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Notfallmanagement für berufsbedingte traumatische Ereignisse

11 June 2024 (has links)
Die Unfallkasse Sachsen stellt den Verantwortlichen zur Thematik „Notfallmanagement“ eine Handlungshilfe zur Verfügung. Dieses Material versteht sich als eine inhaltliche Untersetzung des DGUV Grundsatzes 306- 001 „Traumatische Ereignisse - Prävention und Rehabilitation“. Mit Bezug auf traumatische Ereignisse werden beispielhaft Maßnahmen zur Prävention (Davor), zum Verhalten in der Notfallsituation (Darin) und zur Nachsorge (Danach) aufgezeigt. Für Schulen steht das Arbeitsschutzmanagementsystem –Schule- Handbuch Teil II -Gefahrstoff-, Biostoff- und Notfallmanagement- zur Verfügung.
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Gefahrstoffe in Grundschulen und Kindertageseinrichtungen

11 June 2024 (has links)
Die Broschüre klärt über Gefahrstoffe in Schule und Kindertageseinrichtungen auf - sowohl über das Erkennen solcher, die Auswirkungen des möglichen Kontaktes mit diesen und die Vermeidung von Gefahren, die von ihnen ausgehen.
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"HILFE ZUR ARBEIT" nach dem Bundessozialhilfegesetz - eine wirkliche Chance oder wirklich nur eine Chance ?: Eine Datenanalyse der drei sächsischen Großstädte Dresden, Leipzig und Chemnitz im Hinblick auf die praktische Umsetzung und ihre Wirksamkeit und daraus ableitbare Schlussfolgerungen

Ebersbach, Romy 28 May 2004 (has links)
Die Dissertation beschäftigt sich mit dem Thema "Hilfe zur Arbeit" nach dem BSHG. Grundsätzlich zielen alle mit Hilfe zur Arbeit im Zusammenhang stehenden Paragraphen des BSHG auf (Re-)Integration der Hilfeempfänger in den ersten Arbeitsmarkt und die Aktivierung der Selbsthilfekräfte. Unter Berücksichtigung der Zumutbarkeitskriterien geht die Bundesregierung von knapp einer Million benötigter Arbeitsplätzen aus, um alle in Frage kommenden Empfänger von laufender Hilfe zum Lebensunterhalt in den Arbeitsmarkt zu integrieren. Die Schaffung und Akquise dieser Arbeitsplätze sind Aufgaben der Kommunen. Die vorliegende Studie spiegelt wieder, wie die Städte Dresden, Leipzig und Chemnitz die Paragraphen 18 bis 20 und 25 des BSHG bis zum Jahr 2000 in ihre Praxis umsetzten und welche Schlüsse sich daraus für das Gelingen einer beschäftigungsorientierten kommunalen Sozialpolitik unter lokalen Bedingungen ableiten lassen. Im von mir untersuchten Zeitraum führten alle drei Städte Maßnahmen der "Hilfe zur Arbeit" durch. Jede der Kommunen entwickelte eigene Konzepte zur Umsetzung der gesetzlichen Vorgaben. Zusammenfassend stelle ich fest, dass die Chancen auf einen Arbeitsplatz im Bereich des ersten Arbeitsmarktes, neben der direkten Einstellung mit Hilfe von Lohnkostenzuschüssen, im Anschluss an Maßnahmen mit Arbeitsvertrag am größten sind. Voraussetzung ist allerdings, dass der Hilfeempfänger ein Jahr sozialversicherungspflichtig beschäftigt war. Ich komme also mit Hilfe meiner Studie zu dem Ergebnis, dass "Hilfe zur Arbeit" nach dem BSHG für die Sozialhilfeempfänger lediglich eine äußerst geringe Chance darstellt, einen Arbeitsplatz auf dem ersten Arbeitsmarkt zu bekommen. Keinesfalls handelt es sich hierbei um eine wirkliche Chance und gleich recht nicht um ein Instrument, welches in der Lage ist Massenarbeitslosigkeit zu bekämpfen. Die Mehrzahl der Hilfeempfänger findet auf diesem Weg keine Arbeit auf dem ersten Arbeitsmarkt.
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Telematik und Telemedizin zur Verbesserung der präklinischen Notfallversorgung nach Straßenverkehrsunfällen

Issing, Matthias Michael 17 May 2006 (has links)
Die Überlebenswahrscheinlichkeit der Unfallopfer nach Straßenverkehrsunfällen hängt von der Zeitspanne vom Unfall bis zur ersten suffizienten Hilfeleistung (therapiefreies Intervall) sowie von der Qualität der Erstversorgung ab. Das therapiefreie Intervall kann durch automatische Notrufsysteme (ACN) und suffiziente Laienhilfe verkürzt werden. In dieser Dissertation werden (1) Modelle zur Prognose der Verletzungsschwere von Fahrzeuginsassen für den Einsatz in erweiterten automatischen Notrufsystemen (AACN) entwickelt und (2) Anforderungen an Telemedizinsysteme zur Unterstützung von Laien bei der Durchführung von Erste-Hilfe-Maßnahmen untersucht. (1) Die Prognose der Verletzungsschwere ist für eine optimale Disposition der Rettungsmittel erforderlich. Auf der Basis der amerikanischen Unfalldatenbank NASS/ CDS und der deutschen Unfalldatenbank GIDAS werden Prognosemodelle mit multivariaten inferenzstatistischen Verfahren (decision tree, logistic regression) entwickelt, die Bedeutung einzelner Eingangsgrößen untersucht und die Leistungsfähigkeit der Modelle überprüft. Die Leistungsfähigkeit beider statistischen Verfahren stellt sich in ROC-Analysen als vergleichbar heraus. Mit den Prognosemodellen kann eine Dispositionsempfehlung erstellt werden, die heutigen Dispositionsentscheidungen auf der Grundlage eines Telefongesprächs mit dem Unfallmelder qualitativ entspricht. (2) Zur Entwicklung eines Telemedizinsystems für die Laienunterstützung wird untersucht, ob die telemedizinische Anleitung von Laien bei der Durchführung von Erste-Hilfe-Maßnahmen zu einer Erhöhung der Hilfsbereitschaft führt und welche Anforderungen ein Telemedizinsystem erfüllen muss. Dazu werden die am häufigsten indizierten Erste-Hilfe-Maßnahmen nach Verkehrsunfällen durch Auswertung der GIDAS-Datenbank identifiziert, der Stand der heutigen Laienhilfe analysiert, die erforderlichen Funktionen eines Telemedizinsystems abgeleitet und der Einfluss einer verbesserten Laienhilfe auf die Überlebenswahrscheinlichkeit bestimmt. / The probability of survival of motor vehicle accident victims depends on two factors: the time interval between the accident and the initial provision of appropriate first-aid (therapy-free interval), and the quality of the first-aid treatment. The therapy-free interval can be shortened significantly by automatic crash notification systems (ACN) and by adequate bystander first aid. In this thesis, (1) models are developed for predicting the severity of injury of vehicle occupants for use in advanced automatic crash notification systems (AACN) and (2) requirements of telemedical bystander support systems are examined. (1) The prediction of the severity of injury is needed for optimal disposition of rescue services. Therefore, prediction models are developed on the basis of the American accident database NASS/ CDS and its German counterpart, GIDAS, using multivariate inference statistical procedures (decision tree, logistic regression). In addition, the importance of individual parameters and the efficiency of these models are investigated. The performance of the two statistical procedures proves to be equal by using the ROC analyses. The prediction models allow for recommendations of rescue services that correspond in quality to contemporary dispatching decisions for rescue services on the basis of a telephone call between the individual reporting the accident and a dispatcher. (2) Concerning the development of a telemedical bystander support system, the paper examines whether the availability of telemedical guidance leads to an increase in bystander willingness to provide first aid. In order to evaluate the requirements of a telemedical system, the most frequently indicated first-aid measures after traffic accidents are identified by evaluating the GIDAS database. Furthermore, the status of assistance currently offered by bystanders is analyzed, the necessary functions of a telemedical system are scrutinized, and the influence of improved bystander assistance on the probability of accident victims’ survival is determined.
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Quantitation Strategies in Optically Sectioning Fluorescence Microscopy / Quantifizierungsstrategien in der optisch schnittbildenden Fluoreszenzmikroskopie

Weigel, Arwed 15 January 2009 (has links)
No description available.
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Kleinskalige Magnetfelder der Sonne und ihr Einfluß auf Chromosphäre, Übergangszone und Korona / Small-Scale Solar Magnetic Fields and their Influence upon Chromosphere, Transition Region and Corona

Wilken, Volker 28 June 2001 (has links)
No description available.
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Spektroskopie und Polarimetrie kleinskaliger magnetischer Strukturen der Sonnenoberfläche mit Methoden der Bildrekonstruktion / Spectroscopy and polarimetry of small-scale magnetic structures on the solar surface with image restoration techniques

Koschinsky, Markus 03 May 2001 (has links)
No description available.
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Elastische Rückstoßatomspektrometrie leichter Elemente mit Subnanometer-Tiefenauflösung

Kosmata, Marcel 29 February 2012 (has links) (PDF)
In der vorliegenden Arbeit wird erstmals das QQDS-Magnetspektrometer für die höchstauflösende Ionenstrahlanalytik leichter Elemente am Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf umfassend vorgestellt. Zusätzlich werden sowohl alle auf die Analytik Einfluss nehmenden Parameter untersucht als auch Methoden und Modelle vorgestellt, wie deren Einfluss vermieden oder rechnerisch kompensiert werden kann. Die Schwerpunkte dieser Arbeit gliedern sich in fünf Bereiche. Der Erste ist der Aufbau und die Inbetriebnahme des QQDS-Magnetspektrometers, der zugehörige Streukammer mit allen Peripheriegeräten und des eigens für die höchstauflösende elastische Rückstoßanalyse entwickelten Detektors. Sowohl das umgebaute Spektrometer als auch der im Rahmen dieser Arbeit gebaute Detektor wurden speziell an experimentelle Bedingungen für die höchstauflösende Ionenstrahlanalytik leichter Elemente angepasst und erstmalig auf einen routinemäßigen Einsatz hin getestet. Der Detektor besteht aus zwei Komponenten. Zum einen befindet sich am hinteren Ende des Detektors eine Bragg-Ionisationskammer, die zur Teilchenidentifikation genutzt wird. Zum anderen dient ein Proportionalzähler, der eine Hochwiderstandsanode besitzt und direkt hinter dem Eintrittsfenster montiert ist, zur Teilchenpositionsbestimmung im Detektor. Die folgenden zwei Schwerpunkte beinhalten grundlegende Untersuchungen zur Ionen-Festkörper-Wechselwirkung. Durch die Verwendung eines Magnetspektrometers ist die Messung der Ladungszustandsverteilung der herausgestreuten Teilchen direkt nach einem binären Stoß sowohl möglich als auch für die Analyse notwendig. Aus diesem Grund werden zum einen die Ladungszustände gemessen und zum anderen mit existierenden Modellen verglichen. Außerdem wird ein eigens entwickeltes Modell vorgestellt und erstmals im Rahmen dieser Arbeit angewendet, welches den ladungszustandsabhängigen Energieverlust bei der Tiefenprofilierung berücksichtigt. Es wird gezeigt, dass ohne die Anwendung dieses Modells die Tiefenprofile nicht mit den quantitativen Messungen mittels konventioneller Ionenstrahlanalytikmethoden und mit der Dickenmessung mittels Transmissionselektronenmikroskopie übereinstimmen, und damit falsche Werte liefern würden. Der zweite für die Thematik wesentliche Aspekt der Ionen-Festkörper-Wechselwirkung, sind die Probenschäden und -modifikationen, die während einer Schwerionen-bestrahlung auftreten. Dabei wird gezeigt, dass bei den hier verwendeten Energien sowohl elektronisches Sputtern als auch elektronisch verursachtes Grenzflächendurchmischen eintreten. Das elektronische Sputtern kann durch geeignete Strahlparameter für die meisten Proben ausreichend minimiert werden. Dagegen ist der Einfluss der Grenzflächendurchmischung meist signifikant, so dass dieser analysiert und in der Auswertung berücksichtigt werden muss. Schlussfolgernd aus diesen Untersuchungen ergibt sich für die höchstauflösende Ionenstrahlanalytik leichter Elemente am Rossendorfer 5-MV Tandembeschleuniger, dass die geeignetsten Primärionen Chlor mit einer Energie von 20 MeV sind. In Einzelfällen, wie zum Beispiel der Analyse von Bor, muss die Energie jedoch auf 6,5 MeV reduziert werden, um das elektronische Sputtern bei der notwendigen Fluenz unterhalb der Nachweisgrenze zu halten. Der vierte Schwerpunkt ist die Untersuchung von sowohl qualitativen als auch quantitativen Einflüssen bestimmter Probeneigenschaften, wie beispielsweise Oberflächenrauheit, auf die Form des gemessenen Energiespektrums beziehungsweise auf das analysierte Tiefenprofil. Die Kenntnis der Rauheit einer Probe an der Oberfläche und an den Grenzflächen ist für die Analytik unabdingbar. Als Resultat der genannten Betrachtungen werden die Einflüsse von Probeneigenschaften und Ionen-Festkörper-Wechselwirkungen auf die Energie- beziehungsweise Tiefenauflösung des Gesamtsystems beschrieben, berechnet und mit der konventionellen Ionenstrahlanalytik verglichen. Die Möglichkeiten der höchstauflösenden Ionenstrahlanalytik werden zudem mit den von anderen Gruppen veröffentlichten Komplementärmethoden gegenübergestellt. Der fünfte und letzte Schwerpunkt ist die Analytik leichter Elemente in ultradünnen Schichten unter Berücksichtigung aller in dieser Arbeit vorgestellten Modelle, wie die Reduzierung des Einflusses von Strahlschäden oder die Quantifizierung der Elemente im dynamischen Ladungszustandsnichtgleichgewicht. Es wird die Tiefenprofilierung von Mehrschichtsystemen, bestehend aus SiO2-Si3N4Ox-SiO2 auf Silizium, von Ultra-Shallow-Junction Bor-Implantationsprofilen und von ultradünnen Oxidschichten, wie zum Beispiel High-k-Materialien, demonstriert. / In this thesis the QQDS magnetic spectrometer that is used for high resolution ion beam analysis (IBA) of light elements at the Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf is presented for the first time. In addition all parameters are investigated that influence the analysis. Methods and models are presented with which the effects can be minimised or calculated. There are five focal points of this thesis. The first point is the construction and commissioning of the QQDS magnetic spectrometer, the corresponding scattering chamber with all the peripherals and the detector, which is specially developed for high resolution elastic recoil detection. Both the reconstructed spectrometer and the detector were adapted to the specific experimental conditions needed for high-resolution Ion beam analysis of light elements and tested for routine practice. The detector consists of two compo-nents. At the back end of the detector a Bragg ionization chamber is mounted, which is used for the particle identification. At the front end, directly behind the entrance window a proportional counter is mounted. This proportional counter includes a high-resistance anode. Thus, the position of the particles is determined in the detector. The following two points concern fundamental studies of ion-solid interaction. By using a magnetic spectrometer the charge state distribution of the particles scattered from the sample after a binary collision is both possible and necessary for the analysis. For this reason the charge states are measured and compared with existing models. In addition, a model is developed that takes into account the charge state dependent energy loss. It is shown that without the application of this model the depth profiles do not correspond with the quantitative measurements by conventional IBA methods and with the thickness obtained by transmission electron microscopy. The second fundamental ion-solid interaction is the damage and the modification of the sample that occurs during heavy ion irradiation. It is shown that the used energies occur both electronic sputtering and electronically induced interface mixing. Electronic sputtering is minimised by using optimised beam parameters. For most samples the effect is below the detection limit for a fluence sufficient for the analysis. However, the influence of interface mixing is so strong that it has to be included in the analysis of the layers of the depth profiles. It is concluded from these studies that at the Rossendorf 5 MV tandem accelerator chlorine ions with an energy of 20 MeV deliver the best results. In some cases, such as the analysis of boron, the energy must be reduced to 6.5 MeV in order to retain the electronic sputtering below the detection limit. The fourth focus is the study of the influence of specific sample properties, such as surface roughness, on the shape of a measured energy spectra and respectively on the analysed depth profile. It is shown that knowledge of the roughness of a sample at the surface and at the interfaces for the analysis is needed. In addition, the contribution parameters limiting the depth resolution are calculated and compared with the conventional ion beam analysis. Finally, a comparison is made between the high-resolution ion beam analysis and complementary methods published by other research groups. The fifth and last focus is the analysis of light elements in ultra thin layers. All models presented in this thesis to reduce the influence of beam damage are taken into account. The dynamic non-equilibrium charge state is also included for the quantification of elements. Depth profiling of multilayer systems is demonstrated for systems consisting of SiO2-Si3N4Ox-SiO2 on silicon, boron implantation profiles for ultra shallow junctions and ultra thin oxide layers, such as used as high-k materials.
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Elastische Rückstoßatomspektrometrie leichter Elemente mit Subnanometer-Tiefenauflösung

Kosmata, Marcel 21 December 2011 (has links)
In der vorliegenden Arbeit wird erstmals das QQDS-Magnetspektrometer für die höchstauflösende Ionenstrahlanalytik leichter Elemente am Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf umfassend vorgestellt. Zusätzlich werden sowohl alle auf die Analytik Einfluss nehmenden Parameter untersucht als auch Methoden und Modelle vorgestellt, wie deren Einfluss vermieden oder rechnerisch kompensiert werden kann. Die Schwerpunkte dieser Arbeit gliedern sich in fünf Bereiche. Der Erste ist der Aufbau und die Inbetriebnahme des QQDS-Magnetspektrometers, der zugehörige Streukammer mit allen Peripheriegeräten und des eigens für die höchstauflösende elastische Rückstoßanalyse entwickelten Detektors. Sowohl das umgebaute Spektrometer als auch der im Rahmen dieser Arbeit gebaute Detektor wurden speziell an experimentelle Bedingungen für die höchstauflösende Ionenstrahlanalytik leichter Elemente angepasst und erstmalig auf einen routinemäßigen Einsatz hin getestet. Der Detektor besteht aus zwei Komponenten. Zum einen befindet sich am hinteren Ende des Detektors eine Bragg-Ionisationskammer, die zur Teilchenidentifikation genutzt wird. Zum anderen dient ein Proportionalzähler, der eine Hochwiderstandsanode besitzt und direkt hinter dem Eintrittsfenster montiert ist, zur Teilchenpositionsbestimmung im Detektor. Die folgenden zwei Schwerpunkte beinhalten grundlegende Untersuchungen zur Ionen-Festkörper-Wechselwirkung. Durch die Verwendung eines Magnetspektrometers ist die Messung der Ladungszustandsverteilung der herausgestreuten Teilchen direkt nach einem binären Stoß sowohl möglich als auch für die Analyse notwendig. Aus diesem Grund werden zum einen die Ladungszustände gemessen und zum anderen mit existierenden Modellen verglichen. Außerdem wird ein eigens entwickeltes Modell vorgestellt und erstmals im Rahmen dieser Arbeit angewendet, welches den ladungszustandsabhängigen Energieverlust bei der Tiefenprofilierung berücksichtigt. Es wird gezeigt, dass ohne die Anwendung dieses Modells die Tiefenprofile nicht mit den quantitativen Messungen mittels konventioneller Ionenstrahlanalytikmethoden und mit der Dickenmessung mittels Transmissionselektronenmikroskopie übereinstimmen, und damit falsche Werte liefern würden. Der zweite für die Thematik wesentliche Aspekt der Ionen-Festkörper-Wechselwirkung, sind die Probenschäden und -modifikationen, die während einer Schwerionen-bestrahlung auftreten. Dabei wird gezeigt, dass bei den hier verwendeten Energien sowohl elektronisches Sputtern als auch elektronisch verursachtes Grenzflächendurchmischen eintreten. Das elektronische Sputtern kann durch geeignete Strahlparameter für die meisten Proben ausreichend minimiert werden. Dagegen ist der Einfluss der Grenzflächendurchmischung meist signifikant, so dass dieser analysiert und in der Auswertung berücksichtigt werden muss. Schlussfolgernd aus diesen Untersuchungen ergibt sich für die höchstauflösende Ionenstrahlanalytik leichter Elemente am Rossendorfer 5-MV Tandembeschleuniger, dass die geeignetsten Primärionen Chlor mit einer Energie von 20 MeV sind. In Einzelfällen, wie zum Beispiel der Analyse von Bor, muss die Energie jedoch auf 6,5 MeV reduziert werden, um das elektronische Sputtern bei der notwendigen Fluenz unterhalb der Nachweisgrenze zu halten. Der vierte Schwerpunkt ist die Untersuchung von sowohl qualitativen als auch quantitativen Einflüssen bestimmter Probeneigenschaften, wie beispielsweise Oberflächenrauheit, auf die Form des gemessenen Energiespektrums beziehungsweise auf das analysierte Tiefenprofil. Die Kenntnis der Rauheit einer Probe an der Oberfläche und an den Grenzflächen ist für die Analytik unabdingbar. Als Resultat der genannten Betrachtungen werden die Einflüsse von Probeneigenschaften und Ionen-Festkörper-Wechselwirkungen auf die Energie- beziehungsweise Tiefenauflösung des Gesamtsystems beschrieben, berechnet und mit der konventionellen Ionenstrahlanalytik verglichen. Die Möglichkeiten der höchstauflösenden Ionenstrahlanalytik werden zudem mit den von anderen Gruppen veröffentlichten Komplementärmethoden gegenübergestellt. Der fünfte und letzte Schwerpunkt ist die Analytik leichter Elemente in ultradünnen Schichten unter Berücksichtigung aller in dieser Arbeit vorgestellten Modelle, wie die Reduzierung des Einflusses von Strahlschäden oder die Quantifizierung der Elemente im dynamischen Ladungszustandsnichtgleichgewicht. Es wird die Tiefenprofilierung von Mehrschichtsystemen, bestehend aus SiO2-Si3N4Ox-SiO2 auf Silizium, von Ultra-Shallow-Junction Bor-Implantationsprofilen und von ultradünnen Oxidschichten, wie zum Beispiel High-k-Materialien, demonstriert. / In this thesis the QQDS magnetic spectrometer that is used for high resolution ion beam analysis (IBA) of light elements at the Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf is presented for the first time. In addition all parameters are investigated that influence the analysis. Methods and models are presented with which the effects can be minimised or calculated. There are five focal points of this thesis. The first point is the construction and commissioning of the QQDS magnetic spectrometer, the corresponding scattering chamber with all the peripherals and the detector, which is specially developed for high resolution elastic recoil detection. Both the reconstructed spectrometer and the detector were adapted to the specific experimental conditions needed for high-resolution Ion beam analysis of light elements and tested for routine practice. The detector consists of two compo-nents. At the back end of the detector a Bragg ionization chamber is mounted, which is used for the particle identification. At the front end, directly behind the entrance window a proportional counter is mounted. This proportional counter includes a high-resistance anode. Thus, the position of the particles is determined in the detector. The following two points concern fundamental studies of ion-solid interaction. By using a magnetic spectrometer the charge state distribution of the particles scattered from the sample after a binary collision is both possible and necessary for the analysis. For this reason the charge states are measured and compared with existing models. In addition, a model is developed that takes into account the charge state dependent energy loss. It is shown that without the application of this model the depth profiles do not correspond with the quantitative measurements by conventional IBA methods and with the thickness obtained by transmission electron microscopy. The second fundamental ion-solid interaction is the damage and the modification of the sample that occurs during heavy ion irradiation. It is shown that the used energies occur both electronic sputtering and electronically induced interface mixing. Electronic sputtering is minimised by using optimised beam parameters. For most samples the effect is below the detection limit for a fluence sufficient for the analysis. However, the influence of interface mixing is so strong that it has to be included in the analysis of the layers of the depth profiles. It is concluded from these studies that at the Rossendorf 5 MV tandem accelerator chlorine ions with an energy of 20 MeV deliver the best results. In some cases, such as the analysis of boron, the energy must be reduced to 6.5 MeV in order to retain the electronic sputtering below the detection limit. The fourth focus is the study of the influence of specific sample properties, such as surface roughness, on the shape of a measured energy spectra and respectively on the analysed depth profile. It is shown that knowledge of the roughness of a sample at the surface and at the interfaces for the analysis is needed. In addition, the contribution parameters limiting the depth resolution are calculated and compared with the conventional ion beam analysis. Finally, a comparison is made between the high-resolution ion beam analysis and complementary methods published by other research groups. The fifth and last focus is the analysis of light elements in ultra thin layers. All models presented in this thesis to reduce the influence of beam damage are taken into account. The dynamic non-equilibrium charge state is also included for the quantification of elements. Depth profiling of multilayer systems is demonstrated for systems consisting of SiO2-Si3N4Ox-SiO2 on silicon, boron implantation profiles for ultra shallow junctions and ultra thin oxide layers, such as used as high-k materials.

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