• Refine Query
  • Source
  • Publication year
  • to
  • Language
  • 25
  • Tagged with
  • 25
  • 25
  • 9
  • 8
  • 8
  • 8
  • 7
  • 7
  • 6
  • 6
  • 6
  • 6
  • 6
  • 6
  • 6
  • About
  • The Global ETD Search service is a free service for researchers to find electronic theses and dissertations. This service is provided by the Networked Digital Library of Theses and Dissertations.
    Our metadata is collected from universities around the world. If you manage a university/consortium/country archive and want to be added, details can be found on the NDLTD website.
11

Propriedades físico-químicas de estruturas dielétrico/SiC e da camada interfacial formada

Corrêa, Silma Alberton January 2009 (has links)
Nesta Dissertação, foram investigadas propriedades físico-químicas de estruturas dielétrico/SiC e das camadas interfaciais formadas. Utilizando análises por reação nuclear, verificou-se que a presença de uma camada interfacial de oxicarbetos de silício, gerados durante a oxidação térmica do SiC, e não removidos através de ataque químico por via úmida, reduz a taxa de crescimento térmico de óxido sobre esse substrato. O efeito da utilização de atmosfera contendo nitrogênio nas características do dielétrico e na espessura da camada interfacial formada foi investigado por análises com feixes de íons, Refletometria de Raios-X e Espectroscopia de Fotoelétrons induzidos por Raios-X. Foi observado que a incorporação de nitrogênio nas estruturas dielétrico/SiC reduz a espessura da camada interfacial formada, o que foi relacionado com a melhoria das propriedades elétricas dessas estruturas. A investigação do transporte atômico de oxigênio e da estabilidade térmica de filmes de óxido de alumínio depositados sobre SiC foi realizada utilizando, principalmente, Espectroscopia de Fotoelétrons induzidos por Raios-X e análise por reação nuclear. Observou-se que tratamentos térmicos a temperaturas elevadas induzem à formação de SiO2 e de uma camada interfacial entre os filmes de óxido de alumínio depositados e o SiC, além de promoverem a cristalização e um aumento na densidade do filme de Al2O3. / In this Dissertation, physico-chemical properties of dielectric/SiC structures and of the interfacial layers formed were investigated. Using nuclear reaction analyses it was verified that the silicon oxide growth rate is reduced due to the presence of an interfacial layer of silicon oxycarbides, formed during SiC thermal oxidation, which were observed to remain in the samples submitted to wet chemical etchings. The effect of thermal treatments in nitrogen-containing atmospheres on the characteristics of the dielectric and of the interfacial layer and on the interfacial layer thickness was investigated by ion beams, X-ray reflectometry, and X-ray photoelectron spectroscopy techniques. It was observed that nitrogen incorporation in dielectric/SiC structures leads to the formation of a thinner interfacial layer, fact that was related to the improvement of electrical properties of those structures. The investigation of atomic transport of oxygen and thermal stability of aluminum oxide films deposited on SiC was performed mainly using X-ray photoelectron spectroscopy and nuclear reaction analysis. It was observed that thermal treatment at high temperatures induces the formation of SiO2 and of an interfacial layer between aluminum oxide films and SiC, as well as crystallization and an increase in Al2O3 films mass densities.
12

Implementação de uma metodologia para genotipagem da região promotora do gene do TNF-a e sua aplicação em uma população exposta à sílica / Implementation of a method for genotyping the promoter region of TNF-a gene and its application in a population exposed to silica

Souza, Daniel Santos January 2010 (has links)
Made available in DSpace on 2011-05-04T12:36:24Z (GMT). No. of bitstreams: 0 Previous issue date: 2010 / A silicose é uma pneumoconiose provocada pela inalação da poeira de sílica e consiste em uma lesão pulmonar com participação de citocinas como o Fator de Necrose Tumoral alfa (TNF-a). Há dois polimorfismos nos sítios -238 e -308 do promotor do gene da TNF-a (substituição de uma guanina por uma adenina) que têm sido investigados como possíveis fatores de susceptibilidade para a silicose. A mutação na posição -308 tem sido associada com altos níveis da citocina no sangue, enquanto que a posição -238, com formas mais graves da doença. A exposição ocupacional à sílica continua sendo um problema de Saúde Pública no Brasil. O Centro de Estudos de Saúde do Trabalhador e Ecologia Humana (CESTEH)/FIOCRUZ acompanha trabalhadores do Rio de Janeiro expostos à sílica. Este trabalho teve como objetivo a implementação de uma metodologia para determinação do polimorfismo dos sítios -308 e -238 do promotor da TNF-a para futura utilização na avaliação da exposição à sílica. A genotipagem foi feita através da técnica de PCR-RFLP (Polymerase Chain Reaction Restricition Fragment Length Polymorphism) usando NcoI para -308 e BamHI para -238. Foram realizados ensaios para a implementação da metodologia, sendo esta aplicada em uma amostra populacional de 79 trabalhadores assistidos no ambulatório do CESTEH, sendo todos do sexo masculino e maiores de 18 anos. (...) Nesse estudo, demonstrou-se que a presença do alelo mutante (A) está associada a maiores quantidades da citocina no sangue. Não foram encontradas diferenças significativas entre as médias da enzima GST e a presença ou não do alelo mutante. A presença do alelo -308A apresentou ainda um risco relativo de 3,697 para o desenvolvimento de silicose. A implementação de um método toxico genético permite a identificação de possíveis determinantes de suscetibilidade individual ao desenvolvimento da doença, aumentando o alcanço das avaliações da saúde do trabalhador. / Silicosis is a pneumoconiosis caused by inhalation of silica dust and consists of a lung injury with participation of cytokines, such as Tumor Necrosis Factor alpha (TNF- ). There are two polymorphisms at sites -238 and -308 of the gene promoter in TNF- (replacement of a guanine-adenine), which have been investigated as possible factors of susceptibility for silicosis. The mutation at positon -308 has been associated with high levels of cytokine in the blood, while at -238 with severe forms of the disease. Occupational exposure to silica remains a public health problem in Brazil. The Center for Studies on Workers' Health and Human Ecology (CESTEH) / FIOCRUZ follows Rio de Janeiro's workers exposed to silica. This study aimed to implement a methodology for determining the polymorphism of sites -308 and -238 of the promoter of TNF- for future use in the assessment of exposure to silica. Genotyping was made by PCR-RFLP (Polymerase Chain Reaction – Restricition Fragment Length Polymorphism) using NcoI for -308 and BamHI for -238. Tests were performed for implementing the methodology, which was applied in 79 employees assisted by CESTEH, all male and aged over 18. After the tests, the following conditions were fixed for both sites: 100ng of DNA, extracted from 500μL of whole blood, were used as template for PCR with 1.5 U of Taq-DNA Polymerase Recombinant and a final volume of 50μL. The primers were: 5'AGGCAATAGGTTTTGAGGGCCAT and 5'TCCTCCCTGCTCCGATTCCG as sense and antisense to -308 and 5'AAACAGACCACAGACCTGGTC and 5'CTCACACTCCCCATCCTCCCGGATC to -238. The PCR parameters for -308 site were: 35 cycles using 94ºC/40s, 58ºC/90s and 72ºC/60, generating a fragment of 107 pb. The PCR parameters for -238 site were; 35 cycles using 94ºC/40s, 58ºC/90s and 72ºC/60s, generating a fragment of 165 pb. The digestion was made with 5U of endonuclease for 1mg of DNA incubated at 37°C for 1 hour. Individuals with the mutant allele lose the site which is attacked by the restriction enzyme. Workers genotyped for the -308 site showed 16.4% (n = 13) for the GA genotype, 82.3% (n = 65) for GG and 1.3% (n = 1) for the genotype AA. The -238 site showed the frequencies of 2.3% (n = 2) for GA, 97.7% (n = 77) for GG and zero for AA. This study shows that the presence of the mutant allele (A) is associated with greater amounts of cytokine in the blood. There were no significant differences between the means of the enzyme GST and the presence of the mutant allele. The presence of the -308 mutant allele also showed a relative risk of 3,697 for the development of silicosis. The implementation of a toxicogenetic method allows the identification of possible determinants of individual susceptibility to disease development, increasing the reach of the evaluations of occupational health.
13

Síntese de SiO2/ZrO2 pelo processo sol-gel para aplicação como filme resistente à corrosão.

Renata Batista Rivero Garcia 12 August 2009 (has links)
Filmes cerâmicos têm sido usados para a proteção de estruturas metálicas como alternativas aos processos de cromação, os quais foram proibidos em muitos países por serem prejudiciais ao meio ambiente e à saúde humana. Além da minimização dos efeitos nocivos, o emprego desses filmes contribui para o prolongamento da vida útil das estruturas metálicas, pois apresentam grande resistência à oxidação, corrosão e erosão, além de demonstrarem boa resistência térmica e mecânica. Um dos métodos de obtenção de recobrimentos cerâmicos é o processo conhecido como sol-gel que possibilita a formação de materiais a baixas temperaturas de processamento, com controle microestrutural e boa adesão em substratos metálicos. Neste trabalho, um óxido misto de sílica/zircônia foi sintetizado por sol-gel, a partir da mistura de tetraeltilortossilicato (TEOS), isopropanol, água, HNO3 e acetato de zircônio (ZrAc), na razão molar 1:0,9:1:0,3:0,1, respectivamente. A homogeneização do sol foi realizada de duas formas, uma por agitação magnética e outra por sonicação. As misturas foram mantidas em estufa a 30 C para a formação do gel e posterior secagem. Análises de FT-IR, DRX e MEV foram realizadas em amostras de gel secas e sinterizadas a 1000, 1100 e 1200 C. Estas análises indicaram a presença de a-SiO2 (cristobalita) pouco cristalina e de ZrO2 tetragonal homogeneamente distribuídos nas amostras. Os dois métodos de homogeneização apresentaram resultados semelhantes em relação à distribuição das fases, porém a sonicação resultou em um gel mais transparente, indicando a presença de partículas de menores dimensões. Filmes de SiO2/ZrO2 foram obtidos por imersão de ligas de Al-2024 em uma mistura do sol homogeneizado por sonicação com um surfactante não iônico (Renex-100), na razão em massa de 1:0,2. Medidas de polarização potenciodinâmica dos substratos revestidos mostraram que seis camadas de filme de sílica/zircônia aumentam o potencial de corrosão da liga e diminuem as densidades de corrente dos processos anódicos e catódicos, indicando uma melhora na proteção do substrato contra o processo de corrosão. Análise de MEV mostrou a homogeneidade na distribuição dos átomos de Si e Zr depositados no substrato.
14

Caracterização pelo método de rietveld da zircônia tetragonal em sistemas ZrO2-SiO2 obtidos por sol-gel

Hiure Anderson Alves da Silva Queiroz 21 December 2011 (has links)
Materiais a base de zircônia (ZrO2) têm sido empregados como cerâmicas estruturais, revestimento para barreiras térmicas, catalisadores, eletrólitos para células a combustível, dispositivos óticos e eletrônicos, etc. A funcionalidade destes materiais é definida por suas propriedades físico-químicas e mecânicas, muitas das quais podem ser controladas pela microestrutura da fase cristalina, sendo a estabilização da fase tetragonal (ZrO2-t, estável acima de 1170C) desejada em muitas destas finalidades. Neste trabalho, compósitos de ZrO2-SiO2 com diferentes composições foram obtidos pelo método sol-gel catalisado por ácido, utilizando acetato de zircônio e tetraetóxissilano como precursores. Os materiais particulados obtidos foram submetidos a tratamentos térmicos entre 1000 e 1550C, com o objetivo de avaliar a estabilização da fase ZrO2-t. O processo sol-gel foi avaliado por FT-IR, fazendo-se o acompanhamento temporal das reações envolvidas, tendo-se verificado que o acetato de zircônio apresenta baixa velocidade de reação se comparado ao alcóxido de silício, o que pode induzir a formação de um gel difásico e justificar a formação de diferentes fases de sílica e/ou zircônia obtidos nas diferentes composições. A caracterização estrutural foi realizada por DRX, indicando a formação de ZrO2-t em todos os sistemas avaliados após tratamento térmico. O refinamento Rietveld possibilitou a análise da evolução desta fase nos diferentes sistemas, tendo-se verificado que para a amostra contendo 18% de zircônia (18ZrO2-82SiO2) houve a estabilização total da fase ZrO2-t. Com o aumento da quantidade de ZrO2 no sistema, observou-se o aumento no tamanho médio de cristalito e a estabilização parcial da fase tetragonal.
15

Utilização do processo sol-gel para aplicação de filmes cerâmicos a base de silício e zircônio para proteção da liga de alumínio 2024

Renata Batista Rivero Garcia 06 November 2013 (has links)
Neste trabalho, filmes a base de silício e zircônio obtidos via sol-gel foram avaliados como substitutos às camadas de conversão de cromo comumente empregadas como pré-tratamentos, na proteção de ligas de alumínio AA2024-T3 contra corrosão. O sistema sol-gel foi preparado a partir de tetraetoxissilano e acetato de zircônio, em meio ácido, usando álcool isopropílico como solvente. Características do sistema sol-gel associados à qualidade do filme depositado foram avaliadas, como a viscosidade do sol, adição de tensoativo, técnica de deposição do filme (dip coating e spray coating) e modo de secagem do filme em sistemas de multicamadas. Verificou-se que o filme mais homogêneo foi obtido adicionando-se 5% (m/m) de tensoativo não iônico Ultrol-L80 e deposição realizada em baixa condição de viscosidade do sol (~10cP). Tanto a deposição do filme via dip coating quanto via spray coating apresentaram-se eficazes para a deposição de uma camada homogênea de filme. A eficiência dos filmes depositados em relação à proteção contra corrosão foi avaliada em ensaios eletroquímicos (polarização potenciodinâmica e EIS), tendo-se verificado que uma camada de filme a base de silício e zircônio é suficiente para tornar a superfície da liga AA-2024 termodinamicamente mais estável e, portanto, menos propensa à corrosão, apresentando potencial de corrosão mais positivo e densidade corrente de corrosão menor que a liga de alumínio pura. Os ensaios de EIS indicaram que o filme depositado por spray coating aparentemente apresenta menor porosidade, resultando em maiores resistências do filme à transferência de carga, comparado ao substrato com uma camada de filme depositado por dip coating. Além disso, comparação com sistema de pré-tratamento convencional (alodine) mostrou que o filme de silício e zircônio apresenta eficiência comparável, podendo ser usado em substituição ao pré-tratamento e ao primer, pois confere boa adesão tanto ao substrato quanto à tinta do acabamento, atuando como barreira de proteção passiva.
16

Incorporação de nanorreservatórios de cério em filmes sol-gel e avaliação de sua proteção contra a corrosão de ligas AA-2024

Michele Cristiane Pereira 14 July 2015 (has links)
A aplicação de camada de conversão de cromato é comumente realizada na superfície de ligas de alumínio para proteger estes materiais da corrosão. Apesar de sua inigualável eficiência e do desejável efeito autorreparador, este tratamento utiliza Cr6+, um agente carcinogênico e que pode acarretar graves consequências ambientais durante a destinação dos resíduos tóxicos e poluidores gerados durante o processo. Neste trabalho, avaliou-se um filme sol-gel de silício-zircônio contendo microemulsão de cério (SGMECe) como alternativa ao tratamento por cromação, optando-se por evitar o uso de compostos orgânicos voláteis (tóxicos), minimizar a geração de resíduos poluidores e, ainda, incorporar aditivos inibidores de corrosão em nanorreservatórios. O filme de silício-zircônio foi preparado pelo método sol-gel a partir de tetraetoxissilano e acetato dea zircônio; o elemento inibidor de corrosão foi introduzido no sol na forma de nanogotículas dispersas em um sistema de microemulsão água-em-óleo. Para o preparo da microemulsão utilizou-se óleo de Pinhão-manso como fase orgânica, uma solução aquosa de cério e tensoativos não-iônicos biodegradáveis, tendo sido a formulação e avaliação da estabilidade deste sistema propostas neste trabalho. Análise por microscopia eletrônica de varredura mostrou que os filmes SGMECe foram homogeneamente depositados e aderidos na superfície de ligas AA2024-T3, sem a necessidade de pré-tratamento por decapagem. Apesar de filmes sol-gel inorgânicos apresentarem baixa flexibilidade, induzindo a formação de trincas durante a evaporação de solvente, a incorporação de microemulsão parece ter minimizado a formação destes defeitos, provavelmente por diminuição da tensão capilar devido à presença do tensoativo. Ensaios eletroquímicos mostraram que o filme SGMECe atua como barreira passiva, inibindo cineticamente o processo de corrosão da liga de alumínio. Além disso, a adição de quantidades crescentes (de 3 a 7% em massa) de microemulsão de cério ao sol-gel resultou em aumento da resistência do filme e da resistência à transferência de carga, corroborando com a conclusão de que o filme SGMECe atua inibindo a corrosão da liga AA2024, sendo o cério o elemento ativo deste efeito inibidor.
17

Desenvolvimento com tinta de nanocarga para aplicação nos estudos da velocidade de corrosão. / Development with nanocarga paint for application in corrosion speed studies.

Siqueira, Gonçalo 24 July 2018 (has links)
A corrosão é um dos problemas mais relevantes que afronta a indústria atual, representa mais de 25% do investimento destinado para reparos ou troca de equipamentos com falhas por problemas do ataque corrosivo. Neste panorama nos últimos anos houve um grande aumento no desenvolvimento de novas tecnologias para proteção das estruturas, por outro lado o aço ABTN 1020 é um dos materiais mais usados na indústria principalmente em ambientes contendo cloreto. A sua utilização não é recomendada pelas altas taxas de corrosão, sendo necessário à adoção de pintura como meio de proteção. Este trabalho investigou a resistência à corrosão de uma pintura em meios contendo cloreto cuja composição da matriz foi resina uretânica (PU) e diferentes cargas a base de SiO2 e ZnO em diversas concentrações, sendo avaliadas mediante técnicas de Impedância Eletroquímica- EIS e de varredura com elétrodo vibratório SVET. Verificou-se que a espectroscopia e SVET também fornecem informação suficiente relativo ao desgaste e a possível ação da corrosão, sendo assim foi evidenciado que pintura com carga a base de SiO2 que tem melhor resistência à corrosão em meios contendo cloreto. Em outra análise quando comparados com a carga de ZnO pintura com irradiação, observou-se que houve um aumento na aderência da pintura ao metal base, fornecendo uniformidade e maior proteção anticorrosiva, assim foram determinados parâmetros que podem aplicações na indústria. / Corrosion is one of the most important problems facing today\'s industry, representing more than 25% of the investment destined for repairs or exchange of equipment with failures due to corrosive attack problems. In this panorama in recent years there has been a great increase in the development of new technologies for protection of structures, on the other hand the steel ABTN 1020 is one of the materials most used in the industry mainly in environments containing chloride. Its use is not recommended due to the high corrosion rates, and it is necessary to adopt painting as a means of protection. This work investigated the corrosion resistance of a paint in chloride-containing media whose urethane resin (PU) composition and different SiO2 and ZnO-based loads were evaluated in various concentrations and evaluated by Electrochemical Impedance-EIS and scanning with vibrating electrode SVET. It was verified that the spectroscopy and SVET also provide sufficient information regarding the wear and the possible action of the corrosion, thus it was evidenced that paint with charge based on SiO2 that has better resistance to corrosion in media containing chloride. In another analysis when compared with the ZnO charge with irradiation paint, it was observed that there was an increase in the adhesion of the paint to the base metal, providing uniformity and greater anticorrosive protection, thus determined parameters that can be applied in the industry.
18

Desenvolvimento com tinta de nanocarga para aplicação nos estudos da velocidade de corrosão. / Development with nanocarga paint for application in corrosion speed studies.

Gonçalo Siqueira 24 July 2018 (has links)
A corrosão é um dos problemas mais relevantes que afronta a indústria atual, representa mais de 25% do investimento destinado para reparos ou troca de equipamentos com falhas por problemas do ataque corrosivo. Neste panorama nos últimos anos houve um grande aumento no desenvolvimento de novas tecnologias para proteção das estruturas, por outro lado o aço ABTN 1020 é um dos materiais mais usados na indústria principalmente em ambientes contendo cloreto. A sua utilização não é recomendada pelas altas taxas de corrosão, sendo necessário à adoção de pintura como meio de proteção. Este trabalho investigou a resistência à corrosão de uma pintura em meios contendo cloreto cuja composição da matriz foi resina uretânica (PU) e diferentes cargas a base de SiO2 e ZnO em diversas concentrações, sendo avaliadas mediante técnicas de Impedância Eletroquímica- EIS e de varredura com elétrodo vibratório SVET. Verificou-se que a espectroscopia e SVET também fornecem informação suficiente relativo ao desgaste e a possível ação da corrosão, sendo assim foi evidenciado que pintura com carga a base de SiO2 que tem melhor resistência à corrosão em meios contendo cloreto. Em outra análise quando comparados com a carga de ZnO pintura com irradiação, observou-se que houve um aumento na aderência da pintura ao metal base, fornecendo uniformidade e maior proteção anticorrosiva, assim foram determinados parâmetros que podem aplicações na indústria. / Corrosion is one of the most important problems facing today\'s industry, representing more than 25% of the investment destined for repairs or exchange of equipment with failures due to corrosive attack problems. In this panorama in recent years there has been a great increase in the development of new technologies for protection of structures, on the other hand the steel ABTN 1020 is one of the materials most used in the industry mainly in environments containing chloride. Its use is not recommended due to the high corrosion rates, and it is necessary to adopt painting as a means of protection. This work investigated the corrosion resistance of a paint in chloride-containing media whose urethane resin (PU) composition and different SiO2 and ZnO-based loads were evaluated in various concentrations and evaluated by Electrochemical Impedance-EIS and scanning with vibrating electrode SVET. It was verified that the spectroscopy and SVET also provide sufficient information regarding the wear and the possible action of the corrosion, thus it was evidenced that paint with charge based on SiO2 that has better resistance to corrosion in media containing chloride. In another analysis when compared with the ZnO charge with irradiation paint, it was observed that there was an increase in the adhesion of the paint to the base metal, providing uniformity and greater anticorrosive protection, thus determined parameters that can be applied in the industry.
19

Estudo da encapsulação do óleo essencial e extratos de Rosmarinus officinalis L. em sílica nanoestruturada SBA-15 e avaliação de sua liberação controlada in vitro

Andrade, Ana Paula Amorim [UNIFESP] January 2013 (has links) (PDF)
Made available in DSpace on 2015-12-06T23:46:20Z (GMT). No. of bitstreams: 0 Previous issue date: 2013 / Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior (CAPES) / Associação Fundo de Incentivo à Psicofarmacologia (AFIP) / Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico (CNPq) / Oleos essenciais e extratos de plantas possuem substancias ativas instaveis a presenca de ar, luz, calor e umidade; materiais nanotecnologicos podem oferecer protecao e estabilidade termica a estes compostos naturais. A silica mesoporosa ordenada SBA-15 e considerada promissora na liberacao controlada de farmacos demonstrando ser uma boa matriz devido as suas propriedades de superficie (grandes area superficial especifica e volume de poros) e estrutural, assim como, alta estabilidade termica, hidrotermica e mecanica. O Rosmarinus officinalis L. (Alecrim), possui propriedades farmacologicas, tais como: estimulante digestivo, diuretico, cardiotonico, entre outros. Estudos recentes tem evidenciado sua utilizacao como um potencial antidepressivo. No presente estudo foi avaliado a encapsulacao de oleo essencial (OERO) e extratos: aquoso (EARO), hidroalcoolico (EHRO) e etanolico (EERO) de Rosmarinus officinalis L. utilizando SBA-15 como matriz. Com base nos resultados obtidos pelas tecnicas de Microscopia Eletronica de Varredura (MEV), Espectroscopia de Absorcao na Regiao do Infravermelho com Transformada de Fourier (FTIR), Analise Elementar (AE), Medidas de Adsorcao-Dessorcao de Nitrogenio, Termogravimetria/Termogravimetria Derivada (TG/DTG) e Calorimetria Exploratoria Diferencial (DSC) foi possivel confirmar a presenca dos extratos e do oleo essencial na SBA-15. A cromatografia liquida de alta efiCiência (CLAE) possibilitou identificar o acido cafeico na composicao do EHRO puro, porem nao foi possivel quantificar o mesmo presente nessa amostra de EHRO encapsulada na silica SBA-15 em teste de liberacao, devido a baixa concentracao desse acido presente na composicao quimica dessa amostra. Essa explicacao condiz, tambem, com a nao identificacao do acido cafeico nas amostras de EARO e EERO puras. Com base nos resultados obtidos, comprovou-se que o processo de encapsulacao do oleo essencial e dos extratos na silica mesoporosa SBA-15 foi efetivo, oferecendo protecao e estabilidade termica a esses produtos naturais. / BV UNIFESP: Teses e dissertações
20

Investigação de defeitos e de métodos passivadores da região interfacial SiO2/SiC / Investigation of defects and passivation methods for the SiO2/SiC interfacial region

Pitthan Filho, Eduardo January 2017 (has links)
O carbeto de silício (SiC) é um semicondutor com propriedades adequadas para substituir o silício em dispositivos eletrônicos em aplicações que exijam alta potência, alta frequência e/ou alta temperatura. Além disso, é possível crescer termicamente um filme de dióxido de silício (SiO2) sobre o SiC de maneira análoga ao silício. Porém, esses filmes apresentam maior densidade de defeitos eletricamente ativos na região interfacial SiO2/SiC que no caso do SiO2/Si, o que limita a qualidade dos dispositivos formados. Assim, compreender a origem da degradação elétrica e desenvolver métodos para passivar os defeitos na região interfacial SiO2/SiC são importantes passos para o desenvolvimento da tecnologia do SiC. Buscando uma melhor compreensão da natureza dos defeitos presentes na região interfacial SiO2/SiC, a interação de estruturas SiO2/SiC com vapor d’água enriquecido isotopicamente (D2 18O) e a interação com monóxido de carbono (CO), um dos subprodutos da oxidação térmica do SiC, foram investigadas. Observou-se que a interação com CO gera cargas positivas na estrutura e que a incorporação de deutério proveniente da água é fortemente dependente da rota de formação do filme de SiO2. Sabendo que a incorporação de nitrogênio e de fósforo na região interfacial SiO2/SiC são eficientes métodos para reduzir o número de defeitos eletricamente ativos nessa região, investigou-se a incorporação de nitrogênio em estruturas de SiC através de tratamentos térmicos em amônia enriquecida isotopicamente (15NH3) e desenvolveu-se um novo método de incorporação de fósforo, fazendo sua deposição por pulverização catódica (sputtering) Os métodos de incorporação propostos resultaram em maiores quantidades de nitrogênio e de fósforo na região interfacial SiO2/SiC do que os encontrados na literatura, tornando-os promissores candidatos na passivação elétrica do SiC. Além da caracterização físico-química utilizando diferentes técnicas, também foi feita a caracterização elétrica de capacitores Metal-Óxido-Semicondutor (MOS) testando filmes de SiO2 obtidos por sputtering ou por crescimento térmico. Adicionalmente, desenvolveu-se uma rota de síntese de padrões de 18O mais estáveis ao longo do tempo para serem utilizados em análises por reação nuclear. Também foi proposta uma metodologia de quantificação de fósforo via análise por reação nuclear. Dos resultados obtidos neste doutorado, uma melhor compreensão da natureza e da origem dos defeitos presentes na região interfacial SiO2/SiC foi alcançada. Também obteve-se uma melhor compreensão de como os elementos passivadores nitrogênio e fósforo interagem nessa região. / Silicon carbide (SiC) is a semiconductor with adequate properties to substitute silicon in electronic devices in applications that require high power, high frequency, and/or high temperature. Besides, a silicon dioxide (SiO2) film can be thermally grown on SiC in a similar way to that on Si. However, these films present higher density of electrical defects in the SiO2/SiC interfacial region when compared to the SiO2/Si interface, which limits the quality of the fabricated devices. Thus, it is important to understand the origin of the electrical degradation and to develop methods to passivate the defects in the SiO2/SiC interfacial region in order to develop the SiC technology. Aiming at a better understanding of the nature of defects at the SiO2/SiC interfacial region, the interaction of SiO2/SiC structures with water vapor isotopically enriched (D2 18O) and the interaction with carbon monoxide (CO), one of the SiC thermal oxidation by-products, were investigated. It was observed that the interaction with CO generates positive charges in the structure and that the deuterium incorporation from the water vapor is strongly dependent on the formation route of the SiO2 film. Knowing that nitrogen and phosphorous incorporation in the SiO2/SiC interfacial region are efficient methods to reduce the number of electrical defects in this region, the nitrogen incorporation in SiC structures by isotopically enriched ammonia (15NH3) annealings was investigated and a new method to incorporate phosphorous, by sputtering deposition was developed The proposed incorporation methods resulted in higher amounts of nitrogen and phosphorous then those found in literature, making them promising candidates to the electrical passivation of SiC. Besides the physico-chemical characterization using different techniques, the electrical characterization of Metal-Oxide-Semiconductor (MOS) capacitors was also performed, testing SiO2 films obtained by sputtering deposition or thermally grown. Additionally, a route to synthesize 18O standards for nuclear reaction analyses that are more stable over time was developed. Besides, a methodology to quantify phosphorous by nuclear reaction analysis was proposed. From the results obtained in this PhD thesis, a better understanding of the nature and the origin of defects present in the SiO2/SiC interfacial region was obtained, as well as a better understanding on how the passivating elements nitrogen and phosphorous interact in this region.

Page generated in 0.0351 seconds