La miniaturisation des composants dans la micorélectronique touche maintenant les composants passifs comme les capacités MIM (Métal/Isolant/Métal). Pour augmenter la densité de capacité des capacités MIM, les diélectriques conventionnels (SiO2, ε = 3.9) sont remplacés par des diélectriques à haute permittivité diélectrique dits « high-k » comme ZrO2. Sa permittivité ε est égale à 47 lorsqu'il se trouve sous la phase tétragonale. Le procédé de dépôt de ZrO2 est la méthode PEALD. Nous avons étudié le procédé de dépôt de ZrO2 avec les précurseurs TEMAZ et ZyALD. Les propriétés thermodynamiques du TEMAZ ont été analysées par spectrométrie de masse. L'influence des paramètres du procédé PEALD et de post-traitements sur les mécanismes de formation de la zircone tétragonale a été étudiée. De nombreuses méthodes de caractérisation (XRD, Raman, TEM, SIMS, XPS, caractérisations électriques...) ont été employées afin d'établir un optimum propriétés des films de ZrO2 / performance du procédé de dépôt.

Die in der vorliegenden Arbeit untersuchten Metall-Keramik-Verbunde wurden mittels Pulverspritzgießen hergestellt. Unter Anwendung der teilautomatisierten Verfahrensoptionen Mehrkomponentenspritzgießen und Inmould-Labelling, welches u. a. die Verwendung tiefgezogener Grünfolien beinhaltete, wurden hierzu 2K-Prüfkörpergeometrien (Zugstab, Biegebruchstab, Ringverbund) und 2K-Demonstratoren (Innenzahnrad, Fadenführer, Greifer) jeweils bestehend aus Stahl 17-4PH und ZrO2 (3%Y2O3), im Co-Sinterverfahren unter H2-Atmosphäre bei 1350°C, entwickelt. Schlüssel zur Darstellung schwindungskonformer ZrO2- und Stahl 17-4PH-Formgebungsmassen war der Angleich der Pulverpackungsdichte. Untersucht wurde neben der Werkstoff- und Gefügeausbildung das sich während dem Formgebungs- und Sinterprozess ausbildende Metall-Keramik-Interface sowie die sich bevorzugt in diesem Bereich manifestierenden Verbundeigenspannungen. Neben der stoffschlüssigen Versinterung beider Partner konnte eine Steigerung der Verbundfestigkeit durch Legierungsmodifikation unter Ausschluss technologischer Fehlerquellen erreicht und spezifiziert werden.

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Notre thèse porte sur Étienne Decroux, le créateur du mime corporel. Nous montrons que Decroux s’inspire à la fois du théâtre et de la sculpture pour concevoir son art du mime, qu’il définit comme la statuaire mobile. D’une part, il reprend le concept du masque de Jacques Copeau et celui de la sur-marionnette d’Edward Gordon Craig pour les transposer directement au corps. D’autre part, ses œuvres incarnent les formules de pathos observées dans les statues. La sculpture d’Auguste Rodin est une source d’inspiration centrale dans sa manière de représenter le corps sur scène. De plus, Decroux conçoit le corps comme une suite de prises de vues défilant devant le spectateur. Collaborant avec Étienne-Bertrand Weill qui photographie ses spectacles, il constitue une iconographie du mime pour mieux donner à voir le mouvement du corps en image. Enfin, Decroux considère le corps comme de la matière à sculpter. En s’identifiant aux sculpteurs mythiques, il met en avant l’aspect créateur de son art. Comme Pygmalion, il anime les corps de ses élèves. Comme Prométhée il transforme la société par son art aux aspects politiques. La statuaire mobile représente un concept-clé du mime corporel d’Étienne Decroux qui s’étend de la conception du mouvement sur scène à la prise de position éthique de l’homme dans le monde. / The thesis main subject is Etienne Decroux, the father of corporeal mime. The main objective is to show that Decroux draws on both theatre and sculpture, thus conceiving his art of mime as the mobile statuary. On the one hand, he takes up the concept of mask put forward by Jacques Copeau and Edward Gordon Craig's ubermarionnette, transposing both concepts directly to the body. On the other hand, he embodies the pathos formulas observed in the statues. Decroux was heavily inspired by Auguste Rodin's sculptures in order to represent the body on stage. Moreover, Decroux conceives the body as a series of images which unfold before the audience. Working along with Etienne-Bertrand Weill who photographs his shows, he creates a relevant source of iconography of the mime that unveils the movement of the body in images. Finally, for Decroux, the body is a sculpting material. By identifying himself with the mythical sculptors, he brings forward the creative aspect of his art. Just as Pygmalion, he enlivens the body of his students and, as Prometheus, he transforms the society through his political art. The mobile statuary is then a key concept in the corporeal mime that goes from the conception of the movement on stage to the ideal and the universal in man. / Disertační práce se zabývá osobností Étienna Decroux, tvůrce projektu tělesného mima (mime corporel). Jejím cílem je dokázat, že se Decroux inspiroval divadlem i výtvarným uměním k vytvoření koncepce tzv. „pohyblivé sochy“ (statuaire mobile). Z divadla přebral koncept masky Jacquesa Copeau a koncept nadloutky Edwarda Gordona Craiga, aby je převedl přímo na tělo. Ze sochařství přejímal formule patosu, zejména se inspiroval dílem Augusta Rodina a jeho koncepcí tělesné figury. Decroux pojímal tělo jako sérii obrazů, které se odvíjejí před divákem. Ve spolupráci s fotografem Étiennem-Bertrandem Weillem, který dokumentoval jeho představení, vytvářel ikonografický soubor, jenž zobrazuje mimovo tělo v pohybu. Na druhou stranu chápal tělo jako materiál, který mim modeluje jako sochař. Decroux se ztotožňoval s mytickými sochaři, aby dal najevo svoji roli umělce a tvůrce. Jako Pygmalion „oživoval“ těla svých žáků a jako Prométheus přetvářel společnost svým uměním, které mělo politický náboj. „Pohyblivá socha“ (statuaire mobile) představuje klíčový koncept umění tělesného mima Étienna Decroux, který zahrnuje jak koncepci scénického pohybu, tak etické postavení člověka ve světě.

Die in der vorliegenden Arbeit untersuchten Metall-Keramik-Verbunde wurden mittels Pulverspritzgießen hergestellt. Unter Anwendung der teilautomatisierten Verfahrensoptionen Mehrkomponentenspritzgießen und Inmould-Labelling, welches u. a. die Verwendung tiefgezogener Grünfolien beinhaltete, wurden hierzu 2K-Prüfkörpergeometrien (Zugstab, Biegebruchstab, Ringverbund) und 2K-Demonstratoren (Innenzahnrad, Fadenführer, Greifer) jeweils bestehend aus Stahl 17-4PH und ZrO2 (3%Y2O3), im Co-Sinterverfahren unter H2-Atmosphäre bei 1350°C, entwickelt. Schlüssel zur Darstellung schwindungskonformer ZrO2- und Stahl 17-4PH-Formgebungsmassen war der Angleich der Pulverpackungsdichte. Untersucht wurde neben der Werkstoff- und Gefügeausbildung das sich während dem Formgebungs- und Sinterprozess ausbildende Metall-Keramik-Interface sowie die sich bevorzugt in diesem Bereich manifestierenden Verbundeigenspannungen. Neben der stoffschlüssigen Versinterung beider Partner konnte eine Steigerung der Verbundfestigkeit durch Legierungsmodifikation unter Ausschluss technologischer Fehlerquellen erreicht und spezifiziert werden.:1 Einleitung und Zielstellung .................................................................................................5 2 Stand der Technik ..............................................................................................................6 2.1 Metall-Keramische-Verbundwerkstoffe und Werkstoffverbunde.....................................6 2.2 Werkstoffsystem ............................................................................................................6 2.2.1 Oxidkeramische Metall-Keramik-Verbunde.................................................................9 2.2.2 Nichtoxidkeramische Metall-Keramik-Verbunde........................................................15 2.3 Metall-Keramik-Interface..............................................................................................17 2.3.1 Stahl-Keramik-Komposite.........................................................................................21 2.3.2 Stahl-Keramik-Schichtverbunde................................................................................25 2.4 Konventionelle Verbindungs- und Fügetechnik.............................................................27 2.4.1 Kraft- und Formschluss.............................................................................................28 2.4.2 Lösbare Verbindungen .............................................................................................28 2.4.3 Nicht lösbare Verbindungen .....................................................................................29 2.4.4 Stoffschlüssige Verbindungen ..................................................................................30 2.5 Pulvertechnologische Verbindungs- und Fügetechnik ...................................................32 2.5.1 Co-Shaping..............................................................................................................34 2.5.2 Co-Firing..................................................................................................................38 2.6 Pulverspritzgießen........................................................................................................42 2.6.1 Prozesskette.............................................................................................................43 2.6.2 Werkstoffe...............................................................................................................45 2.6.3 Verfahrenscharakteristik...........................................................................................46 2.6.4 PIM in der industriellen Praxis ...................................................................................48 2.6.5 Mehrkomponentenspritzguss...................................................................................49 2.7 Prüfung und Spezifikation für spritzgegossene Metall-Keramik-Verbunde.....................52 2.7.1 zerstörende Prüfverfahren........................................................................................52 2.7.2 zerstörungsfreie Prüfverfahren .................................................................................55 2.7.3 Prädikative Methoden ..............................................................................................55 3 Experimenteller Teil..........................................................................................................57 3.1 Pulveranmusterung ......................................................................................................57 3.1.1 Feedstockherstellung und Charakterisierung ............................................................58 3.1.2 Grünfolienherstellung und Charakterisierung ...........................................................60 3.1.3 Thermische Analyse..................................................................................................62 3.2 Fertigungstechnologie..................................................................................................62 3.2.1 2-Komponentenpulverspritzgießen...........................................................................64 3.2.2 Folienhinterspritzen..................................................................................................64 3.2.3 Entbinderung und Sinterung ....................................................................................65 3.3 Werkstoff- und Verbundspezifikation...........................................................................66 3.3.1 Bestimmung der Dichte............................................................................................66 3.3.2 Dilatometrie.............................................................................................................66 3.5.2 Optische Interfaceanalyse.........................................................................................67 3.5.3 Mechanische Festigkeit ............................................................................................67 3.5.4 Röntgenographische Eigenspannungsanalyse ...........................................................68 4 Ergebnisdiskussion ...........................................................................................................70 4.1 Werkstoff- und Pulverauswahl .....................................................................................70 4.1.1 Untersuchungen zum Co-Sinterverhalten von Metall- und Keramikpulvern........................................................................................................78 4.1.2 Werkstoff- und Gefügeausbildung während der Co-Sinterung .................................85 4.2 Feedstock- und Bindersystem .......................................................................................92 4.2.1 Rheologische Eigenschaften .....................................................................................95 4.2.2 Thermisches Verhalten und Entbinderung ................................................................99 4.2.3 Verarbeitung von Feedstock und Grünfolie.............................................................101 4.3 Prüfkörperentwicklung...............................................................................................105 4.3.1 Gestaltungsoptionen..............................................................................................105 4.3.2 Verfahrensverifizierung ..........................................................................................106 4.3.3 Qualitative Bewertung der Verfahrensoption Inmould-Labelling..............................109 4.4 Werkstoffverbund.........................................................................................................112 4.4.1 Metall-Keramik-Interface........................................................................................112 4.4.2 Zugfestigkeit..........................................................................................................119 4.4.3 Verbundeigenspannungen .....................................................................................122 5 Zusammenfassung.........................................................................................................126 6 Literaturverzeichnis ........................................................................................................130 7 Abkürzungsverzeichnis...................................................................................................140 Anhang ................................................................................................................................141 A1 Spezifikation ZrO2-Feedstock Z1 .................................................................................142 A2 Spezifikation Stahl-17-4PH-Feedstock M1 ..................................................................143 A3 Rezeptur ZrO2-Folien ..................................................................................................144 A4 Rezeptur Stahl 17-4PH-Folien.....................................................................................145 A5 Prozessparameter – Spritzgießen (Bsp. Biegebruchstab 7x7x70mm)............................146 A6 Folienkonfektionierung – Bsp.- Demonstrator Greifer .................................................147 A7 Prozessautomatisierung – Bsp. Demonstrator Fadenführer..........................................148 A8 Spritzgegossene Demonstratoren – 2K-Spritzgießen...................................................149 A9 Spritzgegossene Demonstratoren – Inmould-Labelling................................................150 A10 Dilatometerschaubilder ..............................................................................................151 A11 Mikrozugproben ........................................................................................................152 A12 studentische Arbeiten ................................................................................................153

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This thesis deals with the innovation of information system (IS) as a decision problem. The main objective of this thesis is the construction and the application of a method to select an optimal innovation variant of IS in an organisation of any scale. The designed method is based on the conception of the innovation of IS in the methodology "Multidimensional Management and Development of Information System (MMDIS)". The proposed selection method (Method of Innovation Modules based on MMDIS - MIM) is intended to serve mainly for decision-making on a strategic level. The IS structure is mapped in accordance with the MMDIS methodology. Innovation aspects are derived from two approaches: innovation aspects based on the MMDIS principles ("module of principles" - e.g. integration, flexibility, standardisation, measurability) and innovation aspects based on the IS dimensions defined in MMDIS methodology ("module of dimensions" - e.g. software, hardware, processes and functions, finances). The proposal method enforces a systematic approach to evaluation of the innovation variants, ensuring that the innovation aspects (the principles and the dimensions) are aligned with key requirements. As an example, this method is applied to an existing electronic toll system operated in the Czech Republic. Basic innovation variants of the electronic toll system are described - the microwave, the satellite and the hybrid toll system. Case studies from the Czech Republic, Austria and Germany are used for support the proposed innovation variants, as well as evaluation of variants. The principles and the dimensions form a framework for description and evaluation of the telematics, of the electronic toll and of the innovation variants of the electronic toll. The variants are compared within the framework of refined principles and dimensions, the optimal variant is proposed. The used evaluation parameters are a result of an analysis of published studies and specific toll system technical designs. The Method of Innovation Modules was constructed on the basis of MMDIS methodology and demonstrated by application in an example scenario (electronic toll). The key result of the proposed method is the comprehensive structured map of available system innovation opportunities.

Thin-film transistors (TFTs) are primarily used as a switching element in liquid crystal displays. Currently, amorphous silicon is the dominant TFT technology for displays, but higher performance TFTs will become necessary to enable ultra-definition resolution high-frequency large-area displays. Amorphous zinc tin oxide (ZTO) TFTs were fabricated by RF magnetron sputter deposition. In this study, the effect of both deposition and post annealing conditions have been evaluated in regards to film structure, composition, surface contamination, and device performance. Both the variation of oxygen partial pressure during deposition and the temperature of the post-deposition annealing were found to have a significant impact on TFT properties. X-ray diffraction data indicated that the ZTO films remain amorphous even after annealing to 600° C. Rutherford backscattering spectrometry indicated that the Zn:Sn ratio of the films was ~1.7:1 which is slightly tin rich compared to the sputter target composition. X-ray photoelectron spectroscopy data indicated that the films had significant surface contamination and that the Zn:Sn ratios changed depending on sample annealing conditions. Electrical characterization of ZTO films using TFT test structures indicated that mobilities as high as 17 cm² V⁻¹ s⁻¹ could be obtained for depletion mode devices. It was determined that the electrical properties of ZTO films can be precisely controlled by varying the deposition conditions and annealing temperature. It was found that the ZTO electrical properties could be controlled where insulating, semiconducting and conducting films could be prepared. This precise control of electrical properties allowed us to incorporate sputter deposited ZTO films into resistive random access memory (RRAM) devices. RRAM are two terminal nonvolatile data memory devices that are very promising for the replacement of silicon-based Flash. These devices exhibited resistive switching between high-resistance states to low-resistance states and low-resistance states to high-resistance states depending on polarity of applied voltages and current compliance settings. The device switching was fundamentally related to the defect states and material properties of metal and insulator layers, and their interfaces in the metalinsulator-metal (MIM) structure. / Graduation date: 2012 / Access restricted to the OSU Community at author's request from Jan. 6, 2012 - Jan. 6, 2013

Durant ces dernières décennies, d'importants efforts et beaucoup de café ont été dépensés en vue de caractériser les instances faciles des problèmes NP-difficiles. Dans ce domaine de recherche, une approche s'avère être redoutablement efficace : la théorie de la complexité paramétrée introduite par Downey et Fellows dans les années 90.Dans cette théorie, la complexité d'un problème n'est plus mesurée uniquement en fonction de la taille de l'instance, mais aussi en fonction d'un paramètre .Dans cette boite à outils, la largeur arborescente est sans nul doute un des paramètres de graphe les plus étudiés.Ce paramètre mesure à quel point un graphe est proche de la structure topologique d'un arbre.La largeur arborescente a de nombreuses propriétés algorithmiques et structurelles.Néanmoins, malgré l'immense intérêt suscité par la largeur arborescente, seules les classes de graphes peu denses peuvent avoir une largeur arborescente bornée.Mais, de nombreux problèmes NP-difficiles s'avèrent faciles dans des classes de graphes denses.La plupart du temps, cela peut s'expliquer par l'aptitude de ces graphes à se décomposer récursivement en bipartitions de sommets $(A,B)$ où le voisinage entre $A$ et $B$ possède une structure simple.De nombreux paramètres -- appelés largeurs -- ont été introduits pour caractériser cette aptitude, les plus remarquables sont certainement la largeur de clique , la largeur de rang , la largeur booléenne et la largeur de couplage induit .Dans cette thèse, nous étudions les propriétés algorithmiques de ces largeurs.Nous proposons une méthode qui généralise et simplifie les outils développés pour la largeur arborescente et les problèmes admettant une contrainte d'acyclicité ou de connexité tel que Couverture Connexe , Dominant Connexe , Coupe Cycle , etc.Pour tous ces problèmes, nous obtenons des algorithmes s'exécutant en temps $2^{O(k)}\cdot n^{O(1)}$, $2^{O(k \log(k))}\cdot n^{O(1)}$, $2^{O(k^2)}\cdot n^{O(1)}$ et $n^{O(k)}$ avec $k$ étant, respectivement, la largeur de clique, la largeur de Q-rang, la larguer de rang et la largueur de couplage induit.On prouve aussi qu'il existe un algorithme pour Cycle Hamiltonien s'exécutant en temps $n^{O(k)}$ quand une décomposition de largeur de clique $k$ est donné en entrée.Finalement, nous prouvons qu'on peut compter en temps polynomial le nombre de transversaux minimaux d'hypergraphes $\beta$-acyclique ainsi que le nombre de dominants minimaux de graphes fortement triangulés.Tous ces résultats offrent des pistes prometteuses en vue d'une généralisation des largeurs et de leurs applications algorithmiques. / In the last decades, considerable efforts have been spent to characterize what makes NP-hard problems tractable. A successful approach in this line of research is the theory of parameterized complexity introduced by Downey and Fellows in the nineties.In this framework, the complexity of a problem is not measured only in terms of the input size, but also in terms of a parameter on the input.One of the most well-studied parameters is tree-width, a graph parameter which measures how close a graph is to the topological structure of a tree.It appears that tree-width has numerous structural properties and algorithmic applications.However, only sparse graph classes can have bounded tree-width.But, many NP-hard problems are tractable on dense graph classes.Most of the time, this tractability can be explained by the ability of these graphs to be recursively decomposable along vertex bipartitions $(A,B)$ where the adjacency between $A$ and $B$ is simple to describe.A lot of graph parameters -- called width measures -- have been defined to characterize this ability, the most remarkable ones are certainly clique-width, rank-width, and mim-width.In this thesis, we study the algorithmic properties of these width measures.We provide a framework that generalizes and simplifies the tools developed for tree-width and for problems with a constraint of acyclicity or connectivity such as Connected Vertex Cover, Connected Dominating Set, Feedback Vertex Set, etc.For all these problems, we obtain $2^{O(k)}\cdot n^{O(1)}$, $2^{O(k \log(k))}\cdot n^{O(1)}$, $2^{O(k^2)}\cdot n^{O(1)}$ and $n^{O(k)}$ time algorithms parameterized respectively by clique-width, Q-rank-width, rank-width and mim-width.We also prove that there exists an algorithm solving Hamiltonian Cycle in time $n^{O(k)}$, when a clique-width decomposition of width $k$ is given.Finally, we prove that we can count in polynomial time the minimal transversals of $\beta$-acyclic hypergraphs and the minimal dominating sets of strongly chordal graphs.All these results offer promising perspectives towards a generalization of width measures and their algorithmic applications.