Storia e geografia del teatro pubblico in Italia, attraverso lo studio dell'evoluzione del concetto di stabilità (dal secondo dopoguerra ad oggi) e la ricognizione del sistema dei teatri stabili a gestione pubblica.

Iki ekonominės krizės visuomenėje vyravo vartotojiškas požiūris, gauti kuo didesnes pajamas, noras turėti kuo daugiau, tačiau toks besaikis vartojimas pasaulį privedė prie finansinės krizės ir sukrėtė vyraujantį ekonominį modelį iki pat pamatų. Nepaisant technologinių pasiekimų, keičiantis gamybos ir vartojimo tempams kinta ir išteklių naudojimas bei aplinkos tarša. Nacionalinėje darnaus vystymosi strategijoje (toliau NDVS) (2009) iškeltas tikslas, kad Lietuva pagal ekonomikos lygį ir išteklių naudojimo efektyvumo rodiklius iki 2020 m. turi pasiekti 2003 m. ES–15 šalių vidurkį, o pagal aplinkos taršos rodiklius – neviršyti ES leistinų normatyvų, todėl labai svarbu žinoti, kaip siekiant šių tikslų gali keistis aplinkos būklė ir, ar pasiseks įgyvendinti darnaus vystymosi strategijoje numatytus aplinkosauginius tikslus. Darbo tikslas – išanalizuoti pagrindinius aplinkos sektoriaus darnaus vystymosi rodiklius ir nustatyti jų priklausomybę nuo ekonomikos pokyčių 2000–2020 m. Lietuvoje. Darbe buvo analizuojami pagrindiniai Lietuvos darnaus vystymosi ekonominiai, socialiniai ir aplinkosauginiai rodikliai 2000–2010 m., taip pat nustatyta aplinkos kintamųjų priklausomybė nuo ekonomikos (ne)augimo ir įvertintos galimos aplinkos kintamųjų tendencijos bei galimybės įgyvendinti iškeltus tikslus, pagal tris galimus ekonomikos vystymosi scenarijus 2010–2020 m. laikotarpiu. Sudarius tris galimus ekonomikos vystymosi scenarijus rezultatai parodė, kad jei šalies ūkis vystytųsi pagal pirmą (16... [toliau žr. visą tekstą] / Consumeristic approach to maximize income, the desire to have more has dominated in societies before the economic crisis, but that excessive consumption of the world has led to the financial crisis witch has shaken dominant economic model to the foundation. Despite technological achievements, changing production and consumption rates influence use of resources and environment pollution. The main aim of the National Sustainable Development Strategy (2009) is to achieve the average development level of EU15 in year 2003 according to the indicators of economic and social developments as well as to the efficiency in consumption of resources and to stay within the EU’s allowable limits by 2020. The aim of the study is to examine main sustainability indicators of environmental sphere and to assess their dependence from economic (GDP) changes over 2000–2020 periods in Lithuania. The main changes of indicators of sustainable development over 2000–2010 period were assessed in Lithuania. Also dependence of environment variables from economic (de)growth was examined and possible tendencies of environmental variables and opportunities to achieve foreseen targets, according to three possible scenarios for economic development over 2000–2020 periods were evaluated. Three possible scenarios for economic development has shown that if country’s economy develops according to the first (16 % GDP growth) or second (zero GDP growth) scenario, the aim set by NSDS (2009) to decouple the... [to full text]

SUMMARY Aim: To evaluate the quality of life of patients with stable angina pectoris, the decrease of physical load tolerance by them and influence of prevention measures for their quality of life. Methods of the study: The following research methods were used for the study: questioning of patients, interview method, method of document analysis, statistical data processing. The study sample consisted of 93 investigated persons. All investigated persons were divided into two groups: the first group included patients with stable angina pectoris of functional classes III-IV; the second group comprised the investigated with stable angina pectoris of funktional classes I-II (according to the classification of the Canadian Heart Association). Findings: Very limited physical activity was found in 14,6 % of patients of the investigated group, moderately limited in 29,2 %, partially limited in 39,5 %, litlle limited in 12,5 % and unlimited in 4,2% of patients of the investigated group. After receiving findings of the study we could state that physical activity was more or less limited in more than 95 % of patients with AP (of functional slasses III-IV). The number of patients of the compared group distributed in the following way by the abovementioned ranges: very limited physical activity was in case of 11,1% of patients, moderately limited in 40 %, partially limited in 31,1 %, little limited in 11,1 %, unlimited in 6,7 % of patients of the compared groups. After getting to know... [to full text]

L’Âge du Bronze est un moment de changement pour les groupes humains en Italie : les attestations archéologiques montrent comment les nouvelles pratiques agricoles, le système d’élevage et le développement de nouvelles activités économiques sont diffusés différemment selon les régions, conformément à l’environnement et aux facteurs sociaux. L’étude des stratégies de subsistance et des comportements socio-économiques à travers l’analyse des patrons alimentaires en Italie, pendant l’Âge du Bronze est donc proposée. L’enjeu est de comprendre comment les habitudes alimentaires reflètent ces transformations et d’analyser l’introduction et consommation de nouvelles ressources végétales et animales. Sur la base d’une approche diachronique et géographique, l’évolution des habitudes alimentaires à travers les analyses des isotopes stables dans le collagène des os humains et animaux est présentée. L’étude se concentre sur dix sites datant de 2300-930 av. J.-C. L’analyse au niveau géographique témoigne d’une diète plus variée dans le Nord et le Centre de l’Italie par rapport au Sud. Concernant l’analyse diachronique, une homogénéité des ressources consommées à l’Âge du Bronze Ancien est remarquée. Pour l’Âge du Bronze Moyen et Final l’émergence de régimes alimentaires basés sur de nouvelles plantes est mise en évidence. Cette période se présente donc comme un moment de rupture et de transition. L’introduction de nouvelles ressources et la diffusion de céréales contribuent à mettre en évidence les dynamiques des échanges culturels qui ont caractérisé les communautés à l’Âge du Bronze, même si l’environnement et les variations climatiques ne doivent pas être négligées. / The Bronze Age is characterised by significant changes in human groups organisation and activities. In Italy, archaeological evidences show that new agricultural practices, livestock farming and new economic activities were introduced. All these aspects evolved differently, depending on geographical areas, local environment and social factors. The study of subsistence strategies and socio-economic behaviours through the analysis of dietary patterns in Italy during the Bronze Age is presented. Main scopes are to delineate Italian society’s food choices and to analyse the introduction of new resources. Stable isotopes analyses contained in collagen of human and animal bone has been performed. A diachronic and geographic approach is presented. The analysis focuses on ten Italian sites dating from ca. 2300 to 930 BC, presenting both diachronic and geographic comparison. The geographic analysis shows a more varied diet in the North and Central Italy, compared to the Southern areas. Concerning the diachronic analysis, data highlight the homogeneity of the resources consumed during the Early Bronze Age. For both Middle and Late Bronze Ages, the introduction of new plants in the diet is evident. Thus, Middle Bronze Age represents a pivotal moment in protohistoric societies, as a phase of rupture and transition. The consumption of different food resources and new cereals diffusion processes contribute to highlight the importance of contacts and cultural exchanges. These relationships had a significant influence on Italian communities during the Bronze Age, including food habits, although the environment and the climatic oscillations of this period cannot be neglected. / L'età del Bronzo è una fase della Protostoria caratterizzata in Italia da importanti cambiamenti per i gruppi umani. Le evidenze archeologiche suggeriscono l'introduzione di nuove pratiche agricole e sistemi di allevamento, a cui si associa la sviluppo di attività di rilevanza a livello economico (e.g. metallugia), e una maggiore organizzazione della società che mostrano al loro interno una strutturazione e gerarchizzazione più marcata: questi aspetti presentano tendenze differenti secondo l'area geografica, in seguito alle caratteristiche ambientali locali e fattori di tipo sociale. Questo lavoro propone lo studio delle strategie di sussistenza e delle tendenze socio-economiche attraverso l'analisi dell'alimentazione. Gli obiettivi sono comprendere come le transformazioni che si manifestano a livello socio-economico si riflettono nella dieta, delineare le tendenze alimentari considerando anche gli aspetti biologici e analizzare il consump di nuove risorse. Lo studio è stato effetuato attraverso l'analisi degli isotopi stabili contenuti nel collagene delle ossa di resti umani e animali. Sono stati selezionati 10 siti della penisola italiana datati tra 2300-930 BC: prendendo in considerazione altri siti disponibili in letteratura, l'analisi è avvenuto applicando un approccio di tipo geografico e cronologico. L'analisi geografica ha messo in evidenza come il Nord e il Centro Italia presentino dei pattern alimentari variegati, contrariamente à quanto si rileva per il Sud Italia. L'analisi cronologica mostra come nel Bronzo Antico si noti una maggior omogeneità nel tipo di risorse consumate, differentemente all'età del Bronzo Medio e Rencete-Finale, dove l'introduzione di nuovi cereali nella dieta,come il miglio, risultaevidente. Questo studio, quindi, mostra come nel Bronzo Antico rappresenti un momento critico, di transizione, per i gruppi umani protostorici. Il consumo di risorse differenti e il processo di diffusione di nuovi cereali sottolinea l'importanza dei contatti e degli scambi culturali tra le diverse comunità. Queste relazioni cominciano ad avere un'influenza rilevante durante l'età del Bronzo, anche a livello di abitudini alimentari, sebbene non possano essere ignorate le caratteristiche ambientali locali e le oscillazioni climatiche di questo periodo.

L'adozione di (agro)ecosistemi sostenibili viene indicata come una efficace strategia in grado sequestrare carbonio (C) nel suolo, mitigando così il cambiamento climatico e migliorando la fertilità. Sebbene il potenziale di sequestro del C della non-lavorazione (NT) sia stato generalmente sovrastimato, esso risulta essere di 0,26 Mg ha-1 anno-1 superiore rispetto al regime arativo. Inoltre, il 76,6% di questo quota è localizzato in frazioni considerabili come relativamente stabili. Il NT aumenta lo sviluppo radicale delle colture erbacee (es. mais, soia, frumento) negli stati superficiali del suolo (0-5 cm). Le correlazioni tra i parametri di densità radicale e le proprietà fisiche del suolo mostrano come lo sviluppo radicale sia un fondamentale indicatore di qualità del suolo in NT. I residui delle cover crops influenzano le emissioni di protossido d’azoto (N2O) in NT: i residui di segale favoriscono l'immobilizzazione dell’azoto (N), aumentandone così l'efficienza d’utilizzo e diminuendo le emissioni, mentre i residui di veccia vellutata aumentano l’N2O come conseguenza della mineralizzazione dell’N. Le emissioni di N2O e la produttività dei prati stabili possono essere positivamente correlate, perché meccanismi diversi rispetto alla regolazione indotta dalla disponibilità di N possono controllare l'N2O: il C potrebbe essere un principale fattore di regolazione per nitrificazione e denitrificazione. / Adoption of sustainable (agro)ecosystems has been widely suggested to increase soil organic carbon (C) sequestration, to mitigate climate change and enhance soil fertility. Although its carbon sequestration potential has been generally overestimated, no-till (NT) results in an extra C sequestration of 0.26 ± 0.18 Mg ha-1 yr-1 as compared to conventional tillage and 76.6% of this extra C is located in C pools which could be considered relatively stable. NT increases root development of field crops (i.e. maize, soybean, winter wheat) in the top soil (0-5 cm), while does not in the deeper soil (5-60 cm). Positive correlations between root density and soil physical parameters shows how roots are main drivers of soil physical properties under NT. Cover crop residues may affect nitrous oxide (N2O) emissions under NT: rye residues enhances soil-nitrogen (N) immobilization, thus increasing N use efficiency and decreasing N2O, while hairy vetch residues as cover crop under NT increases N2O as a consequence of soil-N mineralization. N2O emissions and shoot productivity may be positive correlated in grasslands, because other mechanisms than plant-induced regulation of soil N pool may control N2O: C could be a major factor regulating nitrification and denitrification processes.

Entre 2003 et 2010, dans la région centrale nommée X de la catacombe des Saints Pierre-et-Marcellin à Rome, a été découvert et en partie fouillé un ensemble de sépultures plurielles inédites (Ier-IIIe s. ap. J.-C.) contenant plusieurs centaines d’individus, lesquels ont été inhumés selon des pratiques funéraires singulières à la suite d’un épisode de surmortalité de nature probablement épidémique. Pour appréhender l’histoire de vie (alimentation et mobilité) de ces défunts et rediscuter sur la base d’éléments nouveaux certaines hypothèses préalablement établies, nous avons mené dans le cadre de ce travail une approche archéo-biogéochimique multi-proxy (14C, δ13C, δ15N, δ18O et 87Sr/86Sr) et multi-tissulaire (émail, os, cheveu) sur un échantillon de 130 individus issus de six différentes chambres. Nous avons dans un premier temps vérifié l’intégrité biochimique et isotopique des fractions minérales (phases carbonatées) et organiques (phases collagénique et kératinique) des échantillons à partir d’indicateurs classiques mesurés en routine (%Col, %C, %N, C/N, PCO2 et PCO2/Masse) et par spectroscopie IRTF (IRSF, CO3/PO4 et AmideI/PO4) et par une approche innovante consistant en des datations 14C sur couples collagène-apatite pour valider le signal isotopique des fractions minérales. Nos résultats mettent en évidence des différences extrêmes de préservation de toutes les phases. La trajectoire diagénétique des échantillons n’est toutefois pas aléatoire mais dépendante des conditions environnementales et taphonomiques différant entre les petites et les grandes chambres. En outre, nous avons pu démontrer qu’en dépit de fortes recristallisations et d’échanges isotopiques avec l’environnement sépulcral, les phases carbonatées possèdent un signal isotopique biogénique non altéré. Nous avons dans un second temps reconstruit les régimes alimentaires des individus en nous appuyant sur des référentiels de comparaisons robustes ainsi que divers modèles interprétatifs (mono-proxys versus multi-proxys ; qualitatifs versus quantitatifs), lesquels ont été dans certains cas adaptés au besoin de notre étude. D’une façon générale, nos résultats montrent que l’essentiel des individus a eu accès à un régime alimentaire type fondé sur la triade Céréales C3/Viande C3/Poisson marin. Ce régime alimentaire type n’est toutefois pas exclusif, certains individus (n = 13) ayant consommé de façon occasionnelle d’autres catégories de ressources tels que du poisson dulcicole ou des céréales C4. Nos résultats révèlent que les changements d’alimentation au cours de la vie sont relativement limités. Par ailleurs, cette population se singularise sur un plan strictement alimentaire au regard des autres populations contemporaines romaines pour lesquelles des valeurs isotopiques sont publiées. Nous avons dans un troisième temps étudié les schémas de mobilité des individus en nous fondant sur une approche rigoureuse de nos données et sur des référentiels de comparaison les plus exhaustifs possible ainsi qu’en tenant compte de biais ordinairement éludés (faits culturels, influence du climat et erreurs associées aux équations de conversion). Nos résultats mettent en lumière qu’a minima 23 % (n = 30) des individus étudiés sont migrants. Ces derniers ne se distinguent toutefois pas de par leur alimentation des résidents romains. Nous avons pu montrer en outre que ces migrants ont eu des trajectoires de vie complexes et hétérogènes et que trois schémas de mobilité distincts les caractérisent. Notre population ne se différencie pas en termes de taux de migrants des autres populations romaines pour lesquelles des données isotopiques sont disponibles. Elle se distingue en revanche par son cosmopolitisme avec des origines pour les migrants des plus diverses : Europe, Afrique, Arabie et Asie mineure [...]. / An assembly of unpublished complex plural burials (1st-3rd cent. AD.) was discovered and partially excavated, between 2003 and 2010 in the central region called X of the catacomb of Saints Peter and Marcellinus in Rome. It contains several hundred individuals which were buried according to uncommon funeral practices following a mortality episode of likely epidemic nature. To understand the life history (diet and mobility patterns) of these deceased and to discuss again certain assumptions previously established on the basis of new evidences, we have as part of this work conducted an archaeo-biogeochemical multi-proxy (14C, δ13C, δ15N, δ18O et 87Sr/86Sr) and multi-tissue (enamel, bones, hair) approach on a sub-sample of 130 individuals coming from six different chambers. At the outset, we tested the biochemical and isotopic integrity of mineral (carbonate phases) and organic fractions (collagen and keratin phases) samples from conventional indicators measured in routine (%Col, %C, %N, C/N, PCO2 et PCO2/Mass), by FTIR spectroscopy (IRSF, CO3/PO4 and AmideI/PO4) and by an innovative approach consisting of 14C dating on collagen-apatite to validate the isotopic signal of mineral fractions. Our results highlight extreme differences of preservation of all phases. Diagenetic trajectory of samples is however not random but dependent on environmental and taphonomical conditions which differ between small and large chambers. Furthermore, we have been able to demonstrate that, despite strong recrystallization and isotopic exchanges with the sepulchral environment, carbonated phases have an unaltered biogenic isotopic signal. Secondly, we rebuilt the diets of individuals based on robust comparisons repositories and various interpretative models (mono-proxy versus multi-proxies; qualitative versus quantitative) which were, in some cases, adapted to the needs of our study. In general, our results show that most of the individuals had access to such a type diet based on the triad Cereals C3/Meat C3/Marine fish. This type diet would however not be exclusive, some individuals (n = 13) would have indeed occasionally consumed other resources such as freshwater fish or C4 cereals. Our results indicate that changes of diet during the life history are relatively limited. Besides, with regard to consumed food, this population is distinguished from other contemporary Roman populations for whom isotopic values are published. In the third place, we studied individual’s mobility patterns based on a rigorous approach to our data and on a comparison of the most comprehensive repositories as possible with taking into account the bias usually evaded (cultural facts, influence of climate and errors associated with conversion equations). Our results highlight that a minimum of 23% (n = 30) of the studied individuals are migrants. These, however, are not distinguished from Roman residents through their diet. We were able to show further that these migrants had complex and heterogeneous trajectories during their life within three distinct mobility patterns characterizing them. In terms of migrant’s rates, our population does not differ from other Roman populations for which the isotopic data are available. It differs however by its cosmopolitanism with origins for more diverse migrants: Europe, Africa, Arabia and Asia Minor [...]. / Tra il 2003 e il 2010, nella regione centrale chiamata X della catacomba dei Santi Pietro e Marcellino a Roma, è stato scoperto e parzialmente scavato un insieme di sepolture plurime inedite (I-III sec. D.C.) contenente diverse centinaia di individui, i quali sono stati inumati secondo le pratiche funerarie singolari in seguito ad un episodio di sovramortalità di natura probabilmente epidemica. Per comprendere la storia di vita (alimentazione e mobilità) di questi defunti e ridiscutere, sulla base di nuovi elementi, alcune ipotesi precedentemente formulate, abbiamo condotto, nel quadro di questo lavoro, un approccio archeo-biogeochimico multi-proxys (14C, δ13C, δ15N, δ18O e 87Sr/86Sr) e multi-tessuto (smalto, ossa, capelli) su un campione di 130 individui da sei stanze diverse. Abbiamo inizialmente verificato l'integrità biochimica e isotopica delle frazioni minerali (fasi carbonatiche) ed organiche (fasi collageniche e cheratiniche) dei campioni provenienti da indicatori classici misurati in routine (%Col, %C, %N, C/N, PCO2 e PCO2/Massa) e per spettroscopia FTIR (IRSF, CO3/PO4 e AmmideI/PO4) ed un approccio innovativo costituito da datazione 14C su coppie collagene-apatite per validare il segnale isotopico delle frazioni minerali. I nostri risultati mettono in evidenza delle differenze estreme di preservazione di tutte le fasi. La traiettoria diagenetica dei campioni non è però aleatoria, ma dipendente dalle condizioni ambientali e tafonomiche che differiscono tra camere piccole e grandi. Inoltre, abbiamo potuto dimostrare che nonostante delle forti ricristallizzazioni e degli scambi isotopici con l'ambiente sepolcrale, le fasi carbonatiche hanno un segnale isotopico biogenetico inalterato. Abbiamo in un secondo tempo ricostruito i regimi alimentari degli individui basandoci su riferimenti di confronto robusti e vari modelli interpretativi (mono-proxys versus multi-proxys, qualitativi versus quantitativi), i quali sono stati in alcuni casi, adattati alle esigenze del nostro studio. In generale, i nostri risultati mostrano che la maggior parte degli individui ha avuto accesso ad un regime alimentare tipo basato sulla triade Cereali C3/Carne C3/Pesci marini. Questo regime alimentare non è tuttavia esclusivo, avendo certi individui (n = 13) consumato casualmente altre categorie di risorse come il pesce dulciacquicolo o dei cereali C4. I nostri risultati indicano che i cambiamenti di alimentazione nel corso della vita sono relativamente limitati. Inoltre, questa popolazione si distingue da un piano strettamente alimentare rispetto alle altre popolazioni contemporanee romane per le quali dei valori isotopici sono pubblicati. Abbiamo in un terzo tempo studiato gli schemi di mobilità degli individui basandoci su un approccio rigoroso dei nostri dati e su riferimenti di confronto i più esaustivi possibile, e anche tenendo conto di punti di vista solitamente elusi (fatti culturali, influenza del clima e errori associati alle equazioni di conversione). I nostri risultati mettono in luce che a minima 23% (n = 30) degli individui studiati sono migranti. Questi ultimi, tuttavia, non si distinguono per la loro alimentazione dai residenti romani. Abbiamo potuto mostrare, inoltre, che questi migranti hanno avuto percorsi di vita complessi ed eterogenei e che tre schemi di mobilità distinti li caratterizzano. Nostra popolazione non si differenzia in termini di tasso di migranti da altre popolazioni romane per le quali sono disponibili dei dati isotopici. Essa si distingue tuttavia per il suo cosmopolitismo con delle origini per i migranti delle più diverse: Europa, Africa, Arabia e Asia Minore [...].

Aufgrund der höheren elektrischen Leitfähigkeit und des größeren Widerstandes gegen Elektromigration im Vergleich zum Aluminium wird seit einigen Jahren Kupfer als Leitbahnmaterial in der Mikroelektronik eingesetzt. Da Kupfer jedoch eine hohe Beweglichkeit in den für die Halbleitertechnologie relevanten Werkstoffen aufweist, sind zur Verhinderung einer Diffusion effektive Barrieren notwendig. Dabei muss die u. a. geforderte hohe thermische Stabilität der Barrierematerialien auch im Zuge der fortschreitenden Miniaturisierung der mikroelektronischen Bauelemente und damit der Reduzierung der Barriereschichtdicken sichergestellt sein. Im Rahmen der Arbeit wurden mittels Magnetron-Sputtern neben Ta- und TaN-Einfachschichten sowie Ta-TaN-Mehrfachschichten auch Ta-Si-N-Einfachschichten jeweils mit und ohne Cu-Metallisierung sowohl auf blanke als auch auf thermisch oxidierte Si-Scheiben abgeschieden. Die Dicken der Barriereeinzelschichten und die der Cu-Schichten betrugen 10 nm bzw. 50 nm. Die Beurteilung der Barrierestabilität sowie die Charakterisierung der Ausfallmechanismen erfolgten nach Wärmebehandlungen durch den kombinierten Einsatz von Röntgenstreumethoden, spektroskopischen sowie mikroskopischen Analyseverfahren. In Abhängigkeit von ihrer Zusammensetzung und damit von der Mikrostruktur im Ausgangszustand finden für die zwischen Kupfer und SiO2 abgeschiedenen Diffusionsbarrieren unterschiedliche Prozesse während thermischer Belastungen statt. Bei den mehrstufigen Ta-TaN-Barrieren setzt bereits bei T = 300 °C eine Umverteilung von Stickstoff ein, die bei T = 500 °C in der Bildung von Ta2N-Kristalliten resultiert. Im Fall der Ta-Si-N-Barrieren führt die vorhandene Cu-Metallisierung zu einer an der Cu/Barriere-Grenzfläche beginnenden Kristallisation. Dabei hängen sowohl deren Einsatzzeitpunkt während einer bei konstanter Temperatur durchgeführten Wärmebehandlung als auch das entstehende Kristallisationsprodukt von der Barrierezusammensetzung ab. Im Zuge der Kristallisation erfolgt die vollständige Zerstörung der ursprünglichen Schichtintegrität, so dass Kupfer in unmittelbaren Kontakt zum SiO2-Substrat gelangt. Der sensitive Nachweis einer Cu-Diffusion durch die Barriere erfolgte einerseits durch die Charakterisierung von Cu/Barriere/SiO2/Si-Systemen mit Hilfe spurenanalytischer Methoden und andererseits durch die Untersuchung von Proben mit geändertem Aufbau. Durch Abscheidung der Barrieren zwischen Kupfer und Silizium ist mittels Röntgenbeugung die nach Diffusion von Cu-Atomen ins Substrat einsetzende Bildung von Cu3Si detektierbar. Mit den kritischen Temperaturen für die Bildung dieses Kupfersilizids erfolgte die vergleichende Bewertung der thermischen Stabilitäten der Barrieren. Werden die dünnen Ta-basierten Schichten zusätzlich bezüglich ihres spezifischen elektrischen Widerstandes beurteilt, so stellt sich eine Ta56Si19N25-Diffusionsbarriere als am geeignetsten für den Einsatz in Cu-Metallisierungssystemen heraus. Die mikrostrukturellen Untersuchungen gestatten Aussagen zu den Versagensmechanismen der einzelnen Barrieren. Für die Ta-TaN-Mehrfachschichten wird durch die einsetzende Stickstoffumverteilung und die sich anschließende Ta2N-Bildung bereits frühzeitig die stabile Mikrostruktur der TaN-Schicht zerstört. Während für Ta-Si-N-Schichten mit einem N-Gehalt von bis zu 25 at.% eine Cu-Diffusion ins Substrat erst nach vorzeitiger Barrierekristallisation beobachtet wird, erfolgt sie im Fall der stickstoffreichen Ta-Si-N-Barrieren in einem Zustand, für den mittels Röntgenbeugung eine Kristallisation noch nicht nachweisbar ist. Die Untersuchung der Abhängigkeit der sich während des Cu-Schichtwachstums bzw. einer nachträglichen Wärmebehandlung ausbildenden Cu-Texturkomponenten von der chemischen Zusammensetzung der Unterlage erfolgte mittels röntgenographischer Texturanalyse. Zur Diskussion der beobachteten Vorzugsorientierungen wurde das Modell des zweidimensionalen Kornwachstums in dünnen Schichten herangezogen.

Aufgrund der höheren elektrischen Leitfähigkeit und des größeren Widerstandes gegen Elektromigration im Vergleich zum Aluminium wird seit einigen Jahren Kupfer als Leitbahnmaterial in der Mikroelektronik eingesetzt. Da Kupfer jedoch eine hohe Beweglichkeit in den für die Halbleitertechnologie relevanten Werkstoffen aufweist, sind zur Verhinderung einer Diffusion effektive Barrieren notwendig. Dabei muss die u. a. geforderte hohe thermische Stabilität der Barrierematerialien auch im Zuge der fortschreitenden Miniaturisierung der mikroelektronischen Bauelemente und damit der Reduzierung der Barriereschichtdicken sichergestellt sein. Im Rahmen der Arbeit wurden mittels Magnetron-Sputtern neben Ta- und TaN-Einfachschichten sowie Ta-TaN-Mehrfachschichten auch Ta-Si-N-Einfachschichten jeweils mit und ohne Cu-Metallisierung sowohl auf blanke als auch auf thermisch oxidierte Si-Scheiben abgeschieden. Die Dicken der Barriereeinzelschichten und die der Cu-Schichten betrugen 10 nm bzw. 50 nm. Die Beurteilung der Barrierestabilität sowie die Charakterisierung der Ausfallmechanismen erfolgten nach Wärmebehandlungen durch den kombinierten Einsatz von Röntgenstreumethoden, spektroskopischen sowie mikroskopischen Analyseverfahren. In Abhängigkeit von ihrer Zusammensetzung und damit von der Mikrostruktur im Ausgangszustand finden für die zwischen Kupfer und SiO2 abgeschiedenen Diffusionsbarrieren unterschiedliche Prozesse während thermischer Belastungen statt. Bei den mehrstufigen Ta-TaN-Barrieren setzt bereits bei T = 300 °C eine Umverteilung von Stickstoff ein, die bei T = 500 °C in der Bildung von Ta2N-Kristalliten resultiert. Im Fall der Ta-Si-N-Barrieren führt die vorhandene Cu-Metallisierung zu einer an der Cu/Barriere-Grenzfläche beginnenden Kristallisation. Dabei hängen sowohl deren Einsatzzeitpunkt während einer bei konstanter Temperatur durchgeführten Wärmebehandlung als auch das entstehende Kristallisationsprodukt von der Barrierezusammensetzung ab. Im Zuge der Kristallisation erfolgt die vollständige Zerstörung der ursprünglichen Schichtintegrität, so dass Kupfer in unmittelbaren Kontakt zum SiO2-Substrat gelangt. Der sensitive Nachweis einer Cu-Diffusion durch die Barriere erfolgte einerseits durch die Charakterisierung von Cu/Barriere/SiO2/Si-Systemen mit Hilfe spurenanalytischer Methoden und andererseits durch die Untersuchung von Proben mit geändertem Aufbau. Durch Abscheidung der Barrieren zwischen Kupfer und Silizium ist mittels Röntgenbeugung die nach Diffusion von Cu-Atomen ins Substrat einsetzende Bildung von Cu3Si detektierbar. Mit den kritischen Temperaturen für die Bildung dieses Kupfersilizids erfolgte die vergleichende Bewertung der thermischen Stabilitäten der Barrieren. Werden die dünnen Ta-basierten Schichten zusätzlich bezüglich ihres spezifischen elektrischen Widerstandes beurteilt, so stellt sich eine Ta56Si19N25-Diffusionsbarriere als am geeignetsten für den Einsatz in Cu-Metallisierungssystemen heraus. Die mikrostrukturellen Untersuchungen gestatten Aussagen zu den Versagensmechanismen der einzelnen Barrieren. Für die Ta-TaN-Mehrfachschichten wird durch die einsetzende Stickstoffumverteilung und die sich anschließende Ta2N-Bildung bereits frühzeitig die stabile Mikrostruktur der TaN-Schicht zerstört. Während für Ta-Si-N-Schichten mit einem N-Gehalt von bis zu 25 at.% eine Cu-Diffusion ins Substrat erst nach vorzeitiger Barrierekristallisation beobachtet wird, erfolgt sie im Fall der stickstoffreichen Ta-Si-N-Barrieren in einem Zustand, für den mittels Röntgenbeugung eine Kristallisation noch nicht nachweisbar ist. Die Untersuchung der Abhängigkeit der sich während des Cu-Schichtwachstums bzw. einer nachträglichen Wärmebehandlung ausbildenden Cu-Texturkomponenten von der chemischen Zusammensetzung der Unterlage erfolgte mittels röntgenographischer Texturanalyse. Zur Diskussion der beobachteten Vorzugsorientierungen wurde das Modell des zweidimensionalen Kornwachstums in dünnen Schichten herangezogen.