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Critical review of the quality of environmental authorizations in South Africa / Andrew Brian Caddick

Caddick, Andrew Brian January 2015 (has links)
This dissertation critically reviews the quality of South African environmental authorisations through the application of a methodology adopted from the Lee and Colley (1999) environmental impact assessment (EIA) report review package. The literature review shows that to date limited research has been conducted on the quality of environmental authorisations nationally. Anecdotal evidence suggests that environmental authorisations are of weak quality; hence the development of guidelines on the compilation of environmental authorisations by the Department of Environmental Affairs (DEA). In this dissertation, the quality of the environmental authorisations is critically reviewed against the requirements of the National Environmental Management Act (Act No. 107 of 1998) and departmental guidelines. The research concludes that only 64% of reviewed authorisations are deemed satisfactory, while 36% were unsatisfactory. When the basic assessment report (BAR) and scoping and environmental impact assessment (S&EIA) process authorisations are compared it is concluded that the there is a minimal difference in quality. The BAR achieved a 69% satisfactory rating while the S&EIA process achieved a 61% satisfactory rating. The dissertation concludes by making recommendations to improve the quality of authorisations. / M (Environmental Management), North-West University, Potchefstroom Campus, 2015
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Proposed framework legislation for renewable energy in South Africa / David Frederik van der Merwe

Van der Merwe, David Frederik January 2015 (has links)
It is common-cause that South Africa can be regarded as a country that is rich in diversity of natural resources. Moreover, it is generally accepted that South Africa has the best legislation with regard to the regulation of the environment in various fields such as water, air, biodiversity and waste management. However, there is to date, no specific legislation regulating renewable energy in South Africa. As a result of the high unemployment rate, poverty and the rural population not having adequate access to electricity, these communities depend heavily on the traditional use of biomass, which refers to the direct combustion of wood, charcoal, leaves, agricultural residue, and animal/human waste for their basic energy needs, which include cooking, drying and charcoal production. The traditional use of biomass results in a host of detrimental side-effects such as environmental degradation and negative social impacts. The latter necessitates that the use of renewable energy sources will need to be regulated in terms of law and policy reflective of section 24 of the Constitution of the Republic of South-Africa, 1996. In terms of section 24 of the Constitution, the State must establish and implement reasonable legislative measures to promote sustainable development and the sustainable use of natural resources while providing for the protection of the environment for the benefit of present and future generations. It is immediately evident that the legislative measures mandated by section 24 of the Constitution should be geared towards the facilitation of environmental protection. Falling within the ambit of such legislative measures is framework legislation. An example of framework legislation is the National Environmental Management Act 107 of 1998 (the NEMA). In this dissertation an overview of the concept of framework legislation will be provided with specific reference to the NEMA and its role as such in South African environmental law. This will be followed by an analysis of existing South African renewable energy policy documents, during which norms and/or principles common to these documents will be identified. The question subsequently arises: What should be included in framework legislation aimed at regulating renewable energy in South Africa? These identified norms will be proposed as the general basic norms which should be included in renewable energy framework legislation aimed at regulating the supply of renewable energy in South Africa. / LLM (Environmental Law and Governance), North-West University, Potchefstroom Campus, 2015
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Critical review of the quality of environmental authorizations in South Africa / Andrew Brian Caddick

Caddick, Andrew Brian January 2015 (has links)
This dissertation critically reviews the quality of South African environmental authorisations through the application of a methodology adopted from the Lee and Colley (1999) environmental impact assessment (EIA) report review package. The literature review shows that to date limited research has been conducted on the quality of environmental authorisations nationally. Anecdotal evidence suggests that environmental authorisations are of weak quality; hence the development of guidelines on the compilation of environmental authorisations by the Department of Environmental Affairs (DEA). In this dissertation, the quality of the environmental authorisations is critically reviewed against the requirements of the National Environmental Management Act (Act No. 107 of 1998) and departmental guidelines. The research concludes that only 64% of reviewed authorisations are deemed satisfactory, while 36% were unsatisfactory. When the basic assessment report (BAR) and scoping and environmental impact assessment (S&EIA) process authorisations are compared it is concluded that the there is a minimal difference in quality. The BAR achieved a 69% satisfactory rating while the S&EIA process achieved a 61% satisfactory rating. The dissertation concludes by making recommendations to improve the quality of authorisations. / M (Environmental Management), North-West University, Potchefstroom Campus, 2015
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Proposed framework legislation for renewable energy in South Africa / David Frederik van der Merwe

Van der Merwe, David Frederik January 2015 (has links)
It is common-cause that South Africa can be regarded as a country that is rich in diversity of natural resources. Moreover, it is generally accepted that South Africa has the best legislation with regard to the regulation of the environment in various fields such as water, air, biodiversity and waste management. However, there is to date, no specific legislation regulating renewable energy in South Africa. As a result of the high unemployment rate, poverty and the rural population not having adequate access to electricity, these communities depend heavily on the traditional use of biomass, which refers to the direct combustion of wood, charcoal, leaves, agricultural residue, and animal/human waste for their basic energy needs, which include cooking, drying and charcoal production. The traditional use of biomass results in a host of detrimental side-effects such as environmental degradation and negative social impacts. The latter necessitates that the use of renewable energy sources will need to be regulated in terms of law and policy reflective of section 24 of the Constitution of the Republic of South-Africa, 1996. In terms of section 24 of the Constitution, the State must establish and implement reasonable legislative measures to promote sustainable development and the sustainable use of natural resources while providing for the protection of the environment for the benefit of present and future generations. It is immediately evident that the legislative measures mandated by section 24 of the Constitution should be geared towards the facilitation of environmental protection. Falling within the ambit of such legislative measures is framework legislation. An example of framework legislation is the National Environmental Management Act 107 of 1998 (the NEMA). In this dissertation an overview of the concept of framework legislation will be provided with specific reference to the NEMA and its role as such in South African environmental law. This will be followed by an analysis of existing South African renewable energy policy documents, during which norms and/or principles common to these documents will be identified. The question subsequently arises: What should be included in framework legislation aimed at regulating renewable energy in South Africa? These identified norms will be proposed as the general basic norms which should be included in renewable energy framework legislation aimed at regulating the supply of renewable energy in South Africa. / LLM (Environmental Law and Governance), North-West University, Potchefstroom Campus, 2015
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L'apport des concepts du Web sémantique et normes associées aux échanges inter applicatifs dans un SI d'entreprise ou RECAP (Référentiels et connecteurs a priori) / The contribution of Semantic Web and Associate International Standard to the exchanges between applications of a company information system or RECAP (referential and connector a priori)

Berisha, Suela 15 September 2011 (has links)
Le sujet de thèse a été traité dans le cadre d’un Système d’Information d’Entreprise (SIE) contenant un grand volume d’informations, très diverses, circulant au sein d’un groupe avec une cinquantaine de filiales. Initialement, les sources informatiques de chaque entité stockaient des données structurées, suivant des logiques métiers locales. Les descriptions de ces sources, destinées prioritairement aux informaticiens, se trouvent dans des documents textuels. Elles ne visaient pas le partage et la compréhension des systèmes par les différents types d’acteurs métiers qui fournissent le contenu. C’est également le cas des référentiels métiers, qui contiennent des connaissances métiers fondamentales. Ainsi, la localisation d’informations pertinentes, permettent un aiguillage et un accès aisé aux sources qui répondent aux attentes et aux contraintes des acteurs métiers, devient une problématique principale du SI. Depuis une décennie, la SNCF vise à répondre à cette problématique par une démarche stratégique de gouvernance inscrite dans les processus de l’urbanisme du SI. Nous sommes concernés par mise sous contrôle des référentiels de données métiers, la standardisation et la simplification des échanges inter applicatifs. Malgré cette démarche, les initiatives de partage d’informations et des connaissances métiers restent ponctuelles, fortement dépendantes des motivations personnelles (et non pas métiers) d’acteurs éclairés du SI. Notre objectif est de fournir une vue stratégique sur le partage des connaissances des différents types d’acteurs du SI en favorisant leur collaboration dans le contexte du déroulement d’un processus, ou d’une activité métier. Pour y parvenir, nous proposons une démarche pour la construction d’une couche du SI en s’appuyant sur de nouveaux concepts fonctionnels : le "référentiel de référentiels" et les "connecteurs a priori". Le premier correspond à un référentiel transverse par rapport à un périmètre métier. Le second correspond à des connexions logiques assurant une interopérabilité entre les applications qui ne sont pas conçues pour cohabiter. D’un point de vue technologique, le "référentiel des référentiels" prend ses fondements dans la modélisation et le stockage des connaissances par les démarches sémantiques. Les "connecteurs a priori" puisent leurs apports dans les Services Web Sémantiques. Le sujet de thèse développe des compétences comme les architectures middlewares orientées services, la modélisation sémantique de documents, la modélisation du SI et les techniques de Recherche d’Information (RI). Ce sont autant de sujets qui s’intègrent dans le projet scientifique de l’équipe DRIM (Distribution et Recherche d'Information Multimédia) du département « Données, Connaissances et Services » du laboratoire LIRIS (Laboratoire d’InfoRmatique en Images et Systèmes d’Informations), CNRS UMR 5205. / This thesis came about a very large and complex Enterprise Information System (EIS) containing a huge amount of information that moves through a company consisted of a main group and about fifty subsidiaries. At the beginning, computer science resources of each business unit stored structured data, according to a local business logic. The descriptions of these sources, intended first of all for computer specialists, were saved in text documents. They were not meant to help system sharing and understanding by different types of actors, who provide the business content. It's also true for the enterprise repositories, which contain fundamental business knowledge. Thus, finding the relevant information allowing fast and easy access to sources that meet the expectations and constraints of business actors, became a main problematic of IS. Since ten years, our company aims to address this problem by a strategic approach of IS governance included in the process of the IS planning. We are involved in the activity of business data repositories brought under control and information exchanges standardization and simplification between applications. Our goal is to provide a strategic view of knowledge sharing by promoting the IS actor collaboration in a business process context, or in business activity. To achieve this, we propose an approach for the construction of a layer of the IS based on new functional concepts: the "Reference Enterprise Repository (RER)" and " a priori connectors ". The first is about a transverse enterprise repository corresponding to a business context. The second is logical connections ensuring interoperability between applications that weren’t designed to coexist. From a technological point of view, the RER is based on semantic modelling and the knowledge representation. The "a priori connectors" involve integration technologies of Semantic Web Services. The thesis develops skills such as service-oriented middleware architectures, modelling semantics of documents, modelling IS and Information Retrieval (IR) techniques. All these subjects are part of the DRIM (Distribution and Multimedia Information Retrieval) team’s scientific project of the Department "Information, Knowledge and Services' at the LIRIS (Laboratoire d'Informatique en Images and Systems information), CNRS UMR 5205.
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Application de gestion des droits numériques au système d'information d'entreprise / Applying Digital Rights Management to Corporate Information Systems

SU, Ziyi 23 March 2012 (has links)
Pour faire face aux enjeux d’une économie mondialisée et aux fluctuations du marché, les entreprises (et principalement les PMEs) doivent développer de nouvelles stratégies de collaboration et d’organisation en réseau permettant de s’intéresser effectivement au réseau de création de valeur (et non pas se limiter à une simple organisation de chaîne de valeur) plus en rapport avec le contexte économique « blue ocean » visant le développement de produits et services innovants. Actuellement, ces réseaux de collaborations sont basés sur des relations de confiance et des communautés bien identifiées. Pour passer à une collaboration à très grande échelle, il importe d’accroître l’agilité et l’interopérabilité des entreprises et de leurs systèmes d’information pour permettre leur interconnexion. Cette stratégie de collaboration pose le problème d’une gestion de la sécurité « de bout en bout » pendant tout le cycle de vie des informations et processus partagés. Or les approches traditionnelles de sécurité ne proposent qu’une protection « statique » et « instantanée » ce qui ne permet pas de répondre aux contraintes de gestion des usage et d’adaptation dynamique requises par les organisations collaboratives. Pour répondre à ces enjeux, nous proposons d’adapter les approches de gestion des droits numériques (DRM) aux systèmes d’information. Après avoir proposé une architecture semi-distribuée de gestion des droits d’usage, nous avons proposé un modèle de politique de sécurité intégrant les droits d’usage et les obligations associées. Ceci nous a conduits à définir une syntaxe et une sémantique adaptée pour enrichir les politiques traditionnelles. Nos travaux ont porté ensuite sur la prise en compte de la dimension collaborative. Dans ce cadre nous avons proposé une algèbre d’intégration permettant de gérer la composition des politiques en fonction de l’ajout ou du retrait de partenaires dans l’organisation en analysant les processus métiers mis en œuvre par la collaboration. Enfin, notre architecture a été validée par un prototype incluant un moteur de négociation (construit sur l’outil «SUN XACML implementation»), un moteur d'agrégation s'appuyant sur JAVA DOM et JDOM et une composante d'analyse de contexte. / To fit the globalised economical environment, enterprises, and mostly SMEs, have to develop new networked and collaborative strategies, focusing on networked value creation (instead of the classical value chain vision), fitting the blue ocean context for innovative products and service development. Such collaborative networks are by now often based on trusted and well known communities. Developing large scale networked and collaborative strategies involve increasing both enterprise and information system agility and interoperability in order to allow their interconnection. This requires paying attention on an end-to end security and on the way information and process are used during their full life-cycle. As traditional security approaches and methodologies provide only an “instant” and rather static protection, they do not fit the dynamicity nor the life-cycle long protection constraints involved by such collaborative organisation. To overcome this limit, we propose to adapt the Digital Right Management approach (first defined for multimedia contents) to collaborative information systems. After proposing a semi-distributed architecture used to manage usage rights, we propose a security policy model including both usage rights and related obligations. This leads us to extend the security policy descriptions, including a dedicated syntax and semantics to model both policy organisation, usage and obligations before paying attention on the “collaborative environment constraints”. Paying attention on the way collaborative organisations are set and evolve, we have proposed an integration algebra to manage the way security and usage policies are composed depending on the way partners join and quit the collaborative context. This composition process and integration algebra analyse the collaborative business processes to identify the way policies are composed and negotiated. Lastly, we implement parts of our architecture to validate our proposals, mostly regarding the negotiation engine (using «SUN XACML implementation»), the aggregation engine(built upon JAVA DOM et JDOM) and a context analysis component.
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Intégration des systèmes mécatroniques dans les systèmes d'information / Integration of mechatronic systems in information systems

Abid, Houssem 12 January 2015 (has links)
L’innovation industrielle tend vers des produits de plus en plus complexes de type mécatronique qui combine des domaines pluridisciplinaires. Les processus de conception de ces produits fait appel aux compétences d’acteurs issus des différents métiers et la création des différentes facettes des constituants nécessite l’utilisation d’outils spécialisés; pour autant il n’existe pas de véritable intégration globale au sein du système d'information permettant une gestion intégrée des différents savoir-faire et domaines de compétence malgré la capacité de certains systèmes comme le PLM. Ce travail présente une méthode de résolution générique. L'objet du présent document est de définir une approche globale pour l'intégration des données des systèmes mécatroniques dans un système PLM en utilisant une modélisation spécifique basé sur la caractérisation du cycle de vie et l'utilisation de SysML. Les premiers essais d’implémentation au sein du PLM Windchill, nous ont permis de valider qu’il était possible d’intégrer, avec une structure sémantique, des liens entre des objets métiers pluridisciplinaires. / Industrial innovation aims towards more complex Mecatronics products which combine multidisciplinary domains. The design process of these products leans on several multi-business. The creation of components' facets requires the use of specialized tools. However there is no real global integration within the information system allowing an integrated management of various know-how and fields of expertise, in spite of capabilities certain systems as PLM. This work presents a generic resolution method. The object of this paper is to present a global approach for the integration of Mecatronics systems into a PLM system using a specific modeling. The first implementation tests within Windchill PLM system shows that it was possible to integrate with a semantic structure, links between multidisciplinary business objects.
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Constraint programming models for conceptual clustering : Application to an erp configuration problem / Modèles de programmation par contraintes pour le clustering conceptuel : Application à un problème de configuration d'ERP

Chabert, Maxime 18 December 2018 (has links)
Les ERP (Enterprise Resource Planning) sont incontournables dans les systèmes d'information des sociétés industrielles: ils jouent un rôle crucial pour automatiser et suivre leurs processus afin d'améliorer leur compétitivité. Un ERP est un logiciel générique qui est utilisé par plusieurs sociétés industrielles ayant des besoins et des processus différents. C'est pourquoi de nombreux paramètres permettent d'adapter le fonctionnement du système aux besoins d'une société. Le déploiement d'un ERP, qui vise à paramétrer le système en fonction des besoins collectés, est donc une tâche complexe qui requiert une profonde expertise du système mais aussi du métier de l'entreprise industrielle. Infologic est une société qui développe et installe son propre ERP appelé Copilote. La difficulté liée au déploiement de Copilote dans une société industrielle est un réel frein pour la croissance d'Infologic et réduire la complexité du paramétrage de Copilote est un enjeu vital pour Infologic. C'est pourquoi nous avons étudié le processus de déploiement de Copilote et particulièrement la phase de paramétrage du système. Nous proposons une approche visant à extraire, depuis l'ensemble des paramétrages existants, un catalogue de paramétrages correspondant à des besoins fonctionnels précédemment rencontrés afin de les réutiliser lors des prochains déploiements de Copilote. Nous proposons d’utiliser la programmation par contraintes pour cela, afin de pouvoir facilement personnaliser les solutions calculées en ajoutant des contraintes et des critères d’optimisation variés. Nous introduisons de nouveaux modèles à base de contraintes pour résoudre des problèmes de clustering conceptuel, ainsi qu'une contrainte globale pour le problème de couverture exacte avec plusieurs algorithmes de propagation. Nous montrons qu'elle permet de modéliser facilement des problèmes de clustering conceptuel, et de les résoudre plus efficacement que les approches déclaratives de l’état de l’art. / Enterprise Resource Planning (ERP) systems are essential for industrial companies to automatize and monitor their business processes in order to boost their competitiveness. ERP systems are generic software designed to serve a large variety of companies with different business processes. Therefore, they have many configuration options to support various business processes used in different companies. The implementation process of an ERP system consists in assigning values to ERP parameters according to the company requirements: It determines the exact operations and processes supported by the system in the specific company. Infologic is a French company that develops and integrates their own ERP system called Copilote. It has thousands of parameters that are used to adapt it as precisely as possible to customer requirements. However, this flexibility makes the implementation of Copilote a time consuming task that requires a deep knowledge of its functionalities and parameters. Reducing the complexity of the implementation of Copilote is a critical issue for Infologic who needs to integrate efficiently new system integrators to meet the demand of new customers. In this thesis, we study the implementation process of Copilote in order to understand the main issues encountered by Infologic. We propose a new approach for extracting a catalog of configuration parts from existing configurations of Copilote, and each configuration part is associated with the business requirement it fulfills in order to reuse it for next implementations of Copilote. To this aim, we propose to use constraint programming (CP) to easily integrate feedbacks of experts by means of new constraints or criteria. We introduce new CP models to solve conceptual clustering problems and a new global constraint for the exact cover problem with several propagation algorithms. We show it allows to model easily conceptual clustering problems and to solve it more efficiently thant existing delcarative approaches.
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Corrélation entre les procédés de fabrication, les propriétés microstructurales et les propriétés mécaniques de couches minces métalliques pour applications microsystèmes / Correlation between manufacturing processes, microstructural properties and mechanical properties of metallic thin films for MEMS applications

Martegoutte, Julien 25 April 2012 (has links)
L'agence spatiale européenne et le CNES étudient la possibilité d’envoyer des microsystèmes dans l’espace, en particulier pour le gain de masse qu’ils représentent. Afin d’améliorer la fiabilité des composants en couches minces dans le temps et leurs performances, il est nécessaire de connaitre leurs propriétés mécaniques. Plusieurs techniques de caractérisation existent, en particulier la nanoindentation qui sollicite les couches minces directement sur substrat. Mais les résultats peuvent être largement influencés par le substrat dans le cas des couches microniques. Les méthodes de traction uniaxiale (CNES) et du gonflement de membranes autoportantes (INL) permettent de s’affranchir des effets du substrat, mais la fabrication de telles structures est complexe et nécessite bon nombre d’étapes technologiques pour retirer le substrat en face arrière. L’objectif de cette thèse est de comprendre le lien qui existe entre les paramètres de fabrication de couches minces métalliques d'or et d'aluminium, leur microstructure, et leurs propriétés mécaniques à l’aide des outils présentés précédemment. Une perspective étant de mieux agir sur les procédés de fabrication afin d’améliorer la fiabilité des composants. Le premier chapitre présente les différentes techniques de dépôt, leur thermodynamique et cinétique, les types de microstructures rapportées dans la littérature, ainsi que la réalisation des structures de test. Le deuxième présente les caractérisations microstructurales, et la corrélation entre les paramètres de dépôt et les propriétés microstructurales est discutée. Le chapitre trois présente les caractérisations mécaniques des couches minces, sur substrat ou autoportantes, par les méthodes de nanoindentation en pointe Berkovich et sphérique, de microtraction et du gonflement de membrane. Le dernier chapitre est consacré aux relations entre les propriétés microstructurales et mécaniques des couches minces métalliques et à l'influence des traitements thermiques. / The European Space Agency and CNES are studying the possibility of sending microsystems in space, especially for the mass gain they represent. To improve the reliability of components, it is necessary to know their mechanical properties. Several characterization techniques exist, especially nanoindentation of thin films on substrates. However, results can be largely influenced by the substrate in the case of micron layers. The methods of uniaxial tension (CNES) and bulge-test (INL) on freestanding specimen are used to eliminate the effects of the substrate, but the fabrication of such structures is complex and requires many technological steps to remove the substrate on the backside. The objective of this thesis is to understand the relationship between manufacturing parameters of thin metal films of gold and aluminum thin films, their microstructure and mechanical properties using the tools described above. The first chapter presents different deposition techniques, their thermodynamics and kinetics, types of microstructures reported in the literature, and the fabrication of test structures. The second presents the microstructural characterization, and correlation between deposition parameters and the microstructural properties is discussed. Chapter three presents the mechanical characterization of thin films on substrate or freestanding ones, by the methods of nanoindentation with Berkovich and spherical tips, microtensile test and bulge test. The last chapter is devoted to relations between microstructural and mechanical properties of thin metal films and the influence of heat treatments.
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Etudes structurales et morphologiques et réalisation d’épitaxies à base de Si pour dispositifs électroniques / Structure and morphology study of Si-based epitaxies for electronic devices

Seiss, Birgit 19 December 2013 (has links)
Dans les technologies d'aujourd'hui, l’épitaxie est une technique indispensable pour la fabrication des composants. Avec la diminution continue de la taille des transistors les objets epitaxiés rétrécissent aussi. Par conséquence, des effets morphologiques qui sont négligeables à grande échelle, doivent être considéré dans les petits motifs, et de plus des anisotropies doivent être prises en compte. C'est pour cela que cette thèse est consacrée à l'étude de la morphologie en fonction de la taille et de l'orientation des motifs. La caractérisation de la morphologie du SiGe comme déposé sur des motifs orientés selon <100> et <110> nous conduit à introduire de nouveaux effets de charge, pas encore reportés dans la littérature. Après avoir étudié en profondeur la morphologie après croissance, les épitaxies sont soumises à des températures légèrement supérieures à celle de dépôt, et les changements sont discutés en fonction de l'orientation et de la largeur des lignes. Des recuits sous H2 à des températures plus élevées sont réalisés sur des motifs différents ce qui permet l'observation des effets morphologiques en bord et en coin de motif. Ces effets dominent la morphologie globale des couches epitaxiées quand la taille des motifs diminue. En particulier, la stabilité des lignes de Si et SiGe lors des recuits est étudiée, ce qui permet de déterminer les facteurs importants pour la stabilité des lignes. Dans des expériences supplémentaires un procédé est développé pour augmenter la stabilité thermique des couches SiGe. En outre, l'épitaxie cyclique - nécessaire pour réaliser les sources/drains des CMOS avancés - est discutée. L'influence des changements dans l'étape de gravure d'un procédé cyclique de Si, en gardant l'étape de dépôt inchangée, est étudiée pour des motifs orientés selon <100>. Nous avons trouvé des conditions dans lesquelles la couche n'est plus continue. Des expériences pour étudier la gravure séparément permettent d'expliquer les phénomènes observés. / In current technology nodes, epitaxy is an indispensable technique in device fabrication. With the continuous decrease of the transistor size, the epitaxial objects shrink as well. As a consequence, morphology effects which can be neglected at the large scale, have to be considered in small patterns and in addition, anisotropies have to be taken into account. Therefore, this thesis is dedicated to morphology studies as a function of pattern size and orientation. The characterization of the SiGe morphology in the as-deposited state on <100> and <110> oriented patterns leads to the introduction of new loading effects, which have not been reported elsewhere so far. After having studied thoroughly the as-deposited morphology, the epitaxial layers are exposed to a temperature slightly higher than the deposition temperature and the changes are discussed as a function of line width and orientation. H2 annealing at higher temperatures are performed with various Si and SiGe patterns leading to the observation of morphology effects at the pattern edges and corners. These effects dominate the global layer appearance with decreasing pattern size. In particular, the stability of annealed Si and SiGe lines is studied which allows to determine the crucial factors for line stability. In additional experiments, a process is developed which can increase the thermal stability of epitaxial SiGe. Moreover, cyclic epitaxy - required for sources/drains of advanced CMOS devices - is discussed. The influence of changes in the etch step of a cyclic Si process, by keeping the deposition step unchanged, is studied for <100> oriented patterns. Conditions are found, where cyclic epitaxy results in a discontinuous layer. Experiments, which consider the etching separately can explain the observed phenomena.

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