Foram preparadas amostras vítreas no sistema binário NaPO3-WO3 com porcentagens de WO3 de 30%, 40% e 50% em mol. Agentes oxidantes como CeO2 e Sb2O3 foram utilizados para obter vidros com maior transparência no visível. Foi possível obter amostras vítreas transparentes e homogêneas com porcentagem em mol de 0,1% de Au3+, 0,1% de Pt4+ e 0,1% de Ag+. Foi observado que a incorporação de agentes oxidantes influencia nas propriedades térmicas dos vidros obtidos e que o mecanismo predominante de cristalização é superficial em todas as amostras. Medidas de espalhamento Raman permitiram acessar parâmetros estruturais da rede vítrea, a qual é composta por cadeias mistas de tetraedros PO4 e octaedros WO6, com presença de agregados de octaedros WO6 para as amostras contendo 40% e 50% em mol de WO3. Os vidros dopados (Ag, Au e Pt) e tratados termicamente apresentaram uma intensa banda de absorção na região do visível atribuída à ressonância de plasmons de nanopartículas metálicas presentes na rede vítrea, visto que a amostra não dopada assim como as amostras não tratadas não apresentam os mesmos padrões de absorção nessa região. Os resultados de DSC em conjunto com resultados de difração de raios X sugerem que a presença de nanopartículas induz a precipitação volumétrica de WO3 monoclínico, o qual nucleia a fase principal de fosfato duplo de tungstênio e sódio NaWO2PO4 para cristalização da matriz vítrea. Finalmente, medidas de espalhamento Raman mostraram que a amostra dopada com nanopartículas de ouro apresenta um espectro Raman diferente das demais amostras (dopadas com Ag, Pt e não dopada), sugerindo a ocorrência de um possível efeito SERS (Surface Enhanced Raman Spectroscopy) nessa amostra dopada com ouro. / Glass samples were prepared by the melt-quenching method using sodium polyphosphate and tungsten oxide with WO3 contents varying from 30 mole% to 50 mole%. Oxidizing agents (CeO2 and Sb2O3) have been used to avoid tungsten reduction and produce glass samples with higher transparency in the visible. These glasses were doped with noble metals using salts precursors Au2O3, PtCl4 and AgNO3. Transparent and homogeneous glasses containing 0,1 mole% of each metallic salt were successfully obtained. UV-visible spectra confirmed transparency of the doped and undoped glasses containing oxidizing agents CeO2 and Sb2O3. Raman spectroscopy was useful to access structural parameters of the glass network, which is built-up of PO4 and WO6 units, with WO6 clusters in the most WO3 concentrated samples. The doped glasses (Ag, Au and Pt) heat treated above the glass transition temperature exhibit an intense absorption band in the visible with a specific absorption maximum for each doped sample which has been attributed to surface plasmon resonance of metallic nanoparticles precipitated inside the glass network. DSC together with X-ray diffraction results allowed proposing a crystallization mechanism in which metallic nanoparticles are able to induce precipitation of monoclinic WO3 and further precipitation of tungsten sodium phosphate NaWO2PO4. Finally, Raman investigations showed that the gold-doped sample exhibits a different Raman spectrum when compared with the other doped and undoped samples, suggesting a possible SERS effect which can be related with a resonance between the laser wavelength (633nm) and the plasmon resonance absorption band in this gold-doped sample.

Orientador: Wolfgang May / Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin / Made available in DSpace on 2018-09-27T19:27:07Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Farah_EduardoAraujo_D.pdf: 5337044 bytes, checksum: 5b05453a445db570bda50f3b7ab7253a (MD5) Previous issue date: 1978 / Resumo: Durante os processos de sinterização (diminuição da porosidade) existem crescimento de grãos, que podem ser analisados por meio de teorias como a de Ostwald (2),teoria LSW ( 3,4,5 e 6 ) e teoria de Kahlweit ( 8,9 ). Queremos entender o transporte controlado por reação na interface, e para tal, foram analisados tais processos no sistema WC-Ti, dentro da faixa de temperatura de 1000 a 1400 ºC, fazendo-se uso da lei temporal ( Dx = Ktn ) , assim como das energias de ativação no processo de transporte e reação dos elementos. Tais análises foram realizadas com o auxílio da Microssonda Eletrônica, Microscópio de Varredura Eletrônica, acoplado a um sistema de detecção de raio-X ( SEM) e microscópios óticos. Determinou-se a formação de diferentes zonas durante o tratamento térmico, que foram analisadas detalhadamente para a compreensão dos processos envolvidos. O crescimento das fases ligadas à zona de solução carbeto-metal, mostrou uma variação no expoente n da lei temporal, apresentando valores desde aproximadamente 1 até 0,3 , indicando uma mudança sucessiva no processo de crescimento, onde o valor 1 indica reação na interface, e o decréscimo deste valor indica processos controlados por difusão ( n = 0,5 ) e processos de formação de camadas isoladas, que bloqueiam o transporte dos elementos ( n = 0,3 ). As análises das energias de ativação forneceram, para as diversas regiões encontradas, uma variação desde 15 a 20 kcal/mol para a zona de reação até 50 kcal/mol para a região mais próxima ao titânio puro, e foram comparadas com as teorias sôbre crescimento de grãos para o caso controlado por reação na interface,onde os valores experimentais para sistemas semelhantes, apresentaram energias de ativação variando entre 80 e 175 kcal/mol. Para estas experiências não existe a possibilidade de separar os dois processos básicos envolvidos, ou seja, a solução de pequenas párticulas ou a representação no crescimento dos grãos, sendo que cada processo tem esnergia de ativação determinada. Nossos resultados mostraram um processo de solução comenergia de ativação de 15 a 20 kcal/mol, comprovando que para a teoria LSW, o processo de solução não pode controlar a reação. Como essa teoria não menciona duas velocidades de reação diferentes, ou seja, na solução ou na precipitação, propomos um modelo simples, onde quem controla o processo do crescimento de grãos ou pertículas é o processo de precipitação / Abstract: Not informed / Doutorado / Física / Doutor em Ciências

Orientador: Peter Jurgen Tatsch / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica / Made available in DSpace on 2018-07-21T23:24:13Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Oliveira_Clivaldode_M.pdf: 2687977 bytes, checksum: 0bf6d83af9804e0d851d31e4eec92f67 (MD5) Previous issue date: 1996 / Resumo: Neste trabalho foi feito um estudo da viabilidade da deposição de tungstênio (W), seletivo e não-seletivo, pela técnica CVD (Chemical Vapor Deposition) com plasma remoto em um equipamento que utiliza lâmpadas halogêneas como fonte de aquecimento do substrato (processamento rápido). Seguindo-se um projeto fatorial foi feito um conjunto de experimentos variando-se o fluxo de gases ('WF IND. 6' e 'H IND. 2'), potência, temperatura de aquecimento do substrato e pressão, obtendo-se as condições ótimas de deposição para o equipamento utilizado. Os filmes de W foram caracterizados quanto a: taxa de deposição, uniformidade, resistividade e tamanho de grão. Foram obtidos filmes com boa taxa de deposição e com boa uniformidade / Abstract: In this work, the feasibility of the chemical vapor deposition process (CVD) was studied for both selective as well as for non-selective W deposition. The experiments were done in a remote plasma equipment with halogen lamps working as heat source (for rapid thermal processing). The experiments were planned according to the principies of factorial design aiming to achieve the best conditions for the CVD equipment. The parameters involved in the depositions were the gas flow for ('WF IND. 6' e 'H IND. 2'), the RF power, the holder temperature and the chamber pressure. The W films were characterized with respect to the deposition rate, the on-wafer uniformity, the sheet resistivity and the grain size. High quality W films with good uniformity and reasonable deposition rates were achieved. / Mestrado / Mestre em Engenharia Elétrica

Orientador : Jacobus W. Swart / Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica / Made available in DSpace on 2018-07-18T13:53:57Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Verdonck_PatrickBernard_D.pdf: 18440286 bytes, checksum: 3be31f1d7e48fc0452a7a3898433e08a (MD5) Previous issue date: 1993 / Resumo: Neste trabalho apresentamos o desenvolvimento de processos de "back-etch" para a formação de "plugs" e de processos para obter estruturas em tungstênio com paredes verticais. Ao mesmo tempo apresentamos o estudo dos mecanismos da corrosão de tungstênio por plasma. Neste trabalho usávamos principalmente dois tipos de equipamentos de corrosão por plasma. O primeiro tem a potência aplicada a uma frequência de 25 kHz, ao invés da tradicional 13,56 MHz. O segundo é do tipo reator com confinamento magnético. Em ambos os sistemas é possível obter corrosão química e corrosão induzida por bombardeamento iônico. Conseguimos obter bons processos de IIback-etch" em ambos os equipamentos. É possível obter estruturas de tungstênio com paredes verticais em ambos os equipamentos. Porém a seletividade de tungstênio para fotorresiste é sempre baixa, tipicamente 1:1. Portanto precisar-se-ia de um tipo de máscara especial para a corrosão de tungstênio quando este é usado como interconexão. A maioria dos mecanismos, como descritos na literatura foi confirmada neste trabalho. Onde há contradições na literatura, conseguimos determinar qual mecanismo é valido, como no caso de corrosão química, ou em quais circunstâncias qual mecanismo é válido, como no caso da formação e influência do óxido de tungstênio. Podemos também concluir que para a grande maioria dos processos, o mecanismo que limita a taxa de corrosão do tungstênio, é a chegada das espécies reativas na superfície da lâmina. Para os outros processos, há fortes indicações que a interação plasmatungstênio- resiste causa fenômenos que limitam a taxa de corrosão. As conclusões deste trabalho não são apenas válidas para os equipamentos estudados aqui, mas também para outros sistemas / Abstract: In this work, we present the development of processes to obtain a back etch process for plug formation in via holes and of processes to obtain tungsten structures with vertical walls. At the same time, the mechanisms behind the tungsten etching were studied. These studies were mainly performed in two different types of equipment. The first one is a system with power applied at 25 kHz, instead of the traditional 13.56 MHz. The second equipment is a magnetically confined reactor. In both systems it is possible to have chemical etching and bombardment enhanced etching. We were able to develop good back etch processes in both equipment. It is possible to obtain tungsten structures with vertical walls in both equipment, but the selectivity of the tungsten towards the resist is always low, typically 1:1. Therefore, one would need special mask structures or materiaIs for this type of etching of tungsten when it is used as an interconnect material ( e.g. as metal 1 ). Most of the mechanisms of the tungsten etching as reported in the literature were confirmed in this work. Where there are contradictions, mainly about the possibility of chemical etching of tungsten and the formation and influence on the etching of the tungsten oxide, we were able to draw one conclusion, e.g. that chemical etching is possible, or indicate in which circurnstances one mechanism is valid and in which circurnstances another mechanism is valid, as in the case of the etch delaying role of tungsten oxide. We could also conclude that the arrival of the active species at the surface of the wafer is the etch rate limiting step most processes. For other processes, we have strong indications that the interaction plasma-tungsten-resist induces some phenomena which limit the etch rate. And for some other processes the removal of the etch product can be indicated as the etch rate limiting step. These conclusions are not only valid for the systems studied in this work, but also for other types of equipment / Doutorado / Doutor em Engenharia Elétrica

Orientador: Marco-Aurelio de Paoli / Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Quimica / Made available in DSpace on 2018-07-19T12:59:26Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Rocco_AnaMaria_D.pdf: 8327317 bytes, checksum: 50b9a768787baaf10c952d172fa83b37 (MD5) Previous issue date: 1994 / Doutorado

Made available in DSpace on 2014-06-12T23:16:05Z (GMT). No. of bitstreams: 2 arquivo9367_1.pdf: 1399205 bytes, checksum: 7f15d06607e9a565fa0d943f45e86265 (MD5) license.txt: 1748 bytes, checksum: 8a4605be74aa9ea9d79846c1fba20a33 (MD5) Previous issue date: 2003 / Nos últimos anos, a espectrometria de absorção atômica com atomização eletrotérmica tem evoluído bastante e hoje vêm sendo desenvolvidos equipamentos de menor custo que ocupam menor espaço físico, utilizando filamento de tungstênio como atomizador eletrotérmico. Porém, os equipamentos até então desenvolvidos apresentam certa complexidade quanto à sua instrumentação. Com o intuito de superar alguns inconvenientes destes equipamentos e contribuir para o avanço das pesquisas na área de instrumentação analítica, foi desenvolvido neste trabalho um instrumento simples empregando a atomização eletrotérmica com filamento de tungstênio e um detector de arranjo de fotodiodos, que permite a determinação simultânea de metais por absorção atômica em análise multicomponente. Além disso, procurando agilizar as etapas que antecedem as medidas analíticas, foi desenvolvido um sistema automático de preparação de soluções e/ ou misturas padrão de calibração. O controle de todo o instrumento bem como do sistema de preparação de soluções é feito por um microcomputador através de um software desenvolvido em linguagem gráfica Labview 5.1. Os resultados obtidos com o equipamento desenvolvido foram comparados com os obtidos por um espectrômetro comercial Perkin Elmer para determinação de Cu por espectrometria de absorção atômica com chama. As medidas foram feitas em triplicatas e o desvio padrão relativo foi em média igual a 1,7%. Os resultados obtidos com os dois equipamentos apresentaram boa concordância comprovando a potencialidade do instrumento desenvolvido. O módulo de preparação de misturas e/ ou soluções foi testado na preparação de misturas padrão de calibração contendo Fe, Mn, Cr, Ni e Mo. Ele foi acoplado a um ICP-OES e os resultados apresentaram pequenos desvios padrão com o máximo de 1,7% para o Fe. Os resultados obtidos com este trabalho mostraram que o instrumento proposto é viável e que pode ser utilizado na determinação de metais em diferentes tipos de amostra e que o módulo de preparação de misturas pode ser acoplado a qualquer instrumento analítico que necessite da preparação de soluções ou misturas de calibração

A jazida de tungstênio de Pedra Preta, localizada na região amazônica, é constituída por filões de quartzo e wolframita em rochas metamórficas do Proterozóico Inferior, associados a uma intrusão granítica. Ao par da integração dos dados geológicos coletados durante a execução dos trabalhos de avaliação do jazimento, o autor realizou estudos específicos visando definir a mineralização, o condicionamento estrutural, a caracterização físico-química, bem como os parâmetros condicionantes de sua gênese. As interpretações formuladas relacionam a metalização aos fenômenos de alteração hidrotermal de caráter metassomático (graisenização), que afetaram indistintamente a cúpula granítica e as rochas circundantes. A atividade hidrotermal que afetou a intrusão granítica evoluiu desde uma fase de feldspatização potássica (microclinização), passando por uma fase intermediária de feldspatização sódica (albitização), culminando com o desenvolvimento da greisenização s.s., responsável pela ocorrência doseventos minerralizadores. A paragênese mineral do minério é produto da evolução sucessiva de três estádios: o estádio intermediário, no qual depositaram-se os sulfetos (Fe, Cu, Mo, Bi, Zn) e o estádio tardio, com a deposição dos carbonatos. A jazida de Pedra Preta, por suas características, é classificada como um depósito de tungstênio do tipo hidrotermal precoce (alta temperatura), segundo o conceito de HOSKING (1982), vinculada espacial e geneticamente à intrusão granítica de Musa. O depósito de Pedra Preta é comparado aos jazimentos filoneanos a quartzo-wolframita que ocorrem no distrito de Xihuashan, na província de Jiangxi da República Popular da China. / Tungsten mineralization at Pedra Preta, occurs in a quartz vein field emplaced in Lower Proterozoic metarmorphosed supracrustal rocks, situated in the Amazon region. The mineralization and attendant hidrothermal alteration are spatially and temporaly related to an allochthonous intrusive granite. The petrographic, mineralogic and geochemical studies allow some insight on the genesis and evolution of the mineralization. The ore assemblage is dominated by wolframite with minor sulphides (Fe, Cu, Mo, Bi, Zn). Quartzo muscovite, topaz, fluorite and carbonate are the principal gangue minerals. The paragenetic sequence for the Pedra Preta mineralization can be divided in three main stages. The early stage, defined by the concomitant deposition of quartz, wolfaramite and haematite. The intermediate stage characterized by the precipitation of sulphides and the late stage identified by carbonate deposition. The tungsten mineralization is a product of a typical exogreisen cupola hydrothermal system associated with the emplacement of the Musa Granite. The Pedra Preta deposit is classified as an early hydrothermal tungsten deposit, HOSKING (l982) , and considered quite similar to the quartz-woIframi te lode deposits of Xihuashan mining district in the Jiangxi province, R, P. China.

A jazida de tungstênio de Pedra Preta, localizada na região amazônica, é constituída por filões de quartzo e wolframita em rochas metamórficas do Proterozóico Inferior, associados a uma intrusão granítica. Ao par da integração dos dados geológicos coletados durante a execução dos trabalhos de avaliação do jazimento, o autor realizou estudos específicos visando definir a mineralização, o condicionamento estrutural, a caracterização físico-química, bem como os parâmetros condicionantes de sua gênese. As interpretações formuladas relacionam a metalização aos fenômenos de alteração hidrotermal de caráter metassomático (graisenização), que afetaram indistintamente a cúpula granítica e as rochas circundantes. A atividade hidrotermal que afetou a intrusão granítica evoluiu desde uma fase de feldspatização potássica (microclinização), passando por uma fase intermediária de feldspatização sódica (albitização), culminando com o desenvolvimento da greisenização s.s., responsável pela ocorrência doseventos minerralizadores. A paragênese mineral do minério é produto da evolução sucessiva de três estádios: o estádio intermediário, no qual depositaram-se os sulfetos (Fe, Cu, Mo, Bi, Zn) e o estádio tardio, com a deposição dos carbonatos. A jazida de Pedra Preta, por suas características, é classificada como um depósito de tungstênio do tipo hidrotermal precoce (alta temperatura), segundo o conceito de HOSKING (1982), vinculada espacial e geneticamente à intrusão granítica de Musa. O depósito de Pedra Preta é comparado aos jazimentos filoneanos a quartzo-wolframita que ocorrem no distrito de Xihuashan, na província de Jiangxi da República Popular da China. / Tungsten mineralization at Pedra Preta, occurs in a quartz vein field emplaced in Lower Proterozoic metarmorphosed supracrustal rocks, situated in the Amazon region. The mineralization and attendant hidrothermal alteration are spatially and temporaly related to an allochthonous intrusive granite. The petrographic, mineralogic and geochemical studies allow some insight on the genesis and evolution of the mineralization. The ore assemblage is dominated by wolframite with minor sulphides (Fe, Cu, Mo, Bi, Zn). Quartzo muscovite, topaz, fluorite and carbonate are the principal gangue minerals. The paragenetic sequence for the Pedra Preta mineralization can be divided in three main stages. The early stage, defined by the concomitant deposition of quartz, wolfaramite and haematite. The intermediate stage characterized by the precipitation of sulphides and the late stage identified by carbonate deposition. The tungsten mineralization is a product of a typical exogreisen cupola hydrothermal system associated with the emplacement of the Musa Granite. The Pedra Preta deposit is classified as an early hydrothermal tungsten deposit, HOSKING (l982) , and considered quite similar to the quartz-woIframi te lode deposits of Xihuashan mining district in the Jiangxi province, R, P. China.

Orientador: Jacobus W. Swart / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica / Made available in DSpace on 2018-07-18T21:54:43Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Ramos_AntonioCelsoSaragossa_M.pdf: 4033740 bytes, checksum: c740eecdc7a2e85a5429be9bb98021c2 (MD5) Previous issue date: 1993 / Resumo: Este trabalho foi concebido da necessidade que se tinha de corroer amostras que requerem características específicas, como é o caso de circuitos integrados com tecnologias avançadas. Com este objetivo, projetou-se e construiu-se um sistema de Corrosão Iônica Reativa (RIE). Foi montado para isto, um gerador de RF de 300W e freqüência de 500KHz, freqüência esta escolhida pela alta taxa de corrosão em filmes de fotorresiste e tungstênio, facilidade na instalação, dispensando grandes cuidados, pela disponibilidade de peças no mercado e pelo baixo custo. O sistema de vácuo é composto por uma bomba mecânica e um soprador de Industrial operando em sentido Inverso. Caracterizamo-lo comparando-o com equipamentos comerciais usados para sistemas de corrosão por plasma. Esta caracterização constou da determinação da velocidade de bombeamento do sistema de vácuo. Este comportou-se razoavelmente bem, melhorando a velocidade de bombeamento da bomba mecânica. Para se ter controle de um processo, necessita-se saber quando se termina a corrosão do filme desejado. Para Isto, fizemos estudos com espectrometria óptica que mostra o espectro com os picos característicos da luz do plasma e detecção do ponto final da corrosão. Obtivemos uma boa sensibilidade do método, que foi capaz de detectar o final da corrosão do filme de W em uma amostra com área de 1 cm cúbico e fotogravada ... Observação: O resumo, na íntegra, poderá ser visualizado no texto completo da tese digital / Abstract: This work has as objective the development of a Reactive Ion Etching (RIE) System, motivated by the need of this technique for the fabrication of devices and Integrated circuits with advanced technologies. The RIE equipment has been designed, constructed and characterized. An RF generator of up to 300W at a fixed frequency has been designed and built. This relatively low frequency was adapted because lt a) produces a higher etch rate of Tungsten and Photoresist, b) facilitates the installation by avoiding special precautions when dealing with high frenquency RF signals. c) facilitates the acquisition of the needed parts and devices resulting in a very cost effective solution. The vacuum system is composed of a mechanical pump In serles with an industrial air blower which operates in reverse. The system Is characterized ln terms of pumping speed and compared with commercial vacuum systems for plasma etching. The obtained pumping speed values are very reasonable, improvlng considerable the characteristics compared to a single mechanical pump ... Note: The complete abstract is available with the full electronic digital thesis or dissertations / Mestrado / Mestre em Engenharia Elétrica

A celulose é o biopolímero mais abundante na natureza e apresenta grande potencial para ser processada e produzir de maneira sustentável biocombustíveis e produtos químicos. A conversão catalítica é um dos meios mais promissores para transformação da celulose. A separação entre produtos e catalisadores é uma etapa importante para indústria, o que coloca a catálise heterogênea em posição privilegiada como via de conversão, devido à facilidade de separação entre produto e catalisador. A hidrogenólise é uma via de transformação que promove a quebra de ligações C-C e a retirada de átomos de oxigênio, levando a uma gama de combustíveis e produtos químicos. Os carbetos de metais de transição suportados em carvão ativo são efetivos na quebra de ligações C-C, enquanto o paládio atua tanto na quebra de ligações C-C como em etapas de hidrogenação. Assim, este trabalho estudou as propriedades estruturais e catalíticas de catalisadores de carbeto de tungstênio suportados em carvão ativado e promovidos com paládio. Foram preparados e caracterizados catalisadores de WXC sem promotor e com 1 e 2% de Pd. As medidas de fisissorção de N2 revelou que os catalisadores são formados por uma mistura de micro e mesoporos. A análise de difração de raios X revelou predominância da fase W2C nos catalisadores promovidos por Pd, enquanto que nos catalisadores ausentes de Pd ocorreu um misto de fases carbeto. As medidas de XPS revelaram que quanto maior quantidade de Pd na amostra, se tem mais tungstênio exposto na superfície. A seguir, os catalisadores foram aplicados em reações de conversão de celulose sob pressão de hidrogênio. A conversão de celulose foi determinada por gravimetria (balanço de massa) e termogravimetria e os produtos foram identificados e quantificados por cromatografia gasosa GC e por HPLC. Foram obtidos rendimentos em torno de 40% para etileno glicol, com 77% de conversão de celulose, em reações de 120 min a 220°C com o catalisador 2% WXC/C. Além disso, foram testados diferentes substratos e catalisadores para se entender o mecanismo de conversão e o papel de cada componente do catalisador na rota reacional. A obtenção de etileno glicol a partir da celulose se passa através da hidrólise do polissacarídeo em monômeros de glicose, reação retro-aldol produzindo glicolaldeído e hidrogenação para obtenção do etileno glicol. / Cellulose is the most abundant biopolymer in nature and has great potential to be processed and to sustainably produce biofuels and chemicals. The catalytic conversion is one of the most promising ways for processing cellulose. The separation between the products and the catalysts is an important step for the industry, which puts the heterogeneous catalysis in prime position as route of conversion due to the easiness of separation of product and catalyst. Hydrogenolysis is a processing way that promotes breaking C-C bonds and the removal of oxygen atoms, leading to a variety of fuels and chemicals. The carbides of transition metals supported on activated carbon are effectives in breaking C-C bonds, while palladium acts both in breaking C-C bonds and in the hydrogenation steps. So, this work studied the structural and catalytic properties of catalysts of tungsten carbides supported on activated carbon and promoted with palladium. Catalysts WXC without promoter and 1 and 2% Pd were prepared and characterized. The N2 physisorption measurements showed that a mixture of micro and mesopores forms the catalysts. The analysis of X-ray diffraction revealed the predominance of W2C phase in the catalysts promoted with Pd, while in the catalysts absent from Pd a mixture of carbide phases occurred. XPS measurements showed that the greater amount of Pd in the sample, it is more tungsten exposed on the surface. Then, the catalysts were applied in cellulose conversion reactions under hydrogen pressure. The conversion of cellulose was determined by gravimetry (mass balance) and thermogravimetry, and the products were identified and quantified by GC and HPLC. Yields around 40% for ethylene glycol were obtained, corresponding to 77% conversion of cellulose, in reactions performed at 220 °C and 120 min reaction time, with catalyst 2% PdWXC/C. Additionally, different substrates and catalysts were tested for understanding the conversion mechanism and the role of each component of the catalyst in the reaction route. Obtaining ethylene glycol from cellulose goes through hydrolysis of the polysaccharide into glucose monomers, retro-aldol reaction producing glycolaldehyde and hydrogenating to obtain ethylene glycol.