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Anwendungsnahe tribologische Charakterisierung oberflächenfunktionalisierter KompressionsringeMichelberger, Björn 25 September 2023 (has links)
Um die Klimaziele der Europäischen Union („Klimaneutralität“ bis zum Jahr 2050) zu erreichen, muss Deutschland im Verkehrssektor insbesondere bei Personenkraftwagen (Pkw) drastisch CO2-Emissionen reduzieren, da der Anteil von Pkw an allen in Deutschland emittierten Treibhausgasen circa 12 % (Jahr 2021) betrug. Um diese Emissionen zu verringern, wird verstärkt auf erneuerbare Energien und die Elektrifizierung von Pkws gesetzt. Es ist allerdings noch unklar, wieviel Zeit bis zur flächendeckenden Umstellung auf überwiegend batterieelektrische Pkws tatsächlich vergehen wird, sei es in Deutschland und der EU und insbesondere global. Trotz der fortschreitenden Elektrifizierung von Pkws, sind Verbrennungsmotoren weiterhin von großer Bedeutung, da sie weder an den Einsatz in Pkws noch an fossile Kraftstoffe gebunden sind. Es gilt daher, die bei Verbrennungsmotoren anfallenden energetischen Verluste weiterhin bestmöglich zu reduzieren. Vielversprechende Ansätze der Oberflächenfunktionalisierung, wie diamantartige Kohlenstoffbeschichtungen und Laserinterferenz-Mikrostrukturierungen, bieten Möglichkeiten, unnötige Reibverluste und Verschleiß in mechanischen Systemen zu reduzieren. Hierdurch werden Energieeffizienz und Langlebigkeit technischer Systeme gesteigert.
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Hocheffiziente metallische Dünnschichtelektroden durch Direkte Laserinterferenzstrukturierung / Efficiency enhancement of metal thin film electrodes by direct laser interference patterningEckhardt, Sebastian 07 April 2017 (has links) (PDF)
Moderne optoelektronische Dünnfilmapplikationen erfordern den Einsatz effizienter großflächiger Elektrodensysteme, die einerseits über sehr gute Leitfähigkeitseigenschaften verfügen und andererseits eine hohe Transparenz in einem breiten Wellenlängenspektrum aufweisen. Momentan wird für derartige Anwendungen zum Großteil der Werkstoff Indiumzinnoxid (ITO) eingesetzt, dessen Hauptbestandteil Indium nur in geringen Mengen auf der Erde vorkommt. Für die Erhaltung der Marktfähigkeit und zur Weiterentwicklung der Dünnschichtelektronik ist es nötig, dieses Ressourcenproblem zu lösen. Eine Möglichkeit zur Substitution von ITO ist die Verwendung dünner metallischer Filme als transparente Elektroden. Die vorliegende Dissertationsschrift untersucht in diesem Zusammenhang die Anwendung der Direkten Laserinterferenzstrukturierung (DLIP). Um hinreichend große optische Transparenz bei entsprechender elektrischer Leitfähigkeit zu erhalten, werden Dünnschichtensysteme aus Kupfer, Aluminium, Chrom und Silber mit verschiedenen periodischen Lochmustern zwischen 1,5-2,7 µm perforiert. Im Anschluss werden die bearbeiteten Probenkörper hinsichtlich ihrer optischen, elektrischen und topografischen Eigenschaften vermessen. Die umfangreichen gewonnenen Daten werden in einer Auswertung zusammengefasst und mit Resultaten aus numerischen Modellrechnungen verglichen. Neben den Ergebnissen zur Effizienzsteigerung der Dünnfilme untersucht die vorliegende Arbeit die laserinduzierte Ablationsdynamik metallischer Filme auf Glassubstrat zwischen 5-40 nm Schichtdicke.
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Hocheffiziente metallische Dünnschichtelektroden durch Direkte Laserinterferenzstrukturierung: Efficiency enhancement of metal thin film electrodes by direct laser interference patterningEckhardt, Sebastian 12 December 2016 (has links)
Moderne optoelektronische Dünnfilmapplikationen erfordern den Einsatz effizienter großflächiger Elektrodensysteme, die einerseits über sehr gute Leitfähigkeitseigenschaften verfügen und andererseits eine hohe Transparenz in einem breiten Wellenlängenspektrum aufweisen. Momentan wird für derartige Anwendungen zum Großteil der Werkstoff Indiumzinnoxid (ITO) eingesetzt, dessen Hauptbestandteil Indium nur in geringen Mengen auf der Erde vorkommt. Für die Erhaltung der Marktfähigkeit und zur Weiterentwicklung der Dünnschichtelektronik ist es nötig, dieses Ressourcenproblem zu lösen. Eine Möglichkeit zur Substitution von ITO ist die Verwendung dünner metallischer Filme als transparente Elektroden. Die vorliegende Dissertationsschrift untersucht in diesem Zusammenhang die Anwendung der Direkten Laserinterferenzstrukturierung (DLIP). Um hinreichend große optische Transparenz bei entsprechender elektrischer Leitfähigkeit zu erhalten, werden Dünnschichtensysteme aus Kupfer, Aluminium, Chrom und Silber mit verschiedenen periodischen Lochmustern zwischen 1,5-2,7 µm perforiert. Im Anschluss werden die bearbeiteten Probenkörper hinsichtlich ihrer optischen, elektrischen und topografischen Eigenschaften vermessen. Die umfangreichen gewonnenen Daten werden in einer Auswertung zusammengefasst und mit Resultaten aus numerischen Modellrechnungen verglichen. Neben den Ergebnissen zur Effizienzsteigerung der Dünnfilme untersucht die vorliegende Arbeit die laserinduzierte Ablationsdynamik metallischer Filme auf Glassubstrat zwischen 5-40 nm Schichtdicke.:1 Einleitung 1
2 Theoretische Grundlagen 4
2.1 Verfahren zur Herstellung von Dünnschicht-Elektroden 4
2.1.1 Verdampfungsverfahren 4
2.1.2 Sputterverfahren 5
2.1.3 Metallorganische Gasphasenepitaxie – MOCVD 6
2.2 Schichtwachstum von Metallfilmen in PVD-Verfahren 7
2.3 Elektrische Eigenschaften von Dünnschicht-Elektroden 9
2.3.1 Mechanismen der elektrischen Leitung in Festkörpern 9
2.3.2 Elektrische Charakteristika von Indiumzinnoxid-Schichten 10
2.3.3 Elektrische Charakteristika dünner Metallschichten 10
2.4 Optische Eigenschaften dünner Schichten 13
2.4.1 Wechselwirkung von Licht mit Materie 13
2.4.2 Lichtmanipulation durch periodische Strukturen 14
2.4.3 Optische Eigenschaften transparenter ITO-Schichten 17
2.4.4 Optische Eigenschaften metallischer Dünnschichten 18
2.5 Grundlagen lasergestützter Bearbeitungsmethoden 19
2.5.1 Materialablation durch gepulste Laserstrahlung 19
2.5.2 Theoretische Grundlagen zur Bestimmung der Ablationsschwelle 21
2.6 Verfahren zur Mikrostrukturierung von Oberflächen 22
2.6.1 Elektronenstrahl-Lithographie 23
2.6.2 Sequentielles Laserstrukturieren 24
2.6.3 Strukturieren mit Laserinterferenz 25
2.7 Aktueller Forschungsstand zur DLIP dünner Metallschichten 29
2.7.1 DLIP metallischer Filme mit Nanosekunden-Pulsen 29
2.7.2 DLIP metallischer Filme mit Pikosekunden-Pulsen 35
3 Experimentelle Arbeit 37
3.1 Entwicklung numerischer Rechenmodelle 37
3.1.1 Modellierung des Interferenzvolumens 37
3.2 Thermische Simulationen 38
3.3 Experimente und Versuchsanordnungen 42
3.3.1 Verwendete Lasersysteme 42
3.3.2 Vorgehensweise zur Bestimmung der Ablationsschwellwerte 42
3.3.3 Laser-Annealing metallischer Dünnschichten 43
3.3.4 Direkte Laserinterferenzstrukturierung 44
3.3.5 Übersicht der verwendeten Dünnfilmsubstrate 47
3.3.6 Mess- und Analysemethoden 49
4 Auswertung und Diskussion 55
4.1 Ermittlung der Ablationsschwellwerte 55
4.1.1 Ablationsschwellwerte bei Nanosekunden-Pulsen 55
4.1.2 Ablationsschwellwerte bei Pikosekunden-Pulsen 58
4.2 Charakterisierung unbehandelter Dünnschichten 58
4.2.1 Topographische Eigenschaften unbehandelter Metalldünnschichten 58
4.2.2 Optische und Elektrische Eigenschaften unbehandelter metallischer Filme 59
4.3 Charakterisierung lasergeglühter Metalldünnschichten 60
4.3.1 Optische Eigenschaften lasergeglühter Metallfilme 60
4.3.2 Elektrische Eigenschaften lasergeglühter Metallschichten 61
4.3.3 Schlussfolgerungen aus den Annealing-Experimenten 63
4.4 Ergebnisse der Modellrechnungen 63
4.4.1 Mathematische Simulation der Interferenzeigenschaften 63
4.5 Charakterisierung DLIP-strukturierter Metalldünnschichten 67
4.5.1 DLIP-Strukturierung von Silberdünnschichten ns-Pulsen 67
4.5.2 DLIP-Strukturierung von Silberdünnschichten mit ps-Pulsen 71
4.5.3 DLIP-Strukturierung von Kupferdünnschichten mit ns-Pulsen 77
4.5.4 DLIP-Strukturierung von Kupferdünnschichten mit ps-Pulsen 89
4.5.5 DLIP-Strukturierung von Aluminiumdünnschichten mit ns-Pulsen 93
4.5.6 DLIP-Strukturierung von Aluminiumdünnschichten mit ps-Pulsen 106
4.5.7 DLIP-Strukturierung von Chromdünnschichten mit ns-Pulsen 111
4.5.8 Charakterisierung DLIP-strukturierter Vielschicht-Substrate 116
4.6 Optische Charakterisierung 118
4.6.1 Optische Eigenschaften mittels ns-Pulsen strukturierter Filme 119
4.6.2 Optische Eigenschaften mittels ps-Pulsen strukturierter Filme 127
4.6.3 Optische Charakterisierung DLIP-strukturierter Vielschicht-Substrate 129
4.7 Elektrische Eigenschaften 131
4.7.1 Schichtwiderstand DLIP-strukturierter Metallelektroden 131
4.7.2 Schichtwiderstand DLIP-strukturierter Vielschicht-Elektroden 140
5 Zusammenfassung 144
6 Ausblick 149
7 Literaturverzeichnis 150
8 Anhang 161
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