Die Oberflächeneigenschaften eines Festkörpers können mit Hilfe dünner, durch Selbstorganisation gebildeter Molekülschichten aus Alkoxysilan-Molekülen gezielt verändert werden. Mikrostrukturierte selbstangeordnete Monolagen (SAM) können für die Anwendung in Bauelementen aus organischen Halbleitern von großem Interesse sein. Mikrokontaktdruck und Photolithographie sind zwei etablierte Verfahren, die jedoch Vorlagen und Masken zur Strukturierung benötigen. Dadurch entstehen bei häufig wechselnden Strukturen nicht zu vernachlässigende Rüstzeiten und Kosten. In der vorliegenden Arbeit wird die Erzeugung lateral strukturierter Schichten von Octadecyltrichlorsilan (OTS) auf Siliziumoxidoberflächen am konkreten Beispiel zweier alternativer, sowohl maskenloser als auch kontaktloser Methoden demonstriert: (i) Tintenstrahlverfahren als rein additive Strukturierung, und (ii) laserinduzierte, photothermische Desorption als subtraktive Strukturierung einer OTS-SAM . Für das Tintenstrahldruckverfahren wird an einem Kontaktwinkelmessgerät eine Methode zur Beobachtung und Auswertung der Tropfenverdampfung implementiert und ein Modell für kleine Tropfen entwickelt. Für die subtraktive Strukturierung werden an einem selbst entwickelten Versuchsaufbau die leistungs- und geschwindigkeitsabhängige Strukturbreite untersucht. Die Ergebnisse der beiden Technologieansätze werden verglichen. / With help of thin layers of alkoxysilane molecules formed by self-assembly, the surface properties of solids can be controlled. Microstructured self-assembled monolayers (SAMs) are interesting for applications in components based on organic semiconductors. Two established technologies for the structuring of molecular monolayers are microcontact printing and photolithography, for which templates and masks need to be structured. In this way, setting times and costs are high if variable patterns have to be structured. In this work, the fabrication of laterally structured monolayers from octadecyltrichlorosilane (OTS) is demonstrated for two examples of alternative, both template-free and maskless technologies: (i) inkjet as a purely additive method, and (ii) photothermal laser desorption as a subtractive structuring of an OTS-SAM. For the inkjet technology, a method for the observation and analysis of the evaporation of a droplet is implemented at a goniometer and a mathematical model for small inkjet droplets is extrapolated, For the subtractive laser structuring, the achievable patterning resolution is investigated as a function of laser intensity and scanning speed. The results of both technological approaches are compared.

Die Oberflächeneigenschaften eines Festkörpers können mit Hilfe dünner, durch Selbstorganisation gebildeter Molekülschichten aus Alkoxysilan-Molekülen gezielt verändert werden. Mikrostrukturierte selbstangeordnete Monolagen (SAM) können für die Anwendung in Bauelementen aus organischen Halbleitern von großem Interesse sein. Mikrokontaktdruck und Photolithographie sind zwei etablierte Verfahren, die jedoch Vorlagen und Masken zur Strukturierung benötigen. Dadurch entstehen bei häufig wechselnden Strukturen nicht zu vernachlässigende Rüstzeiten und Kosten. In der vorliegenden Arbeit wird die Erzeugung lateral strukturierter Schichten von Octadecyltrichlorsilan (OTS) auf Siliziumoxidoberflächen am konkreten Beispiel zweier alternativer, sowohl maskenloser als auch kontaktloser Methoden demonstriert: (i) Tintenstrahlverfahren als rein additive Strukturierung, und (ii) laserinduzierte, photothermische Desorption als subtraktive Strukturierung einer OTS-SAM . Für das Tintenstrahldruckverfahren wird an einem Kontaktwinkelmessgerät eine Methode zur Beobachtung und Auswertung der Tropfenverdampfung implementiert und ein Modell für kleine Tropfen entwickelt. Für die subtraktive Strukturierung werden an einem selbst entwickelten Versuchsaufbau die leistungs- und geschwindigkeitsabhängige Strukturbreite untersucht. Die Ergebnisse der beiden Technologieansätze werden verglichen. / With help of thin layers of alkoxysilane molecules formed by self-assembly, the surface properties of solids can be controlled. Microstructured self-assembled monolayers (SAMs) are interesting for applications in components based on organic semiconductors. Two established technologies for the structuring of molecular monolayers are microcontact printing and photolithography, for which templates and masks need to be structured. In this way, setting times and costs are high if variable patterns have to be structured. In this work, the fabrication of laterally structured monolayers from octadecyltrichlorosilane (OTS) is demonstrated for two examples of alternative, both template-free and maskless technologies: (i) inkjet as a purely additive method, and (ii) photothermal laser desorption as a subtractive structuring of an OTS-SAM. For the inkjet technology, a method for the observation and analysis of the evaporation of a droplet is implemented at a goniometer and a mathematical model for small inkjet droplets is extrapolated, For the subtractive laser structuring, the achievable patterning resolution is investigated as a function of laser intensity and scanning speed. The results of both technological approaches are compared.

In dieser Arbeit werden Ergebnisse der Untersuchungen zur Laserstrukturierung von Prägewerkezeugen sowie zur Abformung von Gitterstrukturen mit Gitterperioden von kleiner gleich 2 µm in verschiedene Folien und Werkstoffverbunde präsentiert und diskutiert. Die hierfür entwickelte Kombination von Laserprozessen wird erläutert. Des Weiteren sind die auf Basis der experimentellen Untersuchungen ermittelten Parameterräume aufgezeigt und in Bezug zu theoretischen Beschreibungsmodellen gesetzt. Limitationen und Potentiale der einzelnen Teilprozesse werden dargelegt. Unter Anwendung der beschriebenen Strukturierungs- und Prozessparameter ist die Erstellung funktional einsetzbarer Prägewerkzeuge möglich. Für die Strukturübertragung konnte die Abformbarkeit der in die Oberflächen der Prägewerkzeuge eingebrachten beugungsoptisch wirksamen Gitterstrukturen mit Gitterperioden von kleiner gleich 2 µm bei Kontaktzeiten im Millisekundenbereich nachgewiesen werden.