Cette thèse porte sur le travail de l'encadrement de proximité au sein d'une grande entreprise industrielle, EDF, passée d'un statut de monopole public à celui de société anonyme opérant sur un marché concurrentiel. Le processus de " modernisation " dans lequel l'entreprise est engagée depuis les années 1990 conduit à des transformations de l'organisation du travail, dans lesquelles l'encadrement de proximité (agents de maîtrise et cadres encadrant des agents d'exécution) occupe une position délicate. Il lui revient à la fois de " conduire le changement " sans disposer de beaucoup d'autonomie, et de favoriser l'engagement au travail des salariés, tout en se protégeant (et en protégeant l'employeur, qui lui délègue son autorité) des mises en cause qui tiennent à la " souffrance au travail " et aux " risques psychosociaux ", c'est-à-dire aux atteintes potentielles à la santé psychique des agents. Placés dans une position intermédiaire du fait de leur échelon hiérarchique, les encadrants de proximité opèrent des arrangements quotidiens entre la prescription et le travail réel, en jouant de la faible distance qui les sépare de leur équipe et en s'appuyant sur les relations interpersonnelles qu'ils entretiennent avec elle. L'enquête porte sur cette forme particulière du travail d'organisation, le travail d'encadrement, à partir de l'analyse d'une centaine d'entretiens dans la plupart des grandes directions fonctionnelles de l'entreprise (en France métropolitaine), de quatre ans d'observation participante au sein de la Direction des ressources humaines, et de l'exploitation d'archives internes (documents de politiques d'entreprise, procès-verbaux de CHSCT, archives de formateurs). Elle pose la question du rôle des encadrants de proximité dans le renouvellement de l'organisation du travail : marginalisés par des dispositifs gestionnaires de contrôle et relégués dans la seule animation d'un collectif humain, ces encadrants dont leurs supérieurs hiérarchiques voudraient pourtant faire de véritables " managers " affrontent une série de contradictions qu'ils résolvent quotidiennement à leur niveau, ce qui permet de les qualifier de managers en dernier ressort.

Ce travail porte sur la mesure du couplage pi dans les jonctions Josephson ferromagnétiques à base de Nb et de l'alliage ferromagnétique PdNi. Nous avons mis en oeuvre une expérience de type SQUID (Superconducting QUantum Interfererence Device) avec laquelle nous avons mesuré directement le signe du couplage Josephson - donc la phase supraconductrice - dans les jonctions Josephson Nb/NbOx/PdNi/Nb (SIFS) en fonction de l'épaisseur du PdNi. La présence d'une jonction pi se manifeste par un décalage du spectre de diffraction d'un demi-quantum de flux par rapport au spectre d'un SQUID contenant deux jonctions avec le même signe du couplage Josephson. Nous avons également étudié le couplage Josephson dans des jonctions Nb/PdNi/Nb (SFS) d'une taille de 100*100 um2, ce qui avait pour objectif de mesurer une transition de 0 à pi dans ces jonctions, en fonction de la température. La qualité insuffisante des spectres de diffraction d'une part, et la valeur élevée des courants critiques d'autre part, ne nous ont pas permis de mettre en évidence cette transition. Les problèmes liés à l'impossibilité d'observer cette transition nous ont incitée à développer une nouvelle technique d'évaporation des jonctions à base de membranes en silicium. Ce système permet l'évaporation de jonctions d'une taille de 25*25 um2 in situ, à l'aide de masques, sans recourir à la lithographie optique.

Les progrès réalisés dans la microélectronique répondent à la problématique de la réduction des coûts de production et celle de la recherche de nouveaux marchés. Ces progrès sont possibles notamment grâce à ceux effectués en lithographie optique par projection, le procédé lithographique principalement utilisé par les industriels. La miniaturisation des circuits intégrés n’a donc été possible qu’en poussant les limites d’impression lithographique. Cependant en réduisant les largeurs des transistors et l’espace entre eux, on augmente la sensibilité du transfert à ce que l’on appelle les effets de proximité optique au fur et à mesure des générations les plus avancées de 45 et 32 nm de dimension de grille de transistor.L’utilisation des modèles OPC est devenue incontournable en lithographie optique, pour les nœuds technologiques avancés. Les techniques de correction des effets de proximité (OPC) permettent de garantir la fidélité des motifs sur plaquette, par des corrections sur le masque. La précision des corrections apportées au masque dépend de la qualité des modèles OPC mis en œuvre. La qualité de ces modèles est donc primordiale. Cette thèse s’inscrit dans une démarche d’analyse et d’évaluation des modèles résine OPC qui simulent le comportement de la résine après exposition. La modélisation de données et l’analyse statistique ont été utilisées pour étudier ces modèles résine de plus en plus empiriques. Outre la fiabilisation des données de calibrage des modèles, l’utilisation des plateformes de création de modèles dédiées en milieu industriel et la méthodologie de création et de validation des modèles OPC ont également été étudié. Cette thèse expose le résultat de l’analyse des modèles résine OPC et propose une nouvelles méthodologie de création, d’analyse et de validation de ces modèles. / The Progress made in microelectronics responds to the matter of production costs reduction and to the search of new markets. These progresses have been possible thanks those made in optical lithography, the printing process principally used in integrated circuit (IC) manufacturing.The miniaturization of integrated circuits has been possible only by pushing the limits of optical resolution. However this miniaturization increases the sensitivity of the transfer, leading to more proximity effects at progressively more advanced technology nodes (45 and 32 nm in transistor gate size). The correction of these optical proximity effects is indispensible in photolithographic processes for advanced technology nodes. Techniques of optical proximity correction (OPC) enable to increase the achievable resolution and the pattern transfer fidelity for advanced lithographic generations. Corrections are made on the mask based on OPC models which connect the image on the resin to the changes made on the mask. The reliability of these OPC models is essential for the improvement of the pattern transfer fidelity.This thesis analyses and evaluates the OPC resist models which simulates the behavior of the resist after the photolithographic process. Data modeling and statistical analysis have been used to study these increasingly empirical resist models. Besides the model calibration data reliability, we worked on the way of using the models calibration platforms generally used in IC manufacturing.This thesis exposed the results of the analysis of OPC resist models and proposes a new methodology for OPC resist models creation, analysis and validation.

Les composants magnétiques planaires (inductance et transformateur) occupent une place importante dans certains circuits intégrés utilisés en haute fréquence. Leur miniaturisation et leur intégration vont de pair avec celles des circuits électroniques qui évoluent constamment surtout pour les appareils portables. Quelques travaux scientifiques ont permis d’identifier les différents mécanismes à l’origine de pertes dans les composants magnétiques planaires, afin de les limiter. Les pertes dans les enroulements sont classiquement prises en compte par une résistance r(f) fonction de la fréquence. La détermination, à partir des paramètres S obtenus par mesure ou simulation, de la résistance r(f) constitue à ce jour un sujet d’étude à part entière, les paramètres S étant les seuls paramètres que l’on peut obtenir au-delà de la centaine de MHz. Pour contribuer à la résolution de ce problème, nous avons proposé une méthode prenant en compte toutes les pertes dans le bobinage. Cette méthode de détermination de la résistance en fonction de la fréquence se fait dans trois domaines de fréquence : - en très basse fréquence, la rDC est obtenue par calcul ou mesurée à l’aide d’un matériel basse fréquence, - aux "moyennes fréquences" lorsque les impédances R et Lω ne sont pas trop différentes, les phénomènes capacitifs pouvant être négligés, - aux résonances en très haute fréquence. L’application de cette méthode sur trois structures différentes (inductance à air de plusieurs spires, à air à une spire en oméga et à une couche de matériau magnétique) a permis de : - observer une bonne corrélation entre simulation et mesure, -valider l’évolution des pertes en fonction de la fréquence, -séparer les effets de peau et de proximité, -séparer les pertes fer et les pertes cuivre pour une inductance à couche magnétique / Planar magnetic components (transformer and inductor) have become a big part in some integrated circuits used in high frequency. Miniaturization and integration of magnetic components go hand in hand with the ones of electronics that constantly evolves especially for portable devices. A few scientific studies have identified the different mechanisms of losses in planar magnetic components. Winding losses are generally taken into account using a resistance r(f) versus frequency.The use of scattering parameters S to determine resistance r(f) represents a comprehensive research project ; S parameters that can be obtained either by measurement or by simulation, are the only parameters which one can get at high frequencies (above 100MHz). To solve this problem, we have proposed a method taking into account all winding losses. Our approach for determining r(f) has to be applied in 3 frequency domains: - at very low frequency, r(f) = rDC and its value is either calculated or measured using low frequency equipment, - in the middle frequency range, capacitive coupling can be neglected while impedances R and Lω are in the same order of magnitude, - at very high resonance frequencies.This method has been implemented for 3 different structures (coreless inductor with several turns of coil, Omega shape coreless inductor with one turn and inductor with a magnetic layer) leads to : - observe a good correlation between simulation and measurement, - validate the evolution of losses versus frequency, - separate skin effects and proximity effects, - separate iron losses and winding losses

L'impact des particules fines (PM10-PM2.5) sur la santé a été largement étudié depuis de nombreuses années, notamment pour les sites de proximité automobile. De nombreux dépassements de la valeur limite en PM10 imposée par les directives européennes ont lieu en France et en Europe, en milieu urbain et plus fréquemment en proximité automobile. Les émissions véhiculaires sont une des sources majeures de particules. Ces émissions proviennent à la fois des échappements (TE) mais aussi des émissions hors échappement (TNE) (abrasion des freins, des pneus et de la route, resuspension des poussières de la chaussée dû au déplacement des véhicules…). En France, très peu d'études en proximité automobile ont été effectuées. Les études de déconvolution des sources en France et en Europe s'appuient la plupart du temps sur des parcs automobiles non adaptés (parc américain) ou trop anciens. De plus, seule la source TE est considérée, ce qui sous-estime largement la contribution véhiculaire aux PM10. La meilleure connaissance de la formation, de la caractérisation et de la quantification des particules émises par le trafic est devenue primordiale. L'objectif final étant la détermination des contributions des émissions véhiculaires TE et TNE aux sources primaires de particules, la caractérisation précise de ces sources est primordial. Pour cela, la recherche de traceurs véhiculaires en phases gaz et particulaire a constitué une grosse partie de ce travail. La combinaison de l'étude sur banc à rouleau de cinq véhicules bien représentés dans le parc automobile roulant français et de l'étude effectuée en proximité automobile (Rocade Sud de Grenoble) a constitué le socle de ce travail. Dans la première étude, certains composés chimiques sont apparus comme indicateurs des émissions TE (EC, HAP légers, profils d'alcanes typiques, quelques métaux comme Fe, Cu etc.). Des différences importantes sont observées entre les véhicules diesel sans filtre à particules (FAP) et les véhicules essence et diesel sans FAP. La seconde étude, comparant le site trafic (Grenoble-Echirolles) avec un site de fond urbain (Grenoble- Les Frênes), a mis en évidence certains composés chimiques comme spécifiques des sources TNE et TE sur la base des connaissances acquises avec les mesures sur banc et sur l'enrichissement de certains composés par rapport au site de fond (EC, Cu, Fe, Sn, Mn…). On peut souligner certains enrichissements majeurs comme EC (78%), Cu (82%), Fe (88%), etc. La résolution temporelle a été faite sur une base de 4h, permettant ainsi une caractérisation chimique détaillée en fonction des heures de pointe et "creuses". Une troisième étude, en site trafic également (Grenoble-Le Rondeau) mais sous influence du salage en hiver, est venue compléter nos recherches. Enfin, en nous appuyant sur les résultats de la première partie, nous avons cherché à déconvoluer les sources véhiculaires TE et TNE (Echirolles et Le Rondeau) au moyen d'un modèle statistique d'analyses multivariées, la PMF (Positive Matrix Factorization), apportant ainsi la contribution possible de ces sources aux PM10. Les émissions véhiculaires (TNE+ TE) y contribuent à 34% à Echirolles et à 53% au Rondeau. Quelques incertitudes sont discutées par rapport aux résultats trouvés avec ceux provenant de l'étude géochimique détaillée en première partie. / Fine particles (PM10-P2.5) are recognized to be deleterious to human health particularly in the roadway vicinity. In European countries, and in particular in France, the European daily limit value is exceeded in many sites more than 35 times a year. One of the major sources of fine particles in urban and roadside sites is road traffic. Emissions from road traffic involve exhaust and non-exhaust emissions (resuspension of road dusts, from the brakes, tyres and road-surface-wear, from the corrosion of vehicle components…). Numerous studies have been performed in order to account for exhaust emissions, however not in France. Generally, the profiles used in source apportionment models are not adapted (since they are American profiles) to the French or European fleets. In addition, the contribution of the nonexhaust fraction to total particulate matter (PM) mass is generally not accounted for in the source apportionment results. Therefore, PM10 emissions are underestimated. As a result, better knowledge about formation, characterization and quantification of particles from traffic are becoming necessary. The goals of this work are numerous because ambient air and exhaust emission measurements have been involved. The aim is to accurately discriminate exhaust and nonexhaust sources, in order to provide groundbreaking insights into the contribution and chemical composition of traffic sources. Therefore, the analyses of gas and particle tracers represent a big part of this work. The relationships between the measurements of 5 in-use vehicles well-represented in the French fleet and measurements performed in the vicinity of a suburban highway (southern ring road of Grenoble) have been firstly examined. In the first study, several chemical compounds, organics and inorganics, appeared as tracers of vehicular exhaust (EC, light PAHs, typical alkanes profiles, metals like Fe, Cu etc.). Large differences are noticeable between Diesel vehicles without DPF and petrol vehicles/diesel vehicle retrofitted with a DPF. In the second study, comparison with results from an urban background site (Grenoble-Les Frênes) and from the traffic site (Grenoble-Echirolles) highlighted several specific chemical compounds of exhaust and non-exhaust sources (EC, Cu, Fe, Sn, Mn…). Large increments due to the local traffic have been observed (EC (+78%), Cu (82%), Fe (88%), etc.). The 4-hour temporal resolution allowed for the detailed characterization of chemical species during rush hours and less busy periods. An additional field campaign was performed in another roadside site (Grenoble-Le Rondeau) but in winter during salting conditions. Supplementary information was obtained concerning non-exhaust sources. Finally, thanks to the results from the first part of this work, a Positive Matrix Factorization (PMF) analysis was applied to roadside data (Echirolles and Le Rondeau) in order to discriminate non-exhaust and exhaust traffic sources and to estimate their contribution to PM10. Major contributions for traffic sources (exhaust and non-exhaust) were 34% (Echirolles) and 53% (Le Rondeau). Uncertainties linked to these results are discussed with the results of the first part (detailed chemical study) of this work.

Ce travail propose une analyse des pratiques de bénédiction et des relations de proximité dans une ville du centre-ouest brésilien. L’ethnographie dans les quartiers de Goiás permet d’interroger tout à la fois un univers mu par des formes de religiosité désignées par le terme de caseiras, et la notion de proximité telle que le quotidien des habitants la révèle. Favorisant une approche sensible des pratiques de bénédiction et des relations de proximité, la photographie est mobilisée comme outil de terrain, dispositif analytique et mode de connaissance, pour souligner la particularité des expériences ethnographiques autour du regard et des images et élaborer un récit ethnographique articulant texte et images. Sont ainsi privilégiés dans cette thèse le contenu anthropologique et les aspects esthétiques et émotionnels de la bénédiction. Ces pratiques permettent d’appréhender les relations de solidarité, conflictuelles et intergénérationnelles, qui participent à l’élaboration du lien social entre proches. Impliquant aussi des processus de transmission entre femmes, les relations de proximité sont dynamisées par des ambiguïtés affectives faites à la fois de complicités et de rivalités. Les troubles qu’elles provoquent trouvent leurs formes d’expression et de résolution à partir des religiosités caseiras, les pratiques de bénédiction étant un moyen de réguler les conflits du quotidien, du fait qu’elles prennent en charge les maux du corps et de l’esprit qui en découlent. Ces éléments d’analyse ratifient que le rapport au proche n’est pas toujours harmonieux, et valorisent des modes de connaissance et des pratiques thérapeutico-religieuses non officialisées bien que centrales pour des groupes sociaux entiers, donnant ainsi une autre image de la société goiane et donc de la société brésilienne, à partir des marges du savoir / This work presents an analysis of blessing practices and “close” relationships in a city of central-western Brazil. Ethnography in the neighbourhoods of Goiás allows to question forms of religiosity designated by the term caseiras and the notion of closeness in the everyday life of Goiás inhabitants. Promoting a sensible approach of blessing practices and of “close” relationships, photography is mobilized as a tool for fieldwork, but also an analytical device and as a form of knowledge, to emphasize the particularity of ethnographic experiences of the sight and images. It also allows to develop an ethnographic narrative articulating text and images. Anthropological content as well as aesthetic and emotional aspects of blessing practices are privileged in this research. To focus on the blessing practices allows to grasp relations of solidarity, of conflict and intergenerational relations, which participate in the development of social ties between “close” people. As they also involve transmission between women, “close” relationships are driven by emotional ambiguities based on both complicity and rivalry. The disorders such relationships can cause find forms of expression and resolution into caseiras religiosities, as blessing practices are a way to regulate conflicts of everyday life by working on body and mind illnesses resulting from such conflicts. This work demonstrates how “close” relationship is not always harmonious. It also intends to show how unofficial forms of knowledge and therapeutic-religious practices, although central for entire social groups, can give a fresher look of the goiana society and of the brazilian society from the angle of the margins of institutional knowledge.

Dans un contexte de foisonnement des circuits courts de proximité, les enjeux de qualité invitent à déplacer la focale géographique, de produits spécifiques caractérisés par leur origine vers des produits ordinaires caractérisés par leur provenance. Se pose alors la question des modalités d’attachement de ces produits ordinaires aux milieux géographiques. À la fois aliments du quotidien et éléments de matériel végétal communs, les pommes et les pommes de terre permettent d’aborder les enjeux de reconnexion entre agriculture et alimentation autour de la notion de système agri-alimentaire territorial. Sur trois espaces de moyenne montagne – en France (Ardèche, Bauges) et en Italie (Ligurie) – cette thèse propose une analyse des trajectoires de dix collectifs passant par des phases de controverses qui les conduisent à se tourner vers des dispositifs de qualification plus souples que les indications géographiques. Conservant des logiques d’enracinement inspirées d’une rhétorique du terroir, ils ne versent pas pour autant dans le modèle des circuits courts de proximité, et maintiennent pour la plupart la question variétale au cœur de leurs préoccupations. La thèse montre que cette dernière ne peut être traitée à l’échelle des territoires qu’à condition d’envisager la production alimentaire de manière intégrée, c’est-à-dire en impliquant une diversité d’acteurs, capables de concevoir dans un même mouvement différentes étapes de qualification, de la gestion du matériel végétal à la consommation des aliments. L’émergence et la viabilisation de tels systèmes agri-alimentaires territoriaux ouvrent des débats politiques, et posent la question des modalités de l’action publique pour favoriser de tels dispositifs, dont on observe qu’ils tiennent principalement à des figures individuelles et à des lieux de médiation. / In a context of proliferation of short supply chains, issues of quality invite a shift in geographical focus, moving from specific products characterized by their origin to ordinary products characterized by their provenance. This shift raises the question of the modalities of attachment that these common products have to geographical areas. Everyday foods and common plant materials such as apples and potatoes allow for particular discussion around the issues concerning the reconnection of agriculture and food, specifically around the concept of territorial agri-food systems. Looking at three medium mountain areas - in France (Ardèche, Bauges) and Italy (Liguria) - this thesis proposes an analysis of the trajectories of ten different food collectives through the varying phases of controversy that are driving them towards qualification devices which are more flexible than purely geographical indications. Maintaining the logic of 'rooting', inspired by a territorial rhetoric, the collectives do not fall into the short supply chains model, and maintain, for the most part, the varietal question at the heart of their concerns. This thesis shows that this varietal question can only be treated at the territorial level if we consider the production of food as integrated. That is to say, involving a variety of stakeholders, capable of designing various stages of qualification in the same movement, from plant material management to food consumption. The emergence and realizable qualities of these territorial agri-food systems incite political debate, and raise the question of the public action modalities to promote these devices, which we notice are mainly due to individuals and places of mediation.

Cette recherche porte sur le Nevado de Toluca (Mexique), espace protégé où l’objectif de conservation des ressources forestières, tout en étant difficilement atteint, met en question les conditions d’existence des populations rurales. On étudie les dynamiques territoriales qui découlent de ces tensions. La question porte donc essentiellement sur la confrontation entre la conservation forestière telle qu’elle est portée par les autorités publiques d’une part, et d’autre part, les besoins vitaux des populations agricoles affectées par les politiques suivies. L’hypothèse principale est que les politiques de conservation forestière n’atteignent pas les objectifs de gestion fixés parce qu’il n’y a pas une vision globale dépassant les approches sectorielles des institutions en présence, et surtout parce que l’avis des paysans n’est pas assez pris en compte faute d’une connaissance approfondie des sociétés rurales. Pour rétablir cette connaissance, la méthode de recherche a consisté principalement, outre la documentation mobilisée, en de nombreux entretiens avec les habitants de plusieurs localités du Nevado, avec différents acteurs institutionnels et avec des experts forestiers qui participent à la conservation de cet espace protégé. À l’aide du logiciel TXM, ces entretiens ont fait l’objet d’une analyse quali-quantitative de type « textométrique ». Parmi les principaux résultats obtenus, on retiendra notamment le fait que les populations locales ont des représentations sociales très contrastées de leur milieu tout en ayant une pleine conscience des enjeux écologiques. Elles ressentent les restrictions d’usage, en particulier du bois de feu, comme une injustice sociale. Cependant, des configurations socio-spatiales et des dynamiques territoriales originales existent, et dépendent du contexte géographique, en particulier des phénomènes de proximité spatiale et sociale. La cohésion sociale des groupes importe et sera d’autant plus forte que ses membres partagent les mêmes valeurs culturelles, y compris religieuses. On constate également que l’éloignement de la ville produit paradoxalement des dynamiques endogènes d’organisation qui peuvent aussi constituer une base pour une politique de protection intégrée en dépit des contraintes de vie au quotidien. Au total, cette thèse propose une réflexion sur l’arbitrage à faire entre la conservation forestière et les impacts socio-économiques que cela provoque sur les populations rurales les plus démunies et esquisse des pistes de conciliation. Elle invite à penser la justice environnementale comme le fruit de l’innovation sociale. / This research concerns the Nevado de Toluca (Mexico), a protected area where the goal of forest conservation, while being hardly reached, calls into questions the livelihoods of rural populations. Territorial dynamics which ensue from these tensions are examined. The question concerns essentially the confrontation between the forest preservation such as it is carried by the public authorities on one hand, and on the other hand, the vital needs for the agricultural populations affected by the followed policies. The main hypothesis is that policies of forest preservation do not reach the expected results because there is no global vision exceeding the sectorial approaches of institutions in presence, and especially because the opinion of the farmers is not enough taken into account, due to lack of a thorough knowledge of the rural societies. To restore this knowledge, the research method consisted mainly, besides the mobilized documentation, of numerous interviews with the inhabitants of several localities of Nevado, with the various institutional actors and with the forest experts who participate in the preservation of this protected space. Using the TXM software, these interviews were analysed employing a quali-quantitative analysis on the “textometric” type. Among the main obtained results, we shall hold in particular the fact that the local populations have very contrasted social representations of their environment while having a full consciousness of the ecological challenges. They feel the limitations of use, in particular some wood of fire, as a social injustice. However, socio-spatial configurations and original territorial dynamics exist, and depend on the geographical context, in particular the phenomena of spatial and social proximity. The social cohesion of the groups is important and will be all the stronger as his members share the same cultural values, including religious ones. We also notice that the distance of the city produces paradoxically endogenous dynamics of organization which may also be a basis for an integrated protection policy in spite of the constraints of everyday life. All in all, this thesis suggests a reflection around arbitration between the forest preservation and the socioeconomic impacts on the rural poorest population groups. She invites to think of the justice environmental as of the fruit of the social innovation.

La photolithographie optique assure en partie à la microélectronique la miniaturisation des circuits électroniques. Afin de faire face à la limite de résolution de l'équipement de photolithographie, les industriels ont mis au point des techniques d'amélioration de la résolution dont certaines sont basées sur l'utilisation de la modélisation numérique. Jusqu'au nœud technologique 45 nm, cette modélisation ne prenait pas en compte la présence de plusieurs empilements de matériaux sous la résine photosensible négligeant ainsi les phénomènes de réflexion, de diffraction et d'ondes stationnaires. Pour les nœuds 32 nm et suivants, ces phénomènes rendent difficile le contrôle de la forme et des dimensions des motifs résine notamment pour les niveaux dont l'exposition s'effectue sans couche antireflet. Cette thèse CIFRE entre le laboratoire Hubert Curien de Saint- Etienne et l'industriel STMicroelectronique de Crolles traite de la caractérisation, de la modélisation et de la simulation numérique des effets d'empilement sous la résine photosensible. Le premier chapitre regroupe un ensemble de pensées sur la microélectronique, son histoire et définit les notions essentielles de ce domaine et de la modélisation numérique. Les chapitres deux et trois donnent respectivement l'état de l'art de la photolithographie optique et des techniques de correction des effets de proximité optique. Le chapitre quatre présente l'étude expérimentale, de la conception des structures test à la caractérisation des effets d'empilement en passant par le protocole de création des groupes de données. La prise en compte de ces effets est l'objet du chapitre cinq avec l'état de l'art des techniques existantes suivi de la description de l'algorithme de construction de modèles développé dans cette thèse. Enfin l'application de la méthode des sources généralisées à la photolithographie optique est évaluée dans le chapitre six / In IC manufacturing, optical photolithography is one of key actors of electronic circuit miniaturization. To work around the photolithography resolution limit, manufacturers developed resolution improvement techniques, including some based on numerical modeling. For nodes larger than 45 nm, this modeling didn't take into account several stacks under the photoresist and that caused optical reflection, diffraction, and standing wave phenomena to be neglected. For 32 nm and smaller nodes, these phenomena make it di cult to control the shape and dimensions of resist patterns, especially for layers without an anti-reflecting coating during exposure. The CIFRE thesis from Hubert Curien Laboratories in Saint-Etienne and industrial STMicroelectronics from Crolles deals with wafer stack effect characterization, modeling, and numerical simulation. The first chapter gives my philosophy and history of IC manufacturing, and defines concepts in this field and concepts about numerical modeling. Chapter Two discusses state-of-the-art optical photolithography and Chapter Three discusses state-of-the-art optical proximity correction. Chapter Four emphasizes an experimental study from test pattern conception to wafer stack effect characterization, including data set building protocol. Chapter Five covers wafer stack effect management, first describing the current status of the industry followed by a description of the model building algorithm developed during this thesis. Finally, Chapter Six assesses the generalized source method applied to the photolithography process simulation

Les hétérostructures de taille nanométrique comprenant des matériaux supraconducteurs (S) en contact avec des matériaux métalliques (N) ou ferromagnétiques (F) présentent des propriétés surprenantes. L'effet de proximité dans les structures F/S/F se manifeste par l'effet vanne de spin. Dans les jonctions S/F/S, on voit l'apparition d'une transition de phase 0-p. Ces propriétés dépendent des paramètres internes du ferromagnétiques. Dans la première partie, nous étudions l'influence d'un décalage énergétique et d'une différence de masse effective pour expliquer l'effet de vanne de spin inverse qui se manifeste dans certaines hétérostructures F/S/F. On étudie la transition de phase 0-p dans le cas de décalage énergétique et d'anisotropie des surfaces de Fermi.La seconde partie est consacré à l'étude de l'effet paramagnétique sur le diagramme (H,T) des bicouches S/N et S/S. On demontre qu'il se forme une phase de supraconductivité induite par champ magnétique à fort champ magnétique et faibles températures. Calculée en présence d'un phase supraconductrice inhomogène de type Fulde-Ferrell-Larkin-Ovchinikov (FFLO), on s'interesse également à l'influence des impuretés sur cette nouvelle phase supraconductrice à fort champ magnétique.La troisième partie est dévolue à l'étude des multicouches supraconducteur/métal normal(N). Le but de cette partie est d'étudier l'influence du nombre de couche et de décalage d'énergie sur la température critique, la densité d'état des multicouches S/N/.../N épaisses et de l'effet Josephson dans les multicouches S/N/.../N/S. / The atomic-scaled heterostructures with superconducting and ferromagnetic materials exhibit astonishing properties. For example, the proximity effect in the F/S/F sandwiches leads to the spin-valve effect. In the S/F/S junctions, one can observe 0-p phase transiton. These effects depend on the ferromagnetic properties.In the first part, we study the influence of energy shift and effective mass difference to explain the inverse spin valve effect. We also study the 0-p phase diagram and its dependence on the energy shifts and anisotropic sprectra in S/F/S junctions.The second part is devoted to the study of paramagnetic effet on the (H,T) phase diagram of the S/N and S/S bilayers. We demonstrate the formation of a superconducting field induced phase for high magnetic fields and low temperature. Calculated in presence of the superconducting inhomogeneous Fulde-Ferrell-Larkin-Ovchinikov (FFLO) state, we study the influence of the impurities on this new superconducting phase.The last part deals with the study of superconducting-normal metal(N) multilayers. We calculate the influence of the number of layers and energy shift on the density of state, the thermodynamical properties of the S/N/.../N thick multilayer and the Josephson current in the S/N/.../N/S thick junctions.