Global ETD Search

1	Störungssystematikbestimmte Instandhaltung in einem Wafertransportsystem / Trouble Systematic Based Maintenance in a wafer transport system Niekisch, Torsten 13 November 2001 (has links) (PDF) Störungssystematikbestimmte Instandhaltung (SSBIH) in einem Wafertransportsystem In der vorliegenden Arbeit wird eine Instandhaltungsmethode beschrieben, mit welcher es im Wafertransportsystem von Infineon Dresden gelungen ist, die Anzahl sogenannter Traktionsprobleme innerhalb kürzester Zeit und mit minimalem Aufwand zu halbieren. Neben der Beschreibung der Umsetzung der Methode, wird vertiefend auf die theoretischen Grundlagen und die Voraussetzungen für die Anwendbarkeit eingegangen. Des weiteren wird anhand der Besonderheiten komplexer Logistiksyteme in der Halbleiterfertigung erläutert, weshalb diese zustandsbestimmte Instandhaltungsstrategie bisher nicht zum allgemeinen Stand der Technik gehörte. Es werden Beispiele für eine Übertragbarkeit angeführt. Eine solche ist insbesondere dann gegeben, wenn das Störungsverhalten auf Toleranzsystemen basiert, in welchen vollständige Austauschbarkeit nicht nur gefordert, sondern ein Großteil der möglichen Elementepaarungen auch tatsächlich getestet wird. Im hier beschriebenen Fall fanden pro Tag ca. 750 000 Ereignisse zwischen ca. 4500 Conveyorelementen und mehr als 10 000 Transportcarriern statt. (Anlagen: Carriertraktionsprobleme, Microsoft-Access-DB, 29,4 MB ; Conveyorstörungen, Microsoft-Access-DB, 22,9 MB ; Stockerstörungen, Microsoft-Access-DB, 22,6 MB ; Verteilungsfunktion, Microsoft-Access-DB, 514 KB ; Störungsentwicklung, Microsoft Excel-Tabelle, 2,03 MB -- Nutzung: Referat Informationsvermittlung der SLUB) Austauschbau Gauß Halbleiter Instandhaltung Meßtechnik Störung Systematik Toleranzsystem Transportsystem Verteilungsfunktion TSBM conveyor maintenance semiconductor stocker systematic trouble ddc:36 rvk:ZG 9270 Fördermittel Instandhaltung Qualitätssicherung Reinraumtechnik Störung Toleranzanalyse Transportsystem Wafer Wahrscheinlichkeitsverteilung
2	Kontextsensitive Prognoseverfahren für das Abnutzungsverhalten von technischen Systemen Krause, Jakob 06 January 2014 (has links) (PDF) Technische Systeme nutzen sich ab. Dadurch bedingt kommt es zu Ausfällen. Um die Funktionstüchtigkeit von abgenutzten technischen Systemen wiederherzustellen, werden Instandsetzungsmaßnahmen durchgeführt. Da die Folgen eines unerwartet eintretenden Ausfalls drastisch sein können, ist es sinnvoll, das Abnutzungsverhalten eines technischen Systems vorherzusagen und so den Zeitpunkt von Instandsetzungsmaßnahmen zielgerichtet zu planen. Die Erstellung von Abnutzungsprognosen wird dadurch erschwert, dass sich technische Systeme oft variabel, in Abhängigkeit von auf sie einwirkenden Beanspruchungen, abnutzen. Außerdem wird diese Abnutzungsvariabilität von betriebsbedingten Einflüssen überlagert, was deren Modellierung erschwert. Im Rahmen dieser Arbeit wurden deshalb Lösungsansätze entwickelt, die es ermöglichen, die Abnutzungsvariabilität eines technischen Systems in Abnutzungsprognosen zu integrieren und dabei betriebsbedingte Einflüsse zu berücksichtigen. Somit können Instandsetzungsmaßnahmen präziser geplant, Ressourcen geschont sowie Kosten reduziert werden. / Technical systems are prone to deterioration. This leads to negative consequences like break-downs. Maintenance actions are executed in order to transfer technical systems back into healthy states. If break downs occur suddenly, the consequences can be dramatic. Therefore, it is reasonable to schedule maintenance actions based on health-state predictions. Thereby, health state predictions are impeded by the fact that technical systems often deteriorate variably, depending on certain stress factors. Furthermore, the effects of variable deterioration behavior can be hidden by system specific behavior. Thus, approaches are shown which integrate variable deterioration behavior into healthstate predictions while influences caused by the system specific behavior are considered. Consequently, maintenance actions can be scheduled more efficiently which spares resources and reduces costs. Abnutzung Prognose Instandhaltung Instandsetzung Zeitreihenmodell Luftfilter Ausfall Verschleiß Zustandsorientiert Kontextsensitiv predictive maintenance time series degradation break down context-sensitive condition based air filter ddc:620 rvk:ZL 3300 rvk:ZG 9270

Search results

Störungssystematikbestimmte Instandhaltung in einem Wafertransportsystem / Trouble Systematic Based Maintenance in a wafer transport system

Kontextsensitive Prognoseverfahren für das Abnutzungsverhalten von technischen Systemen