The dissertation covers circuits in the field of micro-system electronics working as an interface between micro-electromechanical components and digital signal processing. The important problems of signal crosstalk and multiplication of complexity arising in conjunction with sensor- and actuator-arrays are considered. As a foundation for design the modeling of DMOS-transistors and system aspects of sensor-signal-recovery are discussed. The design and implementation of a high-voltage driver-amplifier, a modulator for sensor-signal-recovery, a correlation IC to read out arrays and a micromechanical resonator with monolithically integrated read-out-amplifier is presented. / Die Dissertation behandelt Schaltungen der Mikrosystemelektronik in ihrer Funktion als Schnittstelle zwischen mikromechanischen Komponenten und signalverarbeitender Digitalelektronik. Hierbei werden die für Sensor- und Aktorarrays besonderen Probleme Signalübersprechen und Aufwandsvervielfachung berücksichtigt. Als Entwurfsgrundlage werden die Modellierung von DMOS-Transistoren und Systemaspekte der Sensorsignalauswertung besprochen. Vorgestellt wird der Entwurf und die Realisierung eines Hochvolt-Ansteuerverstärkers, eines Modulators zur Sensorauswertung, eines Korrelator-ICs zur Arraysauswertung und eines mikromechanischen Resonators mit monolithisch integriertem Ausleseverstärker.

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The dissertation covers circuits in the field of micro-system electronics working as an interface between micro-electromechanical components and digital signal processing. The important problems of signal crosstalk and multiplication of complexity arising in conjunction with sensor- and actuator-arrays are considered. As a foundation for design the modeling of DMOS-transistors and system aspects of sensor-signal-recovery are discussed. The design and implementation of a high-voltage driver-amplifier, a modulator for sensor-signal-recovery, a correlation IC to read out arrays and a micromechanical resonator with monolithically integrated read-out-amplifier is presented. / Die Dissertation behandelt Schaltungen der Mikrosystemelektronik in ihrer Funktion als Schnittstelle zwischen mikromechanischen Komponenten und signalverarbeitender Digitalelektronik. Hierbei werden die für Sensor- und Aktorarrays besonderen Probleme Signalübersprechen und Aufwandsvervielfachung berücksichtigt. Als Entwurfsgrundlage werden die Modellierung von DMOS-Transistoren und Systemaspekte der Sensorsignalauswertung besprochen. Vorgestellt wird der Entwurf und die Realisierung eines Hochvolt-Ansteuerverstärkers, eines Modulators zur Sensorauswertung, eines Korrelator-ICs zur Arraysauswertung und eines mikromechanischen Resonators mit monolithisch integriertem Ausleseverstärker.

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