In Zeiten weltweit steigender Energienachfrage, Abhängigkeit von prekären Energielieferstaaten und bereits spürbaren Folgen des Klimawandels werden weiterhin fossile Energieträger zur Stromerzeugung genutzt. Zur Verbesserung der nachhaltigen Stromversorgung können Energy Harvester wie thermoelektrische Generatoren eingesetzt werden. Sie haben keine beweglichen Teile und sind somit geräuschlos, verschleißfrei und skalierbar. Jedoch existieren sie aufgrund des geringen Wirkungsgrads bisher nur als Nischentechnologie. In dieser Arbeit wird das Konzept eines dünnfilmigen und flexiblen, thermoelektrischen Generators (DFlexTEG) in cross-plane-Anordnung und mit voll-anorganischem Aktivmaterial nachgewiesen. Hergestellt wird der DFlexTEG mittels konventioneller Mikrostrukturtechnik. Es werden dabei zwei unterschiedliche Methoden eingesetzt: die Oberflächen- und die Volumenplanartechnik. Der DFlexTEG erweitert das Spektrum der Einsatzgebiete, insbesondere in der nachhaltigen Energiegewinnung, enorm. Mögliche Anwendungen finden sich überall dort, wo Abwärme entsteht. Er lässt sich um Rohre biegen und ein mehrfaches Stapeln bietet die Möglichkeit zur Wirkungsgraderhöhung. Beispielsweise könnten industrielle Anlangen mit energieautarken Sensoren und Aktuatoren ausgestattet und die Entwicklung des Internet of Things weiter vorangetrieben werden. / In times of rising global demand for energy, dependence on precarious energy-supplier-states and the significantly increasing consequences of climate change, fossil fuels remain a source of power generation. Energy harvesters, like thermoelectric generators, can be used to improve sustainable power supply. Due to the absence of moving parts, they work silently and are maintenance-free and scalable. As a result of their low efficiency so far they exist only as a niche technology. This thesis demonstrates the concept of a thin-film and flexible thermoelectric generator (DFlexTEG) in cross-plane layout and with fully inorganic active material. It is fabricated using conventional microstructure technology. Two different methods are used: surface and bulk planar techniques. The DFlexTEG expands the field of applications enormously regarding sustainable energy generation. Possible applications can be found wherever waste heat is generated. It can be bent around pipes. Futhermore, stacking could also improve efficiency. For example, industrial plants can be equipped with energy-autonomous sensors and actuators and the development of the Internet of Things could be further advanced.

Diese Arbeit demonstriert die vollständige thermoelektrische Charakterisierung einzelner einkristalliner Bismuttellurid- und Silbernanodrähte und deren anschließende lokale strukturelle und chemische Charakterisierung mittels analytischer Transmissionselektronenmikroskopie. Die lokale strukturelle, chemische und morphologische Charakterisierung entlang der Nanodrähte trägt essentiell zum Verständnis des thermoelektrischen Transportes bei und bestätigt die Korrelation zwischen Oberflächen- und den thermoelektrischen Eigenschaften. Für durchmesservariierte Bismuttelluridnanodrähte wird der Einfluss der Morphologie auf die Wärmeleitfähigkeit bei Raumtemperatur quantifiziert. Im Vergleich zu einem glatten Referenznanodraht zeigt der durchmesservariierte Nanodraht gleicher Zusammensetzung und Kristallorientierung eine Reduktion der Wärmeleitfähigkeit um 55 %. Diese Reduktion kann durch Phononenrückstreuung an der eingekerbten Oberfläche erklärt werden. Die elektrische Leitfähigkeit und der Seebeckkoeffizient der Bismuttelluridnanodrähte deuten auf einen topologischen Oberflächenzustand hin. Für Silbernanodrähte werden die elektrische Leitfähigkeit und die Wärmeleitfähigkeit im Temperaturbereich von 1,4 K bis 300 K gemessen. Mit fallender Temperatur steigt die relative Reduktion der Wärmeleitfähigkeit im Verhältnis zur elektrischen Leitfähigkeit stärker, sodass die Lorenzzahl die klassische Wiedemann-Franz-Relation nicht erfüllt und eine Funktion der Temperatur darstellt. Der Temperaturverlauf der Lorenzzahl der Silbernanodrähte entspricht der 1938 von Makinson aufgestellten Theorie für hochreine Metalle und ist im Tieftemperaturbereich um bis zu zwei Größenordnungen zum Sommerfeldwert reduziert. / This work demonstrates the full thermoelectric characterisation of individual single crystalline bismuth telluride and silver nanowires and their subsequent local structural and chemical characterisation via analytical transmission electron microscopy along the whole nanowires. Therefore, the correlation between the structure, in particular the surface morphology, and the thermoelectric transport properties is unambiguously shown. For diameter varied bismuth telluride nanowires the influence of the morphology on the thermal conductivity is quantified at room temperature. The diameter varied nanowire shows a reduction of 55 % with respect to the smooth nanowire of the same chemical composition and structural orientation. This reduction can be explained by phonon backscattering at the indents. The electrical conductivity and the Seebeck coefficient indicate the presence of a topological surface state. For silver nanowires the electrical and thermal conductivity are determined in the temperature range between 1.4 K and 300 K. With decreasing temperature the relative reduction of the thermal conductivity is higher than the reduction of the electrical conductivity resulting in a temperature-dependent Lorenz number, so that the classical Wiedemann-Franz relation is not fulfilled. The temperature characteristic of the silver nanowires'' Lorenz number is in agreement with the theory Makinson established for highly pure metals in 1938 and is reduced by two orders of magnitude with respect to the Sommerfeld value in the low temperature regime.