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Contacts auto-alignés pour la technologie CMOS 10 nm FDSOI / Self-Aligned Contacts for the 10nm FDSOI CMOS technology

Niebojewski, Heimanu 24 November 2014 (has links)
Dans le cas des générations de transistors sub-14nm, l’intégration de contacts métalliques classiques soumis aux limitations de la lithographie optique ne permet pas d’atteindre les performances d’alignement requises par les règles de dessin (pitch de grille 64nm en FDSOI 10nm) et les rendements industriels. Dans le cadre de ce travail de thèse, une nouvelle architecture de contacts auto-alignés (Self-Aligned Contacts ou SAC) est adressée pour les technologies FDSOI CMOS. Tout d’abord, nous avons proposé et validé l’intégration d’un module SAC dans une route CMOS FDSOI 14nm. Nous avons aussi démontré morphologiquement la faisabilité de contacts SAC pour des pitchs plus agressifs (noeud technologique 10nm). Par le biais de simulations numériques (TCAD et SPICE) l’impact de l’intégration des contacts auto-alignés sur les performances du transistor et du circuit, en termes de capacités parasites notamment, a ensuite été évalué dans le cas de la technologie 10nm FDSOI. Finalement, différentes techniques de transfert de contraintes mécaniques dans le canal du transistor ont été analysées en vue d’améliorer les performances de PFET en 10nm FDSOI. La génération des contraintes mécaniques via les contacts sur source-drain a également été investiguée. / For sub-14nm transistor generations, the integration of classical metallic contacts subjected to optical lithography limitations prevents the fulfillment of alignment performance required by design rules (64nm gate pitch for the 10nm node) and industrial yields. In the frame of this PhD. work, an original transistor architecture featuring self-aligned contacts (SAC) is studied for CMOS FDSOI technologies. First, a SAC module has been integrated and validated on a CMOS 14nm FDSOI process flow. The feasibility of SAC integration at a more aggressive gate pitch (10nm node) has also been demonstrated morphologically. The impact of such integration on the transistor and circuit performance, in terms of parasitic capacitances especially, has been evaluated through numerical simulations (TCAD, SPICE) in the case of the 10nm FDSOI technology. Finally, several techniques inducing mechanical stress within the transistor channel have been analyzed in order to improve the device performance. Among those, the use of contacts on source-drain to induce such stress has been particularly investigated.
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Modélisation de la dynamique couplée des plasmas magnétosphérique et ionosphérique.

Hurtaud., Yannis 19 October 2007 (has links) (PDF)
L'interaction du vent solaire avec le champ magnétique terrestre crée dans la magnétosphère un champ électrique qui induit un déplacement (ou convection) du plasma de la queue magnétosphérique vers la Terre. Au cours de ce mouvement les particules magnétosph ériques interagissent avec la composante ionisée de la haute atmosphère de la Terre qu'on appelle ionosphère. Elles modifient les propriétés électriques du milieu conducteur ionosphérique, en particulier la distribution du champ électrique responsable de la convection magnétosphérique. Le Centre d'Etude Spatiale des Rayonnements dispose d'un modèle numérique décrivant de manière autocohérente la convection magnétosphérique et ses couplages avec l'ionosph` ere. Nous avons modifié ce code afin : <br />1) d'y inclure les effets des asymétries entre les deux hémisphères Nord et Sud de la Terre liées à l'éclairement solaire <br />2) de remplacer le modèle de champ magnétique dipolaire utilisé jusqu'à présent par un modèle plus proche des observations. Les premiers résultats obtenus montrent que les asymétries inter-hémisphériques ont un effet considérable sur la dynamique du plasma ionosphérique mais que la magnétosphère y est relativement insensible. Ils montrent également qu'une topologie de champ magnétique différente de celle d'un dipôle est nécessaire pour reproduire les observations.
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Fabrication et caractérisation de MOSFET III-V à faible bande interdite et canal ultra mince / Fabrication and characterization of MOSFET III-V with small GaP and ultra thin body

Ridaoui, Mohamed 30 June 2017 (has links)
Les MOSFETs ultra-thin body UTB ont été fabriqués avec une technologie auto-alignée. Le canal conducteur est constitué d’InGaAs à 75% de taux d’indium ou d’un composite InAs/In0,53Ga0,47As. Une fine couche d'InP (3 nm) a été insérée entre le canal et l'oxyde, afin d’éloigner les défauts de l’interface oxyde-semiconducteur du canal. Enfin, une épaisseur de 4 nm d'oxyde de grille (Al2O3) a été déposée par la technique de dépôt des couches atomiques. Les contacts ohmiques impactent les performances des MOSFETs. La technologie UTB permet difficilement d’obtenir des contacts S/D de faibles résistances. De plus, l’utilisation de la technique d’implantation ionique pour les architectures UTB est incompatible avec le faible budget thermique des matériaux III-V et ne permet pas d’obtenir des contacts ohmiques de bonne qualité. Par conséquent, nous avons développé une technologie auto-alignée, basée sur la diffusion du Nickel « silicide-like » par capillarité à basse température de recuit (250°C) pour la définition des contacts de S/D. Finalement, nous avons étudié et analysé la résistance de l'alliage entre le Nickel et les III-V. A partir de cette technologie, des MOSFET In0,75Ga0,25As et InAs/In0,53Ga0,47As ont été fabriqués. On constate peu de différences sur les performances électriques de ces deux composants. Pour le MOSFET InAs/InGaAs ayant une longueur de grille LG =150 nm, un courant maximal de drain ID=730 mA/mm, et une transconductance extrinsèque maximale GM, MAX = 500 mS/mm ont été obtenu. Le dispositif fabriqué présente une fréquence de coupure fT égale à 100 GHz, et une fréquence d'oscillation maximale fmax de 60 GHz, pour la tension drain-source de 0,7 V. / The UTB MOSFETs were fabricated by self-aligned method. Two thin body conduction channels were explored, In0,75Ga0,25As and a composite InAs/ In0,53Ga0,47As. A thin upper barrier layer consisting of InP (3nm) is inserted between the channel and the oxide layers to realized a buried channel. Finally, the Al2O3 (4 nm) was deposited by the atomic layer deposition (ALD) technique. It is well known that the source and drain (S/D) contact resistances of InAs MOSFETs influence the devices performances. Therefore, in our ultra-thin body (UTB) InAs MOSFETs design, we have engineered the contacts to achieve good ohmic contact resistances. Indeed, for this UTB architecture the use of ion implantation technique is incompatible with a low thermal budget and cannot allow to obtain low resistive contacts. To overcome this limitation, an adapted technological approach to define ohmic contacts is presented. To that end, we chose low thermal budget (250°C) silicide-like technology based on Nickel metal. Finally, we have studied and analyzed the resistance of the alloy between Nickel and III-V (Rsheet). MOSFET with two different epilayer structures (In0,75Ga0,25As and a composite InAs/ In0,53Ga0,47As) were fabricated with a gate length (LG) of 150 nm. There were few difference of electrical performance of these two devices. We obtained a maximum drain current (ION) of 730 mA/mm, and the extrinsic transconductance (GM, MAX) showed a peak value of 500 mS/mm. The devices exhibited a current gain cutoff frequency fT of 100 GHz and maximum oscillation frequency fmax of 60 GHz for drain to source voltage (VDS) of 0.7 V.
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Etude de la dynamique des electrons en presence de fortes densites de courant

Garcia, Geraldine 13 November 2007 (has links) (PDF)
L'objet de notre étude est la dynamique des plasmas collisionnels soumis à un champ électrique aligné au champ magnétique en bordure d'aurore. De fortes densités de courant aligné ont été mises en évidence à la fois par des modèles électrodynamiques et des mesures satellites ou radars. Différents auteurs et différents types de travaux (expérimentaux ou de modélisation) montrent que les densités de courant peuvent atteindre des centaines de μA.m−2 en bordure des arcs auroraux. Ces densités de courant sont à l'origine de multiples phénomènes tels que : le chauffage du plasma ionosphérique, l'échappement des ions et le développement d'instabilités. Ces fortes densités de courant impliquent la présence d'un champ électrique parallèle qui peut entraîner des effets cinétiques tels que la création d'électrons runaway. L'étude des électrons runaway n'est pas nouvelle et intervient dans différents domaines tels que la fusion nucléaire, le chauffage de la couronne solaire ou les phénomènes lumineux transitoires tels que les sprites. Dans notre cas, nous nous intéressons à l'ionosphère terrestre où l'étude des électrons runaway est un sujet très novateur. <br />Ainsi, nous allons étudier la dynamique des électrons portant ces courants très intenses. Pour cela, nous considérons un ensemble d'électrons se déplaçant à travers un gaz ionosphérique d'ions et de neutres et soumis à un champ électrique aligné au champ magnétique. Nous avons développé un modèle cinétique de collisions, incluant les collisions électrons/électrons, électrons/ions et électrons/neutres. Nous utilisons une approche Fokker-Planck afin de décrire les collisions binaires entre les particules chargées (interactions à longue portée). L'opérateur de collisions comporte deux parties : l'équation de Langevin pour les collisions électrons/électrons et électrons/ions et la méthode de Monte-Carlo avec une approche "collision nulle" pour les collisions électrons/neutres. Nous donnons un exemple de retour à l'équilibre afin de tester ces opérateurs de collisions et d'étudier l'impact des différents termes (les collisions électrons/électrons et électrons/ions d'une part et les collisions électrons/neutres d'autre part). <br />Tout d'abord, nous considérons un champ électrique constant au cours du temps. Dans ce test, les électrons sont déplacés uniquement selon z, la direction parallèle au champ electrique et au champ magnétique. Nous constatons alors que les fonctions de distribution ne sont plus maxwelliennes et que des électrons runaway sont créés. Ces électrons représentent 20% de la densité totale et ce sont eux qui portent le courant. Cependant, nous remarquons que nous ne conservons pas la divergence du courant nulle.<br />Nous introduisons alors des modifications majeures telles qu'une rétroaction sur le champ électrique ou la résolution des équations fluides afin de tenir compte de l'évolution des moments de la fonction de distribution des ions. Nous observons que les fonctions de distribution des électrons restent non maxwelliennes. Des électrons suprathermiques sont créés et portent le courant. En effet, la population correspondant au coeur de la distribution reste au repos. Comme ces électrons subissent moins de collisions, ils augmentent la conductivité du plasma.<br />Enfin, nous avons réalisé une étude paramétrique afin d'étudier l'influence des divers paramètres d'entrée (densité de courant, densité électronique, temps de montée du courant...) sur les fonctions de distribution. Pour cela, nous ajustons deux maxwelliennes qui correspondent au coeur de la distribution et à la population suprathermique. Nous mettons en avant le fait que le temps de montée du courant, c'est-à-dire le temps nécessaire pour atteindre la valeur maximale du courant, est un paramètre clef. En effet, augmenter ce temps influe essentiellement sur les températures : la température moyenne des électrons, mais aussi celle des électrons de la population représentant le coeur de la distribution et de la population suprathermique. La densité de courant joue également un rôle primordial.Augmenter la densité de courant augmente l'ensemble des paramètres : la densité et la vitesse moyenne des électrons runaway et les températures électroniques des deux populations. L'étude sur la densité a révélé que, plus la densité électronique totale augmente, plus la température et la vitesse moyenne des électrons suprathermiques diminuent.
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Élaboration et étude des propriétés électriques d'un matériau composite nanotubes de carbone alignés - époxy

Roussel, Florent 30 March 2012 (has links) (PDF)
(NTC) multi-feuillets (MWNTs) synthétisés par CCVD (Catalytic Chemical Vapour Deposition) d'aérosol en tapis de nanotubes continus et verticalement alignés, et d'un matrice polymère époxy. En second lieu, sur la caractérisation de la structure et de la surface de ce matériau. En dernier lieu, sur l'étude de ses propriétés de transport électrique. La conduction électrique à température ambiante est mesurée. D'une part, ceci est fait localement par CS-AFM (Current-Sensing AFM) afin de caractériser les NTCs à l'échelle individuelle. D'autre part à l'échelle macroscopique, pour caractériser les propriétés du matériau à une structure de dimensions exploitables. Cette étude montre un matériau avec une résistivité faible et anisotrope. Des fluctuations importantes (environ facteur 10) de la résistance macroscopique sont observées d'une mesure sur l'autre. La nature de ces fluctuations est discutée. La conduction électrique à basse température (entre 4 et 50◦K) montre la persistance à l'échelle macroscopique d'effets mésoscopiques tels qu'observés sur des NTCs individuels. Notamment une loi d'échelle de la conductance en fonction de la température et de la tension (" anomalie à faible tension ") apparaît, ainsi qu'une loi de localisation faible de la conductance. De plus, la mesure de la distribution de la conductance sur la surface par le CS-AFM a permis de démontrer l'origine de cette persistance par un modèle simple et réaliste.
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Développement et étude de la synthèse par CVD à basse température de nanotubes de carbone alignés sur substrat d’aluminium / Development and study of CVD synthesis at low temperaturre of aligned carbon nanotubes on aluminium substrate

Nassoy, Fabien 13 April 2018 (has links)
Les supercondensateurs, basés sur des cycles rapides de charge/décharge d’ions, sont une solution intéressante pour répondre à la problématique du stockage d’énergie. Les nanomatériaux carbonés, couplés ou non à des matériaux actifs, présentent des potentialités en tant qu’électrode comparativement au carbone activé couramment utilisé. Dans le cadre d’un laboratoire commun, le CEA, Nawatechnologies et les universités de Tours et Cergy, cherchent à développer des électrodes plus efficaces mettant en œuvre des tapis de nanotubes de carbone verticalement alignés (VACNT) sur collecteur d’aluminium. C’est dans ce contexte que se situe ma thèse CIFRE avec comme objectif le développement et la compréhension de la croissance de nanotubes alignés sur feuille d’aluminium par une méthode de dépôt chimique en phase vapeur (Chemical Vapor Deposition (CVD)) assistée par aérosol. Au démarrage de ma thèse, cette technique était maîtrisée par le LEDNA (UMR-NIMBE), mais seulement pour des températures relativement élevées (>800°C). L’enjeu était donc d’étendre cette méthode pour répondre à l’utilisation de l’aluminium comme substrat, ce qui nécessité un abaissement de la température de croissance des VACNT au-dessous du point de fusion de l’Al (660°C). Dans ce cas, les précurseurs catalytiques et carbonés utilisés à plus haute température ne se décompose pas efficacement, c’est pourquoi il a été nécessaire d’ajouter deux composés : l’hydrogène qui favorise la décomposition du précurseur catalytique et l’acétylène dont la décomposition thermique et catalytique est plus favorable à basse température. La thèse est structurée autour de trois axes : l’optimisation du procédé de synthèse, la compréhension des mécanismes de croissances et une étude visant à remplacer l’acétylène par des précurseurs biosourcés. / Supercapacitors, with fast charge / discharge cycles, represent an interest for energy storage. Carbon nanomaterial have a great potential as electrode as compared to common activated carbon based electrodes. CEA, Nawatechnologies, university Tours and Cergy develop electrodes based on vertically aligned carbon nanotubes (VACNT) on aluminium substrate in a joint laboratory. In this context, the aim of my thesis is to develop and understand the growth of VACNT on aluminum foil by aerosol assisted Chemical Vapor Deposition (CVD). At the beginning of my thesis, this technique was mastered by the LEDNA (UMR-NIMBE), but only for relatively high temperatures (>800°C). The challenge was therefore to extend this method to respond to the use of aluminium as a substrate, which necessitated a lowering of the growth temperature of VACNT below the melting point of Al (660°C). In this case, the catalytic and carbonaceous precursors used at higher temperatures do not decompose effectively, so it was necessary to add two compounds : hydrogen which increases decomposition of the catalyst precursor [3] and acetylene with a catalytic and thermal decomposition more favorable around 600° C [5]. Therefore, the approach in this work is first to identify the most relevant synthesis parameters to reach VACNT growth at such a low temperature by varying them and analyzing subsequently the products obtained. Moreover, attention is paid on study of Al surface before growth or during the initial steps of VACNT growth, and of CNT / Al interface to understand VACNT formation mechanisms at lower temperatures.
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Le mouvement des non-alignés en tant que groupe de pression

Tremblay, Charles 05 1900 (has links)
Mémoire numérisé par la Direction des bibliothèques de l'Université de Montréal. / L'étude de la coopération internationale nous place devant deux difficultés. La première provient du fait que les explications à ce sujet sont émises à partir d'écoles de pensées différentes (réalisme, libéralisme et marxisme) et ne peuvent donc pas être considérées comme des réponses universelles à la coopération internationale. La deuxième, est que les réponses apportées par chacune des écoles de pensées n'explique pas tous les cas de coopération internationale de manière satisfaisante. Un des cas de coopération internationale souffre des deux difficultés que nous venons de présenter. Il s'agit de la coopération entre les États membres du groupe des non-alignés. Afin de mieux rendre compte de ce cas, nous avançons qu'il est possible d'expliquer cette coopération en considérant ce groupe d'États comme un groupe de pression. Pour y parvenir, nous devrons d'abord vérifier si ce groupe d'États répond aux six critères qui permettent l'identification d'un groupe de pression. Ces derniers sont qu'il doit exister une communauté organisée, qu'elle doit avoir un ou plusieurs intérêt(s) commun(s), qu'elle doit faire de la pression, que cette pression doit viser le pouvoir, que la pression se fasse dans un cadre juridique et que le groupe soit autonome par rapport au pouvoir. Une fois que nous aurons démontré que ce groupe d'États peut être considéré comme un groupe de pression, nous l'étudierons comme s'il en est un, à l'aide d'une grille d'analyse réservée à l'étude des groupes de pression. Nous étudierons donc les fondements politiques, économiques et psychologiques du groupe ainsi que ses manifestations et sa composition. Nous nous sommes penchés sur deux périodes bien déterminées pour l'application de cette grille d'analyse : de la Conférence de Bandoung en 1955 à celle de Belgrade en 1961 ; puis, de la Conférence de Belgrade en 1989 à celle de Jakarta en 1992. Nous avons concentré notre étude sur trois question auxquelles le groupe s'intéressait : décolonisation, développement économique et sécurité mondiale. Pour bien inscrire notre recherche dans la réalité politique en évolution, nous avons cerné les changements majeurs entre les deux périodes avant d'aborder l'étude de la deuxième période (1989-1992). Le système bipolaire ayant disparu, nous avons émis des hypothèses sur le maintien des PNA : le changement possible dans les thèmes retenus, la difficulté d'exercer la pression, la possibilité de rester viable. Notre première hypothèse pleinement confirmée, la deuxième, partiellement et la troisième, infirmée, nous avons pu préciser notre explication et la confronter à celles d'autres écoles concurrentes en relations internationales. Ainsi, nous avons pu exposer plus clairement les résultats et les apports de notre recherche. Quant aux résultats, nous démontrons qu'il est possible d'étudier le groupe des États non-alignés comme un groupe de pression. Cette constatation nous permet de mieux expliquer la coopération internationale dans le cas du non-alignement, d'utiliser un cadre de recherche préétabli et d'appliquer cette méthode à d'autres cas similaires tels celui du groupe des 77.
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AURORES ET ECHAPPEMENTS DE PARTICULES AU-DESSUS DES CALOTTES POLAIRES TERRESTRES Observations à haute altitude par la mission Cluster

Teste, Alexandra 19 December 2007 (has links) (PDF)
Lorsque le champ magnétique interplanétaire est dirigé vers le Nord, les régions polaires de la magnétosphère terrestre, situées à haute altitude, sont peuplées d'électrons accélérés. L'ionosphère polaire voit quant à elle l'apparition d'aurores. Grâce aux observations magnétosphériques de la mission multi-satellites Cluster et à notre modélisation du transport de particules le long des lignes de force du champ magnétique terrestre B, nous avons montré, au cours de cette thèse, que les électrons à l'origine de ces aurores proviennent de la couche frontière de la magnétosphère. Localisée à très haute altitude, cette couche sépare les milieux terrestre et interplanétaire. Accélérés par des champs électriques parallèles à B, situés à des altitudes aussi bien inférieures que supérieures à celles des satellites, ces électrons précipitent dans l'ionosphère avec des énergies de l'ordre du keV. Ils sont accompagnés par des échappements d'ions ionosphériques et l'ensemble des particules transporte des courants alignés le long de B et dirigés vers la magnétosphère, équivalents à quelques µA/m² aux altitudes ionosphériques. Le système de courant se referme par des courants alignés dirigés vers la Terre, d'intensité comparable, portés par des faisceaux d'électrons étroits et variables. Très alignés le long de B, ces électrons s'échappent de l'ionosphère avec des énergies de ~ 50 eV et déclenchent des instabilités faisceau-plasma à l'origine d'ondes électrostatiques large bande observées par Cluster et reproduites par les modèles.
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Elaboration et étude des propriétés mécaniques et thermiques de matériaux constitués de nanotubes de carbone verticalement alignés / Elaboration and study of both mechanical and thermal properties of vertically carbon nanotubes reinforced materials

Bouillonnec, Jonathan 17 July 2015 (has links)
Les tapis de nanotubes de carbone verticalement alignés sont des candidats potentiels pour des applications telles que les interconnexions ou les matériaux d'interface thermique. Ce travail de recherche porte sur la synthèse de tapis de nanotubes de carbone alignés selon le procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) d'aérosols liquides, sur l'élaboration de nanocomposites constitués de différentes nuances de matrices époxy infiltrées au sein de ces tapis, ainsi que sur l'étude des propriétés mécaniques et thermiques longitudinales et transverses des tapis secs eux-mêmes et des nanocomposites 1D formés. Les conditions de synthèse permettent notamment de faire varier les caractéristiques des tapis telles que leur épaisseur, leur masse volumique, le diamètre externe moyen des nanotubes de carbone (NTC), l'espace intertube et la teneur volumique en NTC, alors que leur structure cristalline peut être modifiée par le biais d'un traitement thermique à haute température. L'objectif principal de ce travail consiste à démontrer et quantifier l'effet de certaines caractéristiques des tapis de nanotubes de carbone sur les propriétés mécaniques et thermiques des différents types de tapis et matériaux composites obtenus. Les deux méthodes d'imprégnation mises en oeuvre, voie liquide et infusion, conduisent à des tapis de NTC alignés denses avec un alignement des NTC conservé et une répartition homogène des NTC au sein du système époxy. La fraction volumique en NTC s'avère être le paramètre-clé permettant d'exacerber, dans la direction longitudinale aux NTC, les propriétés mécaniques et thermiques des nanocomposites. Par ailleurs, les tapis de NTC et les nanocomposites voient leurs propriétés de conduction thermique longitudinale nettement exacerbées lorsque les NTC présentent une amélioration de leur structure cristalline. L'augmentation significative des performances apportées par les tapis de NTC verticalement alignés au sein de ces matériaux nanocomposites anisotropes par rapport aux matrices organiques non chargées est prometteuse et ouvre des pistes de réflexion visant à répondre aux nouvelles exigences de multifonctionnalité des secteurs de l'aéronautique et de l'aérospatial. / Vertically aligned carbon nanotube carpets are potential candidates for applications such as interconnections or thermal interface materials (TIMs). This research work deals with the synthesis of aligned carbon nanotube carpets from the aerosol assisted chemical vapour deposition (CVD) technique, with the elaboration of nanocomposites made of different grades of epoxy matrix infiltrated within these carpets, as well as the study of both longitudinal and transverse mechanical and thermal properties of dry carpets themselves and 1D-nanocomposites separately. The synthesis conditions notably enable to vary characteristics of the differents carpets such as their thickness, their density, the mean external diameter of the carbon nanotubes (CNT), the intertube space and the CNT volume fraction, whereas their crystalline structure can be modified with a high temperature thermal treatment. The main goal of this work is to prove and quantify the effect of some of the characteristics of the carbon nanotubes carpets on both mechanical and thermal properties of the different kinds of CNT carpets and resulting composite materials. The two impregnation methods used, liquid way and infusion, lead to dense CNT carpets with a preserved alignment of the CNT and an homogeneous distribution of these latest within the epoxy system. The CNT volume content is evidenced as the key-parameter exacerbating the mechanical and thermal properties mainly in the longitudinal direction compared with the alignment axis of the CNTs. Moreover the mechanical and thermal conduction properties of the CNT carpets and the 1D-nanocomposites are clearly increased when the crystalline structure of the CNT is improved. The significant increasing of the properties brought by the vertically aligned CNT within these anisotropic 1D-nanocomposites compared with the only organic matrixes is promising and opens new pathways aiming to meet the latest specifications related to multifunctionnality in fields such as aeronautics and aerospace.
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Création et exploitation d'un corpus trilingue du tourisme (italien/français/anglais) en vue de la réalisation d'une base de données lexicale informatisée / Creation and exploitation of a trilingual tourism corpus (Italian, French, English) for the realisation of a lexical electronic stored database

Piccato, Mariangela 23 July 2012 (has links)
Au cours des dernières années, le secteur touristique a été caractérisé par toute une série de changements fondamentaux. L’un de ces changements, certainement le plus important, a été le fait d’être considéré aujourd’hui comme l’activité productive capable de faire tourner l’économie d’un pays entier.Notre mémoire de recherche se situe à l’intersection de la terminologie thématique, de la linguistique de corpus et du traitement automatique des langues.Dans le premier chapitre du travail que nous allons présenter, nous chercherons à introduire aux domaines d’études théoriques sur lesquels notre recherche s’appuie.Premièrement, on traitera de la linguistique de corpus et on examinera les différentes catégories de corpus existantes. On mettra l’accent sur deux notions fondamentales dans la conception de l’outil corpus en général et dans la création de notre corpus en particulier : représentativité et contexte. Au sein du discours touristique, la représentativité, d’un côté, se relie au caractère spécial de notre micro-langue ; le contexte, de l’autre, révèle la pluralité des sous-domaines qui composent ce technolecte à mi-chemin entre la langue générale et la langue spécialisée.Dans le deuxième chapitre, nous présenterons le corpus thématique trilingue (CTT) que nous avons créé préalablement à la rédaction de la thèse proprement dite.Avant tout, on fournira les indications théoriques et pragmatiques nécessaires pour réaliser un corpus trilingue en langue de spécialité : la collecte des textes, l’homogénéisation des échantillons textuels repérés et l’annotation. Au cours de ce chapitre, nous présenterons Alinea, l’instrument qu’on a utilisé pour l’alignement de textes recueillis et pour la consultation simultanée des traductions trilingues. Dans le troisième et dernier chapitre, on passera à l’interrogation du corpus créé. Sur la base d’un terme pris comme exemple, le terme ville, on lancera la recherche dans le CTT. Ensuite, on analysera les collocations les plus usitées contenant le mot ville.En guise de conclusion de notre mémoire, nous présenterons une annexe consacrée à notre glossaire trilingue comme résultat de notre exploration de la chaîne terminologique qu’on aura analysée précédemment. Pour conclure, l’objectif général de notre étude sera d’explorer la chaîne de gestion terminologique à travers la création d’un glossaire trilingue dans le domaine du tourisme. Notre orientation méthodologique de caractère sémasiologique impliquera ainsi au moins quatre objectifs spécifiques :• créer un corpus trilingue du tourisme (CTT), capable d’attester des usages en contexte des termes.• extraire des termes en utilisant des techniques diverses, telle que l’étude fréquentielle des éléments du corpus.• vérifier les données obtenues et les compléter à l’aide de ressources externes.• répertorier et décrire l’ensemble des termes sous forme d’un glossaire trilingue à sujet touristique (GTT). / Our study concerns the language of tourism from a lexicographical perspective.Exploiting the web we realized a corpus ad hoc. This corpus is composed by about 10.000 texts in three languages (French, Italian and English), aligned using “Alinea”.Starting from terminological extraction, we analysed some collocations at the aim to create a trilingual and tri-directional glossary.We chose this subject according to the increasing importance taken from tourism economy in the world.Our study fields are thematic terminology, corpus linguistics and automatic language treatment.The first chapter presents the study field of our research. First of all, we introduced to corpus linguistics presenting the different categories of corpus and pointing out our attention on two main notions: representativeness and context.Therefore, we explained the link between Language for Special Purposes and tourism discourse as a Specialized Discourse.In the second chapter, we showed the trilingual thematic corpus we created during our researches. We described the main steps to create a corpus: collection of texts, cleaning and annotation.In this chapter, we gave a particular attention to the presentation of “Alinea”.Finally, the third chapter is a study of frequent collocations with the term “town” (ville).The annexes present the glossary as well as the methodological principals we followed in the redaction.

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