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Comportamento eletroquímico do aço-carbono ABNT 1006 em meio etanólico na presença de cafeína / Electrochemistry behavior of low-carbon steel abnt 1006 in ethanolic medium in the presence of caffeineTrindade, Letícia Guerreiro da January 2008 (has links)
Neste trabalho foi investigado o efeito inibidor da cafeína nos processos corrosivos do aço-carbono em etanol p.a., utilizando como eletrólito suporte LiCl ou LiClO4. Avaliouse também o efeito inibidor do composto sobre o comportamento do metal em soluções mais agressivas, com adição de água, cloreto e ácido acético, na presença e na ausência de cafeína. As propriedades inibidoras da cafeína foram avaliadas por ensaios de perda de massa, espectroscopia de impedância eletroquímica, voltametria cíclica, curvas de Tafel e cronoamperometria. As curvas de Tafel mostraram tratar-se de um inibido anódico. As diferentes técnicas utilizadas tiveram um resultado similar, mostrando que a cafeína é um bom inibidor para o aço-carbono em etanol, inclusive quando se aumenta a agressividade do meio, com adição de contaminantes. As medidas mostraram que o primeiro passo da interação entre a cafeína e a superfície do metal é através do processo de adsorção. Os valores encontrados para a variação da energia livre de adsorção de Gibbs sugerem um processo de adsorção químico e espontâneo. Em alguns casos constatou-se a diminuição da eficiência de proteção para valores de concentrações maiores de cafeína. Este resultado foi relacionado ao efeito quelante do composto. Alguns dos métodos utilizados mostraram que, mesmo no meio onde se simulou a presença de ácido acético como contaminante, a cafeína participa no sentido de melhorar a eficiência de inibição. A presença de cloreto, analisado como contaminante, também não impediu a cafeína de atuar como inibidora dos processos corrosivos do metal. / In this work it was determined the inhibitory effect of caffeine on the corrosion processes of low-carbon steel in pure ethanol, using Lithium chloride or Lithium perchloride as supporting electrolyte. More aggressive solutions containing water, chloride and acetic acid were tested also in absence and in the presence of caffeine. The inhibitory ability of caffeine was confirmed by weight loss experiments; cyclic voltammetry; polarization curves; chronoamperometric tests and electrochemical impedance spectroscopy studies. It is presented experimental evidences by Tafel curves that caffeine has an ability to block anodic charge transfer reactions on the electrode surface. Despite of the different methodologies used it was unequivocal the conclusion that caffeine may be considered an excellent corrosion inhibitor for the low-carbon steel in ethanol even at more aggressive conditions. It was unequivocal from the measurements to conclude that the first step of the interaction between the electrode surface and caffeine started with the adsorption process. The values of free adsorption Gibbs energy determined suggest a chemical and spontaneous process. However, in some experiments it was clear the chelating effect of the caffeine. The addition of acetic acid as contaminant it was observed a kind of synergism between caffeine and acetate anion. The inhibitory effect of the caffeine was visible even in the presence of a controlled amount of chloride as contaminant.
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Nanotubos de carbono como adsorvente de hidrogênio : produção e caracterização comparativa com outros materiais carbonos adsorventesBonadiman, Renato January 2007 (has links)
Neste trabalho, nanotubos de carbono (NTC) foram produzidos e analisados quanto à adsorção de hidrogênio, comparativamente a outros materiais de estrutura carbonosa, como carvão ativado, grafite e negro de fumo, também utilizados como adsorvente de gases. Os nanotubos de carbono, tanto os de parede simples (NTCPS) como os de parede múltipla (NTCPM), foram produzidos pelo processo de deposição química a vapor catalisada (DQVC). Como fonte de carbono, foi empregado o gás natural. A síntese dos nanotubos de carbono ocorreu à pressão atmosférica. Para a síntese dos nanotubos de paredes simples, foram utilizados catalisadores de Fe/Mo/MgO (preparados pelo método da impregnação) e para nanotubos de paredes múltiplas, Fe/Cr2O3 (preparado pela técnica de síntese por combustão de solução). O grafite convencional foi submetido a um tratamento químico com H2SO4 e HNO3 e tratamento térmico (a 1000°C) para desfoliamento. Os demais materiais carbonosos como o negro de fumo e o carvão ativado, não sofreram nenhuma espécie de pré-tratamento. Os materiais carbonosos foram caracterizados quanto à densidade (picnometria), área superficial (BET), difração de raios X e microscopia óptica e eletrônica de varredura. Os nanotubos de carbono também foram caracterizados através de Raman e microscopia eletrônica de transmissão. A adsorção de hidrogênio foi medida através de um aparato do tipo Sieverts’. Este aparato permite o cálculo da capacidade de adsorção dos materiais pela diminuição da pressão do sistema já que o volume utilizado é fixo. Em cada experimento, cerca de 20 ml de material eram utilizados. Cada ciclo de adsorção foi repetido, variando-se a pressão de hidrogênio de 4MPa até 12MPa, com incrementos de 2MPa por ciclo. Assim, pôde-se avaliar a capacidade de adsorção dos diferentes materiais pela criação de uma curva de adsorção. A maior área superficial dentre os materiais testados foi a do carvão ativado (cerca de 710g/m2). A segunda maior área superficial foi a dos NTCPS (cerca de 687g/m2). A cinética do processo de adsorção, bem como o formato das isotermas, indicaram adsorção pelo processo de fisisorção. Os melhores resultados de adsorção foram obtidos com nanotubos de paredes múltiplas e nanotubos de paredes simples, sendo este último o de melhor desempenho, com uma adsorção de 2,3% em peso de hidrogênio a 12MPa. O carvão ativado e o grafite esfoliado também apresentaram expressivos valores de adsorção de H2. / In this work, adsorption test in carbon structures, as carbon black, activated carbon, graphite and carbon nanotubes were carried on. The tested carbon nanotubes, both single and multi walled carbon nanotubes, were synthesized by the catalytic chemical vapor deposition method (CCVD). As carbon source, natural gas was applied. The carbon nanotubes synthesis occurred in atmospheric pressure. For the single walled carbon nanotubes (SWCNT) synthesis, a Fe/Mo/MgO catalyst was applied (through the impregnation method) and for the multi walled carbon nanotubes (MWCNT) synthesis, a Fe/Cr2O3 catalyst, obtained trough the combustion synthesis method, was applied. Graphite was submitted to a chemical (H2SO4 and HNO3) and thermal treatment (1000°C) in order to promote exfoliation. The other carbon materials as the carbon black and the activated carbon weren’t submitted to any previous modification. The carbon materials were characterized trough picnometry (to determine the material density), superficial area (BET), X-ray diffraction and optical and electronic microscopy. The carbon nanotubes (CNT) were also characterized trough Raman and transmission electron microscopy (TEM). The hydrogen adsorption was measured using a Sievert’s apparatus. This system allows the measurement of the materials adsorption capacity trough the measurement of the system pressure decrease since the volume was maintained constant. In each experiment, about 20ml of material was used. Each adsorption cycle was repeated, varying the hydrogen pressure from 4MPa to 12MPa, increasing 2MPa per cycle. Thus, was possible to evaluate the adsorption capacity of the different materials trough the creation of an adsorption curve. The activated carbon shown the greatest superficial area (about 710g/m2).The second greatest surface area was shown by the SWCNT (about 687g/m2). The adsorption kinetic process and the form of the adsorption curves indicated that the adsorption was a physic process (physisorption). The best adsorption results were obtained using the multi and single walled carbon nanotubes, the last one presented an adsorption of 2.3%wt when submitted to 12MPa of pressure. The activated carbon and the exfoliated graphite also presented expressive values of hydrogen adsorption.
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O modelo de Timoshenko em nanotubos de carbono duplos e o efeito de van der Waals.Silva, Celso Menoti January 2009 (has links)
Este trabalho faz um estudo das vibrações em um nanotubo de carbono com paredes duplas, sob a influência de forças intermoleculares. É considerado o modelo estrutural da viga de Timoshenko sujeito ao efeito de van der Waals. As amplitudes na análise modal são determinadas através da resolução de um problema de autovalor com uma equação diferencial linear de segunda ordem com coeficientes matriciais de quarta ordem que dependem não-linearmente do autovalor. A formulção matricial utiliza a base gerada pela função de Green matricial de valor inicial. Esta função depende da resolução de um problema de valor incial com uma equação diferencial escalar de oitava ordem. São apresentados os métodos de Clenshaw e Urabe para a resolução aproximada com o uso de expansão em série com os polinômios de Chebyshev. / This work makes a study of the vibrations in a double-walled carbon nanotube, under the influence of intermolecular forces. It is considered the structural model of the Timoshenko beam of subject to the effect of van der Waals. The amplitudes in modal analysis are determined by solving an eigenvalue problem with a second-order linear differential equation whose matrix coefficients re of fourth-order and depend non-linearly upon the eigenvalue. The matrix formulation employs a basis generated by the initial value Green matrix function. This function depends on resolution of an initial value problem with an eight-order scalar differential equations. The methods of of Clenshaw and Urabe are presented for the approximate solving with the use of series expansions with the polynomials of Chebyshev.
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Desenvolvimento de espumas de poliuretano revestidas com formas alotrópicas de carbono para utilização como sorvente de petróleo e outras substâncias orgânicasFenner, Bruna Rossi 28 November 2017 (has links)
No description available.
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Caracterização de biocarvões de palha de café e casca de eucalipto produzidas a 350 e 600ºCBARBOSA, C. F. 31 August 2016 (has links)
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Previous issue date: 2016-08-31 / Biocarvão é o produto da decomposição térmica de materiais orgânicos sob baixa concentração de oxigênio e em temperaturas controladas. Os benefícios agronômicos e ambientais do seu uso estão associados a temperatura de pirólise e a matéria prima utilizada para o seu processamento. Este estudo teve por objetivo avaliar a influência da matéria prima e da temperatura de pirólise na caracterização final do produto e nas alterações de suas características químicas e físicas. Para isso, os biocarvões foram provenientes de duas temperaturas (350 °C e 600 °C) e dois resíduos (palha de café - PC e casca de eucalipto - CE). O processo de pirólise lenta foi realizado em um reator metálico de leito fixo hermeticamente fechado, com tempo de permanência do material na temperatura final de 60 minutos. Os rendimentos em biocarvão, bio-óleo e gases foram quantificados e nos biocarvões foram
determinados: os teores elementares de carbono (C), hidrogênio (H), nitrogênio (N) e oxigênio (O), pH, capacidade de troca catiônica (CTC), teor de cinzas (Cz) e de nutrientes (Ca, Mg, K e P). As mudanças morfológicas decorrentes do processo de pirólise foram investigadas por microscopia eletrônica de varredura (MEV). Determinou-se a densidade aparente (Da) pelo método da proveta, e a capacidade de retenção de água dos biocarvões a (-
33kPa) em extrator de placa porosa. Os resultados experimentais mostraram que a pirólise da CE a temperatura de 350 °C proporcionou maior rendimento em biocarvão. O tipo de matéria prima não influenciou os teores de C dos biocarvões, apenas os teores de H, O e N. Biocarvões obtidos da PC apresentaram maiores teores de Mg, P e K, maior CTC e pH mais alcalino. Biocarvões de CE apresentaram maiores teores de Ca e cinzas. A pirólise a 600 °C obteve biocarvões com maior relação C/N, menores teores de H, N e O, menor CTC, maior teor de cinzas e nutrientes, pH mais alcalino e maior aromaticidade. A análise de espectroscopia de Infravermelho por Transformada de Fourier (FTIR) evidenciou uma diminuição de grupos funcionais e aumento de grupos aromáticos com a elevação da temperatura. As micrografias de MEV demonstraram que os biocarvões obtidos a 600 °C apresentaram poros mais desenvolvidos, com menor espessura da parede e maior desarranjo estrutural. A densidade dos biocarvões variou em função da matéria prima utilizada, os
biocarvões de CE apresentaram maior densidade, em relação aos de PC.
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Condicionamento espectral da luz de um WigglerGarcia Perez, Oscar Armando 28 July 1995 (has links)
Orientador: Antonio Rubens Britto de Castro / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica "Gleb Wataglin" / Made available in DSpace on 2018-07-20T21:46:26Z (GMT). No. of bitstreams: 1
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Previous issue date: 1995 / Resumo: Esta tese descreve o projeto de um sistema de filtros de carbono, a ser instalado nas linhas de wiggler do Laboratório Nacional de Luz Sincrotron (LNLS). O sistema compõe-se de seis películas, com uma densidade superficial total x=61627mg/cm2, tendo uma transmissão de 75% em 8 K e V. Analisou-se a influência das impurezas e demostrou-se que seu efeito é desprezível. Foram realizadas simulações com o programa de elementos finitos MODULEF, para predizer o comportamento termo-mecânico das películas, a tensão máxima está perto do limiar de segurança. O sistema de filtros será montado alterando um componente padrão dos "front-ends" nas linhas de luz, a chamada máscara refrigerada / Abstract: This thesis describes a project of carbon filters system, which will be installed in the wiggler ljnes of the National Laboratory of Sinchrotron Light (LNLS). The system consist of six films, with a total surface density of x = 61627 m g / cm2 , possessing a transmition of 75% at 8 K e V. The influence of impurities was analyzed showing that its effect is inmaterial. Simulations were carried out with the program of finit elements MODULEF to predict the thermo-mechanical behaviour of the films the maximum tension lay close to the security threshold. The filters system will be assembled changing one standard compound of the front-ends in the beamlines, a so-called refrigerated mask / Mestrado / Física / Mestre em Física
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Deposição de filme de diamante policristalino e diamond-like carbon-DLC por chama oxi-acetilênicaHaga, Mario Susumo 21 February 1997 (has links)
Orientador: Yoshikazo Ernesto Nagai / Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin / Made available in DSpace on 2018-07-22T04:43:52Z (GMT). No. of bitstreams: 1
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Previous issue date: 1997 / Resumo: Avanços recentes no processo CVD (chemical vapor deposition) para a deposição de diamante e de DLC (diamond-like carbon), à baixa pressão, têm atraído para este campo muitos pesquisadores dos meios acadêmicos e industriais. As propriedades físicas e quimicas excepcionais tornam estes materiais muito estratégicos para aplicações científicas e tecnológicas.
No presente trabalho de Tese, o método de chama oxi-acetilênica tem sido aplicado para depositar filmes de diamente policristalino e de DLC. Amostra típica de diamante auto-sustentado tem sido obtido em deposições sobre substrato de TiN a 800 ºC, usando um sistema de refrigeração à água e com queimadores com gases pré-misturados. A razão O2/C2H2 foi definida em torno de 0,9 com fluxo de oxigênio 670 sccm para deposições por cerca de três horas. O filme espesso destacado do substrato, foi caracterizado por difração de raios-X em uma nova metodologia para matrizes de materiais amorfos com diferentes densidades de partículas de diamante. A varredura do estreito feixe de raio-X é procedida ponto a ponto, ao longo do diâmetro da amostra / Abstract: Recent advances in the CVD (chemical vapor deposition) process for low pressure deposition of the diamond and od the DLC (diamond-like carbon) have attracted many researches into this field in academic and industrial laboratories. The unusual physical and chemical properties of these materials make them highly desirable for scientific and technological applications.
In this thesis work the oxy-acetylene flame method has been applied to grow diamond and DLC films. A typical diamond self-standing sample has been deposited on TiN substrate at 800º C, using a water coolef nozzle with pre-mixed gases. The ratio O2/C2H2 was held at 0,9 and oxygen flux of 670 sccm for about three hours. The detached thick film has been characterized by X-ray diffraction in a novel methodology as applied to diamond particles embedded in an amorphous matrix. A thin S-ray beam has been scanned point by point along a diameter of the sample. In this way the amount of crystaline phase has been mapped and quantified relatively to the amorphous phase / Doutorado / Física / Doutor em Ciências
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Influencia do uso de carvão ativado em po no pre-tratamento de aguas de abastecimentoStahl, Nilson Sergio Peres, 1958- 14 November 1997 (has links)
Orientador: Ruben Bresaola Junior / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Civil / Made available in DSpace on 2018-07-23T00:25:32Z (GMT). No. of bitstreams: 1
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Previous issue date: 1997 / Resumo: : A utilização do carvão ativado em pó (CAP) em algumas estações de tratamento de águas de abastecimento, principalmente em determinadas regiões do Brasil, tem ocorrido, sem que qualquer acompanhamento da variação da qualidade final da mesma, tenha, realmente, acontecido devido a essa tecnologia aplicada. Deste modo foi objetivo deste trabalho, estudos sobre a influência do uso do CAP, no tratamento de águas de abastecimento oriundas de um manancial, sanitariamente desprotegido, que abastece uma grande parte da "Região Metropolitana" de Campinas, SP, Brasil. Foi desenvolvida investigação experimental da influência do pré tratamento de águas de mananciais superficiais, com o uso do CAP em diferentes dosagens, bem como em relação a diferentes tempos de detenção. CAP oriundos de diferentes fornecedores foram utilizados durante o desenvolvimento do trabalho, apresentando resultados bastante diferenciados. Foram obtidos diagramas de coagulação no mecanismo de varredura, para a determinação das melhores faixas de operação, para o processo seguinte ao de aplicação do CAP. Foram estudados quesitos relativos à remoção de turbidez, cor parente, variação de valores de pH, de sais de ferro e manganês total, bem como de carbono orgânico total (COT). Os resultados obtidos puderam mostrar a importância dos diagramas de coagulação, quando se trata da aplicação do CAP em ETAs do tipo convencionais, bem como a importância da fonte de fornecimento do carvão ativado no tocante às características física~ e propriedades de adsorção. ...Observação: O resumo, na íntegra, poderá ser visualizado no texto completo da tese digital / Abstract: The use of powdered activated carbon (PAC) in some Brazilian plants has happened without any accompaniment in the variation of the final water quality, as a result of this tecnology. This way, the objective of this work is to study the PAC influence on the water treatment supply from sanitary umprotected sources that provide a large part of the Campinas 'Metropolitan Region', SP, Brazil. An experimental investigation was developed about the influence of the use of PAC on the superficial water supply pretreatment, in different dosages and residence times, as well. PAC from different manufactures were used during the work, presenting different results. Coagulation diagrams were gotten in the 'sweep coagulation' in order to get the best operation zone for the next process of PAC application. Points on turbity and color removal, pH values variation, iron and manganese salts, and total organic carbon (TOC) as well, were investigated. The investigation results show the importance of using the coagulation diagram in the PAC application in convencional plants, as weIl the PAC sources, concerning at its fisical characteristics and adsorption proprierties. The work outstands the necessity of making the phisical, adsorption, chemical and phisiochemical tests before the PAC application. Afier filtration by a ' / Mestrado / Mestre em Engenharia Civil
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Propriedades mecânicas de filmes finos de carbono amorfo hidrogenadosLacerda, Rodrigo Gribel 19 February 1998 (has links)
Orientador: Francisco das Chagas Marques / Dissertação (mestrado) - Universidade estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin / Made available in DSpace on 2018-07-23T09:50:19Z (GMT). No. of bitstreams: 1
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Previous issue date: 1998 / Resumo: Neste trabalho realizamos o estudo das propriedades mecânicas de filmes de carbono amorfo hidrogenados. Estes filmes possuem grande interesse em várias aplicações tecnológicas como camada protetora, revestimento de discos magnéticos, camada anti-refletora, diodos fotoluminescente, entre outras. Um dos maiores problemas que limita a sua aplicação, é o alto valor de stress geralmente encontrado em filmes com alta dureza. Este stress é o principal responsável pela pouca adesão dos filmes de carbono amorfo duros. Desta forma, a produção de filmes com baixo stress, sem decréscimo da dureza, é bastante importante para a aplicação tecnológica deste material.
Os filmes foram preparados utilizando um sistema de rf sputtering através da decomposição do metano. Conseguimos obter filmes com excelentes propriedades mecânicas, isto é, filmes com alta dureza, baixo stress e alta taxa de deposição ao variarmos a tensão de bias do sistema. Foram preparados filmes com dureza de 17 GPa, stress de 0.5 GPa e taxa de deposição de 2.5 Å/s. Filmes com a dureza e stress acima podem ser de grande interesse para uma possível aplicação tecnológica como camada protetora. Conseguimos também encontrar uma grande evidência do processo de sub-implantação, utilizado para explicar o processo de formação de filmes de carbono amorfo altamente tetraédricos (ta-C,ta-C:H), para filmes de a-C:H preparados através de decomposição de gases. Propomos que a estrutura dos nossos filmes consiste de uma matriz dispersa dos sítios sp2 responsáveis pela rigidez da rede. O papel principal das ligações Sp3 C-C ( carbono quaternário) é de gerar a maior contribuição do stress compressivo existente no material, como também contribuir para a dureza do filme.
Realizamos também a preparação de filmes com boas propriedades mecânicas variando a pressão de metano da câmara. Obtivemos nestas condições de preparação, filmes de a-C:H duros em toda a faixa de pressão estudada. Além disto, conseguimos uma considerável redução do stress, cerca de 50%, sem um significante decréscimo da dureza do material. Encontramos também que o coeficiente de dilatação térmica e o módulo biaxial permanecem constantes em toda a faixa de pressão estudada. O aumento no gap de Tauc e da área da vibração C-H stretching sugere um aumento no número de ligações C-H na estrutura dos filmes com o aumento da pressão. Conseguimos obter filmes com dureza de 17 GPa, stress de 1.3 Gpa, e com uma taxa de deposição relativamente alta de 2 Å/s. Dependendo da espessura, a redução do stress obtida já é
baixa o suficiente para a preparação de filmes estáveis. Apesar do stress deste filme (1.3 GPa) ser maior quando comparado com o stress obtido dos filmes preparados a alto bias (0.56 GPa), estes possuem um valor de gap ótico mais alto o que viabiliza a sua utilização como camada anti-refletora ou revestimento de peças óticas / Abstract: In this work we have developed a study on the mechanical properties of hydrogenated amorphous carbon films. These films have numerous potential applications like wear resistant coatings, magnetic recording disk, antireflective coatings, photoluminescent diode, etc. One of the main problems that hinders these applications is the high internal stress, usually present in films with high hardness. It is well known that high stress is responsible for the poor adhesion of hard amorphous carbon films. Therefore, the production of films with low stress is extremely important for technological application.
In this work, the films were prepared in a conventional rf sputtering system through methane gas decomposition. The fi1ms produced as a function of the bias voltage possessed excellent mechanical properties: high hardness, low stress and high deposition rate. We have been able to prepare a fi1m with hardness of 17 GPa, stress as low as 0.5 GPa and with a deposition rate of 2.5 Å/s. A film with these properties can be of significant interest for technological application as hard coating. Also, we found a strong evidence that the subimplantation process, used to explain the formation of highly tetrahedral amorphous carbon films (ta-C,ta-C:H), is also valid for a-C:H films deposited by methane plasma decomposition. We proposed that the rigidity of our films is basically provided by a matrix of dispersed cross-linked Sp2 sites. The main role of the quaternary carbon (Sp3 C-C) would be to strain the cross-linked structure, providing the major contribution to the compressive stress presented in the films, and also a small improvement of the material hardness.
We have also obtained films with good mechanical properties by varying the methane gas pressure. Remarkable reductions of the film stress, of about 50%, without a significant decrease of the film hardness were obtained. The thermal expansion coefficient and the biaxial modulus remained constant in alI pressure range. The increase in both Tauc gap and C-H stretching area suggests a increase of the number of C-H bonds in the film structure as the methane pressure increases. We also prepared films with hardness of 17 GPa, stress of 1.3 GPa and a deposition rate of 2 Å/s. The stress of these films are sufficient low for a possible application of these material as hard coating. Although this stress is higher than the stress of the films produced at high bias, these films have a higher value of the Tauc gap, which provides a potential application of these films as anti-reflecting coatings / Mestrado / Física / Mestre em Física
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Contribuição ao estudo das propriedades fisicas e quimicas do filme amorfo de carbono hidrogenadoFissore, Alfeu 14 July 2000 (has links)
Orientador: Edmundo da Silva Braga / Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação / Made available in DSpace on 2018-07-26T18:31:21Z (GMT). No. of bitstreams: 1
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Previous issue date: 2000 / Resumo: O filme amorfo de carbono [Amorphous Hydrogenated Carbon-(a-C:H)] apresenta altíssima resistência química às soluções aquosas, tanto ácidas como básicas, freqüentemente usadas para corroer e/ou polir vários tipos de materiais aplicados como substratos nas tecnologias da microeletrônica e/ou de microusinagem. Além disso este filme é facilmente removível por plasma de oxigênio. A alta resistência química do filme de a-C:H implica que finas camadas do mesmo podem mascarar a corrosão do substrato por longos intervalos de tempo. O fato de este filme poder ser depositado à temperatura ambiente resulta na possibilidade da adoção da técnica de "lift-off', para seleção das áreas de deposição. Para a adoção da técnica de "lift-off' a espessura do fotorresiste tem que ser ligeiramente maior que a espessura do filme a ser depositado e, portanto, quanto menor for a espessura do filme menor será a espessura do fotorresiste necessária, implicando diretamente em ganhos na resolução do processo fotolitográfico. Devido às razões acima expostas o propósito deste trabalho é o estudo do comportamento do filme de a-C:H quando utilizado como mascaramento de corrosão em meios aquosos, tanto ácidos como básicos. No Capítulo I, faz-se considerações gerais sobre propriedades do filme de carbono e sobre corrosões químicas em meios aquosos, incluindo-se considerações genéricas sobre os modelos das Corrosões Químicas Isotrópicas (CQI) e ,Corrosões Químicas Anisotrópicas (CQA) bem como as prováveis relações estequiométricas que regem a reação química global do fenômeno da corrosão. O Capítulo II é dedicado ao planejamento e execução das experiências bem como ao levantamento dos dados. Finalmente o Capítulo III é dedicado à apresentação e análise dos resultados, bem como às conclusões / Abstract: Amorphous Hydrogenated Carbon(a-C:H) film presents a very high chemical resistance to the acid and basic aqueous chemical solutions frequently used to etch and/or polish several kinds of materials applied as substrate in the microelectronics and/or micromachining technologies. Besides, the a-C:H film is easily removed from substrate surface by oxygen plasma etching. The high chemical resistance of the film implies that thin the film layers can mask the substrate etching for long time intervals. The fact that film can be deposited at ambient temperature results in the possibility of adopting the lift-off technique to select the deposition areas. For the adoption of the lift-off technique, the photoresist thickness must be slightly greater than the film thickness to be deposited. So, the lower the film thickness the lower the necessary photoresist thickness will be, implying directly in gain in the photolitografic process resolution. Due to the reasons above exposed, the purpose of this work is the study of the a-C:H film behavior when used as etching mask in acids and basics aqueous medium.
Sequentially, it is described how this work is structured. In Chapter I it is made general considerations about generic properties a-C:H film and about chemical corrosions in aqueous solutions including generic considerations about Isotropic Chemical Etching and Anisotropic Chemical Etching models, as well as about the more probable stoichiometrics relations determining the global chemical reaction of the corrosion phenomenon. Chapter II is dedicated to the planning and execution of the experiences. Finally, Chapter III is dedicated to results presentation and analyses as well as to conclusions / Doutorado / Doutor em Engenharia Elétrica
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