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Développement et optimisation d'un procédé de gravure grille polysilicium pour les noeuds technologiques 45 et 32 nm

Babaud, Laurene 30 April 2010 (has links) (PDF)
Dans la course à l'intégration, l'un des paramètres les plus critiques dans la fabrication des dispositifs et leur performance est la définition des grilles des transistors et en particulier le contrôle en dimension de ces grilles de transistors. Pour le nœud technologique 45nm, la variation totale de dimension devra être inférieure à 2.8nm sur une tranche de 300mm. Cela comprend la variation intrapuce, intraplaque, plaque à plaque et lot à lot. Cette thèse porte sur l'étude des interactions plasma/matériaux lors d'un procédé industriel de gravure d'une grille polysilicium pour le nœud technologique 45nm. L'analyse dimensionnelle des motifs et la caractérisation chimique des surfaces exposées aux plasmas ont permis de caractériser et d'optimiser ce procédé de gravure. L'analyse des différents contributeurs de variabilité de la dimension critique des grilles, conjuguée à la compréhension approfondie des mécanismes de gravure par plasma, a permis de mettre en place des actions correctives afin de minimiser ces sources de variations. La gravure du polysilicium est contrôlée par la formation d'une couche fluorocarbonnée se formant en surface des flancs du polysilicium. La maitrise de cette couche passivante par les conditions du plasma (pression, puissance source débit de gaz...) a permis de développer une boucle de régulation innovante afin d'optimiser le contrôle de la dispersion des CD d'un lot à un autre. La mise en place de ce genre de boucle faisant varier plusieurs paramètres de la gravure par plasma sera la clef pour le contrôle dimensionnel des futurs nœuds technologiques en microélectronique.
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Diagnosticabilité et diagnostic de systèmes technologiques pilotés : développement d'une chaîne de conception outillée d'un système de diagnostic appliquée aux systèmes technologiques pilotés.

Batteux, Michel 31 December 2011 (has links) (PDF)
Un système technologique piloté est constitué d'une variété de composants interagissant ensemble et combinant de multiples phénomènes physiques. Ces composants, subissant un stress en fonctionnement, finissent par être affectés par des défauts pouvant avoir de graves conséquences pour l'intégrité du système lui-même ou son environnement. Ces défauts sont généralement répertoriés par des techniques de sureté de fonctionnement et classés par ordre de criticité.Une solution, pour réduire les sinistres consécutifs à la survenue d'un défaut critique, est de mettre en place un diagnostiqueur embarqué capable, dans un délai bref, de détecter cette survenue puis d'identifier le défaut, en vue de placer le système dans un mode de fonctionnement plus sûr. Il apparaît alors impératif, durant la conception du diagnostiqueur, d'étudier la diagnosticabilité des défauts, étude consistant à s'assurer que le diagnostiqueur sera toujours capable de détecter et d'identifier sans ambiguïté les défauts préalablement répertoriés.Cette thèse établit une chaîne complète de développement d'un diagnostiqueur embarqué pour les systèmes technologiques pilotés. Y sont décrites, dans un cadre théorique unifié et cohérent basé sur l'utilisation de modèles homogènes, toutes les étapes depuis la conception jusqu'à la réalisation du diagnostiqueur : représentation comportementale du système et modélisation des défauts, étude de la diagnosticabilité de ces défauts, puis génération du diagnostiqueur lui-même. Le lien rigoureux établi entre l'étude de la diagnosticabilité et la génération du diagnostiqueur, qui fonde la correction et la cohérence de l'approche, constitue un aspect saillant et original de ces travaux.Cette thèse résulte d'un projet collaboratif réunissant l'entreprise Sherpa Engineering, le Laboratoire de Recherche en Informatique (LRI) unité mixte de recherche de l'Université Paris-Sud et du CNRS et enfin le Laboratoire d'Ingénierie des Systèmes Embarqués (LISE) du CEA LIST.
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Diagnosticabilité et diagnostic de systèmes technologiques pilotés

Batteux, Michel 13 December 2011 (has links) (PDF)
Un système technologique piloté est constitué d'une variété de composants interagissant ensemble et combinant de multiples phénomènes physiques. Le stress subit par ces composants finit par engendrer des défauts (casse, usure, perforation, blocage) pouvant avoir de graves conséquences pour l'intégrité du système lui-même ou pour son environnement. Une solution, pour réduire les conséquences de tels défauts, est de mettre en place un outil embarqué de diagnostic qui permette de les détecter et les identifier rapidement et précisément pour, par exemple, placer le système dans un mode de fonctionnement approprié (mode dégradé, arrêt complet, etc.). À cette fin il apparaît alors comme impératif, lors de la phase de conception d'un tel outil de diagnostic, d'étudier la diagnosticabilité des défauts, étude qui consiste à s'assurer que l'outil sera toujours capable de diagnostiquer sans ambiguïté un défaut préalablement répertorié. Cette thèse présente une chaîne de conception outillée d'un tel outil de diagnostic appliquée à ce type de systèmes. Nous l'avons élaborée de manière complète en incluant l'ensemble des étapes nécessaires et suffisantes à la conception : les étapes préalables de représentation du système et des défauts potentiels, puis l'étude de la diagnosticabilité des défauts ainsi que la génération de l'outil associé à cette étude. L'élaboration d'un cadre théorique unifié, utilisé durant toutes les étapes de la chaîne, nous a par ailleurs permis de la garantir cohérente. Cette cohérence est de plus renforcée par le lien rigoureusement établi entre une étude de diagnosticabilité et la génération du diagnostiqueur associé. Cette thèse est le résultat d'un projet commun entre l'entreprise Sherpa Engineering ainsi que les laboratoires LRI de l'université Paris-Sud et du CNRS et LISE du CEA/LIST de Saclay.
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Les plans de prévention des risques technologiques au prisme de la vulnérabilité. Le point de vue du juriste

Rasse, Gabrielle 04 February 2009 (has links) (PDF)
Lors de leur création par la loi Bachelot du 30 juillet 2003 suite à l'accident d'AZF à Toulouse, les plans de prévention des risques technologiques ont été présentés comme des outils juridiques permettant de réduire efficacement la vulnérabilité des territoires péri-industriels. Cinq ans après, se pose la question de la satisfaction de cette mission. Les réflexions issues des recherches sur la notion de vulnérabilité, illustrées par les résultats d'une enquête de terrain sur l'application concrète des premiers PPRT, vont permettre de mettre en exergue les points positifs et les insuffisances de la réponse juridique à la question de la vulnérabilité des territoires exposés à un aléa technologique. La première partie de cette thèse s'attache à démontrer les effets positifs engendrés par les PPRT sur les facteurs techniques et sociaux de vulnérabilité des territoires exposés aux risques industriels. La seconde partie de cette thèse contrebalance ce premier constat positif en mettant en exergue les insuffisances du cadre juridique offert par les PPRT. Se pose alors la question de savoir si, d'un point de vue juridique, la notion de vulnérabilité est véritablement novatrice dans la mesure où elle peut être rapprochée du principe de développement durable considéré à l'heure actuelle comme l'un des piliers fondateurs du droit de l'environnement.
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Infocentre recherche : système d'information, outil d'aide au pilotage de la recherche d'un établissement de recherche. Application à l'Université Paul Cézanne Aix-Marseille III

Barts, Nicolas 19 December 2008 (has links) (PDF)
Dans un contexte international d'évaluation de la recherche, la France semble s'engager, non sans critiques, dans un processus d'évaluation quantitative qui viendrait compléter, sinon remplacer, l'évaluation traditionnelle par les pairs. Mais les études infométriques basées sur l'exploitation des grandes bases de données scientifiques internationales sont perturbées par la complexité de l'organisation de la recherche française. Par ailleurs ces bases de données sont inadaptées à l'étude de structures telles que les établissements et les unités de recherche locales. Après une description de l'existant et une étude des besoins, cette thèse expose la conception et l'élaboration d'un Système d'Information, outil d'aide au pilotage de la recherche. S'appuyant sur l'utilisation d'un CMS (Système de gestion du contenu) de type extranet collaboratif, ce système d'information, appelé Infocentre Recherche, est totalement paramétrable "en temps réel". Sa souplesse lui permet de s'adapter dynamiquement aux spécificités de l'établissement ou de l'unité de recherche considéré. Ainsi cet Infocentre Recherche est un instrument capable de dresser en continu un "état des lieux" ou un "tableau de bord" pour ces structures. Plusieurs exemples en sont donnés. L'accent est mis sur le fait que les structures de recherche locales, comme d'ailleurs les structures nationales, ont moins besoin d'évaluation que de valorisation de la recherche
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Innovative activity in monopoly and oligopoly models

Mantovani, Andrea 22 March 2005 (has links)
Innovation is today at the centre of competition in most industries. As a stylized fact, an important channel through which engage in non-price competition is research and development (R&D), whose primary outcome is pure innovation. Firms carry out both product and process innovation, but the bearings of these two factors on R&D efforts have been investigated separately. Most of the rather large theoretical literature on R&D has focused upon process innovation, while product innovation has drawn particular attention in empirical studies. Recently, two different streams of research have emerged: one has contributed to the analysis of complementarities within R&D portfolios in monopoly or oligopoly models; the other has described the dynamics of adoption of product and process innovation and is commonly known as “technology life cycle” of the product. The aim of the present book is to bridge the two aforementioned streams of research by combining the theory of supermodular games and the theory of differential games. Starting from simple static monopoly models where we show that process and product innovation are complementary, we arrive at more complex dynamic oligopoly games where the presence of complementarity becomes an inherent feature of dynamic optimization. In particular, we investigate the technology life cycle and the issue of strategic interaction in differential games. Moreover, we study financial contracting in presence of complementary investment activities and different aspects that characterize advertising efforts. / L'innovation est aujourd'hui au centre de la concurrence dans la plupart des industries. Il est à noter qu'un canal important par lequel les entreprises s'engagent en concurrence non-prix est la recherche et développement (R&D), dont le résultat premier est la innovation pure. Les entreprises investissent dans l'innovation de processus et dans l'innovation de produit, mais l'étude de ces deux facteurs concernant la R&D a été fait séparément. La majeure partie de l'ample littérature sur la R&D s'est focalisée sur l'innovation de processus, tandis que l'innovation de produit a reçu une attention particulière dans les études empiriques. Récemment, deux différents domaines de recherche ont émergé: l'un a contribué à l'analyse des complémentarités dans les portefeuilles de R&D en modèles de monopole ou d'oligopole; l'autre a décrit la dynamique de l'adoption du produit et de l'innovation de processus et il est généralement connu comme “cycle de vie technologique” du produit. Le but du livre actuel est d'établir un lien entre les deux domaines de recherche mentionnés ci-dessus en combinant la théorie des jeux supermodulaires et la théorie des jeux différentiels. À partir d'un modèle simple de monopole statique où nous prouvons que l'innovation de processus et l'innovation de produit sont complémentaires, nous arrivons à des jeux d'oligopole dynamiques plus complexes où la présence de la complémentarité devient une caractéristique inhérente d'optimisation dynamique. En particulier, nous étudions le cycle de vie technologique du produit et la question de l'interaction stratégique dans les jeux différentiels. Nous étudions aussi la contratation financière en présence d'activités complémentaires et les différents aspects qui caractérisent l'investissement en publicité.
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La protection de la propriété intellectuelle et l'innovation : contributions empiriques et théoriques

Pajak, Serge 20 April 2011 (has links) (PDF)
Cette thèse en économie industrielle cherche à expliciter les stratégies des entreprises en matière de protection de leur propriété intellectuelle, afin d'analyser les conséquences de ces comportements sur le bien-être social et l'impact sur la concurrence. Les deux premiers articles, empiriques, étudient la protection de la propriété intellectuelle par les entreprise innovantes en France sur la base de l'enquête Community Innovation Survey 4. L'analyse utilise un modèle de probit bivarié et montre que, dans le secteur des bien intermédiaires, les petites innovations ont une forte probabilité d'être brevetées, tandis que le secret est plus susceptible d'être utilisé pour protéger une grande innovation qu'une petite. Dans le troisième article, " Imitation and Intellectual Property Protection: The Strategic Implications of Damage Rules ", on étudie, de façon modélisée, comment le cadre juridique qui s'impose à l'entreprise influence son comportement de protection de sa propriété intellectuelle. Le quatrième article, " Adoption Strategies with an Imperfectly Competitive Technology Market ", relâche l'hypothèse implicite de concurrence parfaite sur le marché de la technologie présente dans le modèle d'adoption technologique de Fudenberg et Tirole (1983). Une firme amont disposant de pouvoir de marché cherche à capter les profits des firmes en aval, par exemple à l'aide de la partie fixe d'un tarif binôme. Nous établissons que, lorsque le marché amont est constitué d'un monopole, il n'y a pas, à l'équilibre, de phénomène de préemption entre les firmes en aval.
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POLITIQUES DE MAINTENANCE ET D'INVESTISSEMENT SOUS EVOLUTION TECHNOLOGIQUE INCERTAINE

Nguyen Thi, Phuong Khanh 06 November 2012 (has links) (PDF)
Cette thèse s'attache à étudier la problématique de la décision de maintenance pour des systèmes soumis à évolution technologique incertaine, rapprochant attentes opérationnelles liées à la maintenance et préoccupations stratégiques d'investissement. Nous tirons bénéfice de la flexibilité et du caractère dynamique du principe d'options réelles traditionnellement appliqué au domaine de la finance en les évaluant par le biais de processus de décision markoviens non stationnaires. Plus précisément, les modèles présentés permettent d'adapter dynamiquement la décision de maintenance pour des systèmes soumis à de fortes évolutions technologiques, cette décision étant liée à la notion de saut technologique, au choix de la génération technologique à mettre en place ainsi qu'à la vélocité et l'incertitude du marché. L'option de maintenance peut alors se substituer à une décision hâtive d'investissement. D'autre part, on analyse les décisions en fonction des différentes natures d'obsolescence qu'elle soit subjective, définie par le ratio performances actuelles et espérées, ou objective dans le cas d'incompatibilité matérielle, notamment des pièces de rechange. Enfin, grâce à ces modèles, on peut étudier l'influence de la qualité et du niveau de connaissance du marché sur les politiques de maintenance et d'investissement en offrant la possibilité d'enrichir ponctuellement l'information.
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Appropriation d'outils technologiques par les acteurs : le cas des entreprises du secteur financier au Cameroun

Mbang, Cécile Esperance 20 November 2012 (has links) (PDF)
L'usage des outils technologiques dans l'entreprise engendre généralement des détournements susceptibles d'influencer sa finalité. Dans cette étude nous nous intéressons à l'appropriation d'outils par les acteurs en vue de prédire la performance technologique des entreprises.Pour étayer cette préoccupation, deux approches méthodologiques ont été empruntées. Une première approche qualitative, soutenue par 13 entretiens menés auprès des responsables d'entreprises du secteur financier camerounais, a facilité la conception d'un questionnaire compréhensible par les enquêtés. À l'aide d'une seconde approche quantitative complémentaire, 365 cadres financiers au Cameroun ont répondu à ce questionnaire.Les résultats obtenus restent dans le prolongement de la perspective structurante adoptée dans cette recherche mais suggèrent la prise en compte de la diversité socio-économique et culturelle dans les questionnements d'appropriation d'outils. Contrairement aux idées majoritaires de la littérature, les outils technologiques utilisés par nos enquêtés ne sauraient être orientés à d'autres fins que celles prédéfinies par leur hiérarchie. Les limites d'usage, la faible intensité d'utilisation d'outils et le niveau de formation moyen des usagers justifieraient le manque d'idées d'appropriation d'outils dans ce secteur. En somme, seule la rapidité d'exécution est perçue comme une performance technologique par les cadres financiers camerounais. Cette performance est déterminée significativement par deux types d'appropriation : l'une, innovante, développée pour résoudre les imprévus de l'activité de travail et une autre, légitimée, acquise naturellement par expérience. Cette recherche interpelle donc les managers à tenir compte des facteurs sociologiques des organisations pour favoriser leur performance technologique.
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Acceptabilité, acceptation et appropriation des Systèmes de Transport Intelligents : élaboration d'un canevas de co-conception multidimensionnelle orientée par l'activité

Quiguer, Stéphanie 24 January 2013 (has links) (PDF)
L'investissement en matière de systèmes d'information (SI) constitue un enjeu fondamental de développement des organisations mais également un risque considérable, compte tenu des probabilités d'échecs de ce type de projet. La prise en compte du facteur humain est une composante essentielle de la réussite d'un projet SI, devant être considérée comme partie intégrante du processus d'innovation. Appliqué au domaine des Systèmes de Transport Intelligents (ITS), ce travail de recherche s'est évertué à proposer une démarche intégrant l'activité humaine et ses transformations au cœur du processus de conduite de projet SI. Son objectif était de fournir à l'association ITS Bretagne un canevas d'intervention permettant de poser un diagnostic complet des besoins d'accompagnement d'une organisation, souhaitant intégrer un ITS, et de construire, à partir des résultats de ce diagnostic, un dispositif de conduite de changement adapté. Fondamentalement intégrative, la démarche élaborée s'appuie sur une opérationnalisation du processus de genèse instrumentale (Rabardel, 1995) - c'est-à-dire la transformation mutuelle des composantes techniques et humaines d'un instrument - à des niveaux d'activités organisationnels, collectifs et individuels. Elle s'inscrit de manière transversale et continue au sein des trois temps d'analyse des usages : l'acceptabilité, l'acceptation et l'appropriation. Sa mise en œuvre dans le cadre d'un projet pilote, au sein de la chaîne logistique d'un industriel français, a permis d'en démontrer sa faisabilité et sa pertinence, tout en ouvrant des champs de recherche quant à ses applications et développements futurs

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