L'étude et la réalisation de nanomatériaux font à l'heure actuelle l'objet d'une attention scientifique très soutenue. Atteindre la taille nanométrique ouvre en effet de nouvelles perspectives tant fondamentales que technologiques. L'objectif de cette thèse est de corréler les conditions d'élaboration et les propriétés structurales et électriques de matériaux à travers l'étude des nanofils d'antimoine (Sb) et d'or (Au). Par électrochimie, méthode peu onéreuse, nous avons élaboré des nanofils dans les pores de membranes. La détermination des conditions de synthèse nous a permis l'obtention de nanofils de qualité. L'analyse des processus d'électrodéposition nous a également conduit à la compréhension de certains mécanismes de la synthèse spécifique de nanomatériaux. Nous avons montré que pour des synthèses inscrites dans les cavités nanométriques d'une membrane d'épaisseur micrométrique l'extension de la couche de diffusion pouvait être réduite à l'épaisseur de la membrane. La seconde partie de ce mémoire concerne la caractérisation structurale et la détermination de la composition chimique des nanofils électrodéposés. Compte tenu de la taille nanométrique de nos objets, ce genre d'investigations requièrent des techniques de caractérisation bien spécifiques, notamment de haute résolution. Les études menées par la microscopie électronique en transmission (TEM) combinée avec la spectroscopie d'énergie dispersive des rayons-X (EDXS), ainsi que par la spectroscopie de pertes d'énergie des électrons (EELS), ont révélé entre-autres le caractère monocristallin de nos nanofils d'antimoine et d'or. Enfin, nous avons également exploité les propriétés électriques des nanofils d'or, en vue de nouveaux dispositifs pour écrans plats. Pour optimiser les conditions de mesure d'émission de champs, une méthode originale de fabriquer des réseaux de nanofils fixés verticalement sur un substrat a été mise au point. Les résultats préliminaires révèlent déjà un champ seuil d'émission (Ethr) égal à 3,2 V/µm, valeur prometteuse et comparable à celles obtenues à partir de nanotubes de carbone.

En suivant les tendances écologiques des dernières années, les innovations visant à réduire les empreintes énergétiques se multiplient. Parmi les nombreux domaines cherchant à développer des technologies écologiques, le génie se doit de proposer des solutions viables. Depuis longtemps, les composites renforcés de fibres sont intégrés à de nombreux produits. Toutefois, beaucoup d’efforts sont déployés afin d’améliorer ces produits en terme de densité, de coût et de recyclage. La solution privilégiée repose sur la substitution des fibres synthétiques par des fibres naturelles, moins chères et moins denses. Les fibres les plus couramment utilisées sont le bois, le lin et le chanvre. D’une part à cause de la culture de ces matières qui est déjà maitrisée, d’autre part à cause de leurs propriétés en termes de dimensions utilisables. Dans une optique écologique, le choix des fibres se doit d’être fait en fonction des matières à disposition afin de limiter les coûts de transports. Toutefois, cet échange ne se fait pas sans heurt, là où les fibres synthétiques étaient caractérisées par une forte durabilité, les fibres naturelles sont fortement sensibles à leurs environnements. L’utilisation de composés végétaux est délicate, car ils apportent une problématique sur la durabilité notamment à cause de complexité de leur structure et leur capacité à absorber l’eau. Les solutions appliquées consistent à traiter la surface de la fibre afin de limiter ce phénomène tout en renforçant l’interface avec la matrice. Ainsi la tenue des composites est améliorée de même que leurs propriétés. Au lieu de rendre la plante hydrophobe via des traitements, l’utilisation d’une plante présentant naturellement cette capacité serait un avantage. Les fibres produites dans la cosse de l’asclépiade présentent cette capacité. Présentes à l’état sauvage sous différentes variétés à travers le monde, toutes ces espèces présentent la même fibre creuse et hydrophobe. Cette fibre est encore mal connue et la littérature nébuleuse sur plusieurs aspects, mais son potentiel est certain. L’objectif de l’utilisation de cette fibre est de proposer une alternative aux fibres synthétiques dans différents domaines qui ne sont pas nécessairement limités au génie civil. Cette fibre peut être utilisée comme isolant thermique dans le textile, absorbant pétrolier ou en panneaux pour l’isolation acoustique et thermique. Pour cela, la caractérisation de la fibre est nécessaire afin de mieux comprendre ses propriétés. Cela se traduit par une étude chimique de l’espèce considérée, Aslépias syriaca L., et une étude morphologique afin comprendre ses propriétés. Les résultats montrent que sa composition diffère de celle d’autres plantes usuelles, son fort taux de cire et de lignines influeraient son hydrophobicité. La principale difficulté d’utilisation est celle de la mise en forme, car sa nature de fibre creuse et courte la rend fragile et sensible aux agressions chimiques. Toutefois, la formation de voiles non tissés permet de créer un matériau léger, souple et pouvant être adapté à plusieurs applications. À partir de ce matériau mêlant fibre synthétique et fibres d’asclépiade, il est possible de former des composites par thermocompression. Ces derniers présentent des propriétés comparables à ceux pouvant être trouvés dans l’industrie automobile actuellement tout en étant moins denses. Finalement, les fibres d’asclépiade peuvent être utilisées en tant qu’absorbant pétrolier. Les tests préliminaires montrant une forte capacité d’absorption.

Le développement des capteurs autonomes et leurs applications dans les « smart-cities », nécessitent de nouvelles méthodes de production d’énergie, basées sur la récupération de l’énergie ambiante. Dans ce contexte, le projet N-air-J a pour objectif de réaliser des microgénérateurs,basés sur des films piézoélectriques flexibles, capables de récupérer l’énergie des courants d’airs. Les travaux réalisés dans cette thèse concernent la réalisation des couches minces piézoélectriques de zircono-titanate de plomb (PZT) déposées sur une feuille d’aluminium, ainsi que les caractérisations structurales, diélectriques, ferroélectriques, et piézoélectriques associées. L’optimisation du générateur est basée sur un procédé de transfert original du PZT depuis l’aluminium vers un substrat polymère. L’intérêt du transfert vers un substrat souple et isolant est de pouvoir réaliser une configuration d’électrodes interdigitées (IDE). Les propriétés de récupération d’énergie des deux configurations PZT/Al et PZT/polymère ont été testées, et la densité d’énergie produite est similaire à l’état de l’art pour des structures plus rigides. L’utilisation d’électrodes IDE a prouvé son intérêt par la génération d’une tension de sortie de plusieurs dizaines de volt. Un modèle analytique a été développé afin d’étudier le comportement de la poutre piézoélectrique utilisée dans ces travaux. Les études expérimentales ont permis de quantifier l’influence des frottements de l’air sur le comportement vibratoire de la poutre. La simulation de l’interaction fluide structure a montré la possibilité d’augmenter les déformations de plusieurs brins au sein d’un réseau de générateurs. / New methods for energy generation based on the ambient energy harvesting are required for autonomous sensors development and their applications in the “smartcities”. In this context, N-air-J project aims to realize micro-generators based on flexible piezoelectric films, able to harvest energy from the breeze. The work presented in this thesis is about the deposition of lead zirconate titanate (PZT) thin layer on aluminium thin foil. Structural, dielectric, ferroelectric and piezoelectric characterizations were realized. The generator optimization is focused on the PZT transfer from aluminium to polymer substrate. The technological process has been developed for the transfer. The use of an insulating and elastic substrate is very interesting for the realization of an interdigitated (IDE) electrode configuration. Energy harvesting properties of the two configurations, PZT/Al and PZT/polymer, were tested. Energy densities were found similar to those of more rigid structures presented in the literature. The use of the IDE confirms its great interest by delivering a voltage of several tens of volts.An analytical model was developed to study the behaviour of the piezoelectric beam used in this work. Experimental studies quantify the influence of air friction on the beam vibratory behaviour. Fluid-structure interaction simulation has demonstrated the possibility for improving the deformations of several beams in a generators network.

À ce jour, nous trouvons de nombreux systèmes requérant l'usage du courant continu dans l'industrie automobile, aéronautique, ferroviaire ou encore dans les panneaux solaires. L'ouverture et la fermeture des circuits alimentés (relais, interrupteurs, etc.) engendrent inévitablement un arc électrique (température ~5000 K). Celui-ci provoque des dégradations plus ou moins importantes aux matériaux de contact, telles que l'érosion, la soudure et l'augmentation de la résistance de contact, pouvant engendrer des dysfonctionnements des appareillages et porter atteinte à la sécurité des personnes qui les utilisent. Face à la demande de puissance électrique des appareils actuels, il est nécessaire d'augmenter la tension ou le courant d'alimentation. La tension actuelle à bord d'une voiture est de 14 VDC, il est envisagé d'augmenter cette tension à 42 VDC afin d'augmenter la puissance pour faire face à la croissance des appareils électroniques et électriques embarqués. L'intérêt d'augmenter la tension, notamment pour des applications liées au milieu automobile, permet de maintenir l'intensité du courant donc conserver un faible diamètre de câble pour une puissance plus importante et permet de ne pas rajouter une masse supplémentaire à la voiture. Cependant, le passage d'une tension de 14 VDC à 42 VDC augmente fortement ces dommages causés aux matériaux de contact par les arcs électriques. Il existe différents moyens permettant la diminution de la durée d'arc, par exemple l'optimisation du dispositif mécanique (modification de la vitesse d'ouverture des contacts, double coupure), ou bien l'utilisation d'aimants permanents qui génèrent un champ magnétique et soufflent l'arc hors de la zone de contact ou encore la modification du matériau de contact (composition chimique, forme). Les matériaux caractérisés dans cette étude allient le soufflage magnétique et l'optimisation de la composition chimique de façon à trouver un bon compromis pour limiter les dégâts causés par les arcs d'ouverture et par les arcs de fermeture. En effet, l'action du champ magnétique permet de diminuer la durée de l'arc d'ouverture (diminution d'un facteur 10) mais n'a malheureusement aucun effet sur l'arc de fermeture. D'où la nécessité de modifier la composition chimique du matériau, notamment par ajout d'oxydes métalliques (SnO2) afin de limiter les dommages de l'arc de fermeture. / Nowadays, we find many systems requiring the use of direct current in the automotive, aerospace, rail, or in solar panels. The opening and closing of the powered circuits (as relays, switches, etc.) inevitably generate an electric arc (temperature ~5000 K). This arc causes more or less significant damage to the contact materials, such as erosion, welding and increase the contact resistance, which can lead to malfunction of the equipment and impair the safety of people who use them. Facing the electric power demand of current devices, it is necessary to increase the voltage or the supply current. Currently, the voltage on board a car is 14VDC, it is planned to increase this to 42VDC voltage, to increase the power to deal with the increase of embedded electronics and electrical appliances. The interest to increase the voltage, especially for applications related to the automotive environment, keeps the current intensity therefore maintain a low cable diameter for greater power and allows not to add an additional weight to the car. However, the passage of a voltage of 14VDC to 42VDC greatly increases the damage caused to contact materials by electric arcs. There are different ways to decrease the arc duration, e.g. optimizing the mechanical device (change in opening speed of the contacts, double break), or the use of permanent magnets that generate a magnetic field and blow the arc out of the contact area, or changing the contact material (chemical composition, shape). The materials characterized in this study combine magnetic blowing and optimizing the chemical composition in order to find a good compromise to limit the damage caused by break and make arcs. Indeed, the action of the magnetic field can reduce the duration of the break arc (decrease by a factor 10) but unfortunately has no effect on the make arc. Hence, the need to modify the chemical composition of the material, including adding metal oxide (SnO2) to limit the make arcs damages.

Dans le présent travail, nous avons étendu aux solvants organiques notre méthodologie radiolytique de synthèse de polymères conducteurs (PCs), initialement développée en solutions aqueuses. Dans ce contexte, la polymérisation des PCs a été étudiée par radiolyse gamma dans différents solvants organiques et sous différentes conditions expérimentales. La synthèse radio-induite a, en particulier, été optimisée dans le dichlorométhane grâce à la variation et à l’ajustement de différents paramètres : atmosphère, dose, débit de dose, concentration des monomères, etc. Cette synthèse a ainsi pu mener à la préparation de différents types de polymères conducteurs : poly (3,4-éthylènedioxythiophène), poly (3-thiophène acétique acide) and Poly (3-hexylthiophène). Ces derniers ont été totalement caractérises en solutions ou après dépôt par des techniques analytiques, spectroscopiques et microscopiques complémentaires. Nous avons en particulier démontré la simplicité et la versatilité de la polymérisation radio-induite de TAA que ce soit dans le dichlorométhane ou dans l’eau, et avons mis en évidence quelques différentes notable entre ces deux voies de synthèse. Nous avons, par ailleurs, évalué l’influence de la nature des espèces radiolytiques oxydantes générées dans le dichlorométhane, via la variation de l’atmosphère de travail (N₂, air ou O₂), sur les propriétés des polymères conducteurs radio-synthétises, en particulier dans le cas de P3HT. Parmi les nombreuses propriétés physiques chimiques que nous avons sondées dans le cas de tous nos polymères conducteurs radio- synthétises les propriétés électroniques et électrochimiques ont fait l’objet d’une attention particulière. Nos matériaux ont alors été incorporés au sien de cellules solaires à pérovskite hybrides organiques-inorganique (PSCs) et y ont été utilisés comme matériaux de transport de trous (HTMs). Notre nouvelle stratégie radiolytique de synthèse décrite et étendu dans le présent manuscrit, ouvre sans aucun doute la voie à la préparation de nouveaux PCs nanostructurés, de morphologie contrôlée et aux propriétés augmentées : par exemple grâce à l’utilisation d’une polymérisation en microémulsions ou par le développement d’une copolymérisation raisonnée. / The extension of our original radiolytic methodology to the use of organic solvents was an important alternative approach to radiation-induced polymerization of conducting polymers (CPs) in aqueous solutions. The polymerization of CPs was studied by using gamma-radiolysis of several organic solvents under different environmental conditions. The optimization of the synthesis conditions of CPs was then conducted into dichloromethane solvent. After optimization of the synthesis conditions (atmosphere, dose, dose rate, concentration of organic monomers, etc.), the use of dichloromethane radiolysis was successfully employed to synthesize various types of conducting polymers: Poly (3,4-ethylenedioxythiophene) (PEDOT), Poly (3-thiophene acetic acid) (PTAA) and Poly (3-hexylthiophene) (P3HT). The radio-synthesized polymers were fully characterized in solution and after deposition by complementary analytical, spectroscopic and microscopic techniques. Also, the simplicity and versatility of radiation induced polymerization of 3-thiophene acetic acid in dichloromethane and in aqueous solutions was demonstrated. The differences between the two radiolysis routes were highlighted. Furthermore, the influence of generating different oxidizing species under different atmospheres (N₂, air or O₂) upon ɣ-irradiation of dichloromethane solutions containing organic monomers was also studied in particular in case of P3HT. The electronic and electrochemical properties were checked for all radio-synthesized CPs. Accordingly, these polymers were then incorporated in hybrid organic and inorganic perovskite solar cells (PSCs) and used as hole transport materials (HTMs). Our new radiolytic strategy described and extended in this manuscript opens the way for the preparation of new nanostructured CPs with controlled morphology and enhanced properties by using microemulsion polymerization and also for the preparation of processable conjugated materials through copolymerization.

Ce travail de thèse porte sur l’élaboration de matériaux polymères conjugués absorbants dans le proche infra-rouge. Il est issu du projet TAPIR financé par l’ANR dans lequel nous visons le développement de dispositifs d’interface Homme/Machine (IHM) pour des applications dans le secteur de la santé, afin de limiter la propagation des agents pathogènes. Les IHM étant contrôlées avec la main, sans contact, grâce à la réflectivité de la peau, (gamme spectrale 850-950 nm), il faut développer des matériaux absorbant dans cette gamme. Dans ce projet, notre rôle a été de synthétiser la partie active du photodétecteur infrarouge utilisé pour récupérer l’information. Une étude bibliographique et des calculs préliminaires ont permis une sélection judicieuse de différents monomères afin d’assurer une stabilité intrinsèque et obtenir les propriétés d’absorption requises. Différents monomères donneurs (D) et accepteurs (A) ont été combinés afin de synthétiser des copolymères alternés de types (D-A). Deux familles de copolymères absorbants dans le proche infrarouge ont ainsi été synthétisés Tous les copolymères ont été synthétisés via la polycondensation Stille. Leurs propriétés optiques, électroniques et leurs stabilités thermiques ont été étudiées. Par la suite, après avoir confirmé le rôle prépondérant de la force du monomère accepteur, par rapport à celle du donneur, sur les propriétés d’absorptions et les niveaux électroniques des différents copolymères obtenus, nous avons développé une approche originale très peu rapportée dans la littérature. Elle consiste en l’élaboration de copolymères de type (A-A). Ainsi, nous avons synthétisé six copolymères absorbants dans la gamme de longueurs d’onde souhaitée, et même au-delà. Enfin, certains copolymères ont pu être caractérisés en dispositifs OFET et photodétecteurs. / This thesis work focuses on the development of conjugated polymeric materials which absorb in the near infrared. It is the result of the TAPIR project funded by the ANR in which we aim to develop human-machine interface (HMI) devices for applications in the health sector, in order to limit the spread of pathogens. Since HMIs are controlled by hand, without contact, thanks to the reflectivity of the skin (spectral range 850-950 nm), it is necessary to develop materials which ansorb in this range. In this project, our role was to synthesize the active part of the infrared photodetector used to retrieve the information. A bibliographical study and preliminary calculations have allowed a judicious selection of different monomers to ensure intrinsic stability and obtain the required absorption properties. Different donor monomers (D) and acceptors (A) were combined to synthesize alternating copolymers of types (D-A). Two families of copolymers which absorb in the near infrared have been synthesized. All copolymers have been synthesized via Stille polycondensation. Their optical, electronic and thermal properties have been studied. Subsequently, after confirming the predominant role of the strength of the accepting monomer, compared to that of the donor, on the absorption properties and electronic levels of the various copolymers obtained, we developed an original approach that has been reported very rarely in the literature. It consists of the production of copolymers of the type (A-A). Thus, we have synthesized six copolymers which absorb in the desired wavelength range, and even beyond. Finally, some copolymers have been characterized as OFET devices and photodetectors.

Le travail de ma thèse s'inscrit dans le contexte général de l'amélioration des procédés de traitement thermique des pièces massives en composites à matrice thermodurcissable. Parmi les techniques utilisées, le chauffage par micro-onde est sûrement l'une des plus séduisantes. Cependant le traitement homogène de pièces de dimensions importantes n'est pas sans poser des problèmes. Ces problèmes sont liés à l'existence possible d'ondes stationnaires, et à l'atténuation des ondes électromagnétique. Ce travail a pour but l'amélioration de la technique par la mise au point d'une optimisation des moules permettant d'atteindre cette meilleure homogénéité grâce à l'effet diélectrique d'inversion de l'atténuation des ondes électromagnétiques. Le sujet traité nécessite une approche multidisciplinaire puisque traitant de la création de sources thermiques dont il faut maîtriser la distribution spatiale et temporelle, sources créées par un champ électromagnétique et régissant la cinétique des réactions chimiques. La solution proposée nécessite donc de maîtriser les trois domaines thermique, électromagnétique et chimique qui interviennent ici d'une façon fortement couplée.

Les matériaux à base de bore et d'azote présentent un grand potentiel et donc un grand intérêt pour des applications énergétique et en particulier dans le domaine du stockage de l'hydrogène. L'ammoniaborane (NH3BH3) s'est révélé, au milieu des années 2000, comme un matériau avec une grande capacité gravimétrique (19,6%m) et volumétrique (140 g.L-1) en hydrogène. Au cours de l'analyse de la bibliographie nous nous sommes aperçus que tous les travaux sur l'ammoniaborane portés sur sa déstabilisation thermique, nous avons donc choisi une approche originale en nous concentrant sur la stabilisation thermique de l'ammoniaborane. Mon travail de thèse a consisté à revisiter la synthèse de l'ammoniaborane pour en dégager les meilleurs paramètres de synthèse (précurseurs de bore et d'azote, solvant et température) possible en vue d'obtenir une température de début de déshydrogénation la plus haute possible. En effet, en faisant varier certains précurseurs nous avons pu observer une modification de la température de début de déshydrogénation et donc de la stabilité thermique de l'ammoniaborane. Après avoir déterminé les meilleurs paramètres de synthèses nous avons entrepris une étude thermique et thermolytique afin de comprendre quel(s) facteur(s) étai(en)t à l'origine de cette différence de stabilisation. Pour cela nous avons effectué une étude d'analyse thermogravimétrique couplée à un spectromètre de masse afin de déterminer le mécanisme de déshydrogénation et une étude en conditions isotherme afin de vérifier la stabilité des ammoniaboranes que nous avons synthétisés. Dans un troisième temps nous avons effectué une étude spectroscopique de surface, grâce à l'XPS et du matériau dans son ensemble, grâce à la RMN-MAS à l'état solide des noyaux de bore 11 et d'azote 15. Ces études nous ont permis de déterminer un nouveau mécanisme de déshydrogénation de l'ammoniaborane pour des expériences en conditions isotherme. / Boron and nitrogen based-materials offer a great potential and interest in energy applications and in particular in the field of hydrogen storage. The ammonia borane (NH3BH3) was revealed, in the mid 2000s, as a material with high gravimetric (19.6%m) and volumetric (140 g.L-1) capacities in hydrogen. During the analysis of the literature we realized that all studies on ammonia borane treated on its thermal destabilization, so we chose an original approach by focusing our work on the thermal stabilization of ammonia borane. My thesis work focused on the synthesis of ammonia borane to identify the best synthesis parameters (boron and nitrogen precursors, solvent, and temperature) for the highest possible onset temperature. Indeed, by varying some precursors we observed a change in the onset temperature and therefore in the thermal stability of the ammonia borane. After determining the best synthesis parameters we undertook thermal and thermolytic studies to understand which factor(s) is(are) responsible for the stabilization's differences. For this, we performed thermogravimetric analysis coupled to mass spectrometer studies to determine the dehydrogenation mechanism and studies in isothermal conditions to verify the stability of our ammonia boranes. Thirdly we performed a spectroscopic study by XPS and solid state MAS-NMR of boron 11 and nitrogen 15. These studies allowed us to identify a new mechanism of dehydrogenation of ammonia borane for experiments in isothermal conditions.

Les matériaux diélectriques sont présents dans de nombreux dispositifs en microélectronique. Ces derniers peuvent être soumis à de fortes contraintes électriques impactant leur durée de vie. Le stress électrique peut en effet provoquer le claquage du diélectrique ou la modification des performances des composants par accumulation de charges. Dans ces travaux de thèse, différentes méthodes de caractérisation et d'analyse physique ont été utilisées pour étudier la structure des échantillons et identifier les mécanismes en jeu dans le processus d'accumulation de charges dans des couches minces de nitrure de silicium. Puis un code de simulation modélisant les phénomènes de transport de charges dans les isolants a été développé. Le modèle prend en compte des phénomènes de transport par effet tunnel et par effet thermique, dans le volume du diélectrique et aux interfaces isolant-métal. Il permet d'étudier l'évolution de grandeurs physiques (courants, charge, champ électrique) en fonction du temps et de la profondeur dans la couche mince diélectrique. Des résultats de mesures sur des composants capacitifs ont pu être reproduits grâce aux simulations. Cet outil permet d'estimer l'intérêt d'un matériau diélectrique relativement à la fiabilité de composants capacitifs. Il peut également être utilisé en amont afin de définir un matériau aux propriétés idéales pour l'application visée ou aider au dimensionnement de dispositifs en microélectronique. / Dielectric materials can be found in numerous devices in microelectronics. They can be subjected to significant electrical stress, which impacts their lifetime. Indeed, this electrical stress can lead to dielectric breakdown or modify the component performances by charge storage. In this work, several characterization methods and physical analysis have been used in order to study the samples and identify mechanisms involved in charge transport in silicon nitride thin films. Then a simulation code has been developed to model charge transport phenomena in insulators. This model takes into account tunnel and thermal effects in the dielectric and at the dielectric-metal interfaces. The temporal and spatial evolution of physical quantities (currents, charge, electric field) in the dielectric film are calculated. Measurement results on capacitive components can be obtained thanks to simulations. This simulation tool allows testing dielectric materials according to capacitive component reliability. It may be used to define optimal properties for materials depending on applications or to assist in device design in microelectronics.

Les zirconates titanates de plomb (PZT) suscitent un intérêt considérable pour plusieurs applications industrielles, au regard de leurs excellentes propriétés piézoélectriques et électromécaniques. Le contexte actuel de l’innovation technologique est la miniaturisation et l’allègement des produits ; c’est pour cette raison que de nombreuses études sont menées depuis une vingtaine d’années sur les techniques et les procédés de synthèse de ces matériaux piézoélectriques sous forme de couches minces tout en garantissant une fiabilité accrue. Dans ce contexte, l’étude menée dans le cadre de cette thèse, a visé l’optimisation du procédé d’élaboration de films minces piézoélectriques de PZT par pulvérisation cathodique magnétron en mode DC et en mode Rf, en vue d’obtenir des capteurs d’efforts piézoélectriques. La synthèse in situ et la cristallisation ex-situ des films élaborés, par recuit classique (CFA) ou recuit rapide (RTA) confirme une structure pérovskite du PZT, complétées par une série de caractérisations morphologiques et structurales. Les domaines ferroélectriques à l’origine des propriétés piézoélectriques sont correctement visualisés par PFM et le calcul du coefficient piézoélectrique d33 des couches synthétisées sur des substrats métalliques, est réalisé par interféromètre laser. En parallèle, une approche expérimentale est menée sur l’évolution des performances piézoélectriques des films de PZT d’une part en fonction du mode d’élaboration et d’autre part en fonction de la texturation des couches, assurée par des traitements thermiques de cristallisation. / Recently, PZTs thin films have been spotlighted for various applications owing to their excellent piezoelectric and electromechanical properties. Most of the existing coating methods have been explored for the deposition of PZT. In this work, amorphous Pb(ZrxTi1-x)O3 (PZT) thin films were prepared by pulsed DC and RF magnetron sputtering in order to device a piezoelectric force sensors. The structure of a perovskite phase of PZT thin films was successfully characterized and morphological characterizations were investigated. Ferroelectrics properties of PZT thin films were determined using Piezoresponse Force Atomic technique (PFM) while the functional response of the films was characterized by measurements of piezoelectric d33 coefficients. Additionally, the coating processes and the crystallization behavior at different temperatures, of amorphous PZT thin films during either conventional furnace annealing (CFA) or rapid thermal annealing (RTA) were studied to understand the evolution of piezoelectric properties of films.