Tungsten metal is used as an electrical conductor in many modern microelectronic devices. One of the primary motivations for its use is that it can be deposited in thin films by chemical vapor deposition (CVD). CVD is a process whereby a thin film is deposited on a solid substrate by the reaction of a gas-phase molecular precursor. In the case of tungsten chemical vapor deposition (W-CVD) this precursor is commonly tungsten hexafluoride (WF6) which reacts with an appropriate reductant to yield metallic tungsten. A useful characteristic of the W-CVD chemical reactions is that while they proceed rapidly on silicon or metal substrates, they are inhibited on insulating substrates, such as silicon dioxide (Si02). This selectivity may be exploited in the manufacture of microelectronic devices, resulting in the formation of horizontal contacts and vertical vias by a self-aligning process. However, reaction parameters must be rigorously controlled, and even then tungsten nuclei may form on neighboring oxide surfaces after a short incubation time. Such nuclei can easily cause a short circuit or other defect and thereby render the device inoperable. If this loss of selectivity could be controlled in the practical applications of W-CVD, thereby allowing the incorporation of this technique into production, the cost of manufacturing microchips could be lowered. This research was designed to investigate the loss of selectivity for W-CVD in an attempt to understand the processes which lead to its occurrence. The effects of passivating the oxide surface with methanol against the formation of tungsten nuclei were studied. It was found that the methanol dissociates at oxide surface defect sites and blocks such sites from becoming tungsten nucleation sites. The effect of reactant partial pressure ratio on selectivity was also studied. It was found that as the reactant partial pressures are varied there are significant changes in the product partial pressure ratios, which are associated with gas phase reactions which contribute to the loss of selectivity.

O mercúrio, devido a suas propriedades físicas e químicas peculiares, é utilizado em grande número de atividades humanas, representando assim uma parcela significativa na economia de diversos paises. Por outro lado, o mercúrio possue propriedades tóxicas e que associadas à periculosidade dos seus vapores ou a dos resíduos industriais, representa considerável risco à saúde do trabalhador e dos moradores das adjacencias de indústrias que lidam com este metal. O mercúrio pode apresentar-se no meio ambiente sob várias formas, sendo que na forma metálica é que representa maior problema de saúde ocupacional, devido a formação de vapores inodoros e incolores - que possuem grande facilidade de penetração e absorção por via respiratória. Assim o mercúrio na forma de vapor mereceu maior atenção neste estudo. Nao se têm até o presente completamente esclarecido o mecanismo da ação tóxica do mercúrio no organismo humano, havendo ainda algumas contradições e divergências na interpretação de resultados laboratoriais de pesquisa do metal em urina, sangue, cabelos e outros meios biológicos, ou ainda das determinações de alterações metabólicas produzidas pela ação do mercúrio no organismo humano. Uma avaliação do risco de intoxicação profissional por vapores de mercúrio, representada pela determinação dos níveis de vapor de mercúrio num ambiente de trabalho, além da avaliação do risco em si, auxilia o médico no diagnóstico da intoxicação, bem como\'o engenheiro a testar a eficiência das medidas preventivas existentes. Ao planejar uma avaliação ambiental, de vapores de mercúrio o higienista industrial depara-se na bibliografia especializada, com processos diversos de captação e análise e sem indicação da eficiência na grande maioria. Foi então realizado um estudo comparativo entre os processos, mais viáveis, dois deles utilizando absorção em solução ácida de permanganato de potássio e solução de iôdo e outros dois utilizando adsorção com carvão ativo e com hopcalita. Para efeito de realização do estudo acima referido fez-se necessária a construção de equipamento que fornecesse uma atmosfera padrão de vapores de mercúrio - proposto e descrito no presente trabalho - foi fixado igualmente o processo analítico, tendo sido escolhido o de absorção atômica sem chama devido à sua alta sensibilidade, acuidade e precisão. As concentrações produzidas foram ligeiramente superiores à preconizada pela ACGIH como limite de tolerância e o processo que maior confiabilidade apresentou foi o que utiliza solução ácida de permanganato de potássio sendo o de maior acuidade e precisão. / Due to its peculiar physical and chemical properties, mercury is applied in a great nurnber of human activities and represents a significative portion of the economy of several countries. On the other hand mercury has some toxic properties that, when associated to its hazardous vapours or to industrial wastes becomes a considerable risk to the health of workers from industries that deal with it or the neighbouhood dwellers. Mercury can be found under several forms: the metalic one is the main problem to occupational health, specially when there is occurrence of mercury vapour - inodorous and uncoulored - easily absorbed by the respiratory tract. Thus, mercury vapour deserved our attention in this paper. The toxic action of mercury in human beings is not completely known yet for there are still some contradictions and divergencies about the interpretation of laboratorial findings of the metal in urine blood, hair and other biological samples as well as about the establishment of a threshould limit for metabolic alterations caused by the mercury in human organism. An evaluation of professional intoxication risk due to mercury vapour by measuring its level in a work area will help the physician to diagnosticate the intoxication and the engineer to test the eficacy of the existing preventive measures. When planning an environmental evaluation of the mercury vapour, the industrial hygienist can find different processes of collection and analysis in the specialized bibliography, most of them without any evidence of its effectiveness. A comparative study was then carried out on the most useful processes, two of them applying absortion in acid solution potassium permanganate and iodine solution, and the two others making use of adsortion with active charcoal and hopcalite. To fulfil the above mentioned study, it was necessary to buil up an equipment that could provide a standard atmosphere of mercury vapour (proposed and described here). The analitic process of flameless atomic absortion was chosen due to its high sensibility ando accuracy. The concentrations produced were slightly superior to the ones professed by the ACGIH as the threshol limit, and it was found that the most reliable process was the acid solution of pottassium permanganate, for its accuracy and eficiency.

O mercúrio, devido a suas propriedades físicas e químicas peculiares, é utilizado em grande número de atividades humanas, representando assim uma parcela significativa na economia de diversos paises. Por outro lado, o mercúrio possue propriedades tóxicas e que associadas à periculosidade dos seus vapores ou a dos resíduos industriais, representa considerável risco à saúde do trabalhador e dos moradores das adjacencias de indústrias que lidam com este metal. O mercúrio pode apresentar-se no meio ambiente sob várias formas, sendo que na forma metálica é que representa maior problema de saúde ocupacional, devido a formação de vapores inodoros e incolores - que possuem grande facilidade de penetração e absorção por via respiratória. Assim o mercúrio na forma de vapor mereceu maior atenção neste estudo. Nao se têm até o presente completamente esclarecido o mecanismo da ação tóxica do mercúrio no organismo humano, havendo ainda algumas contradições e divergências na interpretação de resultados laboratoriais de pesquisa do metal em urina, sangue, cabelos e outros meios biológicos, ou ainda das determinações de alterações metabólicas produzidas pela ação do mercúrio no organismo humano. Uma avaliação do risco de intoxicação profissional por vapores de mercúrio, representada pela determinação dos níveis de vapor de mercúrio num ambiente de trabalho, além da avaliação do risco em si, auxilia o médico no diagnóstico da intoxicação, bem como\'o engenheiro a testar a eficiência das medidas preventivas existentes. Ao planejar uma avaliação ambiental, de vapores de mercúrio o higienista industrial depara-se na bibliografia especializada, com processos diversos de captação e análise e sem indicação da eficiência na grande maioria. Foi então realizado um estudo comparativo entre os processos, mais viáveis, dois deles utilizando absorção em solução ácida de permanganato de potássio e solução de iôdo e outros dois utilizando adsorção com carvão ativo e com hopcalita. Para efeito de realização do estudo acima referido fez-se necessária a construção de equipamento que fornecesse uma atmosfera padrão de vapores de mercúrio - proposto e descrito no presente trabalho - foi fixado igualmente o processo analítico, tendo sido escolhido o de absorção atômica sem chama devido à sua alta sensibilidade, acuidade e precisão. As concentrações produzidas foram ligeiramente superiores à preconizada pela ACGIH como limite de tolerância e o processo que maior confiabilidade apresentou foi o que utiliza solução ácida de permanganato de potássio sendo o de maior acuidade e precisão. / Due to its peculiar physical and chemical properties, mercury is applied in a great nurnber of human activities and represents a significative portion of the economy of several countries. On the other hand mercury has some toxic properties that, when associated to its hazardous vapours or to industrial wastes becomes a considerable risk to the health of workers from industries that deal with it or the neighbouhood dwellers. Mercury can be found under several forms: the metalic one is the main problem to occupational health, specially when there is occurrence of mercury vapour - inodorous and uncoulored - easily absorbed by the respiratory tract. Thus, mercury vapour deserved our attention in this paper. The toxic action of mercury in human beings is not completely known yet for there are still some contradictions and divergencies about the interpretation of laboratorial findings of the metal in urine blood, hair and other biological samples as well as about the establishment of a threshould limit for metabolic alterations caused by the mercury in human organism. An evaluation of professional intoxication risk due to mercury vapour by measuring its level in a work area will help the physician to diagnosticate the intoxication and the engineer to test the eficacy of the existing preventive measures. When planning an environmental evaluation of the mercury vapour, the industrial hygienist can find different processes of collection and analysis in the specialized bibliography, most of them without any evidence of its effectiveness. A comparative study was then carried out on the most useful processes, two of them applying absortion in acid solution potassium permanganate and iodine solution, and the two others making use of adsortion with active charcoal and hopcalite. To fulfil the above mentioned study, it was necessary to buil up an equipment that could provide a standard atmosphere of mercury vapour (proposed and described here). The analitic process of flameless atomic absortion was chosen due to its high sensibility ando accuracy. The concentrations produced were slightly superior to the ones professed by the ACGIH as the threshol limit, and it was found that the most reliable process was the acid solution of pottassium permanganate, for its accuracy and eficiency.

Thesis (Ph. D.)--University of Texas at Austin, 2000. / Vita. Includes bibliographical references (leaves 141-150). Available also in a digital version from Dissertation Abstracts.

No description available.

Thesis (M.S.)--University of Wisconsin--Madison, 1984. / Typescript. eContent provider-neutral record in process. Description based on print version record. Includes bibliographical references (leaves 87-91).

Orientador: Saul Gonçalves D'Avila / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Quimica / Made available in DSpace on 2018-07-23T02:28:02Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Broglio_MariaIgnez_M.pdf: 3011249 bytes, checksum: f23ac104bf1670c1e83daf9d12ae09b3 (MD5) Previous issue date: 1995 / Résumé: L¿équilibre liquide-liquide-vapeur du système acetone/eau/cumène a eté étudié avec les donnés ternaire liquide-liquide, líquide-vapeur et liquid-liquid-vapeur, quiont eté determinées entre 50 et ¿70 GRAUS¿C. Les donnés d¿équilibre liquide-liquide ont été obtenues dans de cellules isothermiques et les pressions totales versus teneurs de la phase liquide ont été mésuré avec l¿isoténiscope. Les parameters du modèle NRTL/Hayden P¿Connell ont été ajustés statistiquement par une combinaison de donnés experimentales et de donnés binaries de la literarure. Quelques jeus de paramètres du système acetone/eau/cumène ont été utilisés pour simuler une colonne de séparation d¿acetóne dans un système acetone, l¿eau, cumène, alpha-methylestirene et phenol. Les meilleurs resultants de la simulation ont été obtenus par le biais des parameters du système acetone/eau/cumène liquide-liquide ternaire, exclusivement. Les simulations ont été effectué avec le simulateur Aspen Plus / Resumo: O equilíbrio líquido-líquido-vapor da mistura acetona/água/cumeno foi estudado a partir de dados de equilíbrio líquido-líquido, líquido-vapor e líquido-líquido-vapor do sistema ternário, determinados na faixa de 50 a ¿70 GRAUS¿C. Os dados de equilíbrio líquido-líquido foram obtidos em células de equilíbrio isotérmicas e os dados de pressão total versus composição da fase líquida foram medidos em um isoteniscópio. Parâmetros do modelo NRTL/Hayden O¿Connell foram conseguidos por ajustes estáticos combinando os dados experimentais obtidos com outros dados binários da literatura. Os vários conjuntos de parâmetros do sistema acetona/água/cumeno foram empregados na simulação de uma coluna de separação de acetona envolvendo os componentes acetona, água, cumeno, alfametilestireno e fenol. Os melhores resultados da simulação foram conseguidos com os parâmetros da mistura acetona/água/cumeno oriundos de dados ternários líquido-líquido exclusivamente. As simulações foram efetuadas pelo simulador Aspen 'Plus POT. TM¿ / Abstract: Acetone/water/cumene vapor-liquid-liquid equilibria has studied form liquid-liquid, liquid-vapor and liquid-liquid-vapor ternary equilibria data, which were mesured to temperature range 50 ¿ ¿70 GRAUS¿C. Liquid-liquid equilibria data were isothermic equilibria cells and total pressure versus liquid phase composition have measured with a static equilibria cell. NRTL/Hayden O¿Connell parameters were tuned statistically considering experimental data from this work and binary data from literature. Some parameter sets for the system acetone/water/cumene were used in acetone separation column distillation simulation. Others components as alfamethylstirene and phenol were involved in simulations. Best results from simulation was obtained with acetone/water/cumene system parameters which area gotten from exclusive liquid-liquid ternary data. All simulations were done by Aspen Plus Simulator / Mestrado / Desenvolvimento de Processos Químicos / Mestre em Engenharia Química

Orientador: Carlos Kenichi Suzuki / Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Mecanica / Made available in DSpace on 2018-08-14T07:35:33Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Santos_JulianaSantiagodos_D.pdf: 5083498 bytes, checksum: a60b455d6e9c947ecbd7491e564b8f10 (MD5) Previous issue date: 2009 / Resumo: Neste trabalho estudou-se o efeito da variação dos parâmetros do processo VAD (Vaporphase Axial Deposition) sobre as propriedades estruturais e ópticas da sílica vítrea visando o desenvolvimento de um material de alto desempenho óptico empregado no sistema óptico de equipamentos litográficos. As propriedades estruturais das preformas foram caracterizadas por microscopia eletrônica de varredura (MEV), espalhamento de raios-X a baixo ângulo (SAXS) e espectroscopia de absorção de estrutura fina de raios-X (XAFS). Absorção de raios-X (ARX) e tratamento de imagem digital foram utilizados para a obtenção da distribuição radial da densidade e da densidade média da sílica porosa, respectivamente. As propriedades ópticas foram determinadas por interferometria, espectroscopia óptica, espectrometria de polarização, espectroscopia Raman, espectroscopia no infravermelho e espectrofotometria de absorção óptica. Como principal resultado, obteve-se sílica vítrea com homogeneidade radial da estrutura, ?n = 3 ppm, birrefringência = 2 nm/cm e transmitância de 87 % em ? = 400 nm quando consolidada em atmosfera de He podendo superar 90 % quando consolidadas em vácuo. Este desempenho óptico foi obtido em até 95 % do diâmetro da preforma sem a necessidade de etapas adicionais, como o recozimento e a extração da região do diâmetro externo da preforma (geralmente a parte heterogênea) através de corte, reduzindo significativamente o tempo e custo de fabricação da sílica. / Abstract: This research reports the study of the effect of processing parameters of VAD (Vapor-phase Axial Deposition) method on structural and optical properties of silica glass aiming the development of an optically homogeneous material for use on lithographic equipments. The structural properties were characterized by the scanning electron microscopy (SEM), small-angle X-ray scattering (SAXS), and X-ray absorption fine structure (XAFS). X-ray absorption (XRA) and digital image processing were used to obtain the density radial distribution and average density of silica soot, respectively. The optical properties were determined by interferometry, optical spectroscopy, polarization spectrometry, Raman spectroscopy, infrared spectroscopy, and optical absorption spectrophotometry. As a main result, silica glass was produced with structural radial homogeneity, ?n = 3 ppm, birefringence = 2 nm/cm, and transmittance of 87 % at ? = 400 nm when it was consolidated with He atmosphere and higher than 90 % in vacuum. This optical performance was obtained in 95 % of preform diameter without additional steps, such as annealing and cutting of preform outer diameter region (usually the heterogeneous part) which significantly reduces the time and cost of silica fabrication. / Doutorado / Materiais e Processos de Fabricação / Doutor em Engenharia Mecânica

Orientador: Saul Gonçalves d'Avila / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Quimica / Made available in DSpace on 2018-07-18T15:46:34Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Wendhausen_VaniaMaria_M.pdf: 2540132 bytes, checksum: de4a00929a85d0c85bb2d4e41f634b81 (MD5) Previous issue date: 1993 / Resumo: As composições da fase vapor para três sistemas de baixa volatilidade, Acido Acetico/EMMPG, Acido Acético;AEMMPG e EMMPG/AEMMPG, foram obtidas por meio do Método de Pressão Total, a partir de dados de pressão de vapor das misturas medidos em um isoteniscópio, com desgaseificação prévia da mistura. Foram também medidos dados de pressão de vapor dos compostos puros. Observação: O resumo, na íntegra, poderá ser visualizado no texto completo da tese digital / Abstract: The vapor phase composition for three low volability system, Acetic Acid-Propylene glycol methyl eter, Acetic Acid-Propylene glycol methyl eter acetate, were obtained by the Total Pressure Method, using mixtures vapor pressure data. ...Note: The complete abstract is available with the full electronic digital thesis or dissertations / Mestrado / Mestre em Engenharia Química

Orientador: Osvair Vidal Trevisan / Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Mecânica / Made available in DSpace on 2018-08-28T11:42:17Z (GMT). No. of bitstreams: 1 EliasJunior_Antonio_D.pdf: 4086783 bytes, checksum: 191c12f04f51818fb12b75a3c273b418 (MD5) Previous issue date: 2015 / Resumo: O presente trabalho trata da caracterização experimental de petróleo em misturas contendo diferentes conteúdos de CO2. Os resultados experimentais são analisados através de correlações de propriedades PVT e de simulação computacional. O trabalho visa atender a notável carência de dados públicos sobre propriedades termodinâmicas de petróleo contendo CO2. Os dados PVT avaliados neste estudo contemplam ponto de bolha, ponto de orvalho, razão de solubilidade do óleo, fator volume-formação do óleo, fator volume-formação do gás, fator de compressibilidade do gás, fator de inchamento do óleo, massa específica do óleo, densidade do gás, viscosidade do óleo. São também avaliadas as cromatografias do óleo do reservatório, recombinado e também as cromatografias dos gases coletados durante o ensaio de liberação diferencial. As correlações utilizadas na análise resultados foram as de Standing, Valko-McCain, Al-Shammasi, Dindoruk, Beggs-Robinson e Vasquez & Beggs. Os principais fatores de seleção das correlações foram o espectro de dados dos quais se originaram as correlações e a média do erro relativo absoluto. As correlações selecionadas reproduziram bem os resultados obtidos no laboratório para o fator volume-formação, a razão de solubilidade do gás, o ponto de bolha e a viscosidade. A simulação computacional foi aplicada na análise dos resultados e na obtenção do envelope de fases da mistura através do ajuste da equação de estado de Peng-Robinson. O método usado para a simulação foi o de Coats & Smart, porém foram feitas modificações desse método para um melhor ajuste. O método adaptado reproduziu adequadamente os dados experimentais, sendo que todos os ajustes apresentaram um desvio padrão percentual menor que 6%. O envelope de fases descrito pelo simulador é considerado representativo do sistema, com boa aproximação. Com os resultados obtidos, foram realizadas análises das propriedades da mistura e do comportamento do equilíbrio de fases em decorrência das variações das concentrações molares de CO2, da temperatura e da pressão. Foi a constatado o surgimento de uma terceira fase líquida em algumas condições de tese configurando um equilíbrio L-L-V / Abstract: The present work refers to the experimental characterization of petroleum mixtures with variable contents of CO2. The experimental results are, analyzed via PVT properties correlations and computer model simulations. The work aims to cover the remarkable lack of public data on thermodynamic properties of petroleum containing CO2. The PVT data analyzed in the study comprise bubble point, dew point, oil solubility rate, gas and oil formation volume factor, gas compressibility factor, swelling test, oil density, gas density, oil viscosity. The chromatography of the recombined reservoir oil and also the chromatography of gases mixture collected during the differential liberation test are also evaluated. The correlations used in the analysis of the results were Standing, Valko-McCain, Al-Shammasi, Dindoruk, Beggs-Robinson e Vasquez & Beggs. The principal criteria used in the selection of the correlations were the range of data which originated the correlations and the average absolute relative error. The correlations reproduced well the results obtained in the laboratory for the formation volume factor, gas solubility ratio, bubble point and viscosity. The computer model simulation was used to analyze the data and also to define the phase envelope of the mixture by adjusting Peng-Robinson's state equation. The method used in the simulation was developed by Coats & Smart, but some modifications were made to obtain a better match. The modified method reproduced adequately the experimental results, within a standard deviation less than 6%. The phase envelope obtained from the simulation is considered, with good approximation, representative of the system. Once with the results obtained were performed analyses of the properties and phase equilibrium behavior of the mixture related with the CO2 molar concentration, temperature and pressure. A third liquid phase was observed in some conditions of the tests configuring a L-L-V phase equilibrium / Doutorado / Reservatórios e Gestão / Doutor em Ciências e Engenharia de Petróleo