Moderne Methoden der Oberflächenbehandlung können Oberflächen mit besonderen Eigenschaften versehen. Diese Eigenschaften werden zunehmend durch ultradünne Schichten mit Schichtdicken von einigen Nanometern erzeugt, da mit minimalem Materialaufwand definierte Resultate erreichbar sind. Die meisten Metalle überziehen sich mit einer Oxidschicht, deren Eigenschaften von den herrschenden Umgebungsbedingungen bestimmt werden. Diese Oxidschicht bildet die Oberfläche des Festkörpers, und weist andere Eigenschaften auf als der Festkörper selbst. Darüber hinaus beeinflussen die Rauhigkeit sowie eventuell vorliegende Legierungsbestandteile die Oberflächenbeschaffenheit. Besonders geeignet zum Erzeugen ultradünner oder monomolekularer Schichten ist der Prozess der Selbstorganisation, bei dem man sich zu Nutze macht, dass oberflächenaktive Moleküle mit sich selbst und einem Substrat in Wechselwirkung treten können. Zum Verständnis der ablaufenden Vorgänge ist die Kenntnis der Prozesskinetik sowie die Charakterisierung der Substratoberfläche vor und nach der Adsorption erforderlich. Die Größenverhältnisse zwischen den adsorbierten Molekülen und der Rauheit der Oberfläche erschweren die Charakterisierung der vorliegenden Ordnung und Orientierung der erzeugten dünnen Schichten. In dieser Arbeit sind Untersuchung des Schichtbildungsverhaltens und die Charakterisierung der erzeugten Schichten aus Phosphon- und Phosphorsäurederivaten in Abhängigkeit verschiedener Eigenschaften der Substratoberflächen vorgenommen worden. Dabei kamen oberflächensensitive Methoden wie AFM, REM, SPR und XPS zum Einsatz. Es konnte gezeigt werden, dass sich die untersuchten Moleküle wie erwartet auf den Oberflächen orientieren und dabei einen Bedeckungsgrad von etwa 60% erreichen. Der Einfluss von unterschiedlichen Vorbehandlungsmethoden konnte ebenso charakterisiert werden.

Moderne Methoden der Oberflächenbehandlung können Oberflächen mit besonderen Eigenschaften versehen. Diese Eigenschaften werden zunehmend durch ultradünne Schichten mit Schichtdicken von einigen Nanometern erzeugt, da mit minimalem Materialaufwand definierte Resultate erreichbar sind. Die meisten Metalle überziehen sich mit einer Oxidschicht, deren Eigenschaften von den herrschenden Umgebungsbedingungen bestimmt werden. Diese Oxidschicht bildet die Oberfläche des Festkörpers, und weist andere Eigenschaften auf als der Festkörper selbst. Darüber hinaus beeinflussen die Rauhigkeit sowie eventuell vorliegende Legierungsbestandteile die Oberflächenbeschaffenheit. Besonders geeignet zum Erzeugen ultradünner oder monomolekularer Schichten ist der Prozess der Selbstorganisation, bei dem man sich zu Nutze macht, dass oberflächenaktive Moleküle mit sich selbst und einem Substrat in Wechselwirkung treten können. Zum Verständnis der ablaufenden Vorgänge ist die Kenntnis der Prozesskinetik sowie die Charakterisierung der Substratoberfläche vor und nach der Adsorption erforderlich. Die Größenverhältnisse zwischen den adsorbierten Molekülen und der Rauheit der Oberfläche erschweren die Charakterisierung der vorliegenden Ordnung und Orientierung der erzeugten dünnen Schichten. In dieser Arbeit sind Untersuchung des Schichtbildungsverhaltens und die Charakterisierung der erzeugten Schichten aus Phosphon- und Phosphorsäurederivaten in Abhängigkeit verschiedener Eigenschaften der Substratoberflächen vorgenommen worden. Dabei kamen oberflächensensitive Methoden wie AFM, REM, SPR und XPS zum Einsatz. Es konnte gezeigt werden, dass sich die untersuchten Moleküle wie erwartet auf den Oberflächen orientieren und dabei einen Bedeckungsgrad von etwa 60% erreichen. Der Einfluss von unterschiedlichen Vorbehandlungsmethoden konnte ebenso charakterisiert werden.

3D scanning has grown to become an important tool in a wide variety of applications. Still, acquiring high-quality 3D models using scanning technology is a challenging task. In this thesis, we present various ways that reduce the hurdles of existing 3D scanning pipelines with the ultimate goal of bringing this technology closer to the end user. To achieve this goal, we focus on three sub problems of traditional scanning pipelines: First, we present a novel algorithm that can be used to consistently orient the normals of huge point clouds. We achieve this by formulating the orientation problem as a graph-based energy minimization problem and applying out-of core methods. Second, we introduce interactivity into the scanning pipeline by presenting an online surface reconstruction method that produces high-quality semi-regular meshes. The resulting interactive pipeline is highly efficient because it reduces the turn-around between presentation of the final result and possible corrections by the user. Third, we develop a robust method to texture-map semi-regular meshes. This approach is based on a generalization of motorcycle graphs, which partitions arbitrary meshes into quadrilateral patches. These patches then serve as the parametrization domains of the texture atlas. Finally, we present an application from the area of cave science. The application is targeted at quantitatively and objectively assessing a cave's size. To achieve this goal, we present methods to analyze the structure of caves, especially to distinguish chambers from passages.

Im Sommer 1999 wurde im Forschungszentrum eine Zweistrahlführung in Betrieb genommen. Dieses System gestattet, Ionenarten aus unterschiedlichen Beschleunigern gleichzeitig in die Experimentierstationen zu lenken. In der Doppelimplantationsstation wird die Zweistrahlführung zur Synthese neuartiger Materialien genutzt. In der Analysestation wird die Zweistrahlführung in Kombination mit einem magnetischen Browne-Buechner-Spektrometer eingesetzt, um komplexe und hochgenaue Materialanalysen durchzuführen. Das System überträgt Ionen des gesamten Teilchen- und Energiespektrums von 3-MV-Tandetron-Beschleuniger und 500-kV-Ionenimplanter mit minimalen Intensitätsverlusten zu den Experimenten. Steuerung und Kontrolle von Beschleunigern, Strahlführung und Experiment erfolgen in einem hierarchischen Rechnernetz. Die hier beschriebene Zweistrahlanlage ist Teil eines Projekts zur umfassenden Kopplung von Basisgeräten des Forschungszentrums.

Im Sommer 1999 wurde im Forschungszentrum eine Zweistrahlführung in Betrieb genommen. Dieses System gestattet, Ionenarten aus unterschiedlichen Beschleunigern gleichzeitig in die Experimentierstationen zu lenken. In der Doppelimplantationsstation wird die Zweistrahlführung zur Synthese neuartiger Materialien genutzt. In der Analysestation wird die Zweistrahlführung in Kombination mit einem magnetischen Browne-Buechner-Spektrometer eingesetzt, um komplexe und hochgenaue Materialanalysen durchzuführen. Das System überträgt Ionen des gesamten Teilchen- und Energiespektrums von 3-MV-Tandetron-Beschleuniger und 500-kV-Ionenimplanter mit minimalen Intensitätsverlusten zu den Experimenten. Steuerung und Kontrolle von Beschleunigern, Strahlführung und Experiment erfolgen in einem hierarchischen Rechnernetz. Die hier beschriebene Zweistrahlanlage ist Teil eines Projekts zur umfassenden Kopplung von Basisgeräten des Forschungszentrums.

Ziel dieser Studie war es, den Einfluss von Prophylaxemaßnahmen und künstlicher Alterung auf Veneers an menschlichen Zähnen zu untersuchen. Untersucht wurden die externen, marginalen und die internen Grenzflächen, sowie die Oberflächenstruktur der Restaurationsoberflächen. Zweiunddreißig extrahierte Prämolaren wurden mit Veneers aus polymerbasiertem Verbundwerkstoff (RBC) und polymerinfiltriertem Keramiknetzwerk (PICN) restauriert. Künstliche Alterung durch abwechselndes Thermocycling und anschließende Prophylaxemaßnahmen (Pulver-Wasserstrahl mit Glycin-Pulver oder Ultraschall-Scaling) wurde in fünf Zyklen vollzogen. Die externe, marginale Grenzfläche wurde durch Höhenprofilmessungen und die interne Grenzfläche wurde mit Hilfe der Mikro-Röntgen-Computertomographie untersucht. Darüber hinaus wurde die Oberflächenstrukturen der Veneers mit Hilfe der konfokalen Laser-Scanning-Mikroskopie analysiert. Die Anwendung beider Prophylaxeverfahren führte zu einer Vertiefung der externen, marginalen Grenzflächen (10 μm ± 8 μm) bei beiden Verbundwerkstoffen. Darüber hinaus wies die interne Grenzfläche der PICN-Restaurationen, nach beiden Behandlungen und künstlicher Alterung, marginale Lücken auf (16 μm ± 3 μm). Im Gegensatz zu den RBC-Proben wurde eine signifikante Zunahme der Oberflächenrauhigkeit bei PICN-Veneers nach der Ultraschall-Behandlung festgestellt. Es lässt sich zusammenfassen, dass die marginalen und internen Grenzflächenbereiche bei Veneers aus PICN und RBC durch Prophylaxe-Verfahren beeinflusst werden. Darüber hinaus kann es zu einer erhöhten Oberflächenrauigkeit der Veneers kommen, insbesondere bei denen aus PICN nach dem Ultraschall-Scaling, was die Bioadhäsion und Langlebigkeit beeinträchtigen könnte. Nach der zahnärztlichen Prophylaxe ermöglicht die Untersuchung externen und internen Grenzflächen, sowie der der Restauratiosnoberfläche einen präzisen Einblick in die Schädigungsmechanismen und ermöglicht eine Einschätzung der Langlebigkeit.:Abkürzungsverzeichnis III 1 Einführung 1 1.1 Nicht kariöse Zahnhartsubstanzdefekte 2 1.1.1 Abfraktion 3 1.1.2 Abrasion 3 1.1.3 Attrition 3 1.1.4 Erosion 4 1.2 Klassifizierung der Keramiken und der Verbundwerkstoffe 4 1.2.1 Glasmatrix-Keramiken 4 1.2.2 Polykristalline Keramiken 5 1.2.3 Komposit-Matrix-Keramiken 5 1.2.3.1 Grandio Blocs (RBC) 6 1.2.3.2 Enamic (PICN) 6 1.3 Professionelle Zahnreinigung und ihre Auswirkungen 7 2 Publikationsmanuskript 9 3 Zusammenfassung der Arbeit 23 4 Literaturverzeichnis 27 5 Anlagen 31 5.1 Ergänzende Informationen / Supplemental Material 31 5.2 Darstellung des eigenen Beitrags zur Publikationspromotion 33 5.4 Erklärung über die eigenständige Abfassung der Arbeit 35 5.5 Lebenslauf 37 5.6 Eigenes Publikationsverzeichnis 39 5.7 Danksagung 41 / The aim of this study was to investigate the influence of dental prophylaxis cleaning procedures and artificial aging on veneers in human teeth. The external marginal and internal tooth veneer as well as the restoration surfaces were examined. Thirty-two extracted premolars were restored with resin-based composite (RBC) and polymer-infiltrated ceramic network (PICN) veneers. Artificial aging by alternating thermocycling and subsequent prophylaxis procedure (glycine-based powder air polishing or ultrasonic scaling) was conducted for five consecutive cycles. The external marginal interface was examined by height profile measurements and the internal interface was investigated using micro X-ray computed tomography. In addition, the surface texture of the veneer surface was analyzed using confocal laser scanning microscopy. The application of both prophylaxis procedures resulted in a deepening of the marginal interface (10 μm ± 8 μm) for materials. Furthermore, the internal interface of PICN restorations showed marginal gaps after both treatments and artificial aging (16 μm ± 3 μm). In contrast to the RBC specimens, a significant increase in surface roughness was identified for PICN veneers after ultrasonic scaling. The marginal and internal interface regions in veneers fabricated from PICN and RBC were affected by prophylaxis procedures. Furthermore, it may result in increased veneer surface roughness, especially in PICN and after ultrasonic scaling, which might affect bioadhesion and longevity. After dental prophylaxis procedures, examination of the marginal and the internal interface as well as the veneer surface provides a precise insight into damage mechanisms and offers an assessment of longevity.:Abkürzungsverzeichnis III 1 Einführung 1 1.1 Nicht kariöse Zahnhartsubstanzdefekte 2 1.1.1 Abfraktion 3 1.1.2 Abrasion 3 1.1.3 Attrition 3 1.1.4 Erosion 4 1.2 Klassifizierung der Keramiken und der Verbundwerkstoffe 4 1.2.1 Glasmatrix-Keramiken 4 1.2.2 Polykristalline Keramiken 5 1.2.3 Komposit-Matrix-Keramiken 5 1.2.3.1 Grandio Blocs (RBC) 6 1.2.3.2 Enamic (PICN) 6 1.3 Professionelle Zahnreinigung und ihre Auswirkungen 7 2 Publikationsmanuskript 9 3 Zusammenfassung der Arbeit 23 4 Literaturverzeichnis 27 5 Anlagen 31 5.1 Ergänzende Informationen / Supplemental Material 31 5.2 Darstellung des eigenen Beitrags zur Publikationspromotion 33 5.4 Erklärung über die eigenständige Abfassung der Arbeit 35 5.5 Lebenslauf 37 5.6 Eigenes Publikationsverzeichnis 39 5.7 Danksagung 41

The thesis primarily focuses on the pressure influence on the reaction rate of char gasification using laboratory thermogravimetric analysis (TGA). It discusses also the gasification of char with a mixture of gasifying agents (CO2 + steam) under a pressure of 40 bar and temperatures up to 1100°C, which has not been reported in the literature to the best of found knowledge. The first section investigates the pressure impact on char gasification kinetics by varying the total and partial pressure of the gasifying agent. The second section investigates the effect of gasifying agent at 40 bar and combining the pyrolysis step in the investigation, which was done in-situ under inert atmosphere. Then, mixtures of the two gasifying agents were used for the gasification in separate experiments. The third section uses raw coal as material and gives attention to the char structure formed after the pyrolysis under the high pressure. The fourth section includes measurements for char characteristics during the gasification reaction and compares them with the reference char data performed previously in this research group under atmospheric pressure.:Abstract 1. Introduction 1 1.1 Scope of the thesis 1 1.2 Layout of the thesis 2 2. Literature Review 4 2.1 Background 4 2.2 Coal and gasification 5 2.2.1 Coal classification and characteristics 5 2.2.2 Introduction to gasification process 7 2.2.3 Coal Analysis 10 2.2.4 Pyrolysis 13 2.2.5 Gasification reactions 13 2.2.6 Mechanism of solid-gas reaction and Thermodynamic background 14 2.2.7 Regimes of gas-Solid Reactions 17 2.2.8 Summary 19 2.3 Effect of Pressure on gasification process 20 2.3.1 Advantages of high-pressure operation 20 2.3.2 Influence on the pyrolysis step 20 2.3.3 Effect of Pressure on coal swelling 21 2.3.4 Pressure influence on char morphology 23 2.3.5 Effect of pyrolysis pressure on char surface area 23 2.3.6 Effect on reaction order n 24 2.3.7 Summary 24 2.4 Pressure influence on char gasification reaction kinetics 24 2.4.1 Pressure influence on gasification reaction kinetics 25 2.4.2 Summary 27 2.5 Char gasification using gasifying agent mixtures 27 2.5.1 Mechanism 29 2.5.2 The role of the inhibition and the catalytic effect 29 2.5.3 Summary 32 2.6 Thermodynamic aspects and the estimation of the reaction rate 32 2.6.1 Background 32 2.6.2 Basic definitions of reaction rate 34 2.6.3 Intrinsic kinetic models 35 2.6.4 Theoretical models 36 2.6.5 Empiric Models 39 2.6.6 Intrinsic kinetic models expressed by CO2 concentration 40 2.6.7 Arrhenius Activation Energy 40 2.6.8 Differentiation of a polynomial fit data (Differential method): 41 2.6.9 Summary 43 3. Experimental Analysis 44 3.1 Thermogravimetry 44 3.2 Testing of the gas volume fraction and the total pressure influence on char gasification 45 3.2.1 Testing of the gas volume fraction influence 45 3.2.2 Testing of system pressure influence on char gasification 56 3.2.3 Discussion 65 3.3 Coal gasification at 40 bar with pure CO2, H2O and their mixtures 65 3.3.1 Gasification with pure CO2 and H2O 66 3.3.2 Coal gasification using CO2 / H2O mixtures at high system pressure 87 3.3.3 Discussion 96 3.4 Pressure influence on coal gasification 100 3.4.1 Coal gasification under different system pressures 100 3.4.2 The effect of increasing pressure on coal morphology 104 3.4.3 Discussion 117 3.5 Influence of the pressure on the char properties during gasification 118 3.5.1 Discussion 129 4. General discussion 134 5. Conclusions 139 5.1 Significance of the findings 143 5.2 Recommendations 144 6. Appendix 146 6.1 Literature and Results 146 6.1.1 Conditions influence on gasification of the (a) temperature, (b) partial pressure 146 6.1.2 TGA-DMT 147 6.1.3 Testing of the gas volume fraction influence on coal gasification 148 6.1.4 Testing of system pressure influence on char gasification 150 6.1.5 Coal gasification at 40 bar with pure CO2, H2O and their mixtures 152 6.1.6 Coal gasification under different pressures 162 6.1.7 Summary of gas mixture gasification studies 167 6.2 Figures Index 169 6.3 Tables Index 175 6.4 References 177

In dieser Arbeit sollte eine Derivatisierungsmethode entwickelt werden, die die duale Quantifizierung funktioneller Gruppen an Oberflächen mittels Röntgenphotoelektronenspektroskopie (XPS) und Fluoreszenz ermöglicht. Verschiedene Farbstoffe, die robuste Fluoreszenzeigenschaften mit hohen Fluorgehalten für XPS kombinieren, wurden auf ihre selektive Reaktion mit Aminogruppen getestet und der Prototyp einer tiefergehenden Analyse auf einer Oberfläche unterzogen. Durch Fluoreszenzlöschung konnten die Möglichkeiten der bimodalen Analyse nur begrenzt abgeschätzt werden, obwohl in XPS und Fluoreszenz intensive Signale gemessen wurden. Die Herstellung der Modelloberflächen mittels Gasphasenabscheidung von Silanen konnte durch Kontaktwinkelmessungen schrittweise optimiert werden. Die Kombination zweier Monoalkoxysilane ermöglichte die Herstellung von Oberflächen mit variabler Funktionalgruppendichte. Nach Reaktion mit dem dualen Marker ließen sich die Messungen aus XPS und Fluoreszenz mindestens über eine Größenordnung korrelieren. Durch Synchrotron-XPS (SR-XPS) und Röntgenfluoreszenz unter Totalreflektion (TXRF) konnte eine absolute und rückführbare Quantifizierung erzielt werden. Weitere Modelloberflächen auf Basis von Trialkoxysilanen zeigten, dass bei anwendungsnahen Proben Fluoreszenzlöschung auftritt. Diese konnte in einem gewissen Maße mittels Fluoreszenzlebensdauer berechnet werden. Darüberhinaus konnte mit der Photometrie eine unabhängige Methode gefunden werden, die die Quantifizierung des Farbstoffs an der Oberfläche in hoher Präzision ermöglicht und mit Hilfe der XPS auch der funtionellen Gruppen. Die Cavity Ring-Down Spektroskopie (CRDS) wurde als Laserbasierte Methode zur empfindlichen und ortsaufgelösten Messung der Absorption auf transparenten Substraten untersucht und erste vielversprechende Ergebnisse gewonnen. Weiterhin wurde ein modulares Farbstoffsystem entwickelt, das sowohl Variation der spektralen als auch der Bindungseigenschaften erlaubt. / This work aimed on the development of dual-mode labelling method that combines X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) with fluorescence measurements for surface functional group quantification. Label dyes combining robust fluorescence properties with high fluorine contents were investigated towards their selective reaction with surface amino groups and the lead candidate subjected to detailed analysis on a surface. Fluorescence quenching precluded a detailed investigation of the capabilities of dual-mode labelling, despite providing sufficient signal in XPS and fluorescence scanning. The fabrication of surfaces using vapour deposition (VD) of silanes in toluene was optimized under aid of contact angle measurements. Binary mixtures of mono-alkoxy silanes were used to prepare surfaces with variable functional group density. Treatment with the label dye showed that XPS and fluorescence provide a linear overlap in signal generation over at least one order of magnitude. The combination of synchrotron radiation XPS (SR-XPS) and total reflection X-ray fluorescence spectroscopy (TXRF) provided an absolute and traceable quantification . Different model surfaces based on trialkoxy silanes showed strong fluorescence quenching. A fluorescence lifetime based correction was developed to account for such quenching effects. Additionally, the application of spectrophotometry provided a independent method of quantification for the surface bound dye and in combination with information obtained from XPS, to determine the surface functional group density. With cavity ring-down spectroscopy (CRDS), a laser based technique for highly sensitive and spatially resolved absorption measurements on transparent substrates could be developed and applied in a proof-of-concept. A modular system for the fabrication of label dyes with adjustable spectral properties and different binding sites was investigated using prototype candidates to prove the general applicability of such systems.

Transition metal interface effects of on the crystallization of carbon and silicon were investigated. The graphitization of carbon was studied by ion beam sputter deposition of atomic carbon onto a nickel surface at temperatures ranging from room temperature to 550 °C. The resulting films were characterized by X-ray photoelectron spectroscopy, nuclear reaction analysis combined with Rutherford backscattering spectrometry, Raman spectroscopy and transmission electron microscopy. A temperature-induced and a nickel-induced effect on the graphitic ordering is demonstrated. The carbon films showed a two layered structure: directly on the nickel surface up to 8 monolayers of graphitic carbon, further deposited carbon formed less ordered structures, preferably perpendicular to the surface. The results are discussed on the basis of hyperthermal atom deposition, surface diffusion, metal-induced crystallization and dissolution-precipitation. The analysis points to a dominating role of surface diffusion-assisted crystallization in the carbon ordering process. The kinetics of silver-induced crystallization of amorphous silicon were studied in a series of isothermal annealing experiments at 350 °C, 400 °C, 450 °C and 500 °C. The annealing process was monitored in situ employing Raman spectroscopy and Rutherford backscattering spectrometry from which time resolved information on the phase transformation and hence the kinetics are obtained. The grain structure of the crystallized silicon film was investigated with optical and scanning electron microscopy which reveals grain diameters of 5 to 8 µm. The small scale crystallinity was measured with X-ray diffraction and crystal domain sizes from 20 to 50 nm were observed. The phase transformation kinetics are discussed based on the Johnson-Mehl-Avrami-Kolmogorov theory. The analysis points to a two-dimensional, diffusion limited process with fast Avrami-type nucleation and an activation energy of 0.8 eV/at.:Contents 1. Introduction 2. Metal-Induced Crystallization 2.1. Introduction and State of the Art of Metal-Induced Crystalliza-tion 2.2. Thermodynamics of Metal-Induced Crystallization 2.3. Kinetics of Metal-Induced Crystallization 3. Ion Beam Analysis 3.1. Rutherford Backscattering Spectrometry 3.2. Nuclear Reaction Analysis 4. Raman Spectroscopy 4.1. Light Scattering in Solids 4.2. Theory 4.2.1. The Raman Spectrum of Graphitic Carbon 4.2.2. The Silicon Raman Spectrum 5. The Cluster Tool at the Ion Beam Center 5.1. General Concept 5.2. Sputtering Chamber 5.3. The Environmental Chamber 5.4. The Analysis Chamber 5.5. The Ion Beam Analysis Chamber 5.5.1. The Experimental Setup 6. The Carbon Nickel System 6.1. Experimental Details 6.1.1. Film growth 6.1.2. Characterization 6.2. Results 6.3. Discussion 7. The Silicon Silver System 7.1. Experimental 7.1.1. Film Preparation 7.1.2. In Situ Raman Spectroscopy 7.1.3. In Situ Rutherford Backscattering Spectrometry 7.2. Results 7.2.1. Raman Spectroscopy 7.2.2. Rutherford Backscattering Spectrometry 7.2.3. X-ray Diffraction 7.2.4. Optical and Scanning Electron Microscopy 7.3. Discussion 8. Conclusion and Outlook A. Appendix A.1. Spectroscopic Lineshapes A.1.1. The Lorentzian Lineshape A.1.2. The Breit-Wigner-Fano Lineshape A.1.3. The Doniach-Sunjic Lineshape A.1.4. The Gaussian Lineshape A.1.5. The Voigt Lineshape A.2. Statistcial Distribution Functions A.2.1. The Gamma Distribution Bibliography / Der Einfluss von Übergangsmetallkontaktflächen auf die Kristallisation von Kohlenstoff und Silizium wurde untersucht. Dazu wurde Kohlenstoff bei Temperaturen von Raumtemperatur bis 550 °C auf Nickel mittels Ionenstrahl-Sputtern abgeschieden. Die so erzeugten Filme wurden mit Röntgenphotoelektronen Spektroskopie, Kernreaktionsanalyse kombiniert mit Rutherford Rückstreu Spektrometrie, Raman Spektroskopie und Transmissions-Elektronenmikroskopie charakterisiert. Ein Nickel- und ein Temperatureffekt auf den Graphitisierungsprozess wird nachgewiesen. Die Kohlenstofffilme zeigten einen zweilagigen Aufbau: Direkt auf der Nickeloberfläche bis zu 8 Monolagen graphitischen Kohlenstoffs, weiterer abgeschiedener Kohlenstoff bildet weniger geordnete Strukturen, die bevorzugt senkrecht zur Oberfläche ausgerichtet sind. Die Ergebnisse werden auf Basis von hyperthermischer, atomarer Abscheidung, Oberflächendiffusion, Metall-induzierte Kristallisation und Lösung-Ausfällung diskutiert. Die Analysen deuten auf eine dominante Rolle der Oberflächendiffusion im Graphitisierungsprozess hin. Die Kinetik der Silber-induzierten Kristallisation von amorphen Silizium wurde in einer Reihe von isothermalen Temperexperimenten bei 350 °C, 400 °C, 450 °C und 500 °C untersucht. Der Tempervorgang wurde mit in situ Raman Spektroskopie und in situ Rutherford Rückstreu Spektrometrie charakterisiert, wodurch zeitaufgelöste Information über den Phasenübergang und damit die Kinetik gewonnen wurden. Das Gefüge der entstandenen Siliziumschichten wurde mit optischer und Rasterelektronenmikroskopie untersucht, welche Korndurchmesser von 5 bis 8 µm zeigten. Die Kristallinität wurde mit Röntgendiffraktometrie analysiert. Hierdurch wurden Kristallitgrößen von 20 bis 50 nm bestimmt. Die Kinetik des Phasenüberganges wird anhand der Johnson-Mehl-Avrami-Kolmogorov Theorie diskutiert. Dies deutet auf einen zeidimensionalen, diffusionslimitierten Prozess mit schnell abklingender Avrami-Keimbildung hin. Die Aktivierungsenergie wurde zu 0.8 eV/At. bestimmt.:Contents 1. Introduction 2. Metal-Induced Crystallization 2.1. Introduction and State of the Art of Metal-Induced Crystalliza-tion 2.2. Thermodynamics of Metal-Induced Crystallization 2.3. Kinetics of Metal-Induced Crystallization 3. Ion Beam Analysis 3.1. Rutherford Backscattering Spectrometry 3.2. Nuclear Reaction Analysis 4. Raman Spectroscopy 4.1. Light Scattering in Solids 4.2. Theory 4.2.1. The Raman Spectrum of Graphitic Carbon 4.2.2. The Silicon Raman Spectrum 5. The Cluster Tool at the Ion Beam Center 5.1. General Concept 5.2. Sputtering Chamber 5.3. The Environmental Chamber 5.4. The Analysis Chamber 5.5. The Ion Beam Analysis Chamber 5.5.1. The Experimental Setup 6. The Carbon Nickel System 6.1. Experimental Details 6.1.1. Film growth 6.1.2. Characterization 6.2. Results 6.3. Discussion 7. The Silicon Silver System 7.1. Experimental 7.1.1. Film Preparation 7.1.2. In Situ Raman Spectroscopy 7.1.3. In Situ Rutherford Backscattering Spectrometry 7.2. Results 7.2.1. Raman Spectroscopy 7.2.2. Rutherford Backscattering Spectrometry 7.2.3. X-ray Diffraction 7.2.4. Optical and Scanning Electron Microscopy 7.3. Discussion 8. Conclusion and Outlook A. Appendix A.1. Spectroscopic Lineshapes A.1.1. The Lorentzian Lineshape A.1.2. The Breit-Wigner-Fano Lineshape A.1.3. The Doniach-Sunjic Lineshape A.1.4. The Gaussian Lineshape A.1.5. The Voigt Lineshape A.2. Statistcial Distribution Functions A.2.1. The Gamma Distribution Bibliography