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Analyse des modèles résines pour la correction des effets de proximité en lithographie optique / Resist modeling analysis for optical proximity correction effect in optical lithography

Top, Mame Kouna 12 January 2011 (has links)
Les progrès réalisés dans la microélectronique répondent à la problématique de la réduction des coûts de production et celle de la recherche de nouveaux marchés. Ces progrès sont possibles notamment grâce à ceux effectués en lithographie optique par projection, le procédé lithographique principalement utilisé par les industriels. La miniaturisation des circuits intégrés n’a donc été possible qu’en poussant les limites d’impression lithographique. Cependant en réduisant les largeurs des transistors et l’espace entre eux, on augmente la sensibilité du transfert à ce que l’on appelle les effets de proximité optique au fur et à mesure des générations les plus avancées de 45 et 32 nm de dimension de grille de transistor.L’utilisation des modèles OPC est devenue incontournable en lithographie optique, pour les nœuds technologiques avancés. Les techniques de correction des effets de proximité (OPC) permettent de garantir la fidélité des motifs sur plaquette, par des corrections sur le masque. La précision des corrections apportées au masque dépend de la qualité des modèles OPC mis en œuvre. La qualité de ces modèles est donc primordiale. Cette thèse s’inscrit dans une démarche d’analyse et d’évaluation des modèles résine OPC qui simulent le comportement de la résine après exposition. La modélisation de données et l’analyse statistique ont été utilisées pour étudier ces modèles résine de plus en plus empiriques. Outre la fiabilisation des données de calibrage des modèles, l’utilisation des plateformes de création de modèles dédiées en milieu industriel et la méthodologie de création et de validation des modèles OPC ont également été étudié. Cette thèse expose le résultat de l’analyse des modèles résine OPC et propose une nouvelles méthodologie de création, d’analyse et de validation de ces modèles. / The Progress made in microelectronics responds to the matter of production costs reduction and to the search of new markets. These progresses have been possible thanks those made in optical lithography, the printing process principally used in integrated circuit (IC) manufacturing.The miniaturization of integrated circuits has been possible only by pushing the limits of optical resolution. However this miniaturization increases the sensitivity of the transfer, leading to more proximity effects at progressively more advanced technology nodes (45 and 32 nm in transistor gate size). The correction of these optical proximity effects is indispensible in photolithographic processes for advanced technology nodes. Techniques of optical proximity correction (OPC) enable to increase the achievable resolution and the pattern transfer fidelity for advanced lithographic generations. Corrections are made on the mask based on OPC models which connect the image on the resin to the changes made on the mask. The reliability of these OPC models is essential for the improvement of the pattern transfer fidelity.This thesis analyses and evaluates the OPC resist models which simulates the behavior of the resist after the photolithographic process. Data modeling and statistical analysis have been used to study these increasingly empirical resist models. Besides the model calibration data reliability, we worked on the way of using the models calibration platforms generally used in IC manufacturing.This thesis exposed the results of the analysis of OPC resist models and proposes a new methodology for OPC resist models creation, analysis and validation.
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Modélisation et construction des bases de données géographiques floues et maintien de la cohérence de modèles pour les SGBD SQL et NoSQL / Modeling and construction of fuzzy geographic databases with supporting models consistency for SQL and NoSQL database systems

Soumri Khalfi, Besma 12 June 2017 (has links)
Aujourd’hui, les recherches autour du stockage et de l’intégration des données spatiales constituent un maillon important qui redynamise les recherches sur la qualité des données. La prise en compte de l’imperfection des données géographiques, particulièrement l’imprécision, ajoute une réelle complexification. Parallèlement à l’augmentation des exigences de qualité centrées sur les données (précision, exhaustivité, actualité), les besoins en information intelligible ne cessent d’augmenter. Sous cet angle, nous sommes intéressés aux bases de données géographiques imprécises (BDGI) et leur cohérence. Ce travail de thèse présente des solutions pour la modélisation et la construction des BDGI et cohérentes pour les SGBD SQL et NoSQL.Les méthodes de modélisation conceptuelle de données géographiques imprécises proposées ne permettent pas de répondre de façon satisfaisante aux besoins de modélisation du monde réel. Nous présentons une version étendue de l’approche F-Perceptory pour la conception de BDGI. Afin de construire la BDGI dans un système relationnel, nous présentons un ensemble de règles de transformation automatique de modèles pour générer à partir du modèle conceptuel flou le modèle physique. Nous implémentons ces solutions sous forme d’un prototype baptisé FPMDSG.Pour les systèmes NoSQL type document. Nous présentons un modèle logique baptisé Fuzzy GeoJSON afin de mieux cerner la structure des données géographiques imprécises. En plus, ces systèmes manquent de pertinence pour la cohérence des données ; nous présentons une méthodologie de validation pour un stockage cohérent. Les solutions proposées sont implémentées sous forme d'un processus de validation. / Today, research on the storage and the integration of spatial data is an important element that revitalizes the research on data quality. Taking into account the imperfection of geographic data particularly the imprecision adds a real complexity. Along with the increase in the quality requirements centered on data (accuracy, completeness, topicality), the need for intelligible information (logically consistent) is constantly increasing. From this point of view, we are interested in Imprecise Geographic Databases (IGDBs) and their logical coherence. This work proposes solutions to build consistent IGDBs for SQL and NoSQL database systems.The design methods proposed to imprecise geographic data modeling do not satisfactorily meet the modeling needs of the real world. We present an extension to the F-Perceptory approach for IGDBs design. To generate a coherent definition of the imprecise geographic objects and built the IGDB into relational system, we present a set of rules for automatic models transformation. Based on these rules, we develop a process to generate the physical model from the fuzzy conceptual model. We implement these solutions as a prototype called FPMDSG.For NoSQL document oriented databases, we present a logical model called Fuzzy GeoJSON to better express the structure of imprecise geographic data. In addition, these systems lack relevance for data consistency; therefore, we present a validation methodology for consistent storage. The proposed solutions are implemented as a schema driven pipeline based on Fuzzy GeoJSON schema and semantic constraints.
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L'espace documentaire en restructuration : l'évolution des services des bibliothèques universitaires. / The information space sstructurde by the digital approach : development of the service offering in academic libraries

Bourdenet, Philippe 05 December 2013 (has links)
Le catalogue occupe une place privilégiée dans l’offre de service des bibliothèques universitaires, pivot de l’intermédiation. Depuis 10 ans, il traverse une crise grave, voyant les usagers le délaisser à la faveur des moteurs de recherche généralistes. Le web, plus qu’un sérieux concurrent, devance aujourd’hui les systèmes d’information documentaires, et devient le point d’entrée principal pour la recherche d’information. Les bibliothèques tentent de structurer un espace documentaire qui soit habité par les usagers, au sein duquel se développe l’offre de service, mais celle-ci se présente encore comme une série de silos inertes, sans grande possibilité de navigation, malgré de considérables efforts d’ingénierie et des pistes d’évolution vers les outils de découverte. La profession, consciente de cette crise profonde, après avoir accusé les remous occasionnés par la dimension disruptive du numérique, cherche des moyens pour adapter et diversifier son offre, fluidifier la diffusion de l’information, et se réinvente un rôle d’intermédiation en cherchant à tirer profit des nouvelles pratiques des usagers, de leurs nouvelles attentes, et de nouvelles perspectives. Les bibliothèques placent leur espoir dans de nouveaux modèles de données, tentent d’y ajouter un niveau d’abstraction favorisant les liaisons avec l’univers de la connaissance. L’évolution vers le web sémantique semble une opportunité à saisir pour valoriser les collections et les rendre exploitables dans un autre contexte, au prix d’importants efforts que cette analyse tente de mesurer. Une approche constructiviste fondée sur l’observation participante et le recueil de données offre une vision issue de l’intérieur de la communauté des bibliothèques sur l’évolution des catalogues et des outils d’intermédiation, et ouvre des perspectives sur leurs enjeux. / The catalog takes up a special position in the supply of services of academic libraries, as a pivot for the intermediary between users and information professionals who carry the responsibility for building up collections. For 10 years, through a serious crisis, they’ve been seeing their patrons preferring the general or commercial search engines. The Web is more than a serious competitor today, ahead of the document information systems, and became the main access point for information retrieval. Libraries are trying to structure an information space that is temporarily or permanently inhabited by users, in which the service offering is developed, but it is still presented as a series of silos, with few opportunities of navigation between them despite considerable engineering efforts and a perspective of evolution towards discovery tools. The profession, having become aware of this deep crisis after accusing eddies caused by the breakdown of the digital switch, looking for ways to adapt and diversify its offering, streamlines the dissemination of information, and reinvents its roles, trying to take advantage of new practices of users, new expectations and new prospects. Libraries put their hope in new data models, trying to add a level of abstraction promoting links with the world of knowledge. The evolution towards the Semantic Web seems to be a valuable opportunity to enhance the collections and make them usable in another context, at the expense of significant efforts sized up by this analysis. A constructivist approach based on participant observation and data collection offers a vision of the outcome within the library community on the development of catalogs and intermediation tools, and an outlook on their issues.
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Caractérisation des phases solides colmatantes observées lors du traitement acide de minerais uranifères : contribution à l’étude des équilibres liquides-solides dans le système complexe Al – Fe – K – P – S – H2O (± Ca et Mg) / Characterisation of clogging solid phases observed during the acid treatment of uranium ores : contribution to the liquid-solid equilibria study in the Al–Fe–K–P–S–H2O (± Ca and Mg) complex system

Teyssier, Angélique 28 September 2015 (has links)
Lors de l'extraction de l'uranium par lixiviation acide, AREVA fait face à des phénomènes transitoires de précipitation de phases mal cristallisées entrainant un colmatage des installations. Les analyses de ces précipités ont mis en évidence la formation d'un solide jaune minoritaire et d'un blanc majoritaire composé de sulfate de calcium et d'hydroxysulfate d'aluminium. Afin de comprendre les phénomènes menant à la précipitation et pour prévoir, éviter ou limiter leur apparition, les travaux de thèse ont consisté en l'étude expérimentale des équilibres solides-liquide du système complexe Al–Fe–K–P–S–H2O (± Ca et Mg) en milieu acide à 25°C, avec pour objectif l'identification des solides susceptibles d'apparaître en conditions industrielles. Les résultats permettront ainsi de compléter les bases de données thermodynamiques utilisées pour modéliser le comportement global du milieu lors des opérations. Après la mise au point de techniques analytiques appropriées, le travail s'est porté sur la délimitation des équilibres liquide-solides du système relatif au précipité blanc et particulièrement sur l'analyse des ternaires impliquant les hydroxysulfates d'aluminium. Le colmatage se produisant durant la phase d'acidification, l'évolution de la précipitation de ces hydroxysulfates en fonction du pH a été étudiée, afin de caractériser les solides formés en présence de cations minoritaires (Na+, K+, Mg2+, Ca2+) et de définir leurs constantes de solubilités à partir d'un modèle de calcul des coefficients d'activités des ions en solution. Des tests dynamiques sur colonne à partir de minerai naturel ont également été effectués et comparés aux résultats statiques / During the uranium extraction by acid leaching, AREVA observed the precipitation of not well crystallized solid phases, leading to the clogging of various equipment. The analyses of these precipitates highlighted the formation of a minor yellow precipitate and a major white precipitate containing calcium sulphate and aluminium hydroxisulphate. To understand the phenomena leading to the precipitation and to predict, prevent or at least limit their formation, this thesis work consisted of the solid-liquid equilibria experimental study of the Al–Fe–K–P–S–H2O (± Ca and Mg) system in an acidic environment at 25°C, with the identification of solid phases which may appear in natural ore as the major goal. The results could complete the thermodynamic database used to model global behaviour of the environment during acid mining. Based on the observed precipitates, two quaternary systems were defined, such as the H2O-Al3+, Ca2+ // O2-, SO42- system. After the development of appropriate analytical techniques, the work focused on the delimitation of the liquid-solid equilibria of the system based on the white precipitate and particularly on the analysis of the ternaries involving aluminium hydroxisulphates. As clogging occurs during acidification, the hydroxisulphate precipitation depending on the pH was studied in the presence of minority cations (Na+, K+, Mg2+, Ca2+), in order to characterise the solid phases which were formed, and to define their solubility constants. For the solubility constant determination, a calculation model of the ion activity coefficients in solution was used. A dynamic survey on a column containing natural ore was done and compared to static results

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