面外共振振動を用いた多結晶シリコン薄膜メンブレンの疲労試験

Description

京都大学 / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第17789号 / 工博第3768号 / 新制||工||1576(附属図書館) / 30596 / 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 / (主査)教授 田畑 修, 教授 琵琶 志朗, 准教授 土屋 智由, 教授 北村 隆行 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM

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1. http://hdl.handle.net/2433/179358
2. 14301甲第17789号
3. 10.14989/doctor.k17789
4. 14301

Tags

多結晶シリコン

疲労試験

面外振動

共振

メンブレン

500

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/179358
Date	23 May 2013
Creators	種村, 友貴
Contributors	田畑, 修, 琵琶, 志朗, 土屋, 智由, 北村, 隆行, Tanemura, Tomoki, タネムラ, トモキ
Publisher	京都大学 (Kyoto University), Kyoto University
Source Sets	Kyoto University
Language	Japanese
Detected Language	Japanese
Type	doctoral thesis, Thesis or Dissertation
Format	application/pdf
Rights	許諾条件により要旨・本文は2014-05-20に公開