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Transistors à nanofils de silicium top-down. Application à la détection biologique.

Lehoucq, Gaëlle 10 March 2010 (has links) (PDF)
Ce travail de thèse a porté sur la réalisation d'un capteur d'espèces biologiques en solution à partir de réseaux organisés de nanofils de silicium opérant sur le mode d'un transistor à effet de champ à "grille biologique". Cette nouvelle génération de biocapteurs vise à être intégrée dans des systèmes de détection ultrasensibles et compacts destinés à des applications médicales et militaires. Nous proposons la réalisation des transistors à nanofils de silicium suivant une approche dite "top-down". Cette méthode, qui consiste à graver les nanofils dans une couche mince de silicium, permet un contrôle précis de leur positionnement, contrairement à l'approche "bottom-up", qui utilise des nanofils obtenus par croissance CVD. Ceci permet l'obtention de transistors aux caractéristiques électriques reproductibles et facilite leur intégration. La première partie de nos travaux a ainsi concerné le design et la fabrication de transistors à nanofils de silicium suivant une approche top-down. Ce travail de développement technologique a permis la réalisation de composants que nous avons caractérisés à sec puis adaptés à un fonctionnement en milieu liquide. La seconde partie de nos travaux a porté sur la réalisation de mesures en solution. La validation du fonctionnement de notre transistor en mode capteur a été démontrée par le suivi de variations de pH. Notre étude a ensuite eu pour objet la mise en valeur de l'ensemble des paramètres influençant les performances du capteur (choix de la tension de grille, de la force ionique, influence de la microfluidique, ...), la compréhension de ces facteurs étant indispensable à la réalisation de mesures biologiques fiables.
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Etude et réalisation par lithographie électronique de dispositifs à ondes acoustiques de surface à structure multicouche des filtres pour la bande X aux capteurs de liquide /

Kirsch, Philippe Alnot, Patrick. Assouar, Mohamed Badreddine January 2007 (has links) (PDF)
Thèse de doctorat : Plasmas, Optique, Opto-Électronique et Micro-Nanosystèmes : Nancy 1 : 2007. / Titre provenant de l'écran-titre. Bibliogr.
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Composants nanométriques balistiques de type GaInAs / AlInAs / InP pour applications terahertz

Galloo, Jean-Sébastien Cappy, Alain. Roelens, Yannick. January 2007 (has links)
Reproduction de : Thèse de doctorat : Électronique : Lille 1 : 2005. / N° d'ordre (Lille 1) : 3754. Titre provenant de la page de titre du document numérisé. Bibliogr. à la suite de chaque chapitre.
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Contributions à la conception et à la réalisation de transistors MOS à grille multiple

Penaud, Julien Dubois, Emmanuel January 2007 (has links)
Thèse de doctorat : Électronique : Lille 1 : 2006. / N° d'ordre (Lille 1) : 3850. Résumé en français et en anglais. Titre provenant de la page de titre du document numérisé. Bibliogr. à la suite de chaque chapitre. Liste des publications et communications.
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Ecriture de motifs périodiques submicrométriques sur films TiO2 sol-gel par lithographie interférométrique dynamique sur de grandes surfaces

Gâté, Valentin 09 December 2013 (has links) (PDF)
Cette thèse présente l'écriture de motifs périodiques 1D ou 2D, sur des films sol-gel réalisés par lithographie interférométrique dynamique. Elle a pour objectif la fabrication d'éléments optiques diffractifs dont les propriétés sont utilisées dans le traitement de la lumière visible et du proche infrarouge. Les outils technologiques compatibles nécessaires à l'obtention de ces éléments optiques ont été développés durant la thèse en combinant des matériaux fonctionnels, comme le TiO2, apportés par la voie sol-gel à une technique de lithographie permettant une microstructuration directe sur de grande surface. Ces deux technologies ont été transférées du laboratoire à un équipement semi-industriel avec succès. Cette étude a été guidée par une application des réseaux de diffraction aux modules solaires photovoltaïques. Un démonstrateur de module à déflecteurs diffractant, permettant d'augmenter le rendement global du module, a été produit et testé durant la thèse : les résultats ont été comparés aux simulations effectuées en amont
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Simulation électromagnétique utilisant une méthode modale de décomposition en ondelettes

Armeanu, Ana 17 June 2011 (has links) (PDF)
La scattéromètrie requiert le calcul de la réponse optique de structures périodiques. Parmi les méthodes numériques de calcul électromagnétique de la diffraction par des réseaux, la méthode la plus couramment utilisée est la Méthode Modale de Fourier (FMM). Celle cis'avère peu efficace pour la caractérisation de structures très isolées ou très denses et peut même ne pas marcher du tout. L'objectif de cette thèse est de dépasser les limitations de la FMM. Nous restons dans le cadre des méthodes modales mais nous explorons de nouvelles voies en utilisant des bases de développement différentes qui ne présentent pas les inconvénients des bases de Fourier. Tout d'abord, nous avons introduit les fonctions B-spline qui sont le premier pas vers l'analyse multi-résolution avec les ondelettes splines. Nous avons formulé le problème de la diffraction par un réseau 1D comme un problème aux valeurs propres que nous avons résolu numériquement à l'aide de la méthode de Galerkin. Nous avons étudié en détail l'importance de la discrétisation par rapport aux discontinuités de la fonction permittivité. Ensuite, nous avons introduit les ondelettes et l'analyse à plusieurs niveaux de détails pour le problème de diffraction. La thèse contient une palette variée d'exemples numériques concernant des réseaux diélectriques et métalliques. Nous avons comparé soigneusement la convergence de nos méthodes avec celle d?autres méthodes, notamment avec la FMM. Nous avons montré que l'analyse multirésolution permet de traiter des cas pour lesquels la FMM échoue.
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Membran- und Struktur-Ätzprozesse für großflächige Projektionsmasken in der Nanolithografie

Letzkus, Florian, January 2003 (has links)
Stuttgart, Univ., Diss., 2003.
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Die SOI-Scheibe der Mikroelektronik als neue Prozessbasis für nanostrukturierte Silizium-Membranmasken

Butschke, Jörg. January 2003 (has links)
Stuttgart, Univ., Diss., 2003.
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Kapazitiv stark gekoppelte Doppelquantenpunkte in GaAs-AlGaAs-Heterostrukturen Herstellung und elektrischer Transport /

Hübel, Alexander. January 2007 (has links)
Stuttgart, Univ., Diss., 2007.
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L’estampe dans la littérature artistique en France et en Angleterre : sa redéfinition dans la Presse à l’arrivée de la lithographie / Print in Artistic Literature in France and England : Redefinition in Press at the Arrival of Lithography

Brouwers, Gervaise 12 December 2011 (has links)
Cette thèse a pour objet d’étudier l’impact qu’a eu l’arrivée de la lithographie sur la vision de l’estampe en France et en Angleterre au début du XIXe siècle. Elle s’appuie sur la critique d’art que l’on trouve dans la presse des deux pays. Elle propose tout d’abord une revue de la littérature sur l’estampe depuis son apparition, afin de mettre en évidence les grands types d’écrits qui existent à son sujet et de mettre en lumière les différentes problématiques qui apparaissent au XVIIIe siècle. Dans cette optique, on étudie particulièrement les relations entre l’estampe et les institutions artistiques : l’impact des questionnements académiques en France et la recherche d’une légitimité officielle en Angleterre. La lithographie gagne les deux pays dans des conditions semblables. Mais, malgré quelques développements en Angleterre, elle ne parvient à s’implanter dans aucune des deux capitales. C’est un rapport français de l’Institut en 1817 qui réveille la curiosité à son égard et lui ouvre le champ d’une vraie popularité. Dans les années qui suivent, avant 1824, la situation est déséquilibrée entre les deux pays. En France, la pierre se diffuse mais rencontre des réticences politiques et idéologiques. Au contraire, alors qu’elle avait soulevé l’enthousiasme de ce pays, elle est freinée par d’importantes difficultés techniques en Angleterre. A partir de 1825 environ, sa situation se normalise de part et d’autre de la Manche et le nombre d’articles à son sujet augmente. En France, elle devient un enjeu artistique et est souvent rapprochée de l’estampe anglaise : toutes deux contribuent au développement de l’esthétique romantique. Au contraire, l’Angleterre regarde plutôt la gravure institutionnelle française et aspire à être reconnue pour ses grands formats : elle se montre alors plutôt indifférente à la lithographie. On constate donc que la France et l’Angleterre ne cessent d’observer leurs productions mutuelles et de s’influencer mais, tout en se prêtant aux mêmes modes et en vivant des avancées techniques comparables, elles suivent des problématiques tout à fait différentes ; leurs visions de l’art ne font que se croiser sans se rejoindre durant cette décennie. / This thesis is about the invention of lithography and its impact on prints theory at the beginning of 19th century. Press articles dealing with artistic prints in France and in England are studied. Firstly, literature on engraving from its beginning to 18th century is perused, in order to classify the existing types of texts. This analysis offers an opportunity to see the issues emerging around print during the second half of 18th century : France deals with academic controversies whereas English engraving is seeking for public recognition. After its invention, lithography is introduced in similar conditions in both countries. A few development occurs in England, but the new technology does not find its way in neither capitals. It is finally a French report of the Institute, in 1817, which offers a new start : information about it is broadly spread in French and British press. But during the next few years, the situation is very different in Paris and London. In France, the technique meets success in the street but official critic is reluctant to write about it because of political and ideological pressures. On the contrary, England is enthusiastic but cannot develop her production because she encounters with technical difficulties. After 1825, the amount of articles about lithography is growing in press. In Paris, it is considered as a new aesthetic, as well as imported English prints which meet a real success and are benchmarks for the world of prints : both contribute to the development of romanticism. On the contrary, England is envious of “grand genre” institutional French Engraving and rather focuses on large scale techniques : interest on mezzotinto on steel is awaken and a new interest on burin emerges. Therefore, Paris and London exchange their vision on engraving and this has a dynamic impact on their individual conceptions, but their visions never meet.

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