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Analyse und Überwachung von Plasmaprozessen für die Kunststoffverarbeitung mittels optischer Emissionsspektroskopie (OES) = Analysis and monitoring of plasma processes for plastics processing by optical emission spectroscopy (OES) /Hegenbart, Andreas Christoph. January 2007 (has links)
Techn. Hochsch., Diss.--Aachen, 2007.
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Einsatz von Niederdruck-Mikrowellen-Plasmen für die Oberflächenmodifikation und Erzeugung von Diffusions-Barrieren auf Brennstoffzellen-MembranenFeichtinger, Jochen. Unknown Date (has links) (PDF)
Universiẗat, Diss., 2004--Stuttgart.
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Ellipsometrische Untersuchungen an Plasmapolymeren und plasmamodifizierten PolymeroberflaechenRochotzki, Ralf. January 1996 (has links)
Chemnitz-Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1996.
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Infrarotspektroskopische Charakterisierung plasmamodifizierter PolymeroberflaechenNitschke, Mirko 30 July 1996 (has links) (PDF)
Die Arbeit gibt einen Ueberblick ueber die wesentlichen Prozesse bei der
Wechselwirkung nichtisothermer Plasmen mit Polymeroberflaechen. Der
Schwerpunkt liegt auf der infrarotspektroskopischen Diagnostik der
Modifizierung der Modellpolymere Polyethylen und Polystyren im direkten
Kontakt mit Hochfrequenzniederdruckentladungen in Argon, Wasserstoff,
Sauerstoff, Stickstoff und Tetrafluormethan. Zur Charakterisierung der
Polymermodifizierung werden speziell entwickelte Praeparations- und in
situ Analyseverfahren auf Grundlage der abgeschwaechten Totalreflexion
sowie der Reflexions-Absorptions-Spektroskopie eingesetzt. Unter
Hinzuziehung weiterer Analyseverfahren und chemischer Derivatisierungs-
reaktionen werden Strukturveraenderungen der Polymeroberflaeche im Ergebnis
unterschiedlicher Plasmabehandlungen charakterisiert. Die Konkurrenz von
Auf- und Abbauprozessen als wesentlicher Aspekt der Dynamik der Polymer-
modifizierung wird herausgestellt. An ausgewaehlten Beispielen werden
strukturelle Besonderheiten der modifizierten Polymeroberflaeche vor und
nach Erreichen stationaerer Verhaeltnisse untersucht. Mittels unterschied-
licher Methoden erfolgt eine Bestimmung von Tiefenprofilen. Eine Reihe
von Experimenten ist auf die Separation der Beitraege einzelner Plasma-
komponenten zur Gesamtwirkung des Niederdruckplasmas gerichtet.
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Transport neutraler angeregter Spezies im AfterglowBeier, Matthias 28 January 1998 (has links)
Das Afterglow tritt am Übergang vom Plasma zur Gasphase auf.
Die dominierende aktive Spezies im Afterglow sind metastabil angeregte
Neutralteilchen. Der Abbau der Metastabilen erfolgt in drei verschiedenen
Prozessen: dem radiativen Zerfall, den Quenching-Stößen sowie
der Relaxation in Stößen mit Oberflächen. Potentielle
Anwendungsmöglichkeiten des Afterglows für Schichtabscheidung
und Oberflächenmodifizierung werden diskutiert. Zur theoretischen
Beschreibung des strömenden Afterglows wurde ein Collisional
Radiative Modell entwickelt, welches die Reflexion angeregter Spezies an
Oberflächen berücksichtigt. Als Diagnostikmethoden wurden die
optische Emissionsspektroskopie (OES), die Chemolumineszenz sowie die
Langmuir-Sondenmessungen eingesetzt, um die Konzentration metastabil
angeregter Spezies zu bestimmen. Es wurde der Einfluß von
konstruktiven und äußeren Paramentern auf die Konzentration
metastabil angeregter Spezies im Afterglow untersucht. Es zeigt sich,
daß unter den gegebenen Bedingungen die Quenching-Stöße
der dominierende Verlustprozeß im Afterglow sind. Die Parameter
Druck, Strömungsgeschwindigkeit und Länge des Afterglows
können zu einem Skalierungsparameter zusammengefaßt werden,
der zur online-Prozeßregulierung verwendet werden kann. Es werden
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Räumliche Konzentrationsverteilungen von N2-Triplett-Zuständen im elektrodennahen Plasma einer RF-NiederdruckentladungKrames, Bert 20 April 2000 (has links) (PDF)
Im Niedertemperaturplasma einer Stickstoff-Hochfrequenzgasentladung werden mit Hilfe der plasmadiagnostischen Methoden LIF und OES räumliche Konzentrationsprofile der N2-Triplett-Zustände A, B und C in verschiedenen Schwingungsniveaus studiert. Dabei wird die Druckabhängigkeit im Bereich 30 bis 100 Pa und die Abhängigkeit von der Brennspannung bis 250 V untersucht.
Die deutlich unterschiedlichen räumlichen Verteilungen der verschiedenen Spezies werden mit Hilfe einer Modellierung beschrieben, die sowohl Elektronenstoßanregung in der Plasmarandschicht als auch Diffusion, Stoßabregung, Kaskadenprozesse sowie Deaktivierung durch Wandstöße berücksichtigt. Dabei zeigt sich, daß vor allem Wandstöße für die räumliche Verteilung der langlebigen Spezies A(v=0,1) von zentraler Bedeutung sind. Die kurzlebigen C und B finden sich hingegen hauptsächlich in der Plasmarandschicht.
Durch die Kombination der LIF mit Rayleighstreulichtexperimenten werden absolute Teilchendichten der drei Triplett-Zustände bestimmt.
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Ellipsometrische Untersuchungen an Plasmapolymeren und plasmamodifizierten PolymeroberflaechenRochotzki, Ralf 05 August 1996 (has links)
Ellipsometrische Untersuchungen an Plasmapolymeren und plasmamodifizierten
Polymeroberflächen Abstrakt Im Mittelpunkt der Arbeit stehen zwei Prozesse, die auf der
komplexen Wechselwirkung zwischen einem Niedertemperaturplasma und der dem Plasma
ausgesetzten Festkoerperoberflaeche beruhen: Plasmamodifizierung und Plasmapolymerisation.
Mit dem zerstoerungsfreien, optischen Messverfahren der Ellipsometrie koennen
Veraenderungen der makroskopischen optischen Eigenschaften infolge der Plasmaeinwirkung
nachgewiesen werden und so Rueckschluesse auf die Wechselwirkungsprozesse gezogen
werden. Dazu dienen ex situ Spektralellipsometrie (Wellenlaenge = 300 - 800 nm), Ellipsometrie
bei der Anregung von Oberflaechenplasmonen und in situ Ellipsometrie (Wellenlaenge = 632,8
nm), die mit Methoden der Strukturaufklaerung (XPS, SIMS, FTIR) kombiniert werden. Bei der
Plasmamodifizierung von Polyethylen und Polystyren im CF4 und O2 Plasma kommt es durch den
Eintrag neuer funktioneller Gruppen, durch Vernetzung und Aktivierung zu chemischen und
morphologischen Veraenderungen in einer duennen Oberflaechenschicht, die sich in einem
veraenderten Brechungsindex aeussern. Eine Erklaerung fuer die beobachteten Aenderungen ist
ueber die molaren Polarisierbarkeiten der neuen funktionellen Gruppen moeglich. Die
Untersuchungsergebnisse zum Tiefenbereich der Modifizierung sind qualitativ in guter
Uebereinstimmung mit den Eindringtiefen der verschiedenen Plasmaspezies. Bei der
Abscheidung duenner Plasmapolymerschichten dienen in situ und ex situ durchgefuehrte
ellipsometrische Messungen der Aufklaerung von Struktur-Eigenschafts-Beziehungen. Eine
deutliche Abhaengigkeit des Brechungsindex von HMDSO-Plasmapolymerschichten vom
spezifischen Energieeintrag ins aktive Plasmavolumen wird gefunden und modelliert. Durch
nichtstationaere Prozessfuehrung gelingt die Herstellung von Plasmapolymerschichten mit einem
Brechungsindex-Tiefenprofil.
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Transport neutraler angeregter Spezies im AfterglowBeier, Matthias 12 December 1997 (has links)
Das Afterglow tritt am Übergang vom Plasma zur Gasphase auf.
Die dominierende aktive Spezies im Afterglow sind metastabil angeregte
Neutralteilchen. Der Abbau der Metastabilen erfolgt in drei verschiedenen
Prozessen: dem radiativen Zerfall, den Quenching-Stößen sowie
der Relaxation in Stößen mit Oberflächen. Potentielle
Anwendungsmöglichkeiten des Afterglows für Schichtabscheidung
und Oberflächenmodifizierung werden diskutiert. Zur theoretischen
Beschreibung des strömenden Afterglows wurde ein Collisional
Radiative Modell entwickelt, welches die Reflexion angeregter Spezies an
Oberflächen berücksichtigt. Als Diagnostikmethoden wurden die
optische Emissionsspektroskopie (OES), die Chemolumineszenz sowie die
Langmuir-Sondenmessungen eingesetzt, um die Konzentration metastabil
angeregter Spezies zu bestimmen. Es wurde der Einfluß von
konstruktiven und äußeren Paramentern auf die Konzentration
metastabil angeregter Spezies im Afterglow untersucht. Es zeigt sich,
daß unter den gegebenen Bedingungen die Quenching-Stöße
der dominierende Verlustprozeß im Afterglow sind. Die Parameter
Druck, Strömungsgeschwindigkeit und Länge des Afterglows
können zu einem Skalierungsparameter zusammengefaßt werden,
der zur online-Prozeßregulierung verwendet werden kann. Es werden
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Infrarotspektroskopische Charakterisierung plasmamodifizierter PolymeroberflaechenNitschke, Mirko 02 February 1996 (has links)
Die Arbeit gibt einen Ueberblick ueber die wesentlichen Prozesse bei der
Wechselwirkung nichtisothermer Plasmen mit Polymeroberflaechen. Der
Schwerpunkt liegt auf der infrarotspektroskopischen Diagnostik der
Modifizierung der Modellpolymere Polyethylen und Polystyren im direkten
Kontakt mit Hochfrequenzniederdruckentladungen in Argon, Wasserstoff,
Sauerstoff, Stickstoff und Tetrafluormethan. Zur Charakterisierung der
Polymermodifizierung werden speziell entwickelte Praeparations- und in
situ Analyseverfahren auf Grundlage der abgeschwaechten Totalreflexion
sowie der Reflexions-Absorptions-Spektroskopie eingesetzt. Unter
Hinzuziehung weiterer Analyseverfahren und chemischer Derivatisierungs-
reaktionen werden Strukturveraenderungen der Polymeroberflaeche im Ergebnis
unterschiedlicher Plasmabehandlungen charakterisiert. Die Konkurrenz von
Auf- und Abbauprozessen als wesentlicher Aspekt der Dynamik der Polymer-
modifizierung wird herausgestellt. An ausgewaehlten Beispielen werden
strukturelle Besonderheiten der modifizierten Polymeroberflaeche vor und
nach Erreichen stationaerer Verhaeltnisse untersucht. Mittels unterschied-
licher Methoden erfolgt eine Bestimmung von Tiefenprofilen. Eine Reihe
von Experimenten ist auf die Separation der Beitraege einzelner Plasma-
komponenten zur Gesamtwirkung des Niederdruckplasmas gerichtet.
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Ellipsometrische Untersuchungen an Plasmapolymeren und plasmamodifizierten PolymeroberflaechenRochotzki, Ralf 09 July 1996 (has links)
Ellipsometrische Untersuchungen an Plasmapolymeren und plasmamodifizierten
Polymeroberflächen Abstrakt Im Mittelpunkt der Arbeit stehen zwei Prozesse, die auf der
komplexen Wechselwirkung zwischen einem Niedertemperaturplasma und der dem Plasma
ausgesetzten Festkoerperoberflaeche beruhen: Plasmamodifizierung und Plasmapolymerisation.
Mit dem zerstoerungsfreien, optischen Messverfahren der Ellipsometrie koennen
Veraenderungen der makroskopischen optischen Eigenschaften infolge der Plasmaeinwirkung
nachgewiesen werden und so Rueckschluesse auf die Wechselwirkungsprozesse gezogen
werden. Dazu dienen ex situ Spektralellipsometrie (Wellenlaenge = 300 - 800 nm), Ellipsometrie
bei der Anregung von Oberflaechenplasmonen und in situ Ellipsometrie (Wellenlaenge = 632,8
nm), die mit Methoden der Strukturaufklaerung (XPS, SIMS, FTIR) kombiniert werden. Bei der
Plasmamodifizierung von Polyethylen und Polystyren im CF4 und O2 Plasma kommt es durch den
Eintrag neuer funktioneller Gruppen, durch Vernetzung und Aktivierung zu chemischen und
morphologischen Veraenderungen in einer duennen Oberflaechenschicht, die sich in einem
veraenderten Brechungsindex aeussern. Eine Erklaerung fuer die beobachteten Aenderungen ist
ueber die molaren Polarisierbarkeiten der neuen funktionellen Gruppen moeglich. Die
Untersuchungsergebnisse zum Tiefenbereich der Modifizierung sind qualitativ in guter
Uebereinstimmung mit den Eindringtiefen der verschiedenen Plasmaspezies. Bei der
Abscheidung duenner Plasmapolymerschichten dienen in situ und ex situ durchgefuehrte
ellipsometrische Messungen der Aufklaerung von Struktur-Eigenschafts-Beziehungen. Eine
deutliche Abhaengigkeit des Brechungsindex von HMDSO-Plasmapolymerschichten vom
spezifischen Energieeintrag ins aktive Plasmavolumen wird gefunden und modelliert. Durch
nichtstationaere Prozessfuehrung gelingt die Herstellung von Plasmapolymerschichten mit einem
Brechungsindex-Tiefenprofil.
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