetista, ampliando as alternativas, para encontrar melhores soluções, que podem resultar em um menor tempo, para lançamento de novos produtos, bem como melhorar desempenhos funcionais. / This work treats of study and application of the tools of methodology TRIZ (Theory of Inventive Problem Solving) applied to conceptual design where it is developed a case study to choice of pair of bearings more adequate for Dicing Saw machines. The TRIZ methodology leads the idea searches through systematic approach of creativity to solution of inventive problems where is recognized the common behavior of a specific problem with similar problem using patents database. It is demonstrated the importance of the innovation capacity as competitive advantage considering the current scenario and as the TRIZ technique acts as systematic tool to support for creativity and decision making during the conceptual design into product development process. So, it is developed a case study where the TRIZ lead the systematic selection of bearings for spindles of Dicing Saw machines or ultraprecision machines. The results of this study considering the operational constraints it was choice of aerostatic no-metallic porous bearings which were manufacturing to posterior study of dynamic behavior. The decision on spindle using ceramic aerostatic porous bearings can minimize the influence of high amplitudes of vibrations during the manufacturing on different operational ranges. Therefore it is possible to conclude that TRIZ is a technique or procedure that allows the fast and efficient identification of the physical and technical concepts to solution of the similar problems that directed creative alternatives when it is necessary new conceptual approaches, moreover to stimulate the productive capacity of the design engineer lead the search of the better solutions relating better functional solutions, less costs and small time to market.

Alguns espelhos usados em câmeras de satélite devem apresentar qualidade superficial elevada. Eles são normalmente fabricados em ZERODUR®, um material vitrocerâmico, por meio de processos abrasivos. Observou-se que a qualidade da superfície do material deteriora-se algum tempo após a usinagem, necessitando assim de retrabalho. A causa mais influente desse fenômeno é o crescimento de trincas devido à corrosão sobtensão. Estas trincas são geradas pelas condições impostas nos processos convencionais de lapidação e polimento. Este trabalho apresenta um estudo sobre a usinabilidade do ZERODUR® utilizando torneamento de ultraprecisão com ferramenta de diamante de ponta única como uma alternativa a estes métodos tradicionais. Amostras de ZERODUR® foram submetidas a testes de indentação e riscamento a fim de se estudar as propriedades mecânicas do material, a transição dúctil-frágil e os mecanismos de remoção de material. Com base nesses testes, foi delineado um experimento fatorial do tipo 23 para avaliar a influência das seguintes variáveis de usinagem: profundidade de corte, nos níveis 0,4 e 0,2 \'mü\'m, taxa de avanço, nos níveis 0,3 e 0,1 \'mü\'m/rev e ângulo de saída da ferramenta, nos níveis -5º e -20º. As amostras do experimento foram usinadas em um torno de ultraprecisão com a ferramenta de diamante de ponta única. A qualidade superficial de cada combinação foi avaliada por microscopia eletrônica de varredura e perfilometria óptica interferométrica. Os resultados dos experimentos foram analisados estatisticamente, por meio de análise de variância (ANOVA). Para os intervalos das variáveis testadas verificou-se que o ângulo de inclinação da ferramenta é o que mais afeta a qualidade superficial. Ângulos com inclinações mais negativas (-20º) proporcionaram as melhores qualidades superficiais (em torno de 200 nm). Nos resultados não houve evidência de que o corte do material tenha ocorrido dentro do regime dúctil. Porém, a rugosidade superficial encontrada em algumas combinações de corte sugere que o torneamento de ultraprecisão pode ser uma alternativa ao processo lapidação que antecede o polimento. Este trabalho de caráter exploratório contribui com estimativas de alguns parâmetros ótimos para usinagem do ZERODUR®, fornecendo subsídios para pesquisas futuras sobre este tema. / Some mirrors used in satellite cameras must present a high surface quality. They are usually made of ZERODUR®, a brittle glass ceramic, by means of abrasive processes. It was observed that the surface quality of the material deteriorates some time after the machining, thus requiring rework. The most influential cause of this phenomenon is the crack growth due to stress corrosion. These cracks are generated by the conventional machining processes of lapping and polishing. This work presents a study on the machinability of ZERODUR® using ultraprecision turning with single-point diamond tool as an alternative to these traditional methods. ZERODUR® samples were subjected to indentation and nano-scratching tests in order to study the ductile-brittle transition and material removal mechanisms. After that, a \'2 POT.3\' factorial experiment was designed in order to assess the influence of three machining parameters on the resulting surface roughness, which are: depth of cut (tested at levels 0,4 and 0,2 \'mü\'m), feed rate (tested at levels 0,3 and 0,1 \'mü\'m/rev) and rake angle of the cutting tool (tested at levels -5º e -20º). The samples were turned with single-point diamond tool using different combinations of the parameters at the levels described above. The surface quality of each sample was evaluated using an interferometric optical profiler and a scanning electron microscope (SEM). The results of the experiments were statistically evaluated by means of Analysis Of Variance (ANOVA). For the ranges tested, it was found that the rake angle of the tool was the most influential parameter. The angle of -20º provided the best values for surface quality, which were around 200 nm. There was no evidence that the cut of the material occurred in the ductile regime, however, the obtained surface roughness showed that the ultraprecision turning may be a feasible alternative for the lapping process of optical components. This exploratory research contributes to the existing knowledge by providing estimates for optimal parameters of ZERODUR® machining, furnishing empirical basis for future research in this field.