o presente trabalho é um estudo exploratório a respeito da síntese de filmes de diamante via deposiçãoquímica a vapor (CVD) sobre alguns substratos cerâmicos: diboreto de titânio (TiB2), ítria (Y20a), zircão (ZrSi04), zircônia parcialmente e totalmente estabilizada com ítria (Zr02), pirofilita ( Al2Si4OlO(OHh), .alumina (Al2Oa) e nitreto de boro hexagonal (h-BN). Estes substratos foram produzidos, em sua maioria, a partir da sinterização de pós micrométricos em altas temperaturas. Além do estudo em relação a possíveis candidatos alternativos ao tradicional silício para o crescimento de filmes auto-sustentáveis, procuramos encontrar substratos onde o filme aderisse bem e cujas propriedades tribológicas pudessem ser melhoradas com o recobrimento com filme de diamante.Dentre os materiais selecionados, constatamos que a topografia da superfície relacionada à densidade de contornos de grão, desempenha um papel relevante na nucleação do diamante. Além disso, os materiais que favorecem a formação de carbonetos conduziram a melhores resultados na nucleação e crescimento do filme, indicando que a ação da atmosfera reativa do CVD com o substrato também contribui decisivamente para o processo de nucleação. A partir dos resultados obtidos, concluímos que a aderência do filme de diamante ao zircão é excelente, assim como a qualidade do filme, o que pode serexplorado convenientemente caso as propriedades mecânicas do sinterizado de zircão sejam adequadas. No caso da zircônia parcialmente estabilizada, os resultados obtidos foram surpreendentes e este material poderia substituir o convencional substrato de silício para a deposição de filmes auto-sustentados de diamante, com inúmeras vantagens, dentre elas o fato de ser reutilizável e de não ser necessário ataque com ácidos para remoção do substrato, o que evita a geração de resíduos químicos. / This work presents the results of an exploratory study about the diamond synthesis through Chemical Vapor Deposition (CVD) over some ceramic substrates: titanium diboredo (TiB2), yttria (1203), zircon (ZrSi04), zirconia partially and totally stabilizade (Zr02), pyrophyllite (Al2Si401O(OHh), alumina (Al203) and hexagonal boron nitride (h - BN). Most of these substrates were prepared from the sintering of micrometer-size grains under high temperature. Beside the search for possible candidates to replace the conventionally used silicon substrate to grow self-standing films, we also search for substrates with interesting tribological properties that could be improved if the substrates were coated with a well adherent diamond filmo From the set of ceramic materials studied, we found out that the surface topography, related to the grain boundary density, plays, an important role in diamond nucleation. Moreover, the materiaIs where the carbide formation is favored showed better results concerning diamond nucleation and growth, compared to the materiaIs where there is no carbide formation. The reaction of thesubstrate material with the CVD environment also plays an important role in nucleation processo In the particular case of zircon substrate, the adhesion of the diamond filmis excellent, as well as the quality of the film, that can be very interesting from 'the technological point of view. In the case of zirconia partially stabilizade, the results are very interesting and this material could be replace the traditional silicon substrate to grow self-standing diamond films, with advantages such as it can be used several times and there is no need to use chemical etching to remove the substrate, avoiding chemical waste disposal.

A nanotecnologia não é mais um sonho, já faz parte da nossa realidade, do nosso dia a dia. É considerada, por muitos, a quinta Revolução Industrial, uma revolução tecnológica de grande abrangência, que poderá causar impactos talvez sem precedentes na história. A soma anual dos investimentos nesta nova tecnologia é de bilhões de dólares. Devido às inovações oriundas da nanotecnologia, os processos da manufatura e a medição de ultra-precisão vêm se desenvolvendo a cada dia. A nanotecnologia fez da usinagem de ultraprecisão com ferramenta de diamante uma grande aplicação na produção de itens de alto volume, tais como: disco de memória de computadores, lentes de contato, moldes de dentes, cilindros para impressão, espelhos metálicos. A alta integridade da superfície é requerida em todos os itens obtidos por este processo. Em conseqüência, é necessário um método de medição que seja o mais exato possível, isto é, que chegue a resultados o mais próximo possível do valor verdadeiro. Mas o que significa exatidão para uma análise ideal da superfície, uma vez que não existe referência para isso? Superfícies têm sido avaliadas por meio da medição da rugosidade, a qual consiste na determinação de um valor médio, de vários setores, dentro de valores limites preestabelecidos. A metrologia, através de seus métodos e princípios, é um importante instrumento para validar modelos e teorias. O conceito que \"uma vez testado, passa a ser aceito em qualquer lugar\". Daí a crescente necessidade de resultados de medições confiáveis que possam ser validados em qualquer lugar e a qualquer tempo. Assim, um caminho a ser seguido é o de se entenderem profundamente todos os métodos e princípios envolvidos nas operações de medição de rugosidade. E para que um método seja metrologicamente válido (ou aceitável), faz-se necessário realizarem-se comparações de diversas medições, de um mesmo mensurando, utilizando métodos diversos. Havendo discrepância nos resultados, é uma evidência de que as premissas e hipóteses levaram a acreditar que a teoria ou modelo adotado deve ser reavaliado. Este trabalho selecionou os três métodos mais utilizados na caracterização da integridade de superfícies técnicas obtida em torneamento de ultraprecisão com diamante, e descreveu uma metodologia para a avaliação da capabilidade do processo de controle de superfícies técnicas usinadas em torno de ultraprecisão. / Nanotechnology is no longer a dream. It is part of the real world. It is considered by many people as the fifth Industrial Revolution, a technological revolution of great impact in history. The world annual investment in this technology reaches billions of dollars. Due to innovations related to nanotechnology, ultraprecision manufacturing processes and metrology is developing steeply. Nanotechnology made single point diamond turning an important mass production process of, for instance, computer hard discs, contact lenses, moulds, printer cylinders, metallic mirrors, etc. High grade surface integrity is required of items produced by this process. As a consequence, it is necessary to use a measurement method which is most accurate as possible, i.e., resulting in a value as close as possible to the true. But what does true mean if there is no reference for that? Surfaces have been assessed by roughness measurements which determines a mean value of several sectors within pre-determined limits. Metrology, with its methods and principles, is an important instrument to validate models and theories. The concept, once tested, becomes accepted everywhere. Therefore the increasing necessity of reliable measurement results which may be validated anywhere and any time. Thus, it is essential a deep understanding of all methods and principles involved in roughness metrology operations. For a method to be metrologically accepted, it is necessary that it is compared with different methods. In the event of existing discrepancies, the premisses and hypotheses which fundamented the theory or model should be reassessed. Three of the most used methods have been selected to characterize the surface integrity of technical surfaces generated by diamond turning. A methodology to assess the capability of the process of control of those surfaces is proposed.

Orientador: Vitor Baranauskas / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação / Made available in DSpace on 2018-08-12T10:05:32Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Zanin_HudsonGiovani_M.pdf: 3301666 bytes, checksum: 22536873a4dfcbe671296b78145e6dda (MD5) Previous issue date: 2008 / Resumo: Foi projetado e construído um reator para sintetização de filmes diamantíferos tubulares, por processo de deposição química a partir da fase vapor assistido por filamentos quentes (também conhecido como processo HFCVD - "Hot Filament assisted Chemical Vapor Deposition"). Obtiveram-se filmes de alta homogeneidade com a manutenção do substrato em rotação durante o crescimento. O torque para a rotação ocorre por acoplamento magnético de ímãs posicionados no suporte do substrato e ímãs montados em sistema externo ao reator, mantidos em rotação por um pequeno motor elétrico. Os materiais usados como substratos poderão ter secção de corte transversal circular, quadrada, triangular ou outra qualquer. No caso dos substratos serem ocos (caso mais comum) a temperatura é medida no interior do substrato durante o crescimento, sendo útil para determinar o tipo de material diamantífero que se pretende sintetizar: diamante, DLC (Diamond Like Carbon), carbono amorfo, diamante micro e nanocristalino, etc. São apresentados resultados de crescimento de filmes sobre tubos cilíndricos de quartzo e análise dos mesmos por microscopia eletrônica de varredura e espectroscopia Raman. / Abstract: A hot-filament chemical vapor deposition system was designed and built to grow diamond thin films. This system fed with ethanol highly diluted in hydrogen was employed to deposited diamond layers onto quartz tubes with diameters of 6 mm and length of 10 cm. High uniformity microcrystalline diamond films were obtained thanks the maintenance of the substrate in rotation during growth process. The rotation of the substrate was carried out by magnetic coupling of magnets positioned into support of the substrate and magnets mounted in the system held in rotation by a small electric motor outside of the reactor. The temperature of the substrates was measured inside of them during the growth process. The control of the temperature is useful to determine the type of material that is intended to synthesize: micro and nanodiamond, Diamond Like Carbon (DLC), amorphous carbon and so on. This work presents the results of these growths and their characterization by scanning electron microscopy and Raman spectroscopy. / Mestrado / Eletrônica, Microeletrônica e Optoeletrônica / Mestre em Engenharia Elétrica

Orientador: Vitor Baranauskas / Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação / Made available in DSpace on 2018-07-25T01:27:47Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Chang_DahgeChiadin_D.pdf: 9826585 bytes, checksum: 5734a3b6b43a08b7eb8b54729d1abb13 (MD5) Previous issue date: 1999 / Resumo: Foi realizado um estudo de caracterização do silício poroso luminescente feito por corrosão eletroquímica visando sua cobertura com diamante. Foram utilizados eletrólitos com misturas de HF/H2O e de HF/C2H5OH/H2O em diferentes proporções, diferentes tempos de corrosão e com densidades de corrente entre 10 mA.cm-2 a 30 mA.cm-2. A morfologia do silício poroso foi analisada por microscopia de força atômica dentro do próprio meio líquido para estudo quantitativo da variação da porosidade com os parâmetros da anodização. Os filmes de silício poroso foram recobertos com diamante depositado em diferentes temperaturas e tempos. Observamos que a estrutura de silício poroso/diamante apresenta luminescência na temperatura ambiente mas não pudemos identificar se a forma gausssiana da luminescência é devida ao silício poroso ou ao diamante / Abstract: A study of the properties of anodically etched porous silicon was made prior to and following its coating with diamond. Mixtures of HF/H2O and of HF/C2H5OH/H2O were used as electrolytes in different proportions, for different corrosion times and with current densities in the range of 10 mA.cm-2 to 30 mA.cm-2. The porous silicon morphology was analyzed in-situ (liquid-phase) by atomic force microscopy to study of the variation of the porosity with the anodization parameters. The porous silicon films were covered with diamond deposited at different temperatures and times. It was observed that the porous silicon/diamond structure presents room temperature photoluminescence but it was not possible to determine whether the gausssian shape of the luminescence spectra was due to the porous silicon or to the diamond coating / Doutorado / Doutor em Engenharia Elétrica

Orientador: Rezende Gomes dos Santos / Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Mecanica / Made available in DSpace on 2018-07-25T19:40:37Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Amstalden_JoaoFidelis_D.pdf: 10045945 bytes, checksum: 850c3aa4262719006b49b11b99416781 (MD5) Previous issue date: 2000 / Resumo: O objetivo principal do trabalho foi o desenvolvimento de um modelo de simulação de reações químicas na fase gasosa e de interface gás/superfície, para tanto foram estudados alguns modelos matemáticos utilizados na simulação de fluxos de fluidos e de reações químicas. Essas reações são comuns em uma série de processos de tratamentos tecnoquímicos como por exemplo cementação, nitretação e CVD (deposição química a partir da fase vapor). O modelo desenvolvido enfatiza as chamadas soluções baseadas nos métodos de Monte Carlo, mais precisamente nos modelos que utilizam a cinemática molecular (distribuição de Maxwell), conhecidos como DSMC (Direct Simulation Monte Carlo). Um grande número de publicações sugere esse método como uma potente ferramenta para o estudo da cinemática gasosa em sistemas que apresentam um estado de não equilíbrio técnico e químico, assim como sua aplicação na interação entre atmosfera gasosa e superfícies sólidas. Tal método é particularmente útil nos casos de simulação de sistemas transientes nos quais diversas espécies moleculares estão presentes na composição da atmosfera e na superfície. O modelo desenvolvido foi aplicado na simulação de processo de deposição de filmes de diamantes através da técnica CVD / Abstract: The research concems to the deveJopment of a seJf consistent simuJation model based on Monte Cado methocl able to simulate gas-solid interaction with special application to thin film growth processes. This kind of gas-solid interaction problems are common in a wide range of manufacturing processes such as carburizing and CVD. The chemical reactions in the gas phase, and the chemical reactions at the solid surface are simulated by the DSMC (Direct Simulation Monte Carlo) method. The simulations are performed by assuming different concentration of molecular species in the gas atmosphere and surface. The surface is assumed to be in non equilibrium temperature with the gas temperature. The results provide profiles of the gas composition in the working temperature and the profile of the film grown on the surface, under non-equilibrium conditions, along the simulation time. Comparisons have been made with models characterized by another approach, in order to test the mathematical model / Doutorado / Materiais e Processos de Fabricação / Doutor em Engenharia Mecânica

Geóloga / La Ignimbrita Pudahuel corresponde a un depósito asociado al Complejo Volcánico Maipo perteneciente la Zona Volcánica Sur de la Cordillera de los Andes, en la zona central de Chile. Su génesis es asociada a la formación de la Caldera Diamante y se infiere que se trató de una gran erupción, cuyo volumen se estima en aproximadamente 450 km3. La edad de esta ignimbrita es un tema controversial debido a las diferencias encontradas en los trabajos geocronológicos realizados en ella que, mediante diferentes métodos de datación, entregan edades de 0,45 Ma, 2,3 Ma y 0,15 Ma aproximadamente. Se observan afloramientos tanto en Chile como en Argentina, sin embargo, el presente trabajo considera solo localidades en la zona chilena. Se realizaron mediciones químicas en fenocristales de plagioclasa encontrados en el depósito, a partir de las cuales se infiere que el magma en que se originaron estos cristales posee un carácter diferenciado y aparentemente no sufrió grandes variaciones composicionales en la cámara magmática. El grueso de este trabajo consistió en el estudio morfológico y geocronológico de aproximadamente 900 circones separados de la Ignimbrita Pudahuel. El estudio morfológico y textural de estos cristales se realizó mediante imágenes de cátodo- luminiscencia obtenidas con el equipo SEM, mientras que la determinación de isótopos de U/Pb para geocronología se realizó con el equipo LA-ICPMS-MC del Departamento de Geología de la Universidad de Chile. Los datos obtenidos indican una fuerte presencia de tres poblaciones de edades para estos cristales. La localización de las muestras que presentan estas poblaciones indica que aparentemente no existe un nexo entre ellas ya que su presencia no está restringida a alguna de las facies definidas para la Iginimbrita, a algún cauce particular por donde se pudo haber desplazado o a una cierta distancia de la fuente. Por lo anterior se piensa que la ausencia de estas poblaciones en algunas localidades puede deberse a errores estadísticos. Las dos poblaciones más antiguas que pueden ser identificadas (una de: 10,17 +0,08 -0,22; y otra de: 5,22 +0,06 -0,03) son asociadas a eventos diferentes del que originó a la Ignimbrita Pudahuel, probablemente de carácter local en la zona donde posteriormente se formó la Caldera Diamante. La otra población identificada posee edades menores a 1 Ma. La edad más probable para esta población es de 0,13 +0,03 -0,02 Ma, sin embargo, los datos que representan esta edad pertenecen principalmente a una sola muestra. Si no se considera esta muestra la edad más probable es de 0,39 +0,03 -0,06 Ma. Ambas edades son coherentes con trabajos de dataciones realizados anteriormente en la Ignimbrita, pero de todas formas corresponderían a una edad más joven que la considerada actualmente. Según lo anterior se propone que la edad de 0,13 Ma corresponde a la del evento eruptivo que originó a la Ignimbrita Pudahuel, mientras que la de 0,39 Ma correspondería a cristales que se encontraban en la cámara magmática previos a la erupción y que por lo tanto el tiempo de residencia del magma silíceo al que pertenecían sería de aproximadamente 300 ka. Si bien el método analítico utilizado no es el más adecuado para este tipo de muestras, las edades obtenidas se pueden corregir. Debido a la controversia existente en torno a la edad de la Ignimbrita Pudahuel es de vital importancia realizar dichas correcciones para validar estos datos e integrarlos al debate.

En los últimos años, el interés de China en el sector del fútbol se ha evidenciado a través de los importantes desembolsos realizados tanto para fichar a futbolistas extranjeros de élite que eleven el nivel de su competición doméstica, como para adquirir participaciones en clubes de fútbol europeos. Actualmente, su estrategia para el desarrollo a largo plazo del fútbol se articula en torno a un plan nacional impulsado por el gobierno chino y en el que se ha hecho partícipes a diferentes agentes económicos y sociales chinos. Para implementarlo, una de las iniciativas estratégicas se centra en la captación de entrenadores extranjeros que transfieran capacidades para el desarrollo del fútbol tanto a nivel formativo como profesional. El objetivo de esta tesis doctoral es justificar los motivos por los que la competitividad del fútbol en China no alcanza todavía los niveles de otros países que son un referente a nivel mundial. Para ello, se examinan los determinantes estructurales de dicha competitividad utilizando el modelo del Diamante de Porter, así como la influencia que ejercen los factores culturales usando el Modelo de Hofstede que permite diferenciar la influencia de la cultura entre naciones. Se ha realizado una investigación del tipo híbrida o mixta compuesta por una primera fase cualitativa y una segunda cuantitativa partiendo de la información extraída de la primera. Los resultados sugieren la existencia de varios factores que pueden explicar la falta de competitividad china en el fútbol: el gran respeto a la familia que propicia que los jóvenes estén más orientados al éxito académico, el menor número de futbolistas de nivel elevado, el aprendizaje vía repetición y automatismos, la propia naturaleza del deporte donde tener un buen know-how no garantiza el éxito deportivo, y la dificultad para organizar competiciones nacionales debido a la gran extensión geográfica. Por último, se ha realizado un análisis DAFO que sintetiza las principales características del fútbol chino.

El presente trabajo tuvo como objetivo analizar los recursos nectaríferos y poliníferos utilizados por Apis mellifera en diferentes ecosistemas del Departamento Diamante. Para ello, sobre la base de la distribución florística regional, se seleccionaron 3 apiarios ubicados en zonas de influencia de las comunidades vegetales más representativas, asociadas a diferentes tipos y usos del suelo. A estos apiarios se les realizó un seguimiento anual, registrando sus actividades de recolección de recursos alimenticios; identificando el polen recolectado durante un período apícola y el contenido polínico de la miel producida durante el período apícola, a través de 4 temporadas apícolas (1999-2003). Paralelamente se realizó un estudio de las comunidades vegetales en el área de influencia de cada uno de los apiarios en cuanto a la oferta de recursos melíferos, en diversidad, cobertura-abundancia y período de disponibilidad. Se recolectó material vegetal a fin de conformar una palinoteca de referencia que facilitara la identificación de los tipos polínicos encontrados en los productos elaborados por la abeja. Se analizaron además, muestras provenientes de otros apiarios del departamento, obtenidas en el mismo período, a fin de lograr una caracterización botánica y geográfica más representativa de las mieles producidas en esta región. Se describieron y documentaron 22 tipos polínicos mediante microfotografías tomadas al microscopio óptico y electrónico de barrido. El relevamiento de la vegetación permitió determinar un total de 358 especies, pertenecientes a 83 familias botánicas. Las mejores representadas en diversidad de especies fueron Asteraceae, Poaceae y Leguminosae. Predominaron las especies nativas y herbáceas. El seguimiento de la fenología de 300 especies, permitió establecer la duración de la temporada apícola en la región, la cual se extiende desde agosto a mayo dependiendo de las condiciones meteorológicas. Fueron identificados 105 tipos polínicos en las cargas corbiculares, correspondientes a 41 familias botánicas. Las mejores representadas fueron Asteraceae, Leguminosae y Apiaceae. Los tipos polínicos dominantes en las cosechas corresponden a Salix humboldtiana, Baccharis spp., Rapistrum rugosum, Lotus corniculatus, Glycine max, Prosopis sp., Melilotus albus, Typha latifolia y Ammi visnaga. El promedio de cosecha de polen para la zona fue de 23,6 g/colmena/día. En las mieles, se identificaron 152 tipos morfológicos pertenecientes a 62 familias botánicas. Las mejores representadas en número de especies fueron Asteraceae y Leguminosae. Predominaron las mieles monoflorales (59%). El principal tipo de miel producida fue de Glycine max (21%). Otras mieles obtenidas fueron Lotus corniculatus (15%), “tréboles” (11%), Ammi spp. (5%), Melilotus albus, Salix humboldtiana (3%) y Medicago sativa (1%). Los tipos polínicos más importantes fueron Ammi spp., Lotus corniculatus, Melilotus albus, Glycine max, Brassicaceae, Baccharis spp., Eryngium sp. y Salix humboldtiana. El análisis cuantitativo permitió clasificar al 85% de las mieles en la Clase I y II. Las mieles del Departamento Diamante se caracterizaron por la asociación de polen de Ammi spp., Lotus corniculatus, Melilotus albus, Glycine max, Asteraceae Asteroideae (principalmente especies nativas como Baccharis spp., Solidago chilensis, Eupatorium spp., Bidens spp. y/o Grindelia pulchella) y Salix humboldtiana. / The objective of this research was to analyze the nectariferous and polliniferous resources used by Apis mellifera in different ecosystems of Diamante Department. For this purpose, on the basis of regional floristic distribution, 3 apiaries were selected, located in areas of influence of the most representative plant communities, associated with different types and land uses. These apiaries underwent annual monitoring, recording their activities of collecting food resources, identifying the pollen collected during a beekeeping period and pollen content of honey produced during the beekeeping period, by 4 beekeeping season (1999-2003). In parallel, a study of plant communities in the area of influence of each apiary were realized, for to analyse the supply of resources in diversity, cover-abundance and availability period. Plant material was collected to form a reference palynoteca that facilitate the identification of pollen types found in products manufactured by the bee. Were also analyzed, samples from other apiaries in the Department, obtained in the same period in order to achieve a more representative geographical and botanical characterization of the honey produced in this region. Twenty two pollen types were described and documented by photomicrographs taken of optical microscopy and scanning electron microscopy. The survey of the vegetation allowed to determine a total of 358 species belonging to 83 botanical families. The best represented in variety of species were Asteraceae, Poaceae and Leguminosae. Native and herbaceous species were predominant. The monitoring of the phenology of 300 species, allowed to establish the duration of the beekeeping season in the region, which extends from August to May depending on weather conditions. One hundred and five pollen types were identified in corbicular pollen loads, corresponding to 41 botanical families. The best represented were Asteraceae, Leguminosae and Apiaceae. The dominant pollen types were Salix humboldtiana, Baccharis spp., Rapistrum rugosum, Lotus corniculatus, Glycine max, Prosopis sp., Melilotus albus, Typha latifolia and Ammi visnaga. The average harvest of pollen to the area was 23.6 g/hive/day. In honey, 152 morphological types were identified belonging to 62 botanical families. The best represented in number of species were Asteraceae and Leguminosae. Unifloral honeys were predominant (59%). The main type of honey produced was of Glycine max (21%). Other honeys obtained were Lotus corniculatus (15%), "clover" (11%), Ammi spp. (5%), Melilotus albus, Salix humboldtiana (3%) and Medicago sativa (1%). The most important pollen types were Ammi spp., Lotus corniculatus, Melilotus albus, Glycine max, Brassicaceae, Baccharis spp., Eryngium sp. and Salix humboldtiana. The quantitative analysis allowed to classify the 85% of the honeys in the Class I and II. The honey of Diamante Department were characterized by the association of pollen of Ammi spp., Lotus corniculatus, Melilotus albus, Glycine max, Asteraceae Asteroideae (mainly native species such as Baccharis spp., Solidago chilensis, Eupatorium spp., Bidens spp. and / or Grindelia pulchella) and Salix humboldtiana.

Um método original para a fabricação de microbocais de diamante com perfil convergente-divergente foi desenvolvido neste trabalho. O método de fabricação desenvolvido utiliza deposição de diamante policristalino sobre moldes que posteriormente são removidos. Os moldes utilizados são fios de tungstênio submetidos a um processo de corrosão eletrolítica para gerar o perfil convergente-divergente de bocal. O microbocal de diamante foi fabricado para ser utilizado como controlador e medidor passivo de vazão de fluidos, quando operando em condições críticas de escoamento. Testes de vazão de gás foram realizados, utilizando os microdispositivos fabricados, para determinar os parâmetros de escoamento necessários para a utilização dos microdispositivos como controladores e medidores de vazão de gás. Os parâmetros críticos de escoamento, a saber, a vazão mássica crítica, a razão crítica de pressão e a vazão volumétrica crítica, bem cmo a faixa do número de Reynolds do escoamento e o coeficiente de descarga, foram determinados para todos os microdispositivos. A faixa de variação do número de Reynolds dos escoamentos obtidos foi de 1x10 POT.3-7x10 POT.4. Por exemplo, o microbocal de diamante com o menor diâmetro de garganta (16+/-1)x10mum apresentou vazão mássica crítica de (0,344+006)g/min, vazão volumétrica crítica de (314+/-5)cm POT.3/min e coeficiente de descarga de (1,27+/-0,19). Assim, foram fabricados com sucesso microbobais de diamante com perfil convergente-divergente e foram determinados os parâmetros críticos de escoamento que possibilitam a estes microbocais atuarem como controladores e medidores passsivos de baixo vazão de gás. / In this work an original method for the fabrication of diamond micronozzles with converget-divergent profile is presented. The method uses the deposition of polycrystalline diamond over a mold, which is subsequently removed. The referred molds are tungsten wires patterned by means of an electrolytic etching procedure in a way that the divergent-convergent profile is generated. The main motivation for producing such micronozzles is its application as passive flow controllers and flow meters elements when operating under critical flow conditions. The micronozzles produced here were tested in order to determine the critical flow parameters that are necessary for its operation, as passive flow controllers and flow meters elements. The critical flow parameters (critical mass flow rate, critical pressure ratio and critical volumetric flow rate), the Reynolds number range and the discharge coefficient were determined for all the microdevices produced. The Reynolds number for the microdevices was found to be in the range of 1x10 POT.3-7x10 POT.4. For instance, the diamond micronozzle with smaller throat diameter, (16+/-1)x10mum, presented critical mass flow rate of (0,344+0,006)g/min, critical volumetric flow rate of (314+/-5)cm POT.3/min and discharge coefficient of (1,27+/-0,19). Therefore, diamond micronozzles were successfully fabricated with convergent-divergent profile and the critical flow parameters necessary for its operation, as passive flow controllers and flow meters elements, were determined.

Neste trabalho investigamos a dinâmica de crescimento de filmes de diamante sintetizados por meio de deposição química a vapor ativada por plasma de microondas (CVD). A caracterização foi feita utilizando, fundamentalmente, microscopia de força atômica (AFM). Analisamos o comportamento da rugosidade dos filmes como função da escala de observação e do tempo de deposição. Dessa maneira verificamos a existência de leis de potência para o crescimento e determinamos os expoentes críticos associados a essas leis. Os resultados obtidos estão em bom acordo com o processo de crescimento descrito pela equação estocástica KPZ. Os mecanismos principais são a deposição aleatória de partículas na superfície, o crescimento lateral e a dessorção. / Diamond films have been grown by Microwave Plasma assisted Chemical Vapor Deposition (CVD). The characterization has been made mainly by Atomic Force Microscopy (AFM). We could analyze the roughness behavior with the scale of observation and with the deposition time. We could determine the critical exponents associated with these laws. The results suggest that the growth process is in good agreement with the stochastic growth equation known as KPZ. The most important mechanisms are the random deposition, the lateral growth and the desorption.