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Electroless metallisation of glass for electrical interconnect applications

Cui, Xiaoyun January 2009 (has links)
The microelectronics industry requires continuous advances due to ever-evolving technology and the corresponding need for higher density substrates with smaller features. Specifically, new dielectric materials with enhanced electrical properties are needed. At the same time, adhesion must be maintained in order to preserve package reliability and mechanical performance. As a result, this research investigates the use of thin glass sheets as an alternative substrate material as it offers a number of advantages including coefficient of thermal expansion similar to silicon, good dielectric properties and optical transparency to assist in the alignment of buried features. As part of this project it was necessary to deposit metallic coatings onto the glass sheets to create electrical tracks, pads and microvias. In order to meet these requirements, the metallisation of both smooth as received glass surfaces and surfaces roughened by laser machining using electroless copper and nickel deposition were investigated. This study resulted in a number of important conclusions about the roles of chemical bonding and mechanical anchoring in both the adhesion and catalyst adsorption, that are key factors in the electroless metallisation process.....
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Estimation of Machining System Dynamic Properties - Measurement and Modelling

Österlind, Tomas January 2017 (has links)
Dynamic characteristics of machining systems are analysed for improved understanding of both structural and process properties. The thesis stresses the use of testing methods under operational like conditions as these are more representative of closed loop systems, such as machining systems, as compared to conventional testing methods. The test instrument proposed is a contactless excitation and response system, developed for testing of machine tool spindles under load and with rotating spindle. The instrument uses electromagnetic excitation and displacement sensors for analysis of rotating milling tools subject to load. A graphical tool for displaying and analysing rotor displacement was developed in conjunction with this. A modelling procedure for both off-line and on-line estimation of dynamic properties of mechanical structure and process information is presented. The proposed auto-regressive moving average models enable calculation of operational dynamic parameters and they can be estimated in a recursive manner, thus enabling real-time monitoring. The discrimination between stable and unstable processes, both in turning and milling, was performed by analysing the damping obtained from the operational dynamic parameters. / <p>QC 20170330</p>
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Apport de l'optimisation combinatoire pour la reconfiguration des lignes de production / Contribution of combinatorial optimization for the reconfiguration of manufacturing systems

Makssoud, Fatme 20 May 2014 (has links)
Actuellement, les fabricants sont soumis à une pression économique importante et à une concurrence internationale accrue due à la globalisation des marchés. Pour réussir, les fabricants doivent être capables de répondre rapidement aux changements de la demande en adaptant leurs systèmes de production. Cette adaptation aux changements peut être réalisée à travers multiples reconfigurations du système de production.Les travaux présentés dans ce mémoire portent sur l'élaboration des méthodes de recherche opérationnelle permettant d'accompagner le décideur lors de la reconfiguration d'une ligne de transfert ou d'assemblage. Ce problème apparaît lorsqu'un nouveau produit doit être fabriqué par une ligne existante ou lorsqu'il y a eu des changements dans les caractéristiques du produit. Par conséquent, il devient nécessaire de modifier la configuration du système de production tout en minimisant les coûts induits. Ces coûts sont évalués différemment pour les systèmes automatisésou manuels. Dans le premier cas, qui correspond au cas des lignes de transfert, pour limiter les investissements, il est souhaitable de réutiliser au maximum les équipements existants à condition que les contraintes techniques et technologiques soient respectées. Dans le cas des lignes manuelles qui sont représentées dans notre étude par les lignes d'assemblage, l'objectif est de minimiser les coûts liés à l'apprentissage des opérateurs causés par la réaffectation de leurs tâches.Les méthodes de résolution exactes basées sur la modélisation mathématique et la programmation linéaire en nombre mixtes ainsi qu'une méthode de type goal programming sont développées dans ce travail pour argumenter la prise de décisions lors de la reconfiguration des lignes de production. Les méthodes proposées ont été testées avec succès sur des échantillons de problèmes proches des cas industriels et ont montré leur efficacité. / Global competition causes fluctuations in product demand and requires more frequent modifications of product characteristics. As a consequence, the production systems have to be frequently adapted to new production requirements.This work develops new combinatorial optimization methods for supporting decision makers at the reconfiguration stage considered for transfer and assembly lines. If new products have to be manufactured at the line or existing products are modified, then the line has to be reconfigured in order to meet new production requirements. In highly automated lines, as the transfer lines, the reconfiguration problem is focused on the readjustment of the equipment. To reduce the investment costs, the decision makers aim to reuse the available equipment as much as possible. The existence of compatibility constraints between new operations to be performed and existing facilities makes the reconfiguration problem hard and combinatorial.In manual assembly lines also studied in this thesis, the reconfiguration problem mostly concerns the reassignment of tasks to workers ant the minimization of the cost of retraining operators.The developed methods are based on the mathematical modelling and mixed integer programming, a goal programming approach is designed as well. These methods were successfully tested on a dataset of problem instances close to real industrial problems. The obtained results show the effectiveness and the efficiency of the solution methods proposed.
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Caractérisation et modélisation de l'état mécanique et microstructural des sous-couches affectées par l'usinage de finition du cuivre Cu-c2 et impact sur la résistance à la corrosion. / Characterizing and modeling surface integrity induced by finishing machining of OFHC copper and its impact on corrosion resistance

Denguir, Lamice 08 December 2016 (has links)
La durabilité des composants mécaniques en général et leur résistance à la corrosion en particulier ont une importance primordiale dans l’industrie moderne, qu’elle concerne la production d’énergie, les produits chimiques, le transport, les machines, les matériels médicaux, ou même les composants électroniques. Pour des pièces obtenues par usinage, il est donc nécessaire d’améliorer leur durée de vie et de réduire le risque de défaillance prématurée en améliorant leur intégrité de surface. Ainsi, une compréhension de l’effet du procédé sur l’intégrité de surface induite par usinage et ses conséquences au niveau de sa résistance à la corrosion sont les clés pour relever ces défis.Cette thèse traite le cas particulier de l’usinage de finition du cuivre Cu-c2 et son impact sur la résistance à la corrosion. D’abord, une étude expérimentale comparative du tournage et de la coupe orthogonale est effectuée. Ensuite, vu sa simplicité, la coupe orthogonale fait l’objet de la suite de l’étude. Un modèle numérique est développé pour la prédiction de l’intégrité de surface induite par la coupe. Il utilise une nouvelle loi constitutive du Cu-c2 tenant en compte les transformations microstructurales et l’état des contraintes dans le matériau. Enfin, les résultats issus des études expérimentales ainsi que des simulations numériques concernant l’intégrité de surface sont statistiquement traités dans une analyse multi-physique, dans la perspective d’établir le lien entre la résistance à la corrosion, l’intégrité des surfaces et la physique de la coupe. / The functional performance and life of mechanical components in general and their corrosion resistance in particular are of prime importance in the modern industry, as far as energy production, transportation, machines, medical and even electronic components are concerned. In the case of machined components, it is essential to improve their life and to reduce the premature failure by improving their surface integrity. So, a comprehension of the effect of the machining process mechanics on surface integrity and its consequences on corrosion resistance are essential.This thesis deals with the particular case of finishing machining of oxygen free high conductivity copper (OFHC) and its impact on the surface integrity and corrosion resistance. Firstly, a comparative experimental study between turning and orthogonal cutting is performed. Then, due to its simplicity, orthogonal cutting makes the object of the pursuit of the study. A numerical model is developed to predict the surface integrity induced by the cutting process. It uses a new constitutive model for OFHC copper taking into account microstructural transformations and the state of stress in the work material. Finally, the results issued from experimental studies and the numerical simulations are statistically treated in a multi-physical analysis with the objective of establishing the relationship between corrosion resistance, surface integrity and cutting physics.
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Uma contribuição da aplicação de modelos fuzzy empregados na detecção da queima de peças na retificação plana /

Euzébio, Carlos Danilo Gaioli. January 2011 (has links)
Orientador: Paulo Roberto de Aguiar / Banca: Eduardo Carlos Bianchi / Banca: Rosemar Batista da Silva / Resumo: A necessidade de reduções de custos aliada ao aumento de qualidade das peças produzidas requer a implementação de sistemas inteligentes em ambientes industriais. O controle dos danos causados no processo de retificação é de interesse direto da indústria dependente desse processo. O objetivo deste trabalho é a proposição de modelos fuzzy empregados na detecção da queima de peças de aço SAE 1020 no processo de retificação plana. Foram realizados doze testes para diferentes condições de usinagem. Para cada teste foram coletados dados referentes a potência elétrica e emissão acústica (sinal puro). Os níveis de queima das peças foram analisados visualmente e com o auxílio computacional. A partir dos sinais de emissão acústica, potência de corte e parâmetros utilizando esses dois sinais, regras linguísticas foram estabelecidas para as diversas situações de queima (leve, média, severa) com a aplicação da lógica nebulosa utilizando-se o Toolbox do MATLAB. Quatro modelos práticos de sistema fuzzy foram desenvolvidos. O primeiro modelo com duas entradas apenas resultam num processo de simples análise. O segundo modelo possui a entrada adicional da estatística do desvio do valor médio (MVD), associando uma nova informação e precisão. Esse modelo é baseado em um sistema de inferência de três entradas, combinados dois a dois. O terceiro modelo, com 64 regras, baseia-se nas mesmas três entradas utilizadas no segundo modelo, combinadas três a três. Esses dois modelos diferem entre si pela base de regras desenvolvidas. O quarto modelo difere do terceiro devido ao número de regras e a entrada adicional baseada na potência de corte, do desvio padrão da mesma e do sinal RMS de emissão acústica. Apresentando respostas válidas, os quatro modelos desenvolvidos mostraram eficiência, precisão, confiabilidade e... (Resumo completo, clicar acesso eletrônico abaixo) / Abstract: The need of costs reduction and quality increase of the produced pieces requires the implementation of intelligent systems in industrial environments. The control of damages caused during the grinding process is interesting to the industry that depends on such process. This work uses fuzzy logic as tool to classify and estimate burn levels in the grinding process in order to help controlling such process. Twelve tests were performed for different grinding conditions. For each test, data were concerning electrical power and acoustic emission (raw signal). The levels of burning parts were analyzed visually and with computer assistance. Based on acoustic emission signals, cutting power, and statistics using these two signals, liguistic rules were established for the various burn situations (slight, intermediate, sever) by applying fuzzy logic using the MATLAB toolbox. Four practical fuzzy system models were developed. This first model with two inputs resulted only in a simple analysis process. The second model has an additional MVD statistic input, associating information and precision. This model is base d on an inference system of three inputs, combined two by two. The third model with 64 rules is based on the same three inputs used in the second model, differ by the rule base developed. The forth model is different from the third one due to the number of rules, the additional input based on the cutting power, the standard deviation and the acoustic emission RMS signal. The four developed models presented valid responses, proving effective, accurate, reliable and easy to use for the determination of ground workpiece burn. In this analysis... (Complete abstract click electronic access below) / Mestre
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OBTENÇÃO, USINAGEM E DESGASTE DE MATERIAIS COMPÓSITOS DE MATRIZ METÁLICA PROCESSADOS VIA METALURGIA DO PÓ. / OBTAINMENT, MACHINING AND WEAR OF METAL MATRIX COMPOSITES PROCESSED BY POWDER METALLURGY.

Jesus, Edilson Rosa Barbosa de 13 November 1998 (has links)
O objetivo deste trabalho foi a obtenção de compósitos de matriz metálica (CMM) pela rota da metalurgia do pó, e a avaliação destes quanto às suas características de usinagem e desgaste. Inicialmente foram obtidos materiais compósitos de matriz de alumínio comercialmente puro, com frações volumétricas de partículas de reforço de carboneto de silício iguais a 5, 10 e 15 %. Foi obtida também uma quantidade de material somente com o material da matriz (sem partículas de reforço) para que se pudesse durante o trabalho, verificar por comparação a influência da adição de material de reforço na matriz. O material obtido foi caracterizado física (densidade hidrostática), mecânica (dureza, ensaios de tração) e microestruturalmente (microscopia óptica e microscopia eletrônica de varredura). Os resultados mostraram para os materiais compósitos uma distribuição homogênea das partículas de reforço e melhoria das propriedades mecânicas principalmente o limite de resistência (LR) em relação ao material sem reforço. Na etapa seguinte foram realizados ensaios para verificação do comportamento dos materiais frente à usinagem, e avaliação de desempenho de diversos materiais de ferramenta (carboneto cementado, cerâmica e diamante policristalino). Nestes ensaios foram coletados valores de força de corte a partir de porta-ferramentas instrumentados com medidores de deformação. Fenômenos tais como desgaste da ferramenta, formação ou não de aresta postiça de corte e formação de cavaco também foram observados e avaliados. Os resultados encontrados nos ensaios com ferramenta de carboneto duro sinterizado foram utilizados para a determinação dos índices de usinabilidade de cada material; estes valores foram ainda aplicados na equação de Taylor e as constantes da equação para os materiais e condições de ensaio foram também determinadas. Os resultados mostraram que a inclusão de partículas de reforço cerâmico torna extremamente difícil a usinagem desses materiais e, somente com ferramenta de diamante foi possível obter resultados satisfatórios. Na fase final foram realizados testes de desgaste de efeito comparativo para verificação da influência da adição de partículas de reforço nas características de resistência ao desgaste do material. Neste caso a adição de partículas de reforço mostrou ser eficiente na melhoria da resistência ao desgaste de todos os materiais compósitos em relação ao material sem reforço. / The aim of this investigation was the obtainment of metal matrix composites (MMC) by the route of powder metallurgy, and the valuation of these materials with relation to their machining and wear characteristics. Firstly, were obtained pure comercial aluminium matrix composites materials, with 5, 10 and 15% volumectric fraction of silicon carbide particles. Was also obtained a material without reinforcement particles in order to verify by comparison, the influence of adittion of reinforcement particles. The obtained materials were characterized physics (hidrostatic density), mechanics (hardness and tensile tests) and microstructurally (optical microscopy and scanning electron microscopy). The results showed a homogeneous distribution of reinforcement particles in the composite, and improvement in the mechanical properties, mainly tensile strength (UTS) in comparison to the unreinforced material. After, tests were made to verify the materials behavior during machining and to check the performance of several tool materials (cemented carbide, ceramics and polycrystalline diamond). In these tests, values of the cutting force were measured by instrumented tool-holders. Phenomena such as tool wear, built-up edge formation and mechanism of chip formation were also observed and evaluated. The results from the cemented carbide tool tests, were utilisated for the machinability index determination of each material. These results were applied to the Taylor equation and the equation constants for each material and test conditions were determinated. The results showed that the inclusion of silicon carbide particles made extremely difficult the machining of the composites, and only with diamond tool, satisfactory results were obtained. At last, wear tests were performed to verify the influence of the reinforcement particles in the characteristics of wear resistance of the materials. The results obtained were utilized in the wear coefficient determination for each material. The results showed an improvement in wear resistance, with the increase in volume fraction of reinforcement particles.
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Contribuição ao estudo da integridade superficial de um aço inoxidável super-duplex após usinagem. / Contribution to study effects of the turning operations in the surface integrity in a super duplex stainless steel.

Bordinassi, Éd Claudio 26 May 2006 (has links)
Este trabalho teve por objetivo estudar os efeitos da operação de torneamento na integridade superficial do aço inoxidável super-duplex ASTM A890 - Gr 6A. O foco do trabalho foram as operações de acabamento, porém também foram realizados alguns estudos com operações de desbaste, ambas utilizando planejamentos fatoriais completos com 2 níveis e 5 fatores. Os ensaios foram realizados em centros de torneamento com ferramentas de metal duro e tiveram como variáveis: a geometria da ferramenta / classe da pastilha, avanço, profundidade de corte, velocidade de corte e utilização ou não de fluido de corte. As respostas estudadas foram: análise microestrutural óptica e por difração de raios-X, medição de forças através de um dinamômetro piezoelétrico, rugosidade superficial, micro-dureza, tensão residual através de difração de raios-x e estabilidade dimensional. Os resultados não mostraram alterações microestruturais no material mesmo nas operações de desbaste que foram as mais severas. As outras respostas foram correlacionadas com os parâmetros de corte e a melhor combinação destes foi encontrada para a obtenção da melhor integridade superficial. O menor avanço (0,1mm/v), a menor velocidade de corte (110m/min) e a maior profundidade de corte (0,5mm) obtiveram os menores valores para a tensão residual, a menor rugosidade e o maior valor de micro-dureza. A correlação entre as respostas foi bastante difícil de ser estabelecida, uma vez que as interações tiveram grande influência nas análises, porém para algumas combinações estas correlações se mostraram possíveis de serem estabelecidas. / The objective of this work was to study the effects of the turning operations in the surface integrity in a super duplex stainless steel (SDSS) ASTM A890-Gr6A. The focus of the work was the finishing operations but some tests in rough operations were carried out. A complete factorial planning was used for both, with 2 levels and 5 factors. The tests were conducted on turning centers with carbide tools and the main input variables were: tool geometry / tool material class, feed rate, cutting depth, cutting speed and the cutting fluid utilization. The analyzed answers were: microstructure analysis by optical microscopy and x-ray diffraction, cutting measurements by a piezoelectric dynamometer, surface roughness, micro-hardness, residual stress by x-ray diffraction technique and dimensional stability. The results do not showed any changes in the microstructure of the material, even when the greater cutting values were used. All the other answers were correlated with the cutting parameters and the best combination of cutting parameters was founded for the best surface integrity. The smaller feed rate (0,1mm/v), smaller cutting speed (110m/min) and greater cutting depth (0,5mm) provided the smaller values for the tension residual stress, the smaller roughness and the greater micro-hardness. The correlation between all the answers was very difficult to analyze because there was great interaction between the factors, but for some data groups it was possible.
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Sistema de apoio à decisão na escolha de condições operacionais para processos de usinagem. / System to aid the decision in the choice of operational conditions for machining processes.

Araujo, Geraldo Accetturi de 21 May 1997 (has links)
O planejamento de processos é uma atividade essencial nas diversas etapas do ciclo de manufatura, em particular nas indústrias que produzem peças através de processos de usinagem. O uso de sistemas CAPP tem implicado em uma evolução nos sistemas de planejamento. A determinação da máquina, da ferramenta e das condições operacionais adequadas visando a otimização das diversas operações é fundamental para o sucesso do processo produtivo e da empresa, podendo ser melhorado pelo uso do CAPP. Estudam-se, assim, os fatores que influenciam esse tipo de processo, propondo-se um modelo de sistema protótipo para o seu planejamento, de forma a se ter no final uma especificação teórica da profundidade de corte, do avanço e da velocidade de corte, considerando aspectos como a usinabilidade do material da peça, os tempos de fabricação secundários e auxiliares, e a própria logística aplicada ao fluxo de peças no chão-de-fábrica através da definição quanto à máquina empregada ser ou não gargalo além de considerações sobre a disponibilidade de carga-máquina. Procurou-se elaborar um critério de otimização que considere não apenas o intervalo de máxima eficiência como proposto por vários autores, mas discuta a aplicação de seus limites e as restrições do sistema máquina-ferramenta-peça. Além do planejamento teórico o sistema possui um módulo de ensaios práticos visando refinar os valores teóricos da velocidade de corte adotada para garantir a sua perfeita aplicação com a máquina e a ferramenta adotados. A proposta do sistema é semi-generativa, unindo soluções algorítmicas e baseadas em conhecimento, com uma interface simples e amigável ao usuário. / Process planning is an essential activity in the several stages of the manufacturing cycle, particularly in industries which produce parts by means of machining processes. The use of CAPP systems has implied in a planning systems evolution. The determination of machine, tooling and suitable operational conditions looking at the optimization of the several operations is fundamental to the success of the productive process and of the enterprise, and can be improved by use of CAPP systems. It was studied the factors which influence this kind of process and it was proposed a prototype system model for this planning and for obtaining a theoretical specification of the depth of cut, feed and cutting speed, taking into consideration aspects like machinability of the part material, secondary and auxiliary manufacturing times, and the logistics applied to the flow of parts at the shop-floor through the definition of the used machine to be or not a production neck beyond considerations on the availability of machine capacity. It was proposed an optimization criterion which considers not only the maximum efficiency interval as quoted by many authors but also discuss the application of its limits and the restrictions of the system machine-tool-part. Besides the theoretical planning the system has a practical testing module intended to refine the theoretical values of the adopted cutting speed to guarantee its application to the defined machine and tooling. The system approach is semi-generative, with algorithmic and knowledge based solutions, with a simple and user-friendly interface.
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Estudo do comportamento mecânico na usinagem de aços inoxidáveis. / Study of mechanical behavior in stainless steel machining.

Barbosa, Patrícia Alves 28 January 2014 (has links)
A usinagem é caracterizada pela grande quantidade de deformação plástica localizada no material devido à formação do cavaco, de forma que existe um compromisso entre o processo de deformação, encruamento e amolecimento, pelo aumento da temperatura, gerando bandas de cisalhamento. A compreensão destas zonas cisalhamento se faz importante, por conter informações que podem ser aplicadas ao aperfeiçoamento das técnicas de usinagem relacionadas à melhoria do processo e a e à busca da inovação em materiais e ferramentas. Nesse contexto, os aços inoxidáveis, que em geral, são caracterizados como materiais de baixa usinabilidade, em consequência do elevado grau de encruamento e baixa condutividade térmica durante a usinagem, podem facilitar investigações da formação do cavaco pós-processo em razão da morfologia segmentada de seus cavacos. Para tanto, o objetivo deste trabalho foi abordar a usinagem sob a ótica da ciência do comportamento mecânico dos materiais através da avaliação das características e propriedades de três classes de aços inoxidáveis com diferentes estruturas cristalianas e microestruturas. A análise foi feita utilizando respostas de deformação, taxa de deformação, tensão, encruamento e temperatura na zona de cisalhamento primária, determinados a partir do monitoramento das forças de usinagem e caracterização do cavaco (morfologia e microestutura) em ensaios de torneamento semi-ortogonal, visando o levantamento e a relação dos parâmetros fundamentais do sistema de corte, que possam ser fatores significativos na modelagem do processo de usinagem. Os resultados mostraram que aços inoxidáveis apresentaram comportamentos distintos na usinagem, mostrando uma grande dependência da estrutura cristaliana, responsável pelos planos de deslizamento preferenciais, contribuindo para uma maior deformação e reduzindo a tensão de cisalhamento, além da difusividade térmica e dureza do material, que foram fortes indicadores da susceptibilidade dos aços inoxidáveis ao cisalhamento adiabático com formação de cavaco contínuo ou segmentado. A resposta à tensão e deformação dos aços inoxidáveis austenítico e duplex mostraram similaridade quando comparados com a classe martensítica. Não foi evidenciada presença de martensita induzida por deformação na usinagem do aço inoxidável austenítico. Por meio do planejamento composto central foi possível gerar modelos empíricos para cada classe de material relacionando as respostas de deformação, taxa de deformação, tensões, encruamento e temperatura na zona de cisalhamento primária com as condições de corte. / Machining is characterized by large amount of located plastic strain on material due to chip formation, so that there is a link between strain process, strain hardening, and heat softening, thus generating shear bands. Understanding these shear zones becomes important because it contains information that can be applied to machining technique improvements related to process optimizing, and the materials and tools innovations. In this context, stainless steels are regarded as poor machinability materials, due to high work hardening and low thermal conductivity; however, their segmented chip morphology is helpful for facilitating the post-process chip formation researches. Therefore, the aim was to approach machining from the viewpoint of the mechanical behavior science by comparing three stainless steels grades with dissimilar crystalline structures and microstructures during cutting. Strain, strain rate, stress, strain hardening, and primary shear plane temperature were the output variables analyzed. These output variables were determined from cutting forces monitoring and chip characterization (morphology and microstructure) in semiorthogonal turning tests. The results showed the stainless steels machining behavior was different depending on the lattice structure, which is responsible for preferential slipping planes, contributing to amount of strain and reducing the shear stress. Thermal conductivity and hardness were also strong indicators of stainless steels adiabatic shear susceptibility by continuous or segmented chip formation. The stress and strain response of austenitic and duplex stainless steel grades were similar compared to martensitic grade. Strain-induced martensite formation was not evidenced in austenitic stainless steel machining. Empirical models of strain, strain rate, stress, strain hardening and primary shear plane temperature as a function of cutting conditions were obtained by means of the central composite design.
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Desenvolvimento de um sistema opto-mecânico para micro usinagem com laser de femtosegundos / Development of an opto-mechanical system for micro machining with femtosecond laser

José Tort Vidal 08 June 2010 (has links)
A usinagem de estruturas micrométricas pode ser feita com pulsos laser de nano, pico ou fentossegundos. Destes, porém, somente os mais curtos podem resultar em uma interação não térmica com a matéria, o que evita a fusão, formação de rebarba e zona afetada pelo calor. Devido à sua baixa potência média, contudo, a sua utilização na produção em massa somente pode ser considerada em casos muito especiais, isto é, quando o processamento não-térmico é essencial. Este é o caso da usinagem de semicondutores, aços elétricos, produção de MEMS (sistemas micro eletro-mecânicos), de micro canais e diversos dispositivos médicos e biológicos. Assim, visando a produção destes tipos de estruturas, uma estação de trabalho foi construída com capacidade de controlar os principais parâmetros de processo necessários para uma usinagem micrométrica com laser de pulsos ultracurtos. Os principais problemas deste tipo de estação são o controle da fluência e do posicionamento do ponto focal. Assim, o controle do diâmetro do feixe (no foco) e da energia devem ser feitos com grande precisão. Além disso, o posicionamento do ponto focal com precisão micrométrica nos três eixos, também é de fundamental importância. O sistema construído neste trabalho apresenta soluções para estes problemas, utilizando diversos sensores e posicionadores controlados simultaneamente por um único programa. A estação de trabalho recebe um feixe vindo de um laser de pulsos ultracurtos localizado em outro laboratório, e manipula este feixe de maneira a focalizá-lo com precisão na superfície da amostra a ser usinada. Os principais parâmetros controlados dinamicamente são a energia, o número de pulsos e o posicionamento individual de cada um deles. A distribuição espacial da intensidade, a polarização e as vibrações também foram medidas e otimizadas. O sistema foi testado e aferido com medidas de limiar de ablação do silício, que é um material bastante estudado neste regime de operação laser. Os resultados, quando confrontados com a literatura, mostram a confiabilidade e a precisão do sistema. A automatização, além de aumentar esta precisão, também aumentou a rapidez na obtenção dos resultados. Medidas de limiar de ablação também foram realizadas para o metal molibdênio, levando a resultados ainda não vistos na literatura. Assim, de acordo com o objetivo inicial, o sistema foi desenvolvido e está pronto para utilização em estudos que levem à produção de estruturas micrométricas. / Machining of very small structures has been made with nano, pico and femtosecond pulsed lasers. Among then, only femtosecond lasers may result in nonthermal interaction with matter, avoiding melting, formation of slag and heat affected zone. Mass production with such lasers yet can only be considered in cases where nonthermal effects are of prime importance. This is the case in machining of semiconductors and electric steels, the production of MEMS, microchannels, and many medical and biological devices. Hence, a workstation for production of such kind of microstructures was built with the capability of controlling the main parameters necessary for the machining process. Control of the laser fluence and focus positioning are the main concern in this kind of processing. So, the control of the laser beam diameter (in the focus) and of the pulse energy must be very precise. Positioning of focal point with micrometric precision in the three axes is also fundamental. The system built in this work provides solutions for these problems incorporating several sensors and positioning stages simultaneously controlled by a single software. The workstation receives a laser beam coming from another laboratory and delivers it to the surface of the sample managing with precision the main process parameters. The system can dynamically control the energy, number of pulses and positioning for each individual laser spot. Besides, the spatial distribution of the laser intensity, polarization and vibrations were also measured and optimized. The system was tested and calibrated with threshold ablation measurement for silicon, which is well studied in this regime of laser operation. The results where compared with data found in the literature and attested the reliability and precision of the system. Besides the increase in precision, the automation also turned much faster the data acquisition. Threshold ablation for metallic molybdenum was also obtained and resulted in data not found in the literature yet. Concluding the initial goal, the workstation was developed and is ready to be used in studies that can lead to production of micrometric structures.

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