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Entwurf und Charakterisierung eines mikromechanischen Schrittschaltwerkes mit elektrostatischem AntriebSchröter, Bernd 21 July 2008 (has links) (PDF)
In der vorliegenden Arbeit wird der Nachweis erbracht, dass ein miniaturisiertes Schrittschaltwerk
aus einkristallinem Silizium mittels verfügbarer Mikrotechnologien realisierbar
ist. Dazu wird die aus der Feinwerktechnik bekannte mechanische Anordnung so angepasst,
dass sie mit den Möglichkeiten der gewählten Technologien herstellbar wird. Eine Besonderheit
ist die Verwendung flexibler Gelenke. Dadurch entfallen Montage und Justage, die
Struktur ist monolithisch. Auch der Werkstoff und das Aktuationsprinzip unterscheiden
sich von denen herkömmlicher Schrittschaltwerke. Wegen seiner ausgezeichneten mechanischen
Eigenschaften wird einkristallines Silizium ausgewählt. Bei den Antrieben kommt das
elektrostatische Wirkprinzip zur Anwendung. Nach einer Einführung in das Themengebiet
werden Entwurf und Herstellung des Schrittschaltwerkes behandelt. Die Beschreibung der
messtechnischen Charakterisierung und ihrer Ergebnisse schließt sich an. Ein Ausblick auf
mögliche Applikationen bildet den Abschluss der Arbeit.
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Entwurf und Charakterisierung eines mikromechanischen Schrittschaltwerkes mit elektrostatischem AntriebSchröter, Bernd 27 June 2008 (has links)
In der vorliegenden Arbeit wird der Nachweis erbracht, dass ein miniaturisiertes Schrittschaltwerk
aus einkristallinem Silizium mittels verfügbarer Mikrotechnologien realisierbar
ist. Dazu wird die aus der Feinwerktechnik bekannte mechanische Anordnung so angepasst,
dass sie mit den Möglichkeiten der gewählten Technologien herstellbar wird. Eine Besonderheit
ist die Verwendung flexibler Gelenke. Dadurch entfallen Montage und Justage, die
Struktur ist monolithisch. Auch der Werkstoff und das Aktuationsprinzip unterscheiden
sich von denen herkömmlicher Schrittschaltwerke. Wegen seiner ausgezeichneten mechanischen
Eigenschaften wird einkristallines Silizium ausgewählt. Bei den Antrieben kommt das
elektrostatische Wirkprinzip zur Anwendung. Nach einer Einführung in das Themengebiet
werden Entwurf und Herstellung des Schrittschaltwerkes behandelt. Die Beschreibung der
messtechnischen Charakterisierung und ihrer Ergebnisse schließt sich an. Ein Ausblick auf
mögliche Applikationen bildet den Abschluss der Arbeit.
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Mikromechanische Analyse der Wirkungsmechanismen elektrischer DehnungsmessstreifenStockmann, Martin 24 May 2000 (has links) (PDF)
Die elektrische Dehnungsmesstechnik auf der Grundlage separater Dehnungsmessstreifen
(DMS) stellt heute eine der wesentlichsten Methoden zur experimentellen Beanspruchungs-
analyse dar. Präzise Messungen außerhalb der Kalibrierbedingungen, insbesondere bei großen
Deformationen oder hohen Querdehnungsanteilen, erfordern die Berücksichtigung nicht-
linearer Zusammenhänge zwischen den zu bestimmenden Komponenten der Bauteildehnung
und der Widerstandsänderung des Messgitters.
Die Theorie dieser Zusammenhänge wird in zwei unterschiedlichen Formulierungen
dargestellt. In der ersten Formulierung werden die für den Messgitterwerkstoff geltenden
Leitfähigkeiten durch einem dreidimensionalen Ansatz mit den Dehnungskomponenten im
Leiter verknüpft. Die Bestimmung der definierten Leitfähigkeitsparameter erfolgt
exemplarisch für eine DMS-Konstantanfolie. In Form von Übertragungsfaktoren wird
berücksichtigt, dass die Querdehnungskomponente der Bauteildehnung nicht vollständig auf
die Stege und Umlenkstellen des Messgitters übertragen wird. Die zweite Formulierung
basiert auf den vom DMS-Hersteller angegebenen Empfindlichkeiten präparierter
Dehnungsmessstreifen in Längs- und Querrichtung.
Die Genauigkeit der abgeleiteten Widerstands-Dehnungsbeziehungen wird durch zwei unter-
schiedliche Versuche, bei denen die DMS-Messstellen längs bzw. quer zum einachsigen
Spannungsfeld orientiert sind, überprüft. Die maximalen Dehnungen betragen dabei
5 bzw. 8 %.
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Modellierung und Simulation eines mikromechanischen DrehratensensorsBillep, Detlef 12 December 2000 (has links) (PDF)
In der vorliegenden Arbeit wird ein neuer
mikromechanischer Drehratensensor nach
dem Stimmgabelprinzip vorgestellt.
Die mechanische Sensorstruktur wird mit Hilfe der
Bulkmikromechanik hergestellt und arbeitet
nach dem elektrostatischen Wirkprinzip.
Um große Amplituden zu erreichen,
werden mechanische Koppelschwingungen ausgenutzt.
In der Arbeit wird allgemein auf
Entwurfsprozeß, Modellierung und Simulation
mikromechanischer Strukturen eingegangen. Es
wird die gemeinsame Lösung gekoppelter
Felder mit Hilfe der Netzwerkmethode (PSpice)
und die partitionierte Lösung mittels
Online-Simulatorkopplung (ANSYSPSpice)
vorgestellt.
Ein wesentlicher Bestandteil der Arbeit ist die
Untersuchung der viskosen Luftdämpfung
mikromechanischer Elemente mit engen
Bewegungsspalten. Es werden verschiedene
Möglichkeiten der vereinfachten Berechnung
gezeigt.
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Entwicklung eines frequenzselektiven Schwingungsmesssystems mit abstimmbaren mikromechanischen ResonatorenScheibner, Dirk 10 March 2005 (has links) (PDF)
In der vorliegenden Arbeit wird die Entwicklung eines auf mikromechanischen Sensorstrukturen
basierenden Schwingungsmesssystems dargestellt. Die Besonderheit besteht im frequenzselektiven
Wirkprinzip. Der Sensor siebt an seiner Resonanzstelle aus einem breitbandigen
Anregungssignal ein schmales Band heraus und unterdrückt die anderen Frequenzbereiche.
Auf diese Weise werden ohne Fourier-Transformation direkt spektrale Informationen gewonnen.
Weiterhin sind die Resonanzfrequenz und damit der Messbereich mittels elektrostatischer
Kräfte in einem weiten Bereich abstimmbar.
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Optical microscanners and microspectrometers using thermal bimorph actuators /Lammel, Gerhard. Schweizer, Sandra. Renaud, Philippe, January 1900 (has links)
"Based on research results of Sandra Schweizer and Gerhard Lammel during their PhD thesis' at the Swiss Federal Institute of Technology Lausanne in the group of Prof. Philippe Renaud"--Pref. / Includes bibliographical references and index.
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Umformtechnische Herstellung funktionaler flächiger Mikrostrukturen in metallischen Werkstoffen /Thome, Mario. January 2009 (has links)
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2009.
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Ein experimentell begründetes mikromechanisches Modell zur Beschreibung von Bruchvorgängen in Beton bei äußerer KrafteinwirkungWilhelm, Tina. Unknown Date (has links)
Techn. Universiẗat, Diss., 2006--Darmstadt.
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Mikrostrukturierung schwindungsfreier OxidkeramikenPfrengle, Andreas. January 2008 (has links)
Freiburg i. Br., Univ., Diss., 2008.
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Static and dynamic homogenization analyses of discrete granular and atomistic structures on different time and length scalesDettmar, Joachim Peter, January 2006 (has links)
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2006.
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