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Strukturelle Änderungen in dünnen amorphen Zr-Al-Ni-Cu- und Ta-Si-N-Schichten

Bicker, Matthias 21 June 2000 (has links)
Mit verschiedenen experimentellen Methoden werden die strukturabhängigen Eigenschaften amorpher Zr-Al-Ni-Cu- und Ta-Si-N- Multikomponentenschichten untersucht. Aus Messungen der mechanischen Spannungen in amorphen Zr-Al-Ni-Cu-Schichten werden mit hoher Empfindlichkeit relative Volumenänderungen bestimmt, die bei Schichtwachstum, Relaxation und Kristallisation auftreten. Das Meßverfahren ermöglicht Untersuchungen der Spannungsrelaxation und Viskosität in der Nähe des Glasübergangs. Irreversible Spannungsrelaxationen unterhalb von Tg können mit der "Freie Volumen-Theorie" gedeutet werden. Als Ursache für eine schnelle Abnahme von Druckspannungen im Bereich des Glasübergangs wird dagegen ein Fließprozeß vorgeschlagen. Unmittelbar während der Kristallisation werden nur geringe Spannungsänderungen festgestellt. Aus Messungen der isothermen Spannungsrelaxation werden Viskositäten der amorphen Schichten bestimmt. Aus den Spannungsmessungen ergeben sich neue Erkenntnisse über das Relaxations- und Kristallisationsverhalten von Multikomponentengläsern. Es werden grundlegende Fragestellungen zu Entmischungs- und Kristallisationsvorgängen in amorphen Ta-Si-N-Schichten untersucht, die auch für technologische Anwendungen der Schichten als Diffusionsbarrieren relevant sind. ASAXS-, TEM- und XRD- Messungen ergeben, daß in amorphen Ta40Si14N46-Schichten bei Temperaturen zwischen 1073 K und 1273 K komplexe Prozesse, wie eine Phasenseparation und eine nachfolgende Nanokristallisation ablaufen. Diese Prozesse führen zu einer Bildung von Strukturen mit charakteristischen Ausdehnungen und wirken sich auf die mechanischen Spannungen aus. Durch die vorliegenden Ergebnisse wird gezeigt, daß die Stabilität der Diffusionsbarrieren bereits unterhalb der Kristallisationstemperatur durch die Entmischung und Nanokristallisation begrenzt ist.
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Verformungsinduzierte Strukturänderungen bei amorphem Ni0.5Zr0.5 in Molekulardynamik-Simulationen / Deformation-induced structural changes of amorphous Ni0.5Zr0.5 in molecular-dynamic simulations

Brinkmann, Kevin 31 October 2006 (has links)
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Mechanische Spektroskopie an metallischen Gläsern in reduzierter Dimensionalität / Mechanical spectroscopy on metallic glasses with reduced dimensions

Bedorf, Dennis 28 October 2009 (has links)
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Orientational order and glassy states in networks of semiflexible polymers / Orientierungsordnung und Glas-Zustände in Netzwerken aus semiflexiblen Polymeren

Kiemes, Martin 23 November 2010 (has links)
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Mechanische Relaxation in komplexen Fluiden / Mechanical relaxation in complex fluids

Rösner, Peter 01 March 2004 (has links)
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6

Wachstumsanalyse amorpher dicker Schichten und Schichtsysteme / Growth analysis of thick amorphous films and multilayers

Streng, Christoph 18 May 2004 (has links)
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Wachstumsanalyse amorpher dicker Schichten und Schichtsysteme / Growth analysis of thick amorphous films and multilayers

Streng, Christoph 18 May 2004 (has links)
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Topographie, Struktur und Dynamik thermisch aufgedampfter Polymerfilme / Topography, structure and dynamics of thermally evaporated polymer films

Vree, Christian 06 July 2009 (has links)
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Wachstum amorpher Schichten: Vergleich von Experiment und Simulation im Bereich Oberflächenrauhigkeit und mechanische Spannungen / Growth of amorphous thin films: Comparison of experiment and simulation concerning surface roughness and mechanical stresses

Mayr, Stefan Georg 01 November 2000 (has links)
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Short range ordering and microstructure property relationship in amorphous alloys / Nahordnung und Mikrostruktur-Eigenschaftsbeziehungen in amorphen Legierungen

Shariq, Ahmed 09 January 2007 (has links)
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