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Le pilotage des interfaces organisationnelles. Contribution à l'équilibration des processus d'intégration-différenciation des organisations

Seghier, Sofiane 13 February 2012 (has links) (PDF)
L'interface organisationnelle demeure un objet peu étudié. La recherche se propose de l'explorer et d'en comprendre les dynamiques. La première partie explicite les fondements de la recherche. Après avoir défini l'interface, elle fait apparaître que l'instabilité des interfaces résulte de déséquilibres dans les processus d'intégration-différenciation. Pour mesurer ces phénomènes, la méthodologie fait appel à deux méthodes : l'élaboration et l'analyse d'une base de verbatim, et une recherche-intervention. La deuxième partie est consacrée aux déterminants de l'objet. Elle précise les propriétés et les activités de l'interface, et en propose une modélisation. Une analyse croisée de 14 interfaces est ensuite exposée ; trois déterminants de la régulation à l'interface sont identifiés : le degré d'incertitude, la fréquence des interactions et la répartition du pouvoir. Sur ces bases, une typologie des interfaces est proposée : stratégiques, politiques, de coordination, et sociales. La troisième partie approfondit la recherche par l'observation in vivo et la transformation des interfaces. Elle met en évidence leurs coûts de fonctionnement, le rôle fondamental de leur finalisation, et montre que les processus d'intégration et de différenciation posent la question de leur qualité, en plus de celle de leur intensité. L'hypothèse selon laquelle le pilotage des interfaces organisationnelles améliore l'équilibration de l'intégration-différenciation est discutée puis expérimentée. À partir des premiers résultats d'expérimentation, la recherche identifie des leviers de pilotage des interfaces et formule des implications managériales.
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Le pilotage des interfaces organisationnelles. Contribution à l'équilibration des processus d'intégration-différenciation des organisations

Seghier, Sofiane 13 February 2012 (has links) (PDF)
L'interface organisationnelle demeure un objet peu étudié. La recherche se propose de l'explorer et d'en comprendre les dynamiques. La première partie explicite les fondements de la recherche. Après avoir défini l'interface, elle fait apparaître que l'instabilité des interfaces résulte de déséquilibres dans les processus d'intégration-différenciation. Pour mesurer ces phénomènes, la méthodologie fait appel à deux méthodes : l'élaboration et l'analyse d'une base de verbatim, et une recherche-intervention. La deuxième partie est consacrée aux déterminants de l'objet. Elle précise les propriétés et les activités de l'interface, et en propose une modélisation. Une analyse croisée de 14 interfaces est ensuite exposée ; trois déterminants de la régulation à l'interface sont identifiés : le degré d'incertitude, la fréquence des interactions et la répartition du pouvoir. Sur ces bases, une typologie des interfaces est proposée : stratégiques, politiques, de coordination, et sociales. La troisième partie approfondit la recherche par l'observation in vivo et la transformation des interfaces. Elle met en évidence leurs coûts de fonctionnement, le rôle fondamental de leur finalisation, et montre que les processus d'intégration et de différenciation posent la question de leur qualité, en plus de celle de leur intensité. L'hypothèse selon laquelle le pilotage des interfaces organisationnelles améliore l'équilibration de l'intégration-différenciation est discutée puis expérimentée. À partir des premiers résultats d'expérimentation, la recherche identifie des leviers de pilotage des interfaces et formule des implications managériales.
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The medicalization of oral aesthetics: an application of structuration theory

Freeland, Lisa New 12 1900 (has links)
Medicalization has been discussed at length in the sociology of health and illness literature. Typically, dialogue has centered on the effects of medicalization and the process as a phenomenon in professional fields alone. This work is an attempt to study medicalization using a theoretical model, structuration, that allows for inclusion of the larger social system in understanding health system changes and to include consumers of health services in the process as active agents. The example of oral aesthetics provides an opportunity to identify the agents of change, the process of medicalization in the larger social context, and possible indicators of the phenomenon. An attempt to operationalize the complex concept of medicalization marks a move toward creating testable theoretical models for the variety of behaviors and conditions under study as medicalized. Using content analysis of professional dental journals and lay magazines and a review of system rules and resources, shifts in language use and the emergence of medical frameworks were documented to determine if a medicalization of oral aesthetics had occurred. Results show two distinct periods within the last century when oral aesthetics have been medicalized in the United States. Evidence of turn-taking behavior among the agents is noted as well as the relationship of technology and technological language to the process. A model for future testing is suggested that encompass the identified agents, the language and framework, and the elements of social context.
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Structuration non-linéaire de verres oxydes par laser femtoseconde dans le proche infrarouge / Nonlinear femtosecond near infrared laser structuring in oxide glasses

Royon, Arnaud 17 June 2009 (has links)
La structuration laser femtoseconde en trois dimensions rencontre un intérêt grandissant du fait de sa facilité de mise en œuvre et des nombreuses applications qu’elle peut couvrir dans le domaine des composants photoniques. Des structures telles que des guides d’onde, des réseaux de diffraction, des mémoires optiques ou des cristaux photoniques peuvent être fabriquées grâce à cette technique. Son emploi sur des verres oxydes est prometteur car ces derniers présentent des avantages certains ; ils sont très résistants au flux et au vieillissement, leur composition chimique peut être changée facilement afin de s’adapter à un cahier des charges précis. On les retrouve déjà dans les amplificateurs Raman, les fibres optiques, les lasers à fibres, etc… Le travail de cette thèse s’articule autour de deux grands axes. Le premier axe consiste à caractériser les propriétés optiques linéaires et non-linéaires de matériaux vitreux massifs afin d’optimiser leur composition en vue d’une application particulière. Dans ce contexte, les propriétés optiques non-linéaires, leurs origines physiques (électronique et nucléaire) ainsi que leurs temps de réponse caractéristiques (de quelques femtosecondes à quelques centaines de picosecondes) sont décrits dans le cadre de l’approximation de Born-Oppenheimer. Ainsi, la silice fondue et plusieurs verres sodo-borophosphates contenant différentes concentrations en oxyde de niobium ont été étudiés. Les résultats montrent que les propriétés optiques non-linéaires dans la silice fondue sont majoritairement d’origine électronique, alors que dans les verres sodo-borophosphates, la contribution d’origine nucléaire peut devenir prépondérante lorsque la concentration en oxyde de niobium dépasse 30%. Le second axe s’articule autour de la structuration des matériaux. Trois échantillons commerciaux de silice fondue présentant des conditions de fabrication différentes (donc des taux d’impuretés distincts) et irradiés avec un laser femtoseconde proche infrarouge ont été étudiés. Les défauts induits par laser ont été identifiés au moyen de plusieurs techniques de spectroscopie. Elles ont montré la formation de centres colorés ainsi qu’une densification au niveau de la zone irradiée. Leurs propriétés optiques linéaire (indice de réfraction) et non-linéaire (susceptibilité du troisième ordre) ont été mesurées. De plus, la structuration de la silice fondue à l’échelle sub-micrométrique sous forme de « nano-réseaux » est observée et la biréfringence de forme induite par ces structures est discutée. En plus des échantillons de silice fondue, plusieurs verres oxydes présentant des compositions chimiques très distinctes ont été étudiés. Un verre sodo-borophosphate contenant de l’oxyde de niobium exhibe des micro-craquelures et des nano-crystallites après irradiation. Un verre silicate contenant ou non de l’argent dévoile des structures en anneau fluorescentes ou en « nano-réseaux ». Un verre zinc phosphate contenant de l’argent présente lui aussi des structures en anneau fluorescentes, d’une taille de l’ordre de 80 nm, bien inférieure à la limite de diffraction. Des techniques pompe-sonde sous microscope ont été mises en œuvre sur ce dernier verre pour étudier l’interaction laser-verre. Le mécanisme d’absorption de l’énergie lumineuse pour ce verre est l’absorption à quatre photons. La densité d’électrons libres générée est de l’ordre de 1017 cm-3, ce qui permet de conclure qu’un gaz d’électrons plutôt qu’un plasma se forme pendant l’irradiation laser. / Three-dimensional femtosecond laser structuring has a growing interest because of its ease of implementation and the numerous possible applications in the domain of photonic components. Structures such as waveguides, diffraction gratings, optical memories or photonic crystals can be fabricated thanks to this technique. Its use with oxide glasses is promising because of several advantages; they are resistant to flux and ageing, their chemical composition can easily be changed to fit the well-defined requirements of an application. They can already be found in Raman amplifiers, optical fibers, fiber lasers, and other devices. This thesis is based on two axes. The first axis consists in characterizing the linear and nonlinear optical properties of bulk vitreous materials in order to optimize their composition with a particular application in view. Within this context, the nonlinear optical properties, their physical origins (electronic and nuclear) as well as their characteristic response times (from a few femtoseconds to a few hundreds of picoseconds) are described within the Born-Oppenheimer approximation. Fused silica and several sodium-borophosphate glasses containing different concentrations in niobium oxide have been studied. Results show that the nonlinear optical properties of fused silica are mainly from electronic origin, whereas in the sodium-borophosphate glasses, the contribution from nuclear origin becomes predominant when the concentration of niobium oxide exceeds 30%. The second axis is based on the structuring of materials. Three commercially available fused silica samples presenting different fabrication conditions (therefore distinct impurity levels) and irradiated with a near infrared femtosecond laser have been studied. The laser induced defects have been identified by means of several spectroscopic techniques. They show the formation of color centers as well as a densification inside the irradiated area. Their linear refractive index and nonlinear third-order susceptibility properties have been measured. Moreover, the structuring of fused silica at the subwavelength scale into “nanogratings” is observed and the form of birefringence induced by these structures is discussed. In addition to the fused silica samples, several oxide glasses presenting very distinct chemical compositions have been studied. A sodium-borophosphate glass containing niobium oxide exhibits micro-cracks and nano-crystallites following irradiation. A silicate glass with or without a silver component reveals fluorescent rings or “nanograting” structures. A zinc phosphate glass containing silver also presents fluorescent ring structures, with a size of the order of 80 nm, well below the diffraction limit. Pump-probe microscope techniques have been performed on this glass to investigate the laser-glass interaction. The absorption mechanism is determined to be four-photon absorption. The generated free electron density is ~ 1017 cm-3, which suggests the conclusion that an electron gas rather than a plasma is formed during the laser irradiation.
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Filtre mosaïque hyperspectral / Hyperspectral mosaic filter

Sorce, Stéphane 20 December 2012 (has links)
L'utilisation de filtre mosaïque hyperspectral semble être la solution idéale pour alléger les imageurs spectraux utilisés lors des missions spatiales. Les contraintes liées à ce type d'utilisation imposent l'emploi de filtres interférentiels multicouches. Ces travaux ont pour but de trouver des solutions pour réaliser un filtre mosaïque hyperspectral avec des filtres interférentiels et non avec les résines colorées traditionnellement utilisées. Pour ce faire une étude théorique sur la simplification des designs des empilements interférentiels a été effectuée. Il en ressort que les empilements restent épais, ce qui complique leur structuration. Plusieurs méthodes de structurations ont été étudiées. En particulier le lift-off qui est la technique actuellement utilisé aujourd'hui et le lift-up. Cette dernière présente l'avantage de ne pas mettre en série le risque technologique associé à chaque réalisation de filtre. Un trade-off entre ces deux techniques a été fait ainsi que des réalisations expérimentales. Celles-ci ont ensuite été caractérisées par un banc de mesure développé dans ce but qui a permis de valider expérimentalement la technique utilisée. / Hyperspectral mosaic filter appears to be the perfect solution to lighten the spectral imagers used in space missions. Such applications require the use of multilayer interference filters. This work aims to find solutions to achieve hyperspectral mosaic filter with interference filters rather than the conventionally used coloured resins. In order to achieve this, a theoretical study on the simplification of multilayer designs was performed. It appears that the stacks are thicker, which makes them difficult to pattern. Several methods of patterning were studied, especially the lift-off technique which is traditionally used and the lift-up. The latter has the advantage to avoid adding the technological risk associated with each filter production. A trade-off between these two techniques was done as well as experimental productions. These were then characterized by a bench developed for this purpose which has experimentally validate the technique used.
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A inovação orientada para a sustentabilidade pela ótica da teoria da estruturação: uma análise de casos / Sustainability-Oriented Innovation through the lens of Structuration Theory: Case Analysis

Brunetto, Luis Guilherme 19 June 2019 (has links)
A inovação orientada para a sustentabilidade (IOS) tem sido um dos posicionamentos assumidos por diversas empresas que afirmam contribuir para o desenvolvimento sustentável. Nessa perspectiva, as empresas reconhecem a problemática da escassez de recursos e de diversos problemas socioambientais e alinham sua estratégia de inovação para novos produtos e processos que, de alguma forma, poderiam ser considerados como sustentáveis. A fim de entender esse fenômeno por meio de uma lente teórica que leve em consideração os indivíduos inseridos nas atividades de inovação, este projeto teve como objetivo geral compreender a dinâmica de estruturação das práticas sociais dos processos de IOS. Como suporte teórico, foi utilizada a teoria da estruturação de Giddens (1984) e como estratégia metodológica adotou-se o estudo de caso, realizado junto a duas unidades de negócios de uma empresa multinacional. Foi possível descrever a estruturação das práticas que ocorrem no processo de inovação. Evidenciou-se que as práticas correntes de inovação têm suas estruturas ligadas fortemente às lógicas econômica e de competitividade. Tais práticas são altamente legitimadas e são praticamente inquestionáveis. Por outro lado, há elementos estruturantes, muitos deles ligados a uma visão mais abrangente do ator social e presente em vários sistemas sociais, dos quais os atores fazem parte, e que estão permitindo o surgimento, ainda que tímido, de práticas que poderiam ser entendidas como orientadas para a sustentabilidade. A partir do estudo de caso e da articulação da teoria da estruturação, este trabalho propõe um modelo de estruturação das práticas em processos de IOS. Observa-se que as estruturas da IOS apresentam elementos de esquemas interpretativos, normas e métricas e uma visão de legitimação que depende altamente do nível de mediação. Suportando essa orientação, vislumbra-se um elemento de visão de mundo e construção de significado sobre a sustentabilidade que é emergente. A agência do ator social também é considerada no modelo e elementos como mindset, rigidez da estrutura e posição social / hierárquica conferem uma dualidade, ora potencializadora, ora inibidora na mudança e surgimento de novas práticas / The sustainability-oriented innovation (SOI) has been one of the assumed positions by several companies that affirm to contribute to sustainable development. From this perspective, these companies acknowledge the problem of resources scarcity and many others socio-environmental problems. Additionally, they align their strategy of innovation to new products and processes that, in a certain way, could be considered as sustainable. Aiming to comprehend this phenomenon through a theoretical lens that takes into account the individuals inserted into the innovation activities, this project had as main objective to comprehend the dynamic of structuration of the social practices in the processes of SOI. As a theoretical background, it was applied the structuration theory of Giddens (1984) and as a methodological strategy was adopted the case study, carried out with two business unities of a multinational company. It was possible to describe the structuration of practices that take place in the innovation process. It was evidenced that the current innovation practices have their practices strongly anchored to the economic and competitiveness logics. These practices are highly legitimized and are likely unquestionable. On the other side, there are structural elements, most of them linked to a broader view of the social actor and present in several social systems which the actors are part of it, that are enabling the emergence, even weak, of practices that could be understood as oriented to sustainability. Through the case study and the articulation of the structuration theory, this work proposes a model of the structuration of the practices in SOI. It can be observed that the structures of the SOI show elements of interpretive schemas, norms and metrics and a vision of legitimation which depends highly on the level of mediation. Supporting this orientation, it can be seen an emergent element of a broader world vision and meaning construction about sustainability. The agency of the social actor is also taken into consideration in the model and elements as mindset, structure rigidity and social position / hierarchy gives a duality (sometimes enabler, sometimes restrictive) in the change and emergence of new practices
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Système multi-agents pour l'auto-structuration du trafic aérien / Multiagent system for air traffic self-structuring

Breil, Romaric 03 October 2017 (has links)
La gestion des flux de trafic aérien (ATFM) cherche à structurer le trafic de manière à réduire la congestion dans l'espace aérien. La congestion étant causée par les avions volant dans les mêmes portions de l'espace aérien en même temps, l'ATFM organise le trafic dans les dimensions spatiales (ex. le réseau de routes) et dans la dimension temporelle (ex. séquencement et fusion de flux d'avions atterrissant ou décollant aux aéroports). L'objectif de cette thèse est de développer une méthodologie qui permet au trafic aérien de s'auto-structurer dans les dimensions spatiales et temporelle quand la demande est élevée. Cette structuration disparait quand la demande diminue. Pour remplir cet objectif, un système multi-agents a été développé, dans lequel les avions coopèrent pour structurer le trafic. Les systèmes multi-agents possèdent plusieurs avantages, incluant une bonne résilience aux perturbations, la résilience étant la capacité du système à modifier ses décisions de manière à retrouver un état stable après l'occurrence d'une perturbation dans son environnement. Dans ce système, trois algorithmes sont implémentés, visant à réduire la com- plexité du trafic de trois manières différentes. Le premier algorithme permet aux agents avions volant sur un réseau de route de réguler leur vitesse de manière à ré- duire le nombre de conflits, un conflit se produisant quand deux avions ne respectent pas les normes de séparation. Le deuxième algorithme permet aux avions de résoudre les conflits quand le trafic n'est pas structuré par un réseau de routes. Le troisième algorithme crée des réseaux de routes locaux temporaires pour structurer le trafic. Les trois algorithmes implémentés dans ce système multi-agents permet de réduire la complexité globale du trafic, qui devient plus simple à gérer pour les contrôleurs aériens. Ces algorithmes sont appliqués à des exemples réalistes et sont capables de structurer le trafic de manière résiliente. / Air Traffic Flow Management (ATFM) aims at structuring traffic in order to reduce congestion in airspace. Congestion being linked to aircraft located at the same position at the same time, ATFM organizes traffic in the spatial dimension (e.g. route network) and in the time dimension (e.g. sequencing and merging of aircraft flows taking off or landing at airports). The objective of this thesis is to develop a methodology that allows the traffic to self-organize in the time and space dimensions when demand is high. This structure disappears when the demand diminishes. In order to reach this goal, a multi-agent system has been developed, in which aircraft cooperate to structure traffic. Multi-agent systems have several advantages, including a good resilience when confronted with disruptive events, resilience being the ability of the system to adapt its decisions in order to get back to a stable state when confronted to a disruption in its environment. In this system, three algorithms have been implemented, aiming at reducing traffic complexity in three different ways. The first algorithm allows aircraft agents flying on a route network to regulate speed in order to reduce the number of conflicts, a conflict occurring when two aircraft do not respect separation norms. The second algorithm allows aircraft to solve conflicts when the traffic is not structured by a route network. The third algorithm creates temporary local route networks allowing to structure traffic. The three algorithms implemented in this multi-agent system allow to decrease overall traffic complexity, which becomes easier to manage by air traffic controllers. This algorithm was applied on realistic examples and was able to structure traffic in a resilient way.
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Modéliser le pouvoir expansif de la structuration des connaissances en conception innovante : mise en évidence des effets génératifs du K-preordering grâce à l'étude du non-verbal / Modeling the expansive power of knowledge structures in design : how non-verbal supports knowledge preordering

Brun, Juliette 31 May 2017 (has links)
La thèse étudie le pouvoir génératif de la structuration des connaissances pour la conception innovante. Partant d’une analyse de la générativité des structures de connaissances non-verbales, et notamment du dessin d’architecte, elle identifie un nouveau mode de conception en montrant comment une revisite des rapports entre connaissances favorise la génération de nouveaux concepts. En particulier, une restructuration des connaissances visant à rendre la structure splitting, c’est-à-dire, sans rapports modulaires ou déterministes entre connaissances, possède un fort pouvoir génératif. En session collective, les médias non-verbaux, tels que le dessin, les images ou encore le prototypage 3D, se révèlent ainsi particulièrement favorables à la restructuration des connaissances : trois conditions nécessaires présentées dans la thèse doivent cependant être réunies afin de garantir la performance du non-verbal en session collective. Par ailleurs, ce phénomène de restructuration générative - aussi appelée K-preordering – diffère de l’exploration classique par génération de concepts alternatifs. Les deux modes de conception ne sont pas pour autant incompatibles : la thèse propose ainsi un processus de conception alternant phases de K-preordering et phases de génération de concepts. Ce processus est notamment testé à travers deux cas de recherche-intervention visant à provoquer la réorganisation des structures de connaissances stabilisées et partagées à l’échelle de l’organisation. Ces deux cas montrent en particulier comment un tel processus favorise la conception de programmes de recherche transdisciplinaires. / The thesis investigates the generative power of knowledge structuration for innovative design. Analyzing the generativity of non-verbal knowledge structures - especially, architectural drawings -, this work identifies a new design method by showing that the transformation of links between knowledge bases fosters concept generation. In particular, a restructuration that aims to design a splitting structure - a structure avoiding modular and deterministic links between knowledge bases - has a strong generative power. During collective creativity sessions, non-verbal tools such as sketches, pictures or 3D-printing, can enhance knowledge restructuration: however, three necessary conditions, which are presented in the thesis, have to be met in order to ensure performance of the non-verbal tools used during the session. Moreover, this generative restructuration - also called K-preordering - differs from the classic design exploration by alternative concepts generation. But the two design modes are not mutually exclusive: the thesis proposes a design process that alternates K-preordering and concept generation. This process is applied in two studies, which were led as action research and intended to foster the reorganization of knowledge structures that were both stabilized and shared at the organizational level. In particular, these studies show how such a process helps enhancing the design of transdisciplinary research programs.
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Etude d'auto-assemblages moléculaires sur surfaces isolantes par microscopie à force atomique en mode non-contact sous ultravide à température ambiante / Molecular self-assembly study on insulating surfaces with non-contact atomic force microscopy under ultrahigh vacuum at room temperature

Amrous, Ania 05 December 2016 (has links)
Dans ce rapport de thèse, nous présentons les résultats obtenus avec la croissance d'assemblages supramoléculaires hautement cristallins et stables à température ambiante sur des surfaces isolantes d'halogénures d'alcalins. L'objectif de cette étude est de caractériser structurellement ces réseaux auto-assemblés et de mettre en évidence l'ensemble des forces d'interaction mises en œuvre dans les processus de croissance et de diffusion, en combinant la microscopie à force atomique en mode non contact (nc-AFM) sous ultravide et des calculs théoriques basés sur la théorie de la fonctionnelle de la densité (DFT) et la dynamique moléculaire. Nous montrons comment des paramètres bien définis concernant le choix de la molécule d'une part tels que sa taille, sa forme, sa symétrie, sa flexibilité et sa fonctionnalité, et le choix du substrat d'autre part, influent sur la morphologie de croissance et permettent de contrôler les propriétés de diffusion des molécules en surface et donc la structure supramoléculaire résultante. / In this thesis, we report the results obtained with the growth of highly crystalline and stable supramolecular assemblies at room temperature on insulating surfaces of bulk alkali halides single crystals. The objective of this study is to structurally characterize these self-assembled networks and understand all the interaction forces involved in the growth and diffusion processes. This is performed by joint non-contact atomic force microscopy (nc-AFM) experiments in ultrahigh vacuum and theoretical calculations based on density functional theory (DFT) and molecular dynamics. We show how well-defined parameters for the choice of the molecule on the one hand such as size, shape, symmetry, flexibility and functionality, and the choice of the substrate on the other hand, influence the morphology growth and serve to steer the structure and diffusion properties of such systems.
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ZnO micro- and nanostructures from Deep-UV photosensitive solutions for electronic and magnetic applications / Micro et nanostructures ZnO préparées par photolithographie UV profond pour des applications électroniques et magnétiques

Yeh, Chun-Cheng 07 November 2017 (has links)
Ce travail a consisté à mettre au point et étudier des formulations à base d’un précurseur photosensible de Zn (Zinc méthacrylate, ZnMAA). Déposé sous forme de film mince, ce précurseur peut être réticulé par une irradiation dans l’UV profond (193 nm). Il est montré que la réticulation est la conséquence d’une décomposition photoinduite partielle des précurseurs, qui provoque des réactions de condensations, conduisant à la formation du réseau Zn-O-Zn. Cette réaction a été caractérisée par spectroscopie FTIR, XPS et ellipsométrie (chapitre III). Il est montré qu’elle est partielle mais efficace pour conférer au matériau un caractère de résine à tonalité négative, pouvant être utilisée en écriture laser directe. Des structures submicrométriques ont été préparées avec cette résine. Les différentes étapes du procédé de photolithographie sont discutées dans le chapitre IV. En particulier, l’étape de recuit thermique pour obtenir un matériau ZnO est étudiée pour expliquer son impact sur la géométrie des structures obtenues. Le matériau ZnO structuré par cette voie est utilisé enfin pour fabriquer des dispositifs : transistor, capteur de gaz, réseau à propriétés magnétiques, prouvant l’intérêt de cette approche de microstructuration basée sur un matériau préparé par voie liquide. / In this thesis, an in-depth investigation to the photosensitive zinc methacrylate (ZnMAA) precursor was made. Zinc methacrylate can be crosslinked under DUV (193 nm) irradiation. The photo-induced solidification is attributed to the partial decomposition of the ZnMAA complex, which gives rise to the following hydrolysis-condensation reactions and the formation of Zn-O-Zn networks. The bonding variation and decomposition of organic species caused by DUV irradiation were carefully investigated by FTIR, XPS and ellipsometry and discussed in Chapter III. DUV irradiation provokes clivage of MAA ligands from zinc cations. However, the intensity of MAA ligands can only be reduced to ~2/3 of its initial intensity regardless the extension of irradiation time, implying only a small amount oxide network can be induced by DUV irradiation. The small amount of Zn-O-Zn networks inside the photo-irradiated regions can effectively decrease the solubility of photo-irradiated regions in polar solvents, which makes ZnMAA precursor just like a negative tone resist and able to be patterned into two-dimensional structures by DUV lithography. Due to good photosensitivity to DUV light (193 nm), the dimension of DUV-patterned ZnMAA structures can be decreased to sub-micro by using binary masks and the effects of each pattering step including (i) DUV exposure, (ii) prebaking and (iii) development on the size and shape of DUV-patterned ZnMAA structures are discussed in Chapter IV. In order to fabricate nanoscale ZnMAA structures, a home-made DUV interference system was used to pattern ZnMAA precursor and 300 nm periodic lines were successfully made. Applications as TFT transistor, gaz sensor and magnetic materials are shown.

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