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Search results
Showing 1 to 8 of 8 (0.038 seconds)Spelling suggestions: "subject:"mikrotechnologien"" "subject:"microtechnologie""
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Technologieentwicklung für kapazitive Sensoren mit bewegten KomponentenHiller, Karla 16 September 2004 (has links) (PDF)
This work is a contribution to technology development of capacitive microsensors with moved components, such as vacuum pressure sensors and angular rate sensors. It describes the sensor principles, Si microfabrication technologies and test results of prototypes. / Die Arbeit liefert einen Beitrag zur Technologieentwicklung für kapazitive mikromechanische Sensoren mit bewegten Komponenten (z.B. Vakuumsensoren und Drehratensensoren). Es werden Sensorprinzipien, Herstellungstechnologien und Testergebnisse von Prototypen beschrieben.
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Technologieentwicklung für kapazitive Sensoren mit bewegten KomponentenHiller, Karla 20 January 2004 (has links)
This work is a contribution to technology development of capacitive microsensors with moved components, such as vacuum pressure sensors and angular rate sensors. It describes the sensor principles, Si microfabrication technologies and test results of prototypes. / Die Arbeit liefert einen Beitrag zur Technologieentwicklung für kapazitive mikromechanische Sensoren mit bewegten Komponenten (z.B. Vakuumsensoren und Drehratensensoren). Es werden Sensorprinzipien, Herstellungstechnologien und Testergebnisse von Prototypen beschrieben.
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Entwicklung eines integrierten Mikroresonators für die kernmagnetische Resonanzspektroskopie kleinster ProbenvolumenLeidich, Stefan 09 April 2010 (has links) (PDF)
In der vorliegenden Arbeit wird ein Mikroresonator für die kernmagnetische
Resonanzspektroskopie kleinster Probenvolumen entwickelt. Der Resonator
besteht aus einem Mikrodetektor und einer elektrisch steuerbaren Kapazität für
den Resonanzabgleich. Beide Bauteile sind speziell an die Anforderungen des
Messverfahrens angepasst. Der Mikrodetektor, welcher die Funktion der
Erregung der Kernspins und die Detektion des Messsignals erfüllt, weist
aufgrund seiner besonderen Geometrie ein weitgehend homogenes statisches
Magnetfeld im Bereich des Probenvolumens auf. Daraus resultieren eine
Verbesserung der spektralen Auflösung und eine Steigerung der
Empfindlichkeit. Die elektrisch steuerbare Kapazität weist eine hohe elektrische
Güte und eine hohe Spannungsfestigkeit auf, wodurch die Verwendung von
hohen Pulsleistungen möglich ist. Der Nachweis der Funktionalität des Systems
erfolgt durch die Integration des Mikroresonators in einen Probenkopf, welcher
zur Messung von Test- und Referenzsignalen eingesetzt wird. Anhand der
Messwerte wird gezeigt, dass die neue Entwicklung eine sehr hohe
Empfindlichkeit und eine deutlich höhere spektrale Auflösung als andere
Detektorsysteme dieser Art aufweist und somit besonders gut für die Messung
von sehr kleinen Probenvolumen geeignet ist. / The thesis describes the development of a micro resonator for nuclear magnetic resonance (NMR) spectroscopy of very small sample volumes. The resonator consists of a microcoil and an electrically adjustable capacitance for resonance tuning. Both components are specially designed for the purpose of NMR. The microcoil excites the nuclear spins and detects the measurement signal. Due to the special cylindrical geometry, the detector provides a very homogenous spatial distribution of the static magnetic field at the location of the sample. This leads to improved spectral resolution and increased sensitivity. The electrically adjustable capacitance provides a high quality factor and high voltage stability. Hence, short excitation pulses with high bandwidth can be applied. The components are integrated into a specially designed probe. The functionality of the system is demonstrated by test and reference measurements. The measurement results verify the high sensitivity and the high spectral resolution. Hence, the system is applicable and well suited for NMR measurements of small sample volumes.
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Mikromechanisches kraftgekoppeltes Sensor-Aktuator-System für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen / Micro-mechanical force-coupled sensor-actuator-system for the resonant detection of low frequency vibrationsForke, Roman 25 January 2013 (has links) (PDF)
Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung und Charakterisierung eines mikromechanischen kraftgekoppelten Schwingsystems für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen. Es wird ein neuartiges Prinzip vorgestellt, das es ermöglicht, niederfrequente Vibrationen frequenzselektiv zu erfassen. Mittels Amplitudenmodulation wird das niederfrequente Signal in einen höheren Frequenzbereich umgesetzt. Durch Ausnutzung der mechanischen Resonanzüberhöhung wird aus dem breitbandigen Signal ein schmales Band herausgefiltert, die anderen Frequenzbereiche werden unterdrückt. Auf diese Weise wird direkt die spektrale Information des niederfrequenten Signals gewonnen. Eine Fourier-Transformation ist hierbei nicht notwendig. Die Abstimmung des Sensors erfolgt über eine Wechselspannung und führt dadurch zu einer einfachen Auswertung.
Die Schwerpunkte der Arbeit liegen in den theoretischen Untersuchungen zum neuartigen Sensorprinzip, in der Entwicklung einer mikromechanischen Sensorstruktur zum Einsatz des neuen Prinzips sowie in der Entwicklung und Charakterisierung eines Messsystems zur Detektion niederfrequenter mechanischer Schwingungen mit dem neuen Sensor. / This thesis describes the development and characterization of a micromechanical force coupled oscillator system for the resonant detection of low frequency vibrations. It presents a novel working principle that enables spectral measurements of low frequency vibrations. The low frequency spectral content is converted into a higher frequency range by means of amplitude modulation. Due to the mechanical resonance a narrow band is filtered out of the wide band vibration signal. The remaining frequency content is suppressed. Hence, the spectral information is directly obtained with the sensor system without a fast Fourier transform. The tuning is done with an AC voltage resulting in a simple analysis.
The main focuses of the work are the theoretical analysis of this novel sensor principle, the development of the micromechanical sensor structure for the use of the novel principle as well as the development and characterization of a measurement system for the spectral detection of low frequency mechanical vibrations with the developed sensor system.
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Entwicklung eines integrierten Mikroresonators für die kernmagnetische Resonanzspektroskopie kleinster ProbenvolumenLeidich, Stefan 26 February 2010 (has links)
In der vorliegenden Arbeit wird ein Mikroresonator für die kernmagnetische
Resonanzspektroskopie kleinster Probenvolumen entwickelt. Der Resonator
besteht aus einem Mikrodetektor und einer elektrisch steuerbaren Kapazität für
den Resonanzabgleich. Beide Bauteile sind speziell an die Anforderungen des
Messverfahrens angepasst. Der Mikrodetektor, welcher die Funktion der
Erregung der Kernspins und die Detektion des Messsignals erfüllt, weist
aufgrund seiner besonderen Geometrie ein weitgehend homogenes statisches
Magnetfeld im Bereich des Probenvolumens auf. Daraus resultieren eine
Verbesserung der spektralen Auflösung und eine Steigerung der
Empfindlichkeit. Die elektrisch steuerbare Kapazität weist eine hohe elektrische
Güte und eine hohe Spannungsfestigkeit auf, wodurch die Verwendung von
hohen Pulsleistungen möglich ist. Der Nachweis der Funktionalität des Systems
erfolgt durch die Integration des Mikroresonators in einen Probenkopf, welcher
zur Messung von Test- und Referenzsignalen eingesetzt wird. Anhand der
Messwerte wird gezeigt, dass die neue Entwicklung eine sehr hohe
Empfindlichkeit und eine deutlich höhere spektrale Auflösung als andere
Detektorsysteme dieser Art aufweist und somit besonders gut für die Messung
von sehr kleinen Probenvolumen geeignet ist. / The thesis describes the development of a micro resonator for nuclear magnetic resonance (NMR) spectroscopy of very small sample volumes. The resonator consists of a microcoil and an electrically adjustable capacitance for resonance tuning. Both components are specially designed for the purpose of NMR. The microcoil excites the nuclear spins and detects the measurement signal. Due to the special cylindrical geometry, the detector provides a very homogenous spatial distribution of the static magnetic field at the location of the sample. This leads to improved spectral resolution and increased sensitivity. The electrically adjustable capacitance provides a high quality factor and high voltage stability. Hence, short excitation pulses with high bandwidth can be applied. The components are integrated into a specially designed probe. The functionality of the system is demonstrated by test and reference measurements. The measurement results verify the high sensitivity and the high spectral resolution. Hence, the system is applicable and well suited for NMR measurements of small sample volumes.
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Mikromechanisches kraftgekoppeltes Sensor-Aktuator-System für die resonante Detektion niederfrequenter SchwingungenForke, Roman 23 November 2012 (has links)
Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung und Charakterisierung eines mikromechanischen kraftgekoppelten Schwingsystems für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen. Es wird ein neuartiges Prinzip vorgestellt, das es ermöglicht, niederfrequente Vibrationen frequenzselektiv zu erfassen. Mittels Amplitudenmodulation wird das niederfrequente Signal in einen höheren Frequenzbereich umgesetzt. Durch Ausnutzung der mechanischen Resonanzüberhöhung wird aus dem breitbandigen Signal ein schmales Band herausgefiltert, die anderen Frequenzbereiche werden unterdrückt. Auf diese Weise wird direkt die spektrale Information des niederfrequenten Signals gewonnen. Eine Fourier-Transformation ist hierbei nicht notwendig. Die Abstimmung des Sensors erfolgt über eine Wechselspannung und führt dadurch zu einer einfachen Auswertung.
Die Schwerpunkte der Arbeit liegen in den theoretischen Untersuchungen zum neuartigen Sensorprinzip, in der Entwicklung einer mikromechanischen Sensorstruktur zum Einsatz des neuen Prinzips sowie in der Entwicklung und Charakterisierung eines Messsystems zur Detektion niederfrequenter mechanischer Schwingungen mit dem neuen Sensor. / This thesis describes the development and characterization of a micromechanical force coupled oscillator system for the resonant detection of low frequency vibrations. It presents a novel working principle that enables spectral measurements of low frequency vibrations. The low frequency spectral content is converted into a higher frequency range by means of amplitude modulation. Due to the mechanical resonance a narrow band is filtered out of the wide band vibration signal. The remaining frequency content is suppressed. Hence, the spectral information is directly obtained with the sensor system without a fast Fourier transform. The tuning is done with an AC voltage resulting in a simple analysis.
The main focuses of the work are the theoretical analysis of this novel sensor principle, the development of the micromechanical sensor structure for the use of the novel principle as well as the development and characterization of a measurement system for the spectral detection of low frequency mechanical vibrations with the developed sensor system.
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TU-Spektrum "Sonderausgabe Auto & Verkehr" 2004, Magazin der Technischen Universität ChemnitzSteinebach, Mario, Friebel, Alexander, Häckel-Riffler, Christine, Tzschucke, Volker, Dötzel, Wolfram, Müller, Egon, Gäse, Thomas, Hildebrand, Torsten, Weidlich, Dieter, Hausstädtler, Uwe, Köchel, Peter, Matthes, Klaus-Jürgen, Kohler, Thomas, Neugebauer, Reimund, Köhler, Eberhard, Meyer, Lothar W., Mennig, Günter, Michael, Hannes, Tenberge, Peter, Fischer, Herwig, Frei, Bertram, Fischer, Andreas, Hoffmann, Karl Heinz, Müller, Dietmar, Geßner, Thomas, Baum, Mario, Protzel, Peter, Krems, Josef F., Wanielik, Gerd, Scheunert, Ulrich, Maißer, Peter, Hendel, Klaus, Mählisch, Mirko, Brunnett, Guido, Spanner-Ulmer, Birgit, Richter, Frank, Zahn, Dietrich R.T., Becker, Bettina M., Tytko, Dagmar, Thießen, Friedrich, Luderer, Bernd, Gerlach, Lutz, Pawlowsky, Peter, Moldaschl, Manfred F., Schulz, Klaus-Peter, Zanger, Cornelia, Reichel, Ina, Jurczek, Peter, Bocklisch, Steffen, Mehnert, Elke 01 July 2004 (has links) (PDF)
3 mal im Jahr erscheinende Zeitschrift über aktuelle Themen der TU Chemnitz
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TU-Spektrum 'Sonderausgabe Auto & Verkehr' 2004, Magazin der Technischen Universität ChemnitzSteinebach, Mario, Friebel, Alexander, Häckel-Riffler, Christine, Tzschucke, Volker, Dötzel, Wolfram, Müller, Egon, Gäse, Thomas, Hildebrand, Torsten, Weidlich, Dieter, Hausstädtler, Uwe, Köchel, Peter, Matthes, Klaus-Jürgen, Kohler, Thomas, Neugebauer, Reimund, Köhler, Eberhard, Meyer, Lothar W., Mennig, Günter, Michael, Hannes, Tenberge, Peter, Fischer, Herwig, Frei, Bertram, Fischer, Andreas, Hoffmann, Karl Heinz, Müller, Dietmar, Geßner, Thomas, Baum, Mario, Protzel, Peter, Krems, Josef F., Wanielik, Gerd, Scheunert, Ulrich, Maißer, Peter, Hendel, Klaus, Mählisch, Mirko, Brunnett, Guido, Spanner-Ulmer, Birgit, Richter, Frank, Zahn, Dietrich R.T., Becker, Bettina M., Tytko, Dagmar, Thießen, Friedrich, Luderer, Bernd, Gerlach, Lutz, Pawlowsky, Peter, Moldaschl, Manfred F., Schulz, Klaus-Peter, Zanger, Cornelia, Reichel, Ina, Jurczek, Peter, Bocklisch, Steffen, Mehnert, Elke 01 July 2004 (has links)
3 mal im Jahr erscheinende Zeitschrift über aktuelle Themen der TU Chemnitz
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