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31	Löslichkeitsisothermen und Strukturänderungen von wasserstoffbeladenen epitaktischen Niobschichten Edelmann, Thomas. Unknown Date (has links) Universiẗat, Diss., 1999--München.
32	CMOS-Prozessintegration von epitaktischen Selten-Erden-Oxiden als high-K-Dielektrika auf SOI-Substraten Gottlob, Heinrich Dieter Bernd January 2007 (has links) Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007
33	CMOS-Prozessintegration von epitaktischen Selten-Erden-Oxiden als High-K-Dielektrika auf SOI-Substraten / Gottlob, Heinrich Dieter Bernd, January 2008 (has links) Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007.
34	Verbesserung der lateralen Stromführung in hocheffizienten Halbleiterlichtquellen Hertkorn, Joachim January 2009 (has links) Zugl.: Ulm, Univ., Diss., 2009
35	Von der organischen Heteroepitaxie zu organisch-organischen Heterostrukturen Schmitz-Hübsch, Thomas. Unknown Date (has links) (PDF) Techn. Universiẗat, Diss., 2003--Dresden.
36	Investigation on physical properties of epitaxial ferromagnetic film Mn5Ge3 for spintronic applications Xie, Yufang 18 October 2021 (has links) The focus of the work is on the epitaxial growth of Mn5Ge3 layers on Ge (001) via ultra-fast solid-state reaction between Mn and Ge using millisecond range FLA at the ambient pressure in continuous N2 flow. Epitaxial Mn5Ge3 layers were obtained both on Ge (001) and Ge (111) substrates by optimizing the fabrication parameters, Mn thickness (30 nm), FLA energy density (100-110 Jcm-2) and FLA duration time. The epitaxial relationship between the alloy film and substrate is the (100) plane of Mn5Ge3 along [001] direction parallel with the [100] direction of Ge (001) plane. It is notable that the hexagonal c axis of Mn5Ge3 on Ge (001) is parallel to the film surface plane, while the reported Mn5Ge3’s c axis on Ge (111) tends to be perpendicular to the film plane. In fact, using ultrafast-SPE the c-axis of Mn5Ge3 is always parallel to the sample surface. Mn5Ge3 films exhibit ferromagnetism which is demonstrated by the anomalous Hall effect up to the TC = 283±5 K. The films exhibit their in-plane magnetic easy axis along the hexagonal c-axis independent of the Mn5Ge3 film thickness. This provides a new avenue for the fabrication of Ge-based spin-injectors fully compatible with industrial CMOS technology. The deeper understanding of the magnetic, structural and electrical properties of (100) epitaxial Mn5Ge3 grown on Ge (001) are presented by utilizing DFT calculation (by our collaborator M. Birowska) and various experimental methods. The Mn atoms in Mn5Ge3 occupy two distinct Wyckoff positions with fourfold (Mn1) and sixfold (Mn2) multiplicity. During cooling down to 100 K the Mn5Ge3 unit-cell shows remarkable structural deformation. The nearest distance d3 between Mn2-Mn2 atoms in the hexagonal a-b plane is shortened much faster than the nearest distance d1 between Mn1-Mn1 atoms along hexagonal c axis. The DFT calculations show that below critical distance d3 < 3.002 Å, the Mn2 atoms are AFM coupled while for d3 > 3.002 Å the coupling is FM. The FM coupling between Mn1 atoms weakly depends on the atomic distance d1. Moreover, there is a transition from collinear to noncollinear spin configuration at about 70±5 K. Simultaneously, at low temperature, the angular dependent magnetoresistance shows a switching from multi-fold component to twofold symmetry. The combination of different experimental techniques with theoretical calculations enabled us to conclude that the switching between non-collinear and collinear spin configurations and the variation of anisotropic magnetoresistance in Mn5Ge3 is due to the strain induced change of the magnetic coupling between Mn2-Mn2 atoms. Finally, the effects of strain on the structural and magnetic properties of epitaxial Mn5Ge3 on Ge (111) substrate by applying ms-range FLA are investigated. The X-ray diffraction results demonstrate that during FLA process the formation of nonmagnetic secondary phases of MnxGey is fully suppressed and the in-plane tensile strain is enhanced. The temperature dependent magnetization indicates that after FLA the Curie temperature of Mn5Ge3 increases from 283±5 K to above 400 K. Further Monte Carlo simulations manifest that the change of the strain in Mn5Ge3 during ms-range FLA modifies the distance between adjacent Mn atoms in the hexagonal basal plane, which provokes the different ferromagnetic interaction between them. Consequently, the significant increase of Curie temperature is observed. This provides a good way to improve the Curie temperature of Mn5Ge3 which is promising to realize room-temperature operated Ge based spin-injectors. info:eu-repo/classification/ddc/530 ddc:530
37	Atomistische Modellierung und Simulation des Filmwachstums bei Gasphasenabscheidungen Lorenz, Erik E. 30 January 2015 (has links) (PDF) Gasphasenabscheidungen werden zur Produktion dünner Schichten in der Mikro- und Nanoelektronik benutzt, um eine präzise Kontrolle der Schichtdicke im Sub-Nanometer-Bereich zu erreichen. Elektronische Eigenschaften der Schichten werden dabei von strukturellen Eigenschaften determiniert, deren Bestimmung mit hohem experimentellem Aufwand verbunden ist. Die vorliegende Arbeit erweitert ein hochparalleles Modell zur atomistischen Simulation des Wachstums und der Struktur von Dünnschichten, welches Molekulardynamik (MD) und Kinetic Monte Carlo-Methoden (KMC) kombiniert, um die Beschreibung beliebiger Gasphasenabscheidungen. KMC-Methoden erlauben dabei die effiziente Betrachtung der Größenordnung ganzer Nano-Bauelemente, während MD für atomistische Genauigkeit sorgt. Erste Ergebnisse zeigen, dass das Parsivald genannte Modell Abscheidungen in Simulationsräumen mit einer Breite von 0.1 µm x 0.1 µm effizient berechnet, aber auch bis zu 1 µm x 1 µm große Räume mit 1 Milliarden Atomen beschreiben kann. Somit lassen sich innerhalb weniger Tage Schichtabscheidungen mit einer Dicke von 100 Å simulieren. Die kristallinen und amorphen Schichten zeigen glatte Oberflächen, wobei auch mehrlagige Systeme auf die jeweilige Lagenrauheit untersucht werden. Die Struktur der Schicht wird hauptsächlich durch die verwendeten molekulardynamischen Kraftfelder bestimmt, wie Untersuchungen der physikalischen Gasphasenabscheidung von Gold, Kupfer, Silizium und einem Kupfer-Nickel-Multilagensystem zeigen. Stark strukturierte Substrate führen hingegen zu Artefakten in Form von Nanoporen und Hohlräumen aufgrund der verwendeten KMC-Methode. Zur Simulation von chemischen Gasphasenabscheidungen werden die Precursor-Reaktionen von Silan mit Sauerstoff sowie die Hydroxylierung von alpha-Al2O3 mit Wasser mit reaktiven Kraftfeldern (ReaxFF) berechnet, allerdings ist weitere Arbeit notwendig, um komplette Abscheidungen auf diese Weise zu simulieren. Mit Parsivald wird somit die Erweiterung einer Software präsentiert, die Gasphasenabscheidungen auf großen Substraten effizient simulieren kann, dabei aber auf passende molekulardynamische Kraftfelder angewiesen ist. Dünne Schichten chemische Gasphasenabscheidung CVD physikalische Gasphasenabscheidung PVD Atomlagenabscheidung ALD Multiskalenmodellierung Kinetic Monte Carlo KMC Molekulardynamik MD ReaxFF Thin Films Deposition Chemical Vapor Deposition CVD Physical Vapor Deposition PVD Atomic Layer Deposition ALD Multiscale Modelling Kinetic Monte Carlo KMC Molecular Dynamics MD Reactive Force Fields ReaxFF ddc:530 Mehrskalenmodell Monte-Carlo-Simulation Molekulardynamik PVD-Verfahren CVD-Verfahren Atomlagenabscheidung Kristallwachstum Schichtwachstum Dünne Schicht Epitaxieschicht
38	Besetzte und unbesetzte elektronische Struktur von geordneten Dünnschichtverbindungen der Seltenen Erden Eu und Yb mit den Übergangsmetallen Pd und Ni Wieling, Sönke 26 August 2003 (has links) (PDF) The present thesis deals with the occupied and unoccupied electronic states of intermetallic compounds of the rare-earth metals (RE) Eu and Yb with the transition metals Pd and Ni. The compounds were prepared in-situ as epitaxial thin films on single-crystalline substrates. For comparison, the experiments were extended to a Ba/Pd compound, which was prepared in the same way. All samples were characterised by low-energy electron diffraction (LEED), photoelectron spectroscopy (PES) and inverse photoemission (IPE). For the IPE experiments an appropriate spectrometer was built. It consists of a combination of a toroidal-grating and a crystal monochromator and enables experiments with photon energies in the range of 10-25 eV and at 1486.6 eV. LEED experiments reveal the formation of a AuCu3 structure with a (111) surface orientation for RE/Pd systems, while the formation of a CaCu5-structure with (0001) surface orientation for the Ba/Pd and Eu/Ni compounds was found. The Eu compounds show a surface-valence transition from the trivalent to the divalent configuration. An ordered overstructure is formed at the surface despite an increase of the ionic volume of Eu by about 40 %. The measured electronic structure is in good accordance with results of local-density-approximation band-structure calculations. / In der vorliegenden Dissertation werden die besetzten und unbesetzten elektronischen Zustände intermetallischer Verbindungen der Seltenen Erden (SE) Eu und Yb mit den Übergangsmetallen Pd und Ni betrachtet. Die Verbindungen wurden als epitaktische Dünnschichten in-situ auf einkristallinen Substraten präpariert und mittels niederenergetischer Elektronenbeugung (LEED), Photoelektronenspektroskopie (PES) und inverser Photoemission (IPE) charakterisiert. Zu Vergleichszwecken wurde die Untersuchung zusätzlich auf eine auf gleiche Weise präparierte Ba/Pd-Verbindung ausgedehnt. Für die Durchführung der IPE-Experimente wurde ein entsprechendes Spektrometer aufgebaut. Die Kombination aus einem Toroidgitter- und einem Kristallmonochromator ermöglicht wahlweise Experimente im Photonenenergiebereich von 10-25 eV und bei 1486,6 eV. Die Analysen der LEED-Daten ergaben für die SE/Pd-Systeme die Bildung der AuCu3-Struktur mit einer (111)-Oberflächenorientierung, für die Ba/Pd- und die Eu/Ni-Verbindungen die der CaCu5-Struktur mit (0001)&quot;=Oberflächenorientierung. Die Eu-Verbindungen zeigen dabei Oberflächenvalenzübergänge von der drei- zu der zweiwertigen Konfiguration mit Ausbildung geordneter Überstrukturen an der Oberfläche trotz einer 40 prozentigen Zunahme des Eu-Ionenvolumens. Die beobachtete elektronische Struktur stimmt gut mit den Ergebnissen von Bandstrukturrechnungen in der lokalen Dichtenäherung überein. Eu Yb Ba Seltenerd-Übergangsmetallverbinungen Valenzübergang elektronische Struktur epitaktische Filme winkelaufgelöste Photoemission winkelauflösende inverse Photoemission Eu Yb Ba angle-resoved inverse photoemission angle-resoved photoemission electonic structure epitaxial films rare earth-transition metal compounds valence transition ddc:29 rvk:UP 7500 Dünne Schicht Elektronenstruktur Epitaxieschicht Inverser Photoeffekt Photoemission Seltenerdmetall Seltenerdverbindungen
39	Besetzte und unbesetzte elektronische Struktur von geordneten Dünnschichtverbindungen der Seltenen Erden Eu und Yb mit den Übergangsmetallen Pd und Ni Wieling, Sönke 12 September 2003 (has links) The present thesis deals with the occupied and unoccupied electronic states of intermetallic compounds of the rare-earth metals (RE) Eu and Yb with the transition metals Pd and Ni. The compounds were prepared in-situ as epitaxial thin films on single-crystalline substrates. For comparison, the experiments were extended to a Ba/Pd compound, which was prepared in the same way. All samples were characterised by low-energy electron diffraction (LEED), photoelectron spectroscopy (PES) and inverse photoemission (IPE). For the IPE experiments an appropriate spectrometer was built. It consists of a combination of a toroidal-grating and a crystal monochromator and enables experiments with photon energies in the range of 10-25 eV and at 1486.6 eV. LEED experiments reveal the formation of a AuCu3 structure with a (111) surface orientation for RE/Pd systems, while the formation of a CaCu5-structure with (0001) surface orientation for the Ba/Pd and Eu/Ni compounds was found. The Eu compounds show a surface-valence transition from the trivalent to the divalent configuration. An ordered overstructure is formed at the surface despite an increase of the ionic volume of Eu by about 40 %. The measured electronic structure is in good accordance with results of local-density-approximation band-structure calculations. / In der vorliegenden Dissertation werden die besetzten und unbesetzten elektronischen Zustände intermetallischer Verbindungen der Seltenen Erden (SE) Eu und Yb mit den Übergangsmetallen Pd und Ni betrachtet. Die Verbindungen wurden als epitaktische Dünnschichten in-situ auf einkristallinen Substraten präpariert und mittels niederenergetischer Elektronenbeugung (LEED), Photoelektronenspektroskopie (PES) und inverser Photoemission (IPE) charakterisiert. Zu Vergleichszwecken wurde die Untersuchung zusätzlich auf eine auf gleiche Weise präparierte Ba/Pd-Verbindung ausgedehnt. Für die Durchführung der IPE-Experimente wurde ein entsprechendes Spektrometer aufgebaut. Die Kombination aus einem Toroidgitter- und einem Kristallmonochromator ermöglicht wahlweise Experimente im Photonenenergiebereich von 10-25 eV und bei 1486,6 eV. Die Analysen der LEED-Daten ergaben für die SE/Pd-Systeme die Bildung der AuCu3-Struktur mit einer (111)-Oberflächenorientierung, für die Ba/Pd- und die Eu/Ni-Verbindungen die der CaCu5-Struktur mit (0001)&quot;=Oberflächenorientierung. Die Eu-Verbindungen zeigen dabei Oberflächenvalenzübergänge von der drei- zu der zweiwertigen Konfiguration mit Ausbildung geordneter Überstrukturen an der Oberfläche trotz einer 40 prozentigen Zunahme des Eu-Ionenvolumens. Die beobachtete elektronische Struktur stimmt gut mit den Ergebnissen von Bandstrukturrechnungen in der lokalen Dichtenäherung überein. info:eu-repo/classification/ddc/29 ddc:29
40	Einfluss reversibler epitaktischer Dehnung auf die ferroische Ordnung dünner Schichten Herklotz, Andreas 05 June 2012 (has links) (PDF) In dieser Arbeit werden die Auswirkungen epitaktischer Dehnung auf die Eigenschaften ferromagnetischer und ferroelektrischer Perowskitschichten untersucht. Dazu wird der biaxiale Dehnungszustand einer Schicht reversibel verändert, indem einkristalline piezoelektrische Pb(Mg1/3Nb2/3)0.72Ti0.28O3 (001) Substrate (PMN-PT) verwendet werden. Ergänzt werden die Messungen mit dieser “dynamischen” Methode durch Untersuchungen an statisch gedehnten Schichten, gewachsen auf LaAlxSc1-xO3-Pufferschichten mit gezielt abgestimmter Gitterfehlpassung. Drei verschiedene Materialsysteme werden studiert: die ferromagnetischen Oxide La0.8Sr0.2CoO3 und SrRuO3 und das ferroelektrische Pb(Zr,Ti)O3. Für La0.8Sr0.2CoO3 wird ein dehnungsinduzierter Übergang von der bekannten ferromagnetischen Phase zu einer magnetisch weniger geordneten, spinglasartigen Phase nachgewiesen. Es ergeben sich keine Hinweise auf eine Beeinflussung des Co-Spinzustandes. In epitaktischen SrRuO3-Schichten bewirkt eine Zugdehnung einen strukturellen Phasenübergang von der orthorhombischen Bulk-Phase zu einer out-of-plane orientierten tetragonalen Phase. Die leichte Richtung liegt in der Ebene. Reversible Dehnungsmessungen zeigen einen deutlichen Einfluss auf die ferromagnetische Ordnungstemperatur und deuten auf eine geringe Veränderung des magnetischen Moments hin. Der Dehnungseffekt auf die elektrischen Transporteigenschaften wird bestimmt. Pb(Zr,Ti)O3 wird als ferroelektrisches Standardmaterial genutzt, um erstmalig den Einfluss biaxialer Dehnung auf das ferroelektrische Schaltverhalten dünner Schichten zu untersuchen. Für kleine elektrische Felder zeigen die Messungen das typische Verhalten einer gepinnten Domänenwandbewegung. Hier wird der Schaltvorgang unter Piezokompression stark beschleunigt. Werden an die elektrischen Kontakte größere elektrische Felder angelegt, geht die Domänenwandbewegung in das Depinning-Regime über. Die Schaltkinetik wird in diesem Bereich unter Piezokompression leicht verlangsamt. / In this work, the effect of epitaxial strain on the properties of ferromagnetic and ferroelectric perovskite thin films is studied. Single-crystalline piezoelectric Pb(Mg1/3Nb2/3)0.72Ti0.28O3 (001) substrates (PMN-PT) are utilized to reversibly change the biaxial strain state of the films. The measurements performed by this “dynamic” approach are complemented by studying statically strained films grown on LaAlxSc1-xO3 buffer layers with deliberately tuned lattice misfit. Three different material systems are investigated: the ferromagnetic oxides La0.8Sr0.2CoO3 and SrRuO3 and the ferroelectric compound Pb(Zr,Ti)O3. In case of La0.8Sr0.2CoO3 a strain-induced transition from the known ferromagnetic phase to a magnetically less ordered spinglas-like phase is observed. No indications for an effect on the Co spin state are found. In epitaxial SrRuO3 films tensile strain is causing a structural phase transition from the bulk-like orthorhombic structure to an out-of-plane oriented tetragonal phase. The magnetic easy axis is in the film plane. Reversible strain experiments show a significant effect on the ferromagnetic ordering temperature and point to a small change of the magnetic moment. The strain effect on the electric transport properties is also determined. Pb(Zr,Ti)O3 as a standard ferroelectric material is used to study the influence of biaxial strain on the ferroelectric switching behaviour of thin films for the first time. At small electric fields the measurements reveal the typical signs of creep-like domain wall motion caused by wall pinning. In this regime the switching process is accelerated strongly under piezo-compression. For higher electric fields a transition of the domain wall motion to the depinning regime is observed. Here, the switching kinetics is slowed down moderately by compressive strain. ferroelektrisch ferromagnetic Schalten Phasenübergang Schaltkinetik reziproke Gitterkarten piezoelektrische Substrate Domänenwand Pufferschicht Spinzustand Kobaltat Strontiumruthenat Bleititanat PZT IFW Dresden gepulste Laserdeposition ferroelectric ferromagnetic switching phase transition switching kinetics reziprocal space maps piezoelectric substrates domain wall buffer layer spin state cobaltites LSCO strontium ruthenate SRO lead titanate PZT IFW Dresden pulsed laser deposition ddc:530 ddc:539 rvk:UP 7500 rvk:UP 6300 rvk:UP 6400 Festkörperphysik Domänenstruktur Magnetschicht Epitaxieschicht Ferromagnetische Schicht Antiferromagnetische Schicht Dielektrische Schicht Dünne Schicht Inselschich

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